1、 敬请参阅末页重要声明及评级说明 证券研究报告 国内民营气体龙头，纵横发展未来可期 主要观点：主要观点： 深耕行业二十载，造就国内民营气体龙头深耕行业二十载，造就国内民营气体龙头 公司 1999 年于苏州起家，经过二十余年的发展，已成为国内专业从事气体的研发、生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型气体综合供应商，产品包括大宗气体、特种气体、天然气等百余种气体，广泛应用于电子半导体、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造等诸多下游领域。公司 2020 年进入资本市场，目前股权结构稳定，下辖众多子公司，研发实力出众，区域优势突出，预计未来营业收入将持续快速增长。 工业气体市场空间大而
2、稳定，电子气体国产化进程开启工业气体市场空间大而稳定，电子气体国产化进程开启 全球工业气体市场稳定扩张，常年维持在 GDP 增速的 2-2.5 倍，而国内气体工业起步较晚，2000 年之后进入快速发展期。半导体领域是工业气体最重要的下游应用之一，长期以来被外商高度垄断，全球前四大公司占据 91%的市场份额。随着国内半导体行业的蓬勃发展，电子气体市场规模也逐渐扩大， 2013-2020 年中国电子特种气体市场规模从 64.8亿元增至 173.6 亿元，CAGR 高达 15.12%。公司在电子大宗气体和电子特气方面均有所布局， 电子大宗气体已切人中芯国际与车规级 SIC 产业链，获得国内半导体龙头
3、厂商的认可。电子特气行业壁垒较高，国内厂商近年来分别在各个细分赛道有所突破，电子特气国产化率逐步提升。 坚持纵横发展战略，打造国内气体行业领军者坚持纵横发展战略，打造国内气体行业领军者 公司坚持“纵向开发，横向布局”发展战略，即纵向引进人才，开发新型气体种类，满足国产化需求；横向布局全国，抢占市场份额，形成区位卡位。公司抓住“碳中和” “碳达峰”机遇，大力发展氢能与二氧化碳回收等废气回收业务。2020 年公司前瞻性导入氦气业务，打破国外垄断，打造业绩新的增长点。公司纵横发展战略的成功推进，能够巩固其区域领先地位，进一步确立竞争优势。 投资建议投资建议 我们预计 2022-2024 年公司归母净
4、利润为 2.62、3.87、5.54 亿元，对应 EPS 为 0.54、0.80、1.14 元，当前股价对应市盈率为 42.50、28.79、20.15 倍，首次覆盖给予公司“买入”评级。 风险提示风险提示 上游原材料价格波动、横向并购气体公司的风险、下游半导体业务开拓不及预期。 金宏气体金宏气体（688688106106） 公司研究/公司深度 投资评级：投资评级：买入买入（首次）（首次） 报告日期： 2021-03-31 收盘价（元） 23.03 近 12 个月最高/最低（元） 35.17/20.97 总股本（百万股） 484.33 流通股本（百万股） 259.31 流通股比例（%） 53.
5、54 总市值（亿元） 111.54 流通市值（亿元） 59.72 公司价格与沪深公司价格与沪深 300 走势比较走势比较 分析师：胡杨分析师：胡杨 执业证书号： S00 邮箱： 联系人：赵恒祯联系人：赵恒祯 执业证书号： S00 邮箱： -40%-20%0%20%40%60%金宏气体沪深300 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 2 / 19 证券研究报告 重要财务指标重要财务指标 单位单位:百万元百万元 主要财务指标主要财务指标 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入 1741 2330
6、3105 4103 收入同比（%） 40.0% 33.8% 33.2% 32.2% 归属母公司净利润 167 262 387 554 净利润同比（%） -15.3% 57.1% 47.6% 42.9% 毛利率（%） 30.0% 34.5% 35.6% 36.8% ROE（%） 6.2% 8.9% 11.6% 14.3% 每股收益（元） 0.34 0.54 0.80 1.14 P/E 81.79 42.50 28.79 20.15 P/B 5.03 3.80 3.35 2.87 EV/EBITDA 37.28 19.31 14.34 10.51 资料来源： Wind，华安证券研究所 SWmVrV
7、cXjWrZ9YXY8ZbRbP9PoMqQtRtRkPpPtPeRoOnM7NpPyRwMtRzQwMsRzQ 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 3 / 19 证券研究报告 正文目录正文目录 1 二十余载深耕造就国内气体龙头二十余载深耕造就国内气体龙头 . 5 5 2 工业气体景气度高涨，电子特气国产化正当时工业气体景气度高涨，电子特气国产化正当时 . 8 8 2.1 工业气体长坡厚雪，电子气体需求快速放量工业气体长坡厚雪，电子气体需求快速放量 . 8 8 2.2 电子特气外商高度垄断，国内厂商分头突围电子特气外商高度垄断，国内厂商分头突围 . 9
8、 9 3.纵向开发、横向布局，积极扮演行业整合者纵向开发、横向布局，积极扮演行业整合者 . 1111 3.1 纵向开发：特气种类不断扩展，电子大宗连签高额订单纵向开发：特气种类不断扩展，电子大宗连签高额订单 . 1111 3.2 横向布局：大规模横向整合行业，把握碳中和发展机遇横向布局：大规模横向整合行业，把握碳中和发展机遇 . 1515 4.盈利预测与估值盈利预测与估值 . 1616 4.1 盈利预测盈利预测 . 1616 4.2 公司估值公司估值 . 1717 风险提示：风险提示： . 1717 财务报表与盈利预测财务报表与盈利预测 . 1818 金宏气体金宏气体（688688106106
9、） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 4 / 19 证券研究报告 图表目录图表目录 图表图表 1 公司发展历程公司发展历程 . 5 图表图表 2 公司主要气体产品介绍公司主要气体产品介绍 . 5 图表图表 3 公司股权结构公司股权结构 . 7 图表图表 4 公司营业收入及增长率公司营业收入及增长率 . 7 图表图表 5 公司归母净利润及增长率公司归母净利润及增长率 . 7 图表图表 6 全球工业气体市场规模全球工业气体市场规模 . 8 图表图表 7 中国工业气体市场规模中国工业气体市场规模 . 8 图表图表 8 半导体行业各材料占比半导体行业各材料占比 . 9 图表图表 9 全球晶圆制造用电子气
10、体规模逐渐扩大全球晶圆制造用电子气体规模逐渐扩大 . 9 图表图表 10 电子气体的分类电子气体的分类 . 9 图表图表 11 电子特气下游应用占比电子特气下游应用占比 . 10 图表图表 12 中国电子特气市场规模中国电子特气市场规模（亿元）（亿元） . 10 图表图表 13 中国电子特气市场竞争格局中国电子特气市场竞争格局 . 10 图表图表 14 全球电子特气市场竞争格局全球电子特气市场竞争格局 . 10 图表图表 15 内地电子特气企业产品及营收内地电子特气企业产品及营收 . 11 图表图表 16 公司部分在研气体项目公司部分在研气体项目 . 11 图表图表 17 公司电子大宗气体领先
11、业内标准公司电子大宗气体领先业内标准 . 13 图表图表 18 公司电子大宗订单涉及的气体种类公司电子大宗订单涉及的气体种类 . 14 图表图表 19 全球氦气资源地分布全球氦气资源地分布情况情况 . 15 图表图表 20 氦气储槽运抵公司氦气储槽运抵公司 . 15 图表图表 21 公司立足华东，布局全国公司立足华东，布局全国 . 15 图表图表 22 2019 年年-2023 年公司业绩拆分及盈利预测年公司业绩拆分及盈利预测 . 16 图表图表 23 可比公司估值可比公司估值 . 17 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 5 / 19 证券研究报告
12、1 二十余载深耕造就国内气体龙头二十余载深耕造就国内气体龙头 金宏气体金宏气体 1999 年年于苏州成立于苏州成立，是一家专业从事气体的研发、是一家专业从事气体的研发、生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型气体综合供应商。生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型气体综合供应商。公司主要为客户提供各种大宗气体、特种气体和天然气的一站式供气解决方案。 经过二十余年的发展， 公司已成为了由数十家分公司、子公司和孙公司组建的企业集团。能够为电子半导体、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造等行业客户提供特种气体、大宗气体和天然气三大类百余种气体产品，是各行业重要战略合作伙伴，销售网点以
13、华东地区为中心遍布全国各地。 图表图表 1 公司发展历程公司发展历程 资料来源：公司公告，华安证券研究所 公司的产品线较广，下游应用广泛。公司的产品线较广，下游应用广泛。公司作为气体综合型供应商，气体产品种类较多，既生产超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、干冰、硅烷、其他超高纯气体、混合气等特种气体，又生产应用于半导体行业的电子大宗气体和应用于其他工业领域的大宗气体及天然气。公司主要产品应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造、食品、冶金、化工、机械制造等众多领域。 图表图表 2 公司公司主要气体产品介绍主要气体产品介绍 产品类别产品类别 产
14、品名称产品名称 供气模式供气模式 简介简介 大宗气体 氧气 钢瓶、 储槽、现场制气 氧气是很好的助燃剂，医疗上被用于医疗、救援以及高海拔等特殊领域和地域，也作为芯片制造工艺中重要步骤热氧化过程的原料。 氮气 钢瓶、 储槽、现场制气 氮气的化学性质不活泼，低温下的液氮可用作深度冷冻剂。常温下的氮气则在工业中被广泛应用于保护气体，也可用作食品的保鲜保质。而在高温下，氮气可用于合成氨原料。超纯氮气直接应用于芯片与显示器制造工艺。 氩气 瓶、储槽 氩气是稀有气体，又称惰性气体。广泛应用于保护气，例如活泼金属的焊接，半导体晶体管的制造，灯泡中的填充气等。光学仪器中被用作气相色谱仪等仪器的载气，标准气，平
15、衡气等。在半导体行第一阶段第一阶段20002000年年20042004年年 立足苏州，整合资源，扩大市场 产品以大宗气体氧气、氮气、氩气、乙炔为主，在苏州建立小型空分装置。第二阶段第二阶段20052005年年20092009年年 不断丰富产品，发展循环经济及尾气回收业务，提升品牌影响力。 2009 年完成股份制改造。第三阶段第三阶段20102010年年20142014年年 突破高端特气领域，7N电子超纯氨投入运营。 2014年挂牌新三板，拓宽融资途径。第四阶段第四阶段20152015年年20192019年年 高纯氧化亚氮、高纯二氧化碳、八氟环丁烷、硅烷混合气、高纯氢气回收、空分项目等陆续投产
16、2019 年被评为国家企业技术 中心。第五阶段第五阶段20202020年年20242024年年 2020 年公司科创板上市。 横向整合大宗气体市场，提升市占率。纵向丰富电子特气品种，加速国产替代。 深度参与碳中和、氢能源国家战略。 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 6 / 19 证券研究报告 业被用于等离子沉积和蚀刻工艺。 乙炔 钢瓶 乙炔也叫电石气，常温常压下为无色、微毒的易燃气体，具有弱麻醉和阻止细胞氧化的作用。乙炔化学性质活泼，能与很多试剂发生加成反应，是有机合成的重要原料。此外其在金属的焊接和切割、原子吸收光谱、标准气、校正气、合成橡胶、照明
17、等领域也有应用。 二氧化碳 钢瓶、储槽 二氧化碳可用于核磁共振、青霉素制造，鱼类、奶油、奶酪、冰糕等的保存及蔬菜保鲜，低温输送、灭火剂，冷却剂；在半导体制造中用于氧化、扩散、化学气相淀积、支持先进的浸没光刻以及 DI（去离子水）处理。 特种气体 超纯氨 储槽、钢瓶 超纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是 MOCVD 技术制备 GaN 的重要基础材料。超纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅的基础材料。广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研究。 氢气 钢瓶、鱼雷车 氢是主要的工业原料，也是最重要的工业气体和还原剂，应用于石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有
18、机合成、航空航天等方面。 氧化亚氮 钢瓶、鱼雷车 氧化亚氮俗称笑气，高纯氧化亚氮作为电子气体，主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键电子气体。 干冰 干冰箱 干冰是固态的二氧化碳，可用于模具行业清洗、石油化工电力行业清洗主风机、气压机等设备及各式加热炉、反应器等结焦结炭的清除、电子行业清洁机器人、自动化设备的内部油脂、污垢、集成电路板、焊后焊药、污染涂层、树脂、溶剂性涂覆、保护层以及印刷电路板上光敏抗腐蚀剂等清除，以及冷藏保鲜运输。 硅烷 钢瓶 硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅等各种金属硅化物。广泛应用于微电子、
19、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层等。 氦气 钢瓶、鱼雷车 氦气是一种无色无味的不可燃气体，利用液氦的低沸点特性，其在超导领域有广泛应用，主要用于航天、医疗、泛半导体行业。 混合气 钢瓶 混合气是指标准气或含有两种或两种以上有效组份的气体。在半导体电子行业中，多规格的混合气直接决定半导体器件的性能。照明领域不同稀有气体的组份会产生不同的色彩。在医用领域，不同氦氧比例混合气各有其独特性能。 氟碳气体 钢瓶 包含六氟乙烷、八氟环丁烷、四氟化碳等。六氟乙烷也称全氟乙烷，可用作电子工业中的刻蚀气等；八氟环丁烷也称全氟环丁烷，可用作稳定无毒的食品气体喷射剂、介质气体、制冷剂，作为一
20、种刻蚀气在半导体行业也有重要应用；四氟化碳是目微电子工业中用量最大的等离子体蚀刻气体之一。 医用气体 钢瓶、储槽 医用气体是指用于医学诊断和生命救助的气体，应用领域包括血液气体检测，肺功能试验，心肺试验等。常用的医用气体有医用氧、医用二氧化碳，医用氧化亚氮以及部分稀有气体等。 天然气 天然气 钢瓶、储槽 天然气是一种多组分的混合气态化石燃料，主要用作燃料，使用安全、热值高、洁净，被广泛使用于生活、生产燃料以及工业发电等领域。同时天然气也是制造氮肥的原料之一，具有投资少、成本低、 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 7 / 19 证券研究报告 污染少的特
21、点。 资料来源：公司招股书，华安证券研究所 公司股权结构稳定，董事长金向华公司股权结构稳定，董事长金向华先生为实际控制人先生为实际控制人。公司董事长兼总经理金向华为公司控股股东，直接持股 25.51%，其控制的金宏投资持股 1.80%，金建萍持股 7.45%，与金向华系母子关系，合计控制公司 34.76%的股权。第二大股东朱根林持股 10.27%，与金向华系叔侄关系。金向华任公司董事长、总经理，金建萍任公司董事，对公司的生产、经营及决策具有实际控制和影响。 图表图表 3 公司股权结构公司股权结构 资料来源：公司公告，华安证券研究所 公司业绩维持高增长，公司业绩维持高增长， 短期短期盈利能力盈利
22、能力有所下滑有所下滑。 从从 2016 年至 2020年， 公司营业收入从 6.54 亿元增至 12.43 亿元， CAGR 达到 17.41%；归母净利润从 0.12 亿元增至 1.97 亿元，CAGR 高达 101.29%。2021年，受益于国产化政策以及大规模收并购，公司实现营业收入 17.41亿元， 同比增长 40.05%； 归母净利润 1.67 亿元， 同比减少 15.34%，盈利能力下降的主要是因为大宗商品持续上涨和 21 年推出股票激励计划等情况导致的支出增长。 图表图表 4 公司营业收入及增长率公司营业收入及增长率 图表图表 5 公司归母净利润及增长率公司归母净利润及增长率 资
23、料来源：wind，华安证券研究所 资料来源：wind，华安证券研究所 0246800%5%10%15%20%25%30%35%40%45%2001920202021营业收入（亿元）同比增长率-200%-100%0%100%200%300%400%500%600%0.00.51.01.52.02.52001920202021归母净利润（亿元）同比增长率 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 8 / 19 证券研究报告 2 工业气体景气度高涨，工业气体景气度高涨，电子特气国产化正当时电子特气国
24、产化正当时 2.1 工业气体长坡厚雪，电子气体需求快速放量工业气体长坡厚雪，电子气体需求快速放量 全球工业气体全球工业气体市场稳定扩张市场稳定扩张，国内“后进生“潜力十足国内“后进生“潜力十足。根据历史数据分析，全球工业气体行业增速通常维持在 GDP 的 2.0-2.5 倍，长年来扩张迅速且稳定。亿渡数据显示，到 2020 年，全球工业气体市场规模已达 1341 亿美元，未来市场空间有望进一步扩大，预计 2025年将达到 1929 亿美元，5 年 CAGR 约 7.54%。相比于发达国家，国内工业气体起步较晚，产品品种较为单一，近年来由于上游空分设备厂商的技术突破，我国工业气体进入高速发展期，
25、2020 年我国工业气体规模为 1626 亿元。预计 2025 年将达到 2607 亿元，5 年 CAGR 约9.9%。目前我国人均工业气体消费水平较低，与发达国家相比仍有差距，随着我国工业气体产业链的成熟以及国产化浪潮的推进，国内市场潜力依然巨大。 半导体半导体产业迅猛发展产业迅猛发展，电子气体，电子气体需求旺盛。需求旺盛。据 SEMI 统计数据，电子气体在 2019 年的半导体材料市场占比达 13%，仅次于硅片 37%的占比，是半导体最重要的原材料之一。近年来，全球贸易摩擦加剧，世界范围内的“缺芯潮”以及内地“卡脖子”现象推动了国内半导体行业的迅猛发展， 电子气体市场规模随之扩张。 根据
26、SEMI 统计数据，全球晶圆制造用电子气体市场规模 2020 年达 45 亿美元。 图图表表 6 全球工业气体市场规模全球工业气体市场规模 图表图表 7 中国工业气体市场规模中国工业气体市场规模 资料来源：亿渡数据，公司公告，华安证券研究所 资料来源：亿渡数据，公司公告，华安证券研究所 0500025000.00%1.00%2.00%3.00%4.00%5.00%6.00%7.00%8.00%9.00%10.00%市场规模（亿美元）同比增长05000250030000.00%2.00%4.00%6.00%8.00%10.00%12.00%14.00%
27、市场规模（亿元）同比增长 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 9 / 19 证券研究报告 电子气体分为电子特种气体和电子大宗气体。电子气体分为电子特种气体和电子大宗气体。广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是最重要原材料之一，狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。 电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子 注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等 材料的“粮食”和“源”。电子半导体器件的性能优劣与电子气体的质量息息相关。 图表图表 10 电子气体的分类电子气体的分类 类别类别 用
28、途用途 主要产品主要产品 电子特种气体 化学气相沉积(CVD) 氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS(正硅酸乙酯)、TEB(硼酸三乙酯)、TEPO (磷酸三乙酯)、磷化氢、三氟化氯、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等 离子注入 氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等 光刻胶印刷 氟气、氦气、氪气、氖气等 扩散 氢气、三氯氧磷等 刻蚀 氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等 掺杂 含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氢、砷化氢等 电子大宗气体 环境气、保
29、护气、载体 氮气、氧气、氩气、二氧化碳等 资料来源：公司招股书，华安证券研究所 2.2 电子电子特气外商特气外商高度高度垄断，垄断，国内厂商国内厂商分头突围分头突围 电子特气下游应用广泛，国内市场规模持续扩大。电子特气下游应用广泛，国内市场规模持续扩大。电子特种气体主要应用于集成电路、 液晶面板、 光伏、 LED 及其他等电子半导体领域。前瞻产业研究院统计数据显示，2013-2020 年，中国电子特种气体市图表图表 8 半导体行业各材料占比半导体行业各材料占比 图表图表 9 全球晶圆制造用电子气体规模逐渐扩大全球晶圆制造用电子气体规模逐渐扩大 资料来源：SEMI，华安证券研究所 资料来源：SE
30、MI，华安证券研究所 37%13%13%5%7%5%3%7%10%大硅片电子气体光掩模光刻胶光刻胶配套试剂湿化学品溅射靶材抛光液和抛光垫其他材料-0.04-0.0200.020.040.060.080.10.53035404550200192020市场规模（亿美元）yoy 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 10 / 19 证券研究报告 场规模从 64.8 亿元增至 173.6 亿元，CAGR 高达 15.12%，未来随着下游晶圆厂的扩产以及半导体材料国产化的推进，预计国内特种气体市场规仍将维持高速增长。 图
31、表图表 11 电子特气下游应用占比电子特气下游应用占比 图表图表 12 中国电子特气市场规模（亿元）中国电子特气市场规模（亿元） 资料来源：Linx Consulting，华安证券研究所 资料来源：智研咨询，华安证券研究所 海外巨头海外巨头把持把持全球市场，全球市场，电子特气市场集中度极高电子特气市场集中度极高。全球特种气体市场呈现集中度高、寡头垄断的竞争格局，林德集团、空气化工、液化空气和大阳日酸分别以 25%、25%、23%和 18%的市场份额垄断全球工业气体市场规模的 91%， 同时海外四巨头垄断了国内 88%的市场份额，国内厂商仅占据 12%市场份额。 图表图表 13 中国中国电子特气
32、市场竞争格局电子特气市场竞争格局 图表图表 14 全球电子特气市场竞争格局全球电子特气市场竞争格局 资料来源：招股说明书，华安证券研究所 资料来源：招股说明书，华安证券研究所 内资企业内资企业分头突围，电子特气国产化率进一步提升分头突围，电子特气国产化率进一步提升。为响应半导体材料国产化号召，打破外商的技术垄断，国内电子特气企业在各个细分领域中相继发力， 打造自身电子特气产品。 据统计， 国内 9 家 （拟）上市公司 2020 年电子特气营收规模合计约为 25.96 亿元， 结合 202070%20%6%4%半导体平面显示器化合物半导体PV64.874.585.1102.7112.4124.8
33、140.2173.602040608000002025%23%23%17%12%空气化工林德集团法液空太阳日酸国内厂商25%25%23%18%9%空气化工林德集团法液空太阳日酸其他 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 11 / 19 证券研究报告 年中国电子特气 173.6 亿元的市场规模，国产率已达到 14.95%，国产替代空间仍然较大，未来随着国内企业的研发能力得到国内外晶圆厂的认可，国内厂商的市场份额有望进一步增加。 图表图表 15 内地电子特气企业产品及营收
34、内地电子特气企业产品及营收 公司公司 主要电子特气产品主要电子特气产品 2 20 0 年年电子特气电子特气收入收入（亿元）（亿元） 华特气体 高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮等 5.48 金宏气体 超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、硅烷混合气、八氟环丁烷等 4.48 南大光电 磷烷、砷烷等氢类电子特气、三氟化氮、六氟化硫及其副产品 4.29 昊华科技 含氟电子气（包括三氟化氮、六氟化硫等） 、绿色四氧化二氮、高纯硒化氢、高纯硫化氢等 4.15 雅克科技 六氟化硫、四氟化碳 3.73 久策气体 超纯氨、高纯氢 1.24 硅烷科技 高纯硅烷气 1.2
35、2 正帆科技 高纯磷烷、砷烷 1.07 和远气体 氢气、氦气 0.30 合计 25.96 资料来源：公司公告，前瞻产业研究院，华安证券研究所 3.纵向开发、横向布局，积极扮演行业整合者纵向开发、横向布局，积极扮演行业整合者 公司公司坚持“坚持“纵向开发，横向布局纵向开发，横向布局”发展战略，”发展战略，即纵向引进人才，开发新型气体种类， 满足国产化需求； 横向布局全国， 抢占市场份额，形成区位卡位，抓住“碳中和”“碳达峰”机遇大力发展氢能与二氧化碳回收等废气回收业务。公司纵横发展战略的成功推进，能够更加巩固其区域领先地位，并进一步确立其在民营工业气体企业中的竞争优势。 3.1 纵向开发：气纵向
36、开发：气体体种类不断扩展，电子大宗种类不断扩展，电子大宗连签高额连签高额订单订单 加大研发投入，加大研发投入，拓展气体品类。拓展气体品类。近年来，公司研发投入持续稳步提升。2021 年，公司研发支出 6984 万元，同比大幅增长 50.48%，五年 CAGR 高达 28.23%。公司纵向大力开发特种气体，持续拓展现有产品品类，在特气新品研发方面，计划未来每年可以有三个电子特气新产品进行小试、三个新产品进行产业化，逐步完成国产替代。 图表图表 16 公司部分在研气体项目公司部分在研气体项目 项目名称项目名称 进展或阶段性成果进展或阶段性成果 拟达到目标拟达到目标 技术水平技术水平 具体应用前景具
37、体应用前景 正硅酸乙酯纯化项目的研发 试生产成功，正在进行验收工作 99.9999999%纯度并实现规模化生产 国内领先 电子级正硅酸乙酯用于半导体制备工艺LPCVD，在硅片表面淀积生成二氧化硅薄膜，保证了氧化层介质的致密性和与SiC晶片的粘附能力，提高了器件的电性能和成品率。 金宏气体金宏气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 12 / 19 证券研究报告 5N 电子级溴化氢的纯化 已经完成产业化工艺包的设计 99.999%纯度并实现规模化生产 国际先进 高纯溴化氢主要用于半导体掺磷的n型多晶硅、单晶硅或二维半导体的刻蚀，是氟碳类气体替代产品的首选。以溴化氢作为刻蚀
38、气体的等离子刻蚀技术可以通过控制被刻蚀物质的温度达到对垂直刻蚀或有设定的圆锥角的锥形刻蚀精确控制。 液态有机储氢材料的研发 已经完成试验验证，并结束 存储密度达到 5%以上，加氢脱氢温度小于 300oC，实现连续规模化生产 国内领先 利用液态芳香族化合物自身不饱和键和加氢脱氢可逆反应，以其作为储氢材料，增加氢气存储、运输的效率以及安全性。 超高纯羰基硫研发 已经完成大部分工艺包的设计 99.99%纯度并实现规模化生产 国际先进 高纯羰基硫主要是作为蚀刻剂用于集成电路等行业，是关键辅助材料之一。 高纯一氧化氮研发 已经完成工艺包的设计 99.99%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯一氧化氮常用
39、于在电子半导体领域中氧化钝化处理的氛围气体，及工艺中氮掺杂的氮源，在硅表面形成氮氧化膜的材料气体利用。 高纯硒化氢的研发 正在根据中试数据完善工艺包的设计 99.999%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯硒化氢多应用于半导体的掺杂，又可用于制造 ZnSe，CdSe，HgSe 薄膜原材料，这些薄膜用于可见光、 紫外至X射线的探测器。 高纯六氟丁二烯研发 已经完成工艺包的设计 99.99%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯六氟丁二烯可作为蚀刻剂应用于半导体工业，替代传统含氟刻蚀气，应用于半导体的干法蚀刻工艺时，蚀刻精度较高，环境友好。 高纯四氟化硅研发 根据工艺包参数，开始设备采购 99.99
40、9%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯四氟化硅是电子和半导体行业中的一种重要原料，主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P 型掺杂剂及外延沉积扩散硅源，也可以作为硅同位素分离的中间化合物，制得优级纯微电子学的原材料同位硅，还可以用于制备电子级硅烷或多晶硅。 高纯三氟化氯研发 已经完成工艺包的设计 99.9%纯度并实现规模化生产 国际先进 在半导体工业中，高纯三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室，优势是可以用于从室壁去除半导体材料，而不必拆卸腔室。 高纯三氟化硼研发 根据工艺包参数，开始设备选型 99.999%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯三氟化硼主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂
41、。在许多有机反应和石油制品中，作为冷凝反应的催化剂。 高纯氟化氢研发 已经完成工艺包的设计 99.995%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯氟化氢主要是作为清洗剂和蚀刻剂用于集成电路等行业，是关键辅助材料之一。 高纯一氟甲烷研发 已经完成工艺包的设计 99.99%纯度，并实现规模化生产 国内领先 高纯一氟甲烷可在特殊条件下，人为可控的解离出氟离子，而氟离子对半导体硅化合物的薄膜具有选择性刻蚀的效果，在半导体制造，集成电路设计等领域具有非常重要的地位，是关键材料之一。 4N 高纯乙炔的 已经完成试验验证，并结 99.99%纯度，并 国内领先 高纯乙炔可用于半导体工业中，无定型碳膜 金宏气体金宏
42、气体（688688106106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 13 / 19 证券研究报告 研发 束 实现规模化生产 的原料气，也可以用于实验室原子吸收光谱的燃料气。 半导体电子混合气体的研发 已经开发了 5 种半导体电子混合气体，并实现量产 可根据不同要求混合，各气体含量符合要求 国内领先 电子混合气主要用于半导体工业中，气相沉积、离子刻蚀、晶体生长等工艺中。 电子级氧化亚氮的研发 已经完成中试验证，并得出了具体的试验参数 99.999%纯度并实现规模化生产 国际领先 高纯氧化亚氮气体主要应用于半导体、LCD、OLED 制造过程中氧化、化学气相沉积(CVD 沉积氮化硅的氮源)等工艺流程中
43、。 高纯乙烯的研发 正在开展中试验证开发 99.999%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯乙烯在半导体领域中主要用于化学气相沉积制作碳膜，纯度要求 99.999%及以上满足半导体行业要求，相比于甲烷，乙烯的碳膜沉积速率高，沉积压力和温度低；相比于乙炔， 乙烯沉积碳膜有序度较高， 乙炔 CVD出口容易被污染物沥青覆盖。 二氧化碳催化还原反应的研发 开发了二氧化碳催化还原的中试试验装置，下一步将开展中试试验验证 99.999%纯度并实现规模化生产 国内领先 高纯 CO2 在半导体制造中氧化、扩散、化学气相淀积， 蔬菜保鲜， 某些反应的惰性介质，石墨反反应器的热载体，输送易燃液体的压入气体， 标准
44、气， 校正气， 在线仪表标准气，特种混合气。 二氧化碳回收技术、 装置及系统的开发 已经完成了中试验证，并完成了工艺包的设计 99.999%纯度并实现规模化生产 国内领先 主要用于激光切割机的激光气体、电子工业、反应堆气体冷却剂、医学的临界萃取、半导体制造中氧化、扩散，化学气相淀积，超临界清洗气体等领域。 资料来源：公司公告，华安证券研究所 公司公司电子大宗气体技术领先，全方面优于行业标准。电子大宗气体技术领先，全方面优于行业标准。电子大宗气体市场此前一直被国际巨头垄断， 公司作为本土气体场所的领军代表，深耕电子大宗气体多年，技术积累深厚，发行人的液氮、液氧、液氩等电子大宗气体产品在产品纯度、
45、杂质含量方面均优于国家标准和SEMI 标准。 图表图表 17 公司电子大宗气体领先业内标准公司电子大宗气体领先业内标准 产品产品 关键指标关键指标 金宏气体金宏气体 国家标准国家标准 SEMISEMI 标准标准 液氮 纯度 99.999% 99.999% 99.998% 氧 1ppm 3ppm 3ppm 水分 1ppm 3ppm 1ppm 液氧 纯度 99.8% 99.5% 99.5% 液氩 纯度 99.999% 99.99% 99.998% 氧 1.5ppm 10ppm 未作规定 水分 3ppm 15ppm 未作规定 资料来源：公司招股书，华安证券研究所 金宏气体金宏气体（688688106
46、106） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 14 / 19 证券研究报告 电子大宗电子大宗连签大额订单，未来营收稳定上涨。连签大额订单，未来营收稳定上涨。2021 年 11 月，公公司司与北方集成电路技术创新中心有限公司签订供应合同，合同金额约与北方集成电路技术创新中心有限公司签订供应合同，合同金额约为为 12 亿元，亿元， 预计 2022 年 4 月 30 日正式供气， 履约期限至 2037 年，执行期 15 年总金额 12 亿元， 测算每年贡献收入约 8 千万， 约为 2021年总收入的 4.6%。而 2022 年 2 月 8 日，公司公司与广东芯粤能半导体有与广东芯粤能半导体有限公司签订限
47、公司签订“电子大宗气体供应站建设及气体供应合同电子大宗气体供应站建设及气体供应合同”，合同执行期合同执行期20 年总金额年总金额 10 亿元。亿元。公司气体产品主要应用于 SiC 第三代半导体车规级芯片生产领域，终端应用于电动汽车，履约期限至 2042 年，测算每年贡献收入约 5 千万，约为 2021 年收入的 2.9%。 图表图表 18 公司公司电子大宗订单电子大宗订单涉及的涉及的气体种类气体种类 合约公司 供应的主要气体种类 北方集成电路技术创新中心有限公司 氮气(GN2 及 PN2)、氢气(PH2)、氧气(PO2 及 IO2)、氩气(PAr)、氦气(PHe)、二氧化碳(PCO2)、压缩空
48、气(CDA)、仪表空气(IA)及高压压缩空气(HPCDA)、高纯压缩空气（XCDA）等 广东芯粤能半导体有限公司 一般氮气（GN2） 、高纯氮气（PN2） 、普通氧气（GO2） 、高纯氧（PO2） 、氩气(PAr)、氢气（PH2） 、氦气（PHe） 、二氧化碳（PCO2） 、压缩空气（CDA）和高压压缩空气（HPCDA）等 资料来源：公司公告，华安证券研究所 电子气体电子气体打破国外垄断，获得下游认可。打破国外垄断，获得下游认可。电子气体的深度提纯难度大，微小的误差可能会导致整条产线产品报废，下游公司选择供应商时异常谨慎，过去该项业务一直被跨国公司高度垄断，此次连续签单标志着公司已打破国外垄断
49、，开辟了新的业绩成长曲线。北方集创是中芯国际的参股公司，作为中国大陆最先进的晶圆代工企业，中芯国际是内地自主研发集成电路制造技术的标杆。公司成功切入中芯国际供应链，标志着公司在电子大宗气体领域获得了下游龙头公司的认可，盈利能力得到进一步增强。广东芯粤能公司业务主要面向车规级和工控领域的 SiC 芯片制造和研发，目前已计划投资 90 亿元将建成年产 24 万片 6 英寸 SiC 晶圆，未来将成为国内车规级 SiC 芯片制造龙头企业。此次合作有利于公司在新型 SiC 芯片领域业务的延展，对公司未来承接其它客户有着较强的示范意义。 未雨绸缪布局氦气，打破垄断开辟新增长点。未雨绸缪布局氦气，打破垄断开
50、辟新增长点。氦气作为稀有气体广泛应用于磁共振设备、航空航天、光纤传输及低温超导行业。而随着电子行业的发展，氦气成为了半导体产业的中坚力量，是电子大宗气体的重要细分品类。氦气分布极不不均匀，约 90%位于美国、卡塔尔、 阿尔及利亚和俄罗斯境内。 据统计， 我国每年氦气需求量达到 4300多吨，其中 99%依赖进口。而由于新冠疫情对国际运输的负面影响、中美贸易摩擦加剧以及俄乌冲突的爆发， 国内氦气供应存在巨大缺口，急需国产替代。公司敏锐地抓住市场机遇，未雨绸缪，自自 2020 年起年起开开始始了包括了包括购置液氦槽罐和国外直接充装液氦的全产业链部署。购置液氦槽罐和国外直接充装液氦的全产业链部署。3
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