MEMS传感器及执行器分类 原图定位

MEMS传感器可分为惯性传感器、压力传感器、声学传感器、环境传感器、光学传感器；MEMS执行器主要分为射频MEMS、微流控、光学MEMS、微结构、MEMS扬声器、超声波指纹。