检测和量测设备市场空间（亿美元）及适用工艺 原图定位

2023 年全球检/量测设备市场空间达 128.3亿美元，全球市场被美、日企业垄断。根据 VLSI，2023 年全球检测、量测设备市场空间共 128.3 亿美元，其中检测设备占比 67.9%，包括纳米图形晶圆缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备等；量测设备占比为 30.8%，包括关键尺寸量测设备、套刻精度量测设备、薄膜膜厚量测设备、三维形貌量测设备等。检/量测设备在前道制程领域主要用于薄膜沉积、光刻、掩模、刻蚀、离子注入环节，在先进封装领域主要用于 CMP、清洗、光刻、刻蚀、电镀、键合领域。2022 年国内半导体检、量测设备市场空间预计为 40 亿美元，2023 年预计进一步提高。全球检、量测设备厂商包括 KLA（科磊）、AMAT（应用材料）、Hitachi（日立）等，根据 VLSI统计，2023 年全球前五大公司合计份额占比超 84%，均来自美国和日本，其中KLA 和 Camtek 分别在前道和后道领域占据主要份额。