美国和德国的六维力传感器标定及检测设备示意 原图定位

六维力传感器标定检测设备可以对力觉传感器实现正交三个方向力和三个方向力矩的同时精确加载。只有在传感器标定和检测过程中采用这种六维联合加载的方式，才能实现 0.5%FS 准度。也就是说六维联合加载设备是高精度六维力传感器研发和生产的必要条件。六维联合加载设备目前还没有标准产品可以直接采购，一般都是由六维力传感器的厂商自行研制的，所以如美国和德国的六维联合加载设备的形态差别非常大。六维联合加载设备的研发涉及到空间光学定位、载荷位移补偿、机电一体化等多项综合技术，有上百个 Know How，非常依赖工程经验。一旦某个细节考虑不周全，加载效果就会不理想，加载设备自己产生的耦合误差可能超过 1%FS，这势必无法标定出高准度的六维力传感器。