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1、国海证券研究所请务必阅读正文后免责条款部分2023 年年 12 月月 24 日日行业研究行业研究评级：推荐评级：推荐(首次覆盖首次覆盖)研究所：证券分析师：姚健S证券分析师：杜先康STable_Title半导体零部件国产化加速半导体零部件国产化加速，关注细分赛道领跑者关注细分赛道领跑者半导体半导体设备行业动态研究设备行业动态研究最近一年走势行业相对表现2023/12/22表现1M3M12M专用设备-3.3%-2.1%1.5%沪深 300-5.8%-10.7%-13.0%投资要点投资要点:半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛。半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛。根据 IDC 预测，20

2、24E 半导体市场规模由 6259 亿美元上调至 6328 亿美元，同比增长 20.2%，全球半导体市场正在逐步回暖，2024 年起有望加速恢复增长。根据 SEAJ 数据，2023Q3 中国大陆半导体设备销售额同比增长 42.2%，随着中国大陆成熟制程持续建设，半导体设备市场有望长期稳健增长。零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者。零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者。半导体零部件市场规模约为设备市场规模的 50%-55%，我们测算，2022 年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为 1061 亿元。半导体零部件种类繁多，行业碎片化特征显著，目前国产化率普遍较低，晶圆扩产叠加设备国产化

3、加速，半导体零部件国产替代空间广阔。正帆科技正帆科技：Gasbox 是半导体干法设备中极为重要的通用子系统，我们测算，2022 年中国大陆 Gasbox 市场规模超过 50 亿元。2022 年公司布局 Gasbox 业务，2023 年产品已经全面稳产，目前已向北方华创、拓荆科技、中微公司、晶盛机电等国内头部半导体设备商，以及迈为股份等光伏电池片设备商批量供货，有望优先受益于Gasbox 国产替代加速。汉钟精机汉钟精机：干式真空泵可用于单晶拉晶、Load-lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程，我们测算，目前中国大陆半导体真空泵存量替换市场规模超过 18 亿元，未来五年中国大

4、陆仅 12英寸扩产贡献真空泵增量市场规模为 127 亿元、年均约 25 亿元。目前公司真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程均有应用，公司与国内部分机台商、晶圆厂已有合作，目前有一定的小批量出货。随着台中厂三期及上海厂三期产能建设顺利完成，真空泵成长空间有望进一步打开。英杰电气英杰电气：射频电源可用于刻蚀、薄膜沉积和离子注入等半导体设备，我们测算，2022 年中国大陆半导体射频电源市场规模约为 44亿元。2023 年 10 月起，公司射频电源订单呈现批量上升状态，目前已超 9000 万元。公司和中微公司已经合作多年，同时和业内其他知名企业也有合作，随着产品验证及客户拓展持续加速，半导体电证券研究报告

5、请务必阅读正文后免责条款部分2源业务有望步入快速成长期。美埃科技美埃科技：洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率，先进制程持续发展将对洁净度提出更高要求。风机过滤单元业务，公司产品性能领先、客户基础牢固，目前在国内半导体洁净室领域市占率约 30%、位居行业第一，受益高管全球化背景、制造基地海内外协同布局，2020-2022 年海外收入 CAGR 接近 50%。过滤器业务，具备收入稳定、高毛利率双重优势，国内方面，公司通过持续降本、节能改造等方式增加客户黏性，进而提升耗材复购率；海外方面，受益产品性价比、售后服务质量等优势，海外客户认证持续加速，耗材业务有望开启广阔增长空间。投资建议投

6、资建议 半导体设备零部件国产替代空间广阔，细分赛道领先企业有望优先受益，重点关注正帆科技（gasbox）、汉钟精机（真空泵）、英杰电气（射频电源）、美埃科技（洁净装备及耗材）等，首次覆盖，给予“推荐”评级。风险提示风险提示 半导体市场需求恢复不及预期；半导体行业资本开支不及预期；半导体设备及零部件国产化不及预期；国外对华半导体设备限制力度变化风险；关注标的产品研发及客户验证进度不及预期；重点关注公司业绩不达预期风险。uZkYaXqUnYoXbWsUvXkX7NbP9PmOoOmOnOjMqRpNeRnPmRaQrQpPuOmQqNuOpNwP证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分3重点关注公

7、司及盈利预测重点关注公司及盈利预测重点公司重点公司股票股票2023/12/22EPSPE投资投资代码代码名称名称股价股价20222023E2024E20222023E2024E评级评级688596.SH 正帆科技38.770.951.442.0341.0227.0119.12未评级002158.SZ汉钟精机21.931.211.551.8918.2014.1511.63未评级300820.SZ英杰电气52.942.362.142.8922.4424.7018.32未评级688376.SH 美埃科技36.910.921.321.8440.3127.9620.06买入资料来源：Wind 资讯，国海

8、证券研究所未评级公司盈利预测取自 wind 一致预期证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分4内容目录内容目录1、半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛.62、零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者.72.1、正帆科技：Gasbox.82.2、汉钟精机：真空泵.102.3、英杰电气：射频电源.122.4、美埃科技：洁净装备及耗材.133、风险提示.16证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分5图表目录图表目录图 1：全球半导体月度销售额.6图 2：半导体行业资本开支增速与市场规模增速.6图 3：全球半导体行业资本开支（十亿美元）.6图 4：全球半导体设备销售额.7图 5：中国大陆半导体设

9、备销售额.7图 6：2020 年中国晶圆厂设备采购额(亿美元).7图 7：2023E 中国晶圆厂设备采购额(亿美元).7图 8：薄膜沉积设备部件系统.8图 9：Gasbox 产品.9图 10：中微公司直接材料成本结构（2018 年）.9图 11：拓荆科技直接材料成本结构（2020 年）.9图 12：正帆科技业务结构.10图 13：汉钟精机半导体真空泵.11图 14：汉钟精机业务结构.12图 15：英杰电气业务结构.13图 16：IC 制造工艺与洁净室.14图 17：2015-2024E 中国洁净室净化设备市场规模.14图 18：2014-2025E 中国空气过滤器市场规模.14图 19：201

10、9 年中国洁净室工程行业下游需求占比.15图 20：美埃科技主要产品.15证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分61、半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛半导体行业逐步回暖，中国大陆设备需求旺盛半导体市场正逐步回暖半导体市场正逐步回暖，2024 年行业资本开支有望上行年行业资本开支有望上行。根据 SIA 数据，2023年 10 月全球半导体行业销售额为 466 亿美元，同比下降 0.68%，连续 6 个月实现同比降幅收窄，连续 8 个月环比实现环比增长。根据 IDC 预测，2023 年全球半导体预计市场规模由 5188 亿美元上调至 5265 亿美元，2024E 市场规模由6259 亿美

11、元上调至 6328 亿美元，同比增长 20.2%，全球半导体市场正在逐步回暖，2024 年起有望加速恢复增长。历史数据表明，半导体行业资本开支增速与半导体市场规模增速显著正相关。根据 IC Insight 数据，2023 年全球半导体行业资本开支预计为 1560 亿美元，同比下降 14%，我们预计，随着半导体行业需求回暖，2024 年全球半导体行业资本开支有望步入上行周期。图图 1：全球半导体月度销售额全球半导体月度销售额图图 2：半导体行业资本开支增速与市场规模增速半导体行业资本开支增速与市场规模增速资料来源：美国半导体行业协会，国海证券研究所资料来源：IC Insight图图 3：全球半导

12、体行业资本开支（十亿美元）全球半导体行业资本开支（十亿美元）资料来源：IC Insight，IDC，国海证券研究所注：德州仪器、其他企业为 IC Insight 预测数据证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分7成熟制程持续建设，中国大陆半导体设备需求旺盛。成熟制程持续建设，中国大陆半导体设备需求旺盛。根据 Gartner 数据，IC 制造中的设备投资额约占资本支出的 70%-80%。根据 SEAJ 数据，2023Q1-Q3全球半导体设备销售额为782.1亿美元，同比下降2.1%，2023Q3同比下降11%；2023Q1-Q3 中国大陆半导体设备销售额为 244.7 亿美元，同比增长 11.7

13、%，2023Q3 同比增长 42.2%。先进制程设备进口受限背景下，中国大陆加强成熟制程产能投资，以中芯国际为例，中芯国际三季报将 2023 全年资本开支上调至 75亿美元左右，同比增长约18%。2022年中国大陆12英寸晶圆产能全球占比22%，2026 年预计增至 25%，行业需求回暖叠加产能建设加速，中国大陆半导体设备市场长期有望稳健增长。图图 4：全球半导体设备销售额全球半导体设备销售额图图 5：中国大陆半导体设备销售额中国大陆半导体设备销售额资料来源：wind，国海证券研究所资料来源：wind，国海证券研究所2、零部件国产替代空间广阔，关注细分赛道领跑者零部件国产替代空间广阔，关注细分

14、赛道领跑者半导体设备国产替代空间广阔。半导体设备国产替代空间广阔。以晶圆制造设备为例，根据芯谋研究公众号，2023 年中国晶圆厂设备采购总额将达 299 亿美元，美国、日本、荷兰、中国设备商对应市场份额分别为 43%、21%、19%和 11%，相比 2020 年，本土设备商的销售额增长约 233%，市占率增长约 4pct，然而国际巨头依旧主导中国设备市场，半导体设备国产替代空间广阔。图图 6：2020 年中国晶圆厂设备采购额年中国晶圆厂设备采购额(亿美元亿美元)图图 7：2023E 中国晶圆厂设备采购额中国晶圆厂设备采购额(亿美元亿美元)资料来源：芯谋研究公众号，国海证券研究所资料来源：芯谋研

15、究公众号，国海证券研究所证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分82022 年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为中国大陆半导体设备零部件市场规模约为 1061 亿元。亿元。根据富创精密招股说明书，半导体设备成本结构中通常 90%以上为原材料（即各类零部件），考虑国际半导体设备公司毛利率通常在 40%-45%左右，全部零部件市场规模约为半导体设备市场规模的 50%-55%，根据 SEAJ 数据，2022 年中国大陆半导体设备销售额为 282.7 亿美元，我们测算，同年中国大陆半导体设备零部件市场规模约为 1061 亿元（美元兑换人民币汇率按 7.15）。半导体零部件种类繁多，目前业内多数企业仅

16、专注于特定生产工艺或特定零部件产品，行业碎片化特征显著。国际半导体设备巨头对零部件企业实行体系化认证管理，全部认证过程通常持续2-3 年，供应链粘性较强。目前半导体零部件国产化率普遍较低，以晶圆制造设备为例，2020 年中国大陆晶圆厂商采购的 8-12 寸晶圆设备零部件主要包括石英、射频电源、真空泵、阀门、吸盘、反应腔喷淋头、边缘环等零部件，采购金额占比分别为 11%、10%、10%、9%、9%、8%、6%，仅石英成品、反应腔喷淋头、边缘环等少数几类零部件国产化率超过 10%。中国大陆晶圆厂持续扩产叠加半导体设备国产化加速，半导体零部件国产化率有望持续提升。重点关注正帆科技重点关注正帆科技（G

17、asbox）、汉钟精机汉钟精机（真空泵真空泵）、英杰电气英杰电气（射频电源射频电源）、美埃科技美埃科技（洁净洁净装备及耗材），首次覆盖，给予装备及耗材），首次覆盖，给予“推荐推荐”评级。评级。图图 8：薄膜沉积设备部件系统薄膜沉积设备部件系统资料来源：MKS Instruments Handbook 2nd Edition，MKS 官网2.1、正帆科技：正帆科技：Gasbox半导体干法设备关键子系统半导体干法设备关键子系统，Gasbox 行业壁垒较高行业壁垒较高。半导体工艺设备内部的气路系统主要由 Gasbox、气路和阀门构成，其中 Gasbox 是半导体干法设备中极为重要的通用子系统，主要功

18、能是将各路工艺气体集成在一个空间环境内，并按工艺需求对不同气体进行转换、分配和混合，对个别关键工艺气体进行精确的流量控制，根据工艺步骤的设定实现对工艺气体开关控制灯功能，主要组件包括手动/气动截止阀、逆止阀、质量流量控制器、压力调节控制器、高精密过滤器、证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分9垫片、镀银螺帽/螺丝等，具有极高的安全气密性、耐蚀性、小型化和控制精度要求，技术门槛及行业壁垒较高。图图 9：Gasbox 产品产品资料来源：正帆科技公司公告2022 年中国大陆年中国大陆 Gasbox 市场规模超过市场规模超过 50 亿元亿元，国产化率不足国产化率不足 10%。根据富创精密招股书，气体

19、输送系统/模组主要用于刻蚀设备、薄膜沉积设备和离子注入设备。刻蚀设备方面，根据中微公司招股说明书，2018 年直接材料成本占比约 95%，其中气体输送系统占当期原材料采购金额约 17.4%，即气体输送系统在设备成本中约占 16.5%，假设刻蚀设备毛利率为 45%，则气体输送系统价值量约占刻蚀设备价值量的 9.1%。薄膜沉积设备方面，根据拓荆科技招股说明书，2020 年直接材料成本占比约 90%，其中气体输送系统占当期原材料采购金额约7.5%，即气体输送系统在设备成本中约占 6.8%，假设薄膜沉积设备毛利率为45%，则气体输送系统价值量约占薄膜沉积设备价值量的 3.7%。2022 年中国大陆 2

20、82.7 亿美元，刻蚀设备、薄膜沉积设备大约各占 20%，我们测算，2022 年中国大陆 Gasbox 市场规模超过 50 亿元（美元兑换人民币汇率按 7.15）。目前Gasbox 国产化率不足 10%，超科林、富士金等国外供应商在国内市场占据主导地位，中国大陆基本只有正帆科技（子公司鸿舸半导体）和富创精密具备供应能力。图图 10：中微公司直接材料成本结构（中微公司直接材料成本结构（2018 年）年）图图 11：拓荆科技直接材料成本结构（拓荆科技直接材料成本结构（2020 年）年）资料来源：中微公司招股说明书，国海证券研究所资料来源：拓荆科技招股说明书，国海证券研究所证券研究报告请务必阅读正文

21、后免责条款部分10正帆科技是国内领先的工艺介质系统供应商，面向泛半导体、生物医药等高科正帆科技是国内领先的工艺介质系统供应商，面向泛半导体、生物医药等高科技产业提供关键系统、核心材料和专业服务。技产业提供关键系统、核心材料和专业服务。（1）高纯介质供应系统高纯介质供应系统：是公司传统主业，东横化学、帆宣科技、法液空等海外供应商在 IC、显示等领域仍占据主要份额，据正帆科技 2023 中报，高纯介质供应系统目前国产化率约 30%，正帆科技和至纯科技是本土主流供应商，受益半导体、光伏等行业扩产需求及 CAPEX 国产替代加速，高纯介质供应系统业绩有望持续稳健增长。（2）Gasbox：2022 年公

22、司投资设立鸿舸半导体（目前持股 60%）布局 Gasbox业务，根据公司 2023 年 9 月 30 日投资者交流纪要，2023 年 Gasbox 产品已经全面稳产，全年收入和新签合同增速预计均会超过公司业绩平均增速，目前已向北方华创、拓荆科技、中微公司、晶盛机电等国内头部半导体设备商，以及迈为股份等光伏电池片设备商批量供货，有望优先受益于 Gasbox 国产替代加速。（3）气体业务气体业务：是公司拓展 OPEX 业务的支柱战略，也是公司近年主要的产品开发和投资方向，主要围绕电子特气、工业气和先进材料三个方向，铜陵电子特气项目、潍坊大宗气项目以及合肥高纯氢气项目将于 2023H2 逐步投产，此

23、外，铜陵电子材料生产基地即将投产的先进材料主要是前驱体（半导体薄膜沉积/外延/刻蚀等工艺所需关键材料），公司将覆盖 20 余种前驱体，涉及硅基、金属基、High-K 和 Low-K 四大品类，目前正在客户导入阶段，预计 2024 年逐步量产，根据 QYResearch，2022 年国内前驱体市场规模约为 62 亿元（美元兑换人民币汇率按 7.15），国产化率不足 5%，随着公司产能建设顺利推进，随着公司产能建设及客户拓展持续推进，气体业务有望成为新的增长点。图图 12：正帆科技业务结构正帆科技业务结构资料来源：正帆科技公司公告，wind，国海证券研究所2.2、汉钟精机：真空泵汉钟精机：真空泵证

24、券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分11干式真空泵是半导体设备中的关键零部件干式真空泵是半导体设备中的关键零部件，可用于单晶拉晶、Load-lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程，半导体应用将对干式真空泵的耐腐蚀性、抽速、能耗、可靠性、稳定性、一致性等指标提出严格要求。Edwards、Ebara、Kashiyama 等国外企业占据半导体真空泵约 90%市场份额，汉钟精机、中科仪是本土主流供应商。（1）存量替换存量替换：根据半导体产业纵横公众号（2023 年 11 月 26 日），目前中国大陆 12 英寸晶圆产能约 113.9 万片/月（含在建 15 座），8 英寸晶圆产能

25、约104.1 万片/月（含在建 8 座）、折合 12 英寸产能约 46.3 万片/月，根据中科仪招股说明书，对于 12 英寸晶圆产线，每 3.5 万片/月产能需要约 2000 台真空泵，假设存量真空泵每年更换 20%，按均价 10 万元/台，我们测算，目前中国大陆我们测算，目前中国大陆半导体真空泵存量替换市场规模超过半导体真空泵存量替换市场规模超过 18 亿元。亿元。（2）增量采购增量采购：根据全球半导体观察公众号（2023 年 11 月 11 日），未来五年中国大陆将新增 24 座 12 英寸晶圆厂，规划产能 222.3 万片/月，我们测算，我们测算，未来五年中国大陆仅未来五年中国大陆仅 1

26、2 英寸扩产贡献真空泵增量市场规模为英寸扩产贡献真空泵增量市场规模为 127 亿元亿元、年均年均约约25 亿元。亿元。图图 13：汉钟精机半导体真空泵汉钟精机半导体真空泵资料来源：汉钟精机公司公告，国海证券研究所公司是国内螺杆式制冷压缩机领跑者，目前主营业务分为压缩机（组）和真空公司是国内螺杆式制冷压缩机领跑者，目前主营业务分为压缩机（组）和真空泵两大板块，其中压缩机（组）又分为制冷和空压两大产品。泵两大板块，其中压缩机（组）又分为制冷和空压两大产品。（1）制冷产品制冷产品：主要包括商用中央空调用压缩机、冷冻冷藏压缩机、热泵压缩机，其中，中央空调部分占比最高，市场相对平稳；冷冻冷藏部分受益于冷

27、链及预制菜等行业发展，成长相对较快；热泵部分煤改电市场空间大，替代空间广阔。（2）空压产品空压产品：主要用于工程机械等气源动力行业，业务发展与制造业景气度息息相关，在传统有油空压机市场外，公司开始着重发力涡旋、螺杆、离心式无油空压机等高端应用市场，无油压缩机产品附加值更高，是公司空压产品的重要发展方向。（3）真空泵产品真空泵产品：目前主要用于光伏和半导体行业，光伏领域，公司真空泵主要用于拉晶和电池片环节，拉晶环节占比较多，目前已和国内光伏头部企业及重要设备商（隆基绿能、通威股份、中环股份、晶盛机电、捷佳伟创等）建立长期证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分12合作关系，公司 2020H2 开

28、始批量进入电池片环节，目前市占率相对较低，产品主要用于 PERC，TOPCon 真空泵的出货量有所增加，HJT 真空泵目前处于客户测试阶段。半导体领域，目前公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有推广使用，目前多用于相对洁净制程，公司与国内部分机台商、晶圆厂已有合作，目前有一定的小批量出货。随着台中厂三期及上海厂三期产能建设顺利完成，真空泵成长空间有望进一步打开。图图 14：汉钟精机业务结构汉钟精机业务结构资料来源：汉钟精机公司公告，wind，国海证券研究所2.3、英杰电气：射频电源英杰电气：射频电源2022 年中国大陆半导体射频电源市场规模约为年中国大陆半导体射频电源市场规模约为 44

29、 亿元。亿元。半导体射频电源是可以产生固定频率的正弦波、具有一定频率的高频电源，主要由射频信号源、射频功率放大器和阻抗匹配器组成，作为等离子体配套电源，射频电源广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积和离子注入等设备。根据芯谋研究，2020 年中国大陆晶圆厂商采购的设备零部件中，射频电源约占 10%，对于刻蚀设备和薄膜沉积设备，假设毛利率均为 45%，射频电源约占设备价值量 5.5%。根据前文，2022 年中国大陆 282.7 亿美元，刻蚀设备、薄膜沉积设备大约各占 20%，我们测算，仅考虑刻蚀设备、薄膜沉积设备，2022 年中国大陆半导体射频电源市场规模为 44亿元（美元兑换人民币汇率按 7.15）。

30、根据 QYResearch 公众号（2023 年 8 月23 日），全球半导体射频电源核心供应商包括 MKS Instruments、AdvancedEnergy、DAIHEN Corporation、XP power（Comdel）和 Trumpf，CR3 约为45%，国内供应商主要包括英杰电气、恒运昌、北方华创（旗下北广科技）等，国产化率低，高端产品尚未国产化。证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分13图图 15：英杰电气业务结构英杰电气业务结构资料来源：英杰电气公司公告，wind，国海证券研究所英杰电气是国内工业电源领先供应商，目前主要产品包括以功率控制电源、特英杰电气是国内工业电源领

31、先供应商，目前主要产品包括以功率控制电源、特种电源为代表的工业电源，以及新能源充电桩种电源为代表的工业电源，以及新能源充电桩/站。站。（1）光伏光伏：据公司 2022 年报，公司在光伏行业的市占率常年保持 70%以上，主要分为单晶（硅片）、多晶（硅料）和电池片三块业务，根据公司 2023 年 12月 7 日投资者调研纪要，目前公司单晶订单同比增长 20%多，单晶订单同比下降 20%多，电池片是 2023 年新增业务、最近两个月也有上量趋势，光伏订单同比去年基本持平。电池片领域，公司目前主要供应溅射电源，目前处于国产替代初期，公司在 TOPCon 和 HJT 两种技术路线上均有产品进行测试，未来

32、成长空间广阔。（2）半导体半导体：根据公司 2023 年 12 月 7 日投资者交流纪要，2023 年 10 月起，射频电源订单呈现批量上升状态，目前射频电源总订单已超 9000 万元，其中大部分是半导体设备端的射频电源。公司和中微公司已经合作多年，同时和业内其他知名企业也有合作，随着产品验证及客户拓展持续加速，公司半导体电源业务有望步入快速成长期。（3）充电桩充电桩：全资子公司四川蔚宇开发的交流充电桩是国内首台通过美国 UL认证的交流充电桩产品，直流桩 UL 认证及 CE 认证正在进行，公司积极扩充充电桩产能，同时开拓储能业务，充电业务有望快速发展。2.4、美埃科技：洁净装备及耗材美埃科技：

33、洁净装备及耗材洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率。洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率。洁净室主要用于去除空气中的颗粒物和化学物质，IC 产业链的主要环节基本都需要在洁净室中完成，且对洁净度的要求较高。通常半导体洁净室所管控的污染物直径相当于半线宽，即 5nm 制程要求管控 2.5nm 污染物，因此先进制程持续发展将对洁净度提出更高要求。证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分14图图 16：IC 制造工艺与洁净室制造工艺与洁净室资料来源：美埃科技招股说明书2019 年国内洁净室设备年国内洁净室设备/空气过滤器市场规模已超空气过滤器市场规模已超 900 亿元亿元/已达

34、已达 95 亿元亿元。受益国内半导体、液晶面板、生物医药、食品加工等行业的洁净厂房建设，据沙利文的数据显示，2019 年国内洁净室设备市场规模已超 900 亿元，预计 2024 年将超 1400 亿元。据中研网数据，2019 年国内空气过滤器市场规模已达 95 亿元，预计 2025 年将达 150 亿元。图图 17：2015-2024E 中国洁净室净化设备市场规模中国洁净室净化设备市场规模图图 18：2014-2025E 中国空气过滤器市场规模中国空气过滤器市场规模资料来源：美埃科技招股说明书，Frost&Sullivian，国海证券研究所资料来源：美埃科技招股说明书，中研网，国海证券研究所证

35、券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分15图图 19：2019 年中国洁净室工程行业下游需求占比年中国洁净室工程行业下游需求占比资料来源：圣晖集成招股说明书，智研咨询，国海证券研究所美埃科技深耕洁净室领域二十多年美埃科技深耕洁净室领域二十多年，现已成为半导体洁净装备现已成为半导体洁净装备（风机过滤单元风机过滤单元）和耗材（过滤器）的国产化龙头，客户覆盖国内外半导体龙头企业。和耗材（过滤器）的国产化龙头，客户覆盖国内外半导体龙头企业。（1）风机过滤单元风机过滤单元：公司产品性能领先，客户基础牢固，目前在国内半导体洁净室领域市占率约 30%、位居行业第一，受益高管全球化背景、制造基地海内外协同布局

36、，2020-2022 年海外收入 CAGR 接近 50%。同时横向拓展新能源、生物医药等领域，有望充分受益下游多类市场需求释放。（2）过滤器过滤器：过滤器毛利率较高，行业需求年度波动较小。国内方面，公司通过持续降本、节能改造等方式增加客户黏性，进而提升耗材复购率。海外方面，受益产品性价比、售后服务质量等优势，公司海外客户认证持续加速，耗材业务有望开启广阔增长空间。图图 20：美埃科技主要产品美埃科技主要产品资料来源：美埃科技招股说明书，国海证券研究所证券研究报告请务必阅读正文后免责条款部分163、风险提示风险提示1）半导体市场需求恢复不及预期；2）半导体行业资本开支不及预期；3）半导体设备及零

37、部件国产化不及预期；4）国外对华半导体设备限制力度变化风险；5）关注标的产品研发及客户验证进度不及预期；6）重点关注公司业绩不达预期风险。国海证券股份有限公司国海证券研究所请务必阅读正文后免责条款部分【机械小组介绍】【机械小组介绍】姚健，复旦大学财务学硕士，7 年证券从业经验，现任国海证券机械研究团队首席分析师，主要覆盖锂电设备、光伏设备、激光、检测检验、工业机器人、自动化、工程机械等若干领域，专注成长股挖掘。杜先康，中国人民大学金融硕士，现任国海证券机械分析师，主要覆盖光伏设备、半导体设备等领域。李亦桐，美国宾夕法尼亚大学硕士，哈尔滨工业大学学士，现任国海证券机械分析师，主要覆盖通用自动化、

38、刀具、工控等领域。【分析师承诺】【分析师承诺】姚健,杜先康,本报告中的分析师均具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，以勤勉的职业态度，独立，客观的出具本报告。本报告清晰准确的反映了分析师本人的研究观点。分析师本人不曾因，不因，也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收取到任何形式的补偿。【国海证券投资评级标准】【国海证券投资评级标准】行业投资评级推荐：行业基本面向好，行业指数领先沪深 300 指数；中性：行业基本面稳定，行业指数跟随沪深 300 指数；回避：行业基本面向淡，行业指数落后沪深 300 指数。股票投资评级买入：相对沪深 300 指数涨幅 20%以

39、上；增持：相对沪深 300 指数涨幅介于 10%20%之间；中性：相对沪深 300 指数涨幅介于-10%10%之间；卖出：相对沪深 300 指数跌幅 10%以上。【免责声明】【免责声明】本报告的风险等级定级为 R3，仅供符合国海证券股份有限公司（简称“本公司”）投资者适当性管理要求的客户（简称“客户”）使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为客户。客户及/或投资者应当认识到有关本报告的短信提示、电话推荐等只是研究观点的简要沟通，需以本公司的完整报告为准，本公司接受客户的后续问询。本公司具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格。本报告中的信息均来源于公开资料及合法获得的相关内部外部报告资料，本

40、公司对这些信息的准确性及完整性不作任何保证，不保证其中的信息已做最新变更，也不保证相关的建议不会发生任何变更。本报告所载的资料、意见及推测仅反映本公司于发布本报告当日的判断，本报告所指的证券或投资标的的价格、价值及投资收入可能会波动。在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告。报告中的内容和意见仅供参考，在任何情况下，本报告中所表达的意见并不构成对所述证券买卖的出价和征价。本公司及其本公司员工对使用本报告及其内容所引发的任何直接或间接损失概不负责。本公司或关联机构可能会持有报告中所提到的公司所发行的证券头寸并进行交易，还可能为这些公司提供或争取提供投资银行、财务顾问或者金

41、融产品等服务。本公司在知晓范围内依法合规地履行披露义务。【风险提示】【风险提示】市场有风险，投资需谨慎。投资者不应将本报告视为作出投资决策的唯一参考因素，亦不应认为本报告可以取代国海证券股份有限公司国海证券研究所请务必阅读正文后免责条款部分自己的判断。在决定投资前，如有需要，投资者务必向本公司或其他专业人士咨询并谨慎决策。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议。投资者务必注意，其据此做出的任何投资决策与本公司、本公司员工或者关联机构无关。若本公司以外的其他机构（以下简称“该机构”）发送本报告，则由该机构独自为此发送行为负责。通过此途径获得本报告的投资者应自行联系该机构以要求获悉更详细信息。本报告不构成本公司向该机构之客户提供的投资建议。任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效。本公司、本公司员工或者关联机构亦不为该机构之客户因使用本报告或报告所载内容引起的任何损失承担任何责任。【郑重声明】【郑重声明】本报告版权归国海证券所有。未经本公司的明确书面特别授权或协议约定，除法律规定的情况外，任何人不得对本报告的任何内容进行发布、复制、编辑、改编、转载、播放、展示或以其他任何方式非法使用本报告的部分或者全部内容，否则均构成对本公司版权的侵害，本公司有权依法追究其法律责任。