1、请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 2024.01.26 人形机器人感知层核心，传感器成长可期人形机器人感知层核心，传感器成长可期 人形机器人系列之传感器人形机器人系列之传感器 徐乔威徐乔威(分析师分析师)张越张越(分析师分析师) 证书编号 S0880521020003 S0880522090004 本报告导读：本报告导读：传感器为人形机器人感知层核心零部件，六维力矩传感器、电子皮肤、传感器为人形机器人感知层核心零部件，六维力矩传感器、电子皮肤、MEMS 压力压力传感器、传感器、MEMS 惯性传感器厂商有望受益。

2、惯性传感器厂商有望受益。摘要：摘要：投资建议投资建议：传感器为人形机器人感知层核心零部件，人形机器人对传感器需求较大，成本占比较高，六维力矩传感器、电子皮肤、MEMS压力传感器、MEMS 惯性传感器厂商有望受益。六维力矩传感器六维力矩传感器：推荐标的为东华测试（专注结构力学性能测试，力传感器国内领先），受益标的为柯力传感；电子皮肤电子皮肤：受益标的为汉威科技；MEMS 压压力传感器力传感器：受益标的为康斯特、敏芯股份；MEMS 惯性传感器惯性传感器：受益标的为华依科技。六维力矩传感器壁垒较高，性能较优六维力矩传感器壁垒较高，性能较优。六维力矩传感器是性能最优、力觉信息最全面的力矩传感器，技术壁

3、垒主要在结构解耦设计、解耦算法、标定与校准等方面，可用于人形机器人脚踝与手腕处。2022 年中国人形机器人市场对六维力矩传感器需求量为 8360 套，市场规模约为 1.56 亿元，且随人形机器人加速发展，六维力矩传感器市场规模有望高速增长。力控传感器领域国内外龙头差距较大，国内宇立和坤维相对领先，东华测试、柯力传感积极布局六维力矩传感器领域。电子皮肤有望感知压力、温度等多种信号，或成为触觉传感最终方电子皮肤有望感知压力、温度等多种信号，或成为触觉传感最终方案案。电子皮肤一般由电极、介电材料、活性功能层、柔性基材组成，未来有望向同时检测压力、湿度和温度等多种信号的多模式复合方向发展。据弗若斯特沙

4、利文数据，2022 年全球柔性电子市场规模已达586.2 亿美元，预计 2025 年市场规模将达到 3049.4 亿美元，国产厂商中汉威科技、柔宇科技等较为领先。MEMS 传感器具有高集成、微型化等特点，传感器具有高集成、微型化等特点，契合人形机器人对传感契合人形机器人对传感器需求器需求。MEMS 惯性传感器 IMU 由加速度计与陀螺仪组成，可测量角速率和加速度，助力人形机器人实现姿态控制、平衡维持等需求，全球 MEMS 惯性传感器的市场规模由 2018 年的 28.31 亿美元增长至2021 年的 35.09 亿美元，保持稳步增长。MEMS 压力传感器可应用于人形机器人手指感知，全球 MEM

5、S 压力传感器由 2018 年的 17.63亿元增长至 2021 年的 20.04 亿美元。国产厂商中敏芯股份、康斯特等 MEMS 传感器产品较为领先。风险提示风险提示：传感器技术研发进程不及预期；人形机器人商业化应用场景不及预期；人形机器人产业政策落地不及预期。评级：评级：增持增持 上次评级：增持 细分行业评级 相关报告 机器人 特斯拉发布折衣视频，灵巧手和传感器是重点 2024.01.17 机器人特斯拉Optimus-Gen 2 发布，人形机器人量产倒计时 2023.12.14 机器人开普勒K1 与乐聚 AELOS发布，国产机器人进程加速 2023.11.20 机器人 人形机器人顶层设计公

6、布，国产机器人再提速 2023.11.02 机器人 小鹏发布首款人形机器人，国产机器人进程加速 2023.10.25 行业专题研究行业专题研究 股票研究股票研究 证券研究报告证券研究报告 机器人机器人 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 2 of 55 目目 录录 1.传感器：控制系统核心部件，市场空间较为广阔.3 1.1.传感器分类众多，压力传感器占比较大.3 1.2.传感器下游应用广泛，市场空间广阔.3 1.3.政策东风频吹，助力市场扩容.5 2.力传感器：六维力矩传感器壁垒较高，性能较优.7 2.1.力/力矩传感器可精确测量力的大小

7、.7 2.2.六维力矩传感器为力控最优方案，技术壁垒高筑.8 2.3.六维力矩传感器市场规模高速增长，国产厂商持续发力.12 3.柔性传感器：电子皮肤或为触觉传感终极方案.15 3.1.柔性传感器由柔性基底、薄膜材料等组成.15 3.2.电子皮肤有望向感知压力、温度等多种信号发展.17 3.3.柔性传感市场空间巨大，国产厂商积极布局.23 4.MEMS 传感器：微型化契合人形机器人需求.25 4.1.MEMS 传感器可分为惯性传感器、压力传感器等.25 4.2.MEMS 惯性传感器：IMU 可测量角速度与加速度.28 4.3.MEMS 压力传感器：可用于人形机器人手指感知.32 5.行业重点公

8、司.35 5.1.东华测试：结构力学测试龙头，力传感器国内领先.35 5.2.柯力传感：力传感器+工业物联，打造第二增长曲线.39 5.3.汉威科技：积极布局柔性传感业务.41 5.4.华依科技：IMU 技术行业领先.45 5.5.康斯特：校准测试业务领头羊，纵向延伸高端传感器.48 5.6.敏芯股份：MEMS 声学、压力、惯性传感器多品类布局.50 6.风险提示.54 6.1.传感器技术研发进程不及预期.54 6.2.人形机器人商业化应用场景不及预期.54 6.3.人形机器人产业政策落地不及预期.54 8YxUwUnZiZ9XrU7NdNbRnPoOpNnReRpPpOiNsQyRbRnMm

9、MvPnNpQxNmRnQ 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 3 of 55 1.传感器：控制系统核心部件，市场空间较为广阔传感器：控制系统核心部件，市场空间较为广阔 1.1.传感器分类众多，压力传感器占比较大传感器分类众多，压力传感器占比较大 传感器是自动化检测技术和智能控制系统的重要部件传感器是自动化检测技术和智能控制系统的重要部件。传感器是能够把特定的信息（物理、化学、生物）按一定规律转换成某种可用信号输出的器件和装置。广义上的传感器一般由信号检出器件与信号处理器件两部分组成，从而转化感知到的模拟信号并使之以电信号的形式显示。传感

10、器一般由敏感元件、转换元件和基本电路组成。敏感元件感受被测量的状态，转换元件将相应的被测量转换成电参量，而基本电路将电参量接入电路并转换成电量。传感器的核心部分是转换元件，其决定了传感器的工作原理。图图 1：传感器由信号检传感器由信号检出与处理器件组成出与处理器件组成 图图 2：传感器结构较为复杂传感器结构较为复杂 数据来源：传感器原理及应用、国泰君安证券研究 数据来源：传感器原理及应用、国泰君安证券研究 传感器分类较多，压力传感器占比最大。传感器分类较多，压力传感器占比最大。传感器可按检测对象分为物理量、化学量以及生物量传感器，下含力学量传感器、热学量传感器、光学量传感器、温度传感器、生物量

11、传感器等共 11 个小类。检测对象的信号形式决定了选用传感器的类型，在机械自动化与工业过程控制中，常见的信号形式包括位移、（加）速度、扭矩、力、振动、温度、湿度等。目前我国压力传感器和图像传感器占比稳步提升，2021 年分别占比 17.9%和 10.3%，是目前国内占比最高的两种传感器。图图 3：传感器可分为物理、化学和生物量传感器传感器可分为物理、化学和生物量传感器 图图 4：2021 年压力传感器占比年压力传感器占比 17.9%数据来源：传感器原理及应用、国泰君安证券研究 数据来源：华经产业研究院、国泰君安证券研究 1.2.传感器下游应用广泛，传感器下游应用广泛，市场市场空间广阔空间广阔

12、压力传感器,17.9%图像传感器,10.3%流量传感器,10.2%温度传感器,7.7%生物传感器,6.6%其他传感器,47.4%行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 4 of 55 传感器产品下游应用广泛，人形机器人对传感器依赖程度高。传感器产品下游应用广泛，人形机器人对传感器依赖程度高。据 CCID数据，我国传感器产品最大下游领域为汽车电子，占比达到 24.2%，其次为工业制造领域，占比为 21.1%，位列三到五名的下游行业为网络通信、消费电子和医疗电子，占比分别为 21.0%、14.7%、7.2%。为模拟人类感知，人形机器人需要装载一套

13、复杂的传感器系统，包含内部传感器和外部传感器。一台能完全模拟人类的机器人身体上会用到大量传感器，用于提供视觉、听觉、触觉、位置等信息。图图 5：我国传感器下游分布在汽车电子等领域我国传感器下游分布在汽车电子等领域 图图 6：传感器在人形机器人上应用较为广泛传感器在人形机器人上应用较为广泛 数据来源：CCID、中商产业研究院、国泰君安证券研究 数据来源：YOLE、特斯拉 全球全球传感器传感器市场市场空间较为广阔空间较为广阔。随着工业 4.0、工业物联网进程的推进以及智慧驾驶、智能穿戴设备等新兴产业的发展，传感器市场持续扩容。据 Precedence Research 数据，2022 年全球传感器

14、市场规模达 2048.0 亿美元，且随着工业自动化等领域的需求不断增长，未来十年内传感器市场将延续增长态势，2032 年或将达到 5086.4 亿美元。图图 7：预计预计 2032 年全球年全球传感器传感器市场市场规模规模将达将达 5086.4 亿美元亿美元 数据来源：Precedence Research、国泰君安证券研究 我国我国传感器市场规模传感器市场规模不断不断扩大，未来有望延续较高增速扩大，未来有望延续较高增速。随着工业转型升级的历程不断推进，我国传感器市场规模近年来实现显著增长。据中商产业研究院数据，传感器市场规模行业已由 2019 年的 2188.8 亿元上涨至 2022 年的

15、3096.9 亿元，期间 CAGR 为 12.26%，预计 2024 年可达到 3732.7 亿元。据 Mordor Intelligence 数据，在汽车工业、国防工业等汽车电子,24.2%工业制造,21.1%网络通信,21.0%消费电子,14.7%医疗电子,7.2%其他,11.8%2048.02269.12473.42698.42946.73220.73523.53858.24228.64636.75086.410.8%9.0%9.1%9.2%9.3%9.4%9.5%9.6%9.7%9.7%8%9%9%10%10%11%11%004000500060002022 20

16、23E 2024E 2025E 2026E 2027E 2028E 2029E2030E 2031E 2032E全球传感器市场规模（亿美元）YOY 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 5 of 55 行业发展推动及“中国制造 2025”政策目标激励下，我国传感器市场规模有望实现高速增长，2023-2028 年间的 CAGR 预计将达 9.1%。图图 8：预计预计 2024 年年中国传感器中国传感器市场市场规模规模将达将达 3732.7 亿元亿元 数据来源：中商产业研究院、国泰君安证券研究 我国传感器高端市场仍被外资品牌主导，但国产化率有明

17、显提升趋势。我国传感器高端市场仍被外资品牌主导，但国产化率有明显提升趋势。2020 年全球龙头企业如爱默生、西门子、博世、意法半导体、霍尼韦尔等跨国公司占据绝大部分国内市场份额，高端市场传感器芯片仍依赖海外企业，而国内头部企业产品主要集中在中低端，未形成大批量应用。从国产化率来看，国内智能传感器国产化率由2016年的13%增长至2020年的 31%，CAGR 达 24%，预计未来国产化率有望进一步提升。图图 9：我国传感器市场仍为外资品牌主导我国传感器市场仍为外资品牌主导 图图 10：我国智能传感器国产化率持续提升我国智能传感器国产化率持续提升 数据来源：CCID、前瞻产业研究院、国泰君安证券

18、研究 数据来源：信通院、中商产业研究院、国泰君安证券研究 1.3.政策东风频吹，助力市场扩容政策东风频吹，助力市场扩容 我国我国传感器传感器行业政策支持力度行业政策支持力度持续持续加大。加大。传感器作为工业控制系统、汽车电子等产品的核心关键部件之一，是实现工业转型升级的重要组成部2188.80 2484.30 2905.20 3096.90 3324.90 3732.70 13.50%16.94%6.60%7.36%12.27%0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%050002500300035004000200222023E2024E中

19、国传感器市场规模（亿元）YOY海外厂商：爱默生、海外厂商：爱默生、西门子、博世、意法半西门子、博世、意法半导体、霍尼韦尔导体、霍尼韦尔国内供应商：柯力传感、国内供应商：柯力传感、宇立仪器、坤维科技、宇立仪器、坤维科技、康斯特等康斯特等13%27%31%87%73%69%0%20%40%60%80%100%201620192020国内厂商国外厂商 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 6 of 55 分，在物联网、人工智能等各方面都有广泛应用。近年来国家相继推出一系列产业支持政策，有力推动了传感器行业的发展。表表 1：近年来近年来传感器传感器

20、行业支持政策密集出台行业支持政策密集出台 政策政策 颁布机构颁布机构 颁布时间颁布时间 主要内容主要内容 制造业可靠性提升实施意见 工信部等五部门 2023 年 6 月 重点提升电子整机装备用 SoC/CU/GPU 等高端通用芯片、氮化/碳化硅等宽禁带半体功率器件、精密光学元器件、光通信器件、新型敏感元件及传感器、高适应性传感器模组、北斗芯片与器件、片式阻容感元件、高速连接器、高端射频器件、高端机电元器件、LBD 芯片等电子元器件的可靠性水平。关于推动能源电子产业发展的指导意见 工信部等六部门 2023 年 2 月 加强面向新能源领域的关键信息技术产品开发和应用，主要包括适应新能源需求的电力电

21、子、柔性电子、传感物联、智慧能源信息系统及有关的先进计算、工业软件、传输通信、工业机器人等适配性技术及产品。研究小型化、高性能、高效率、高可靠的功率半导体、传感类器件、光电子器件等基础电子元器件及专用设备、先进工艺，支持特高压等新能源供给消纳体系建设。加快电力装备绿色低碳创新发展行动计划 工信部等五部门 2022 年 8 月 加速数字化传感器、电能路由器、潮流控制器固态断路器等保护与控制核心装备研制与应用加快数据中心。移动通讯和轨道交通等应用场景的新型配电装备融合应用与高度自治配电系统建设。关于推动轻工业高质量发展的指导意见 工信部等五部门 2022 年 6 月 加快关键技术突破。自行车变速器

22、、中置电机力矩传感器，高能效锂电池安全技术，机械手表机心精密制造工艺技术，智能手表用微型压力技术动态电子衡器、智能衡器、无线力与称重传感器动态质量测量技术等。计量发展规划（2021-2035 年）国务院 2022 年 1 月 加快量子传感器、太赫兹传感器、高端图像传感器，高速光电传感器等传感器的研制和应用。实施仪器设备质量提升工程,强化计量在仪器设备研发，设计，试验，生产和使用中的基础保障作用。建立仪器仪表计量测试评价制度。“十四五”机器人产业发展规划 工信部等15 部门 2021 年 12 月 研制三维视觉传感器、六维力传感器和关节力矩传感器等力觉传感器、大视场单线和多线激光雷达、智能听觉传

23、感器以及高精度编码器等产品，满足机器人智能化发展需求。“十四五”智能制造发展规划 工信部等八部门 2021 年 12 月 大力研发微纳位移传感器、柔性触觉传感器、高分辨率视觉传感器、成分在线检测仪器、先进控制器、高精度伺服驱动系统、高性能高可靠减速器、可穿戴人机交互设备工业现场定位设备、智能数控系统等。“十四五”数字经济发展规划 国务院 2021 年 12 月 增强关键技术创新能力，瞄准传感器、量子信息、网络通信、集成电路关键软件、大数据、人工智能、区块链、新材料等战略性前瞻性领域，发挥市场优势，提高数字技术基础研发能力。物联网新型基础设施建设三年行动计划（2021-2035 年）工信部等八部

24、门 2021 年 9 月 创新能力有所突破，高端传感器、物联网芯片、物联网操作系统、新型短距离通信等关键技术水平和市场竞争力显著提升 基础电子元器件产业发展行动计划（2021-2023 年）工信部 2021 年 1 月 重点发展小型化、低功耗、集成化、高灵敏度的敏感元件，温度、气体、位移、速度、光电、生化等类别的高端传感器，新型 MES传感器和智能传感器，微型化、智能化的电声器件。数据来源：各政府网站、国泰君安证券研究 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 7 of 55 2.力传感器：六维力矩传感器壁垒较高，性能较优力传感器：六维力矩传感

25、器壁垒较高，性能较优 2.1.力力/力矩传感器可精确测量力的大小力矩传感器可精确测量力的大小 力传感器是将力的值转换成电信号的元件。力传感器是将力的值转换成电信号的元件。重量、拉力、应力、扭矩均能够作为力传感器的输入量，经处理后输出为电信号，并将其传递至指示器、控制器或计算机等终端。与广义传感器类似，力传感器由力敏元件（即弹性体，常见的材料有铝合金，合金钢和不锈钢）、转换元件（最为常见的是电阻应变片）和电路部分（一般有漆包线，pcb 板等）组成，其中力敏电阻器是广泛运用的力敏元件。力敏电阻器通常包含导电聚合物薄膜（由亚微米尺寸的导电及非导电颗粒基质组成），其表面受力时接触传感器电极，并以可预测

26、的方式改变本身电阻，从而衡量受力数值。图图 11：力传感器检测力的大小力传感器检测力的大小 图图 12：力敏电阻器结构复杂力敏电阻器结构复杂 数据来源：IQSdirectory、国泰君安证券研究 数据来源：IQSdirectory、国泰君安证券研究 力矩传感器属于力传感器，力矩传感器使用应变计测量物体所受到的力力矩传感器属于力传感器，力矩传感器使用应变计测量物体所受到的力矩。矩。力矩是表示力对物体作用时所产生的转动效应的物理量，是传感器常见的力学输入量。按照是否涉及加速度，力矩又可分为静态力矩（不涉及加速度）和动态力矩（涉及加速度），静态力矩通常为未产生旋转的力矩，而动态力矩通常为产生旋转的力

27、矩。两种典型的力矩传感器设计是测量轴和测量法兰，均呈现轴体结构。力矩传感器通常装载有应变片，其由薄箔和连接到箔的电导体组成。当箔片以及导体形状发生变化时，电阻也会发生变化，从而揭示作用在应变片上的负载。如果外部负载作用于传感器，应变计会像弹簧元件一样产生形变，进而实现测量功能。图图 13：力矩传感器具有两种常见设计力矩传感器具有两种常见设计 图图 14：应变计发生形变后可对负载进行测量应变计发生形变后可对负载进行测量 数据来源：HBK World、国泰君安证券研究 数据来源：HBK World、国泰君安证券研究 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责

28、条款部分 8 of 55 根据压力原件的不同，可以将力传感器可分为应变式力传感器、光学式根据压力原件的不同，可以将力传感器可分为应变式力传感器、光学式传感器以及压电式力传感器等，其中压电式转换元件多应用在非六维力传感器以及压电式力传感器等，其中压电式转换元件多应用在非六维力传感器中。传感器中。1）应变式力传感器：）应变式力传感器：采用的是硅应变片或金属箔，压电式传感器可分为电容和压电两种，其原理都是转换元件应变片随力敏元件同时发生形变，导致自身电阻值、电压差、光栅变化，通过电信号反应力和力矩的改变。硅应变片能够保持高刚度、稳定性和信噪比，具有最优的性能水平，缺点则是成本较高、制作工艺复杂；2）

29、光学式元件：）光学式元件：测量范围较广、抗电磁干扰能力强，但缺点是刚性偏弱，并且对环境的要求较高；3）压电）压电/电容式元件：电容式元件：拥有高灵敏度和高分辨率，并且环境适用性较强，但缺点是电路复杂，信号漂移难以抑制。图图 15：不同类型传感器性能各异不同类型传感器性能各异 数据来源：ATI、国泰君安证券研究 表表 2：不同转换元件类型力传感器测量原理存在差异：不同转换元件类型力传感器测量原理存在差异 类型类型 测量原理测量原理 应变片 应变片形变后自身电阻值变化 光学式 转换元件形变后通过光栅反映形变 电容式 形变后极距的变化导致电压变化 压电式 形变后改变电荷 数据来源：ATI、国泰君安证

30、券研究 2.2.六维力矩传感器为力控最优方案，技术壁垒高筑六维力矩传感器为力控最优方案，技术壁垒高筑 按测量方向分类，六维力矩传感器是其中性能最优、力觉信息最全面的按测量方向分类，六维力矩传感器是其中性能最优、力觉信息最全面的力矩传感器。力矩传感器。在指定的直角坐标系内，六维力矩传感器能够同时测量沿三个坐标轴方向的力（F、FY、FZ）和绕三个坐标轴方向的力矩（MX、MY、MZ）。六轴力传感器一般分成固定端（机器人端）和加载端（工具端）。两端相对受力时，传感器发生弹性变形，传感器内部的应变计电阻发生变化，进而转换成电压信号输出。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读

31、正文之后的免责条款部分 9 of 55 图图 16：六维力矩传感器是维度最高的力矩传感器六维力矩传感器是维度最高的力矩传感器 数据来源：宇立仪器官网 在精确测量的要求下，六维力矩传感器是最佳选择。在精确测量的要求下，六维力矩传感器是最佳选择。若如果力的方向和作用点固定，则可选用一维力传感器；若力的方向随机变化，但作用点保持不变且与传感器的标定参考点重合，则可选用三维力传感器；若力的方向和作用点都在三维空间内随机变化，则应选用六维力传感器进行测量。高精度的六维力矩传感器能够解耦各方向力和力矩间的干扰，使力的测量更为精准，并能利用力矩信息来推算获取受力部件的姿态，监测力矩是否在安全范围内，有效避免

32、传感器的过载损坏。图图 17：六维力矩传感器是精确测量要求下最优选择：六维力矩传感器是精确测量要求下最优选择 数据来源：坤维科技官网，国泰君安证券研究 力传感器应用广泛，人形机器人配置较多。力传感器应用广泛，人形机器人配置较多。力传感器广泛应用于工业、航空航天、汽车、医疗设备等领域。在机器人领域，力传感器可用于实时测量机器人关节所受到的力，并实现主动力输出控制，在高复杂度工作、协调作业等场景扮演重要角色。机器人中的力传感器主要有关节部位的单轴力矩传感器和机器人执行器末端的六轴力传感器，测量机器人内部受力情况，以及末端执行器与外界环境交互的受力情况。六维力矩传感器具有多元的工业应用场景，主要包含

33、打磨、精密装配、医疗、特种作业、测试等涉及接触操作、需要多维力感知的场景，其中机器人领域的应用较多，是六维力/力矩传感器的核心应用领域。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 10 of 55 图图 18：六维力矩传感器应用场景多样：六维力矩传感器应用场景多样 数据来源：MIR 睿工业 机器人运动的高精度控制对六维力矩传感器带来需求。机器人运动的高精度控制对六维力矩传感器带来需求。协同机器人末端关节上的六维力传感器通常还需要与研磨头、夹爪等执行器相连，执行器工作过程中的力臂从数十毫米到三百毫米不等，力臂较大且随机变化，所以通常采用六维力传感器

34、实现高精度控制。在人形机器人中，通常将力/力矩传感器安装在脚掌与踝关节之间和机械手与腕关节之间，以提供更加全面的力觉感知。图图 19：六维力矩传感器可用于协作机器人末端关节六维力矩传感器可用于协作机器人末端关节 图图 20：机器人脚踝、灵巧手可安装六维力矩传感器机器人脚踝、灵巧手可安装六维力矩传感器 数据来源：坤维科技官网 数据来源：Aidin Robot 官网、国泰君安证券研究 多维力传感器小型化是未来重要发展趋势。多维力传感器小型化是未来重要发展趋势。为兼顾多维力传感器的小型化和高性能，目前能够采取的主要途径是选用小尺寸（或体积）的敏感元件，从而缩小传感器结构尺寸。基于压阻效应的敏感元件（

35、如硅应变计等）多采用半导体材料和加工工艺，在体积、性能和成本等方面具有显著优势，已成为实现多维力传感器小型化的重要技术途径之一。将半 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 11 of 55 导体硅应变计应用于实现多维力传感器的小型化涉及特定技术问题：硅应变计设计与其贴片工艺需满足多维力传感器的设计使用要求。目前主流商业化压力传感器多采用（集成式）硅应变计目前主流商业化压力传感器多采用（集成式）硅应变计。国内传统硅应变计的制造工艺一般是在 P 型硅片衬底上采用扩散法或离子注入法掺杂N 型杂质形成压敏电阻，并通过光刻、腐蚀、引线键合等工艺形成应

36、变计，但易造成应变计批次间较大的阻值差异。多维力传感器采用的应变计较多，对一致性有的更高需求，较差的一致性则会导致不同桥路（分量力）的零点输出差异较大，不利于其后续的温度及解耦信号处理与补偿，并阻碍传感器的批量生产。对于贴片工艺，传统力传感器通常使用有机粘接剂（硅胶、环氧等）将金属（或半导体）应变计粘接在传感器弹性元件上，是目前最常见的传感器贴片材料。图图 21：传统硅应变计（左）与集成式硅应变计（右）传统硅应变计（左）与集成式硅应变计（右）存在差异存在差异 数据来源：多维力传感器研究现状及其小型化存在的问题与对策 六维力矩传感器技术壁垒极高，涵盖多个方面。六维力矩传感器技术壁垒极高，涵盖多个

37、方面。六维力传感器除了形态多，研发难度也较大，其非线性力学特征明显，要考虑多通道信号的温漂、蠕变、交叉干扰、数据处理的实时性、加载标定的复杂性等，技术壁垒主要在结构解耦设计、解耦算法、标定与校准等方面。图图 22：六维力矩传感器技术壁垒高筑六维力矩传感器技术壁垒高筑 数据来源：蓝点触控官网 结构解耦设计为重要壁垒。结构解耦设计为重要壁垒。力敏感元件的形式和布置直接影响传感器的灵敏度、刚度、动态性能、维间耦合等，很大程度上决定传感器性能的优劣。常见的结构设计包括竖梁、横梁等一体化结构以及 Stewart 并联平台。竖梁结构横向效应好、结构简单、承载能力强，但竖向效应差、维间干扰大、灵敏度较低；十

38、字横梁结构灵敏度高、易加工，易于标定，行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 12 of 55 但存在维间耦合和径向效应；Stewart 平台中弹性体采用复合式结构，该类传感器具有结构紧凑、承载能力强、误差不累积等优点。贴片位置调整和电桥组桥设计进一步消除耦合。特殊的结构设计能够大大地降低力敏元件的耦合变形，但其结构上的连续性导致结构耦合变形没有办法完全避免，因此还需要通过贴片和组桥来进一步消除耦合贴片。图图 23：六维力矩传感器结构设计多样六维力矩传感器结构设计多样 数据来源：一种低耦合高精度六维力矩传感器设计及应用 解耦算法，会解耦各方向

39、力和力矩间的干扰，使力的测量更为精准。解耦算法，会解耦各方向力和力矩间的干扰，使力的测量更为精准。六分力传感器中六个通道中的每一个通道中的输入信号都会对其他通道的输出信号造成影响，解耦就是要在一定程度上减小或消除耦合干扰。一般消除耦合或者抑制耦合可以从两个方向来做，第一种是在生产传感器之前进行的工作，一般叫做结构解耦，即从传感器的设计上来消除或者抑制耦合；第二种则是利用系统性的数学模型，要矩阵解耦，运用数字信号处理的方法来减少或者消除传感器的维间耦合该方法对制作工艺要求比较低，比较容易达到，且还能取得很好的效果。标定与检测可校准传感器精度。标定与检测可校准传感器精度。通过加载理论值的载荷并同时

40、记录传感器输出的对应原始信号的方式，建立传感器原始信号和受力之间的映射关系，获得解耦算法的数学模型和参数。在完成标定以后，通过加载已知理论真值的载荷并同时记录传感器测量结果的方式进行检测，统计、比较测量结果和理论真值的差异，获得传感器的精度和准。简单说，标定是获得传感器固件参数，检测是获得传感器的精准度。2.3.六维力矩传感器市场规模高速增长，国产厂商持续发力六维力矩传感器市场规模高速增长，国产厂商持续发力 力传感器市场空间较大，六维力传感器市场规模有望高速增长。力传感器市场空间较大，六维力传感器市场规模有望高速增长。根据贝哲斯咨询数据，2022 年全球力和力矩传感器市场规模为 572.4 亿

41、元，预计2028年将达到804.83亿元人民币，2022-2028年CAGR预计为5.84%。其中六维力矩传感器市场规模有望高速增长，2022 年中国人形机器人市场对六维力矩传感器需求量为 8360 套，市场规模约为 1.56 亿元，随着人形机器人加速发展，六维力矩传感器市场规模有望高速增长。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 13 of 55 图图 24：2022 年全球力和力矩传感器市场规模为年全球力和力矩传感器市场规模为 572.4 亿元亿元 数据来源：贝哲斯咨询，国泰君安证券研究 图图 25：全球机器人对六维力传感器需求增长：全球

42、机器人对六维力传感器需求增长 图图 26：中国机器人六维力传感器市场规模增长中国机器人六维力传感器市场规模增长 数据来源：GGII、国泰君安证券研究 数据来源：GGII、国泰君安证券研究 力控传感器领域国内外龙头差距较大，国内宇立和坤维相对领先。力控传感器领域国内外龙头差距较大，国内宇立和坤维相对领先。根据高工机器人数据，2022 年中国力传感器市场依然以外资品牌为主导，国产份额低于 30%，国内厂商主要有宇立仪器（未上市）、坤维科技（未上市，航天级技术）、柯力传感（布局高端力矩传感）、东华测试（力传感器技术领先）等，国外主要有 ADI、ST 以及 TDK 等。表表 3：国内六维力矩传感器厂商

43、较少：国内六维力矩传感器厂商较少 公司名称公司名称 相关布局相关布局 东华测试 深耕结构力学性能测试分析，力传感器技术国内领先 柯力传感 布局高端力矩传感 坤维科技 航天级技术赋能民用级产品，致力于提供高精度力觉传感器（六轴力传感器）及力控解决方案 宇立仪器 产品覆盖从一维力传感器到六维力传感器，共计9 大系列，300 多个型号 海伯森技术 视觉传感器产品销售占比较多，而六维力传感器572.40 804.83 0050060070080090020222028市场规模（亿元）459 656 922 1457 2977 8360 42.9%40.5%58.0%104.3%1

44、80.8%0%20%40%60%80%100%120%140%160%180%200%004000500060007000800090002002020212022全球机器人市场对六维力传感器需求量（套）YOY21 28 36 53 101 156 33.3%28.6%47.2%90.6%54.5%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%020406080020022中国机器人市场六维力传感器规模（百万元）YOY 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的

45、免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 14 of 55 产品的销售仅占总销售量的 15%左右 鑫精诚传感器 客户仍集中在手机等 3C 行业 神源生智能 研发团队来自南航 瑞尔特测控 主要应用在称重环节中，售价相对较低 数据来源：各公司官网，国泰君安证券研究 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 15 of 55 3.柔性传感器：电子皮肤或为触觉传感终极方案柔性传感器：电子皮肤或为触觉传感终极方案 3.1.柔性传感器由柔性基底、薄膜材料等组成柔性传感器由柔性基底、薄膜材料等组成 柔性传感器是由柔性材料制成的传感器，可用于多种特定场景。

46、柔性传感器是由柔性材料制成的传感器，可用于多种特定场景。柔性材料与刚性材料相对应，具有柔软、低模量、易变形等属性，对应制成的柔性传感器则具有良好的柔韧性、延展性，可自由弯曲或者折叠，结构形式灵活多样，且在弯曲和伸展的形态下仍能表现出良好的导电性和响应性。得益于其优秀的性能，柔性传感器已成为现代柔性电子产品的重要组成部分，广泛运用于电子皮肤、医疗保健、电子电工、运动器材、纺织品、航天航空、环境监测等下游领域。图图 27：基于纳米材料的柔性传感器应用领域广泛基于纳米材料的柔性传感器应用领域广泛 数据来源：Emerging flexible sensors based on nanomaterial

47、s:recent status and applications、四川大学 柔性传感器主要由柔性基底、薄膜材料及电极组成。柔性传感器主要由柔性基底、薄膜材料及电极组成。1）柔性基底：）柔性基底：常用柔性传感器多采用 PI（聚酰亚胺）、PET（聚酯）或PEN（聚萘二甲酯乙二醇酯）等作为器件的柔性基底。PI 是综合性能最佳的有机高分子材料之一，具有很好的机械性能，抗张强度均在 100MPa以上，介电常数不高于 3.5（经特殊处理后可抵御 2.5），耐温点达 250且可长期使用，并具有优秀的耐辐射、耐化学药品性能；PET 是一种饱和的热塑性聚合物，长期使用温度可达 120，具有很好的光学性，优良的磨

48、耗摩擦性、尺寸稳定性和电绝缘性，且耐油、脂肪、稀酸/碱，价格低、产量大、机械性能佳；PEN 是一种新兴优良聚合物，比 PET 具有更高的物理机械、气体阻隔和耐热性能，长期使用温度高达 160，且具备耐紫外线、耐辐射性能。通常会选择天然橡胶和环氧树脂来保护纳米结构并改善界面黏合性能。2）薄膜材料：）薄膜材料：通常是柔性传感器的敏感材料，根据被测量信息的不同需求可采用金属、导电氧化物、纳米复合材料等。金属薄膜能够保留基底的柔性特性，也可明显改变其表面特性；透明导电氧化物（TCO）薄膜兼顾可见光范围光学透明性和良好的导电性，具有可折叠、重量轻、易运输和大规模生产等优点，其中铟锡氧化物（ITO）较为常

49、用（具有高可见光透射率、高红外反射率和低电阻率），镓或铝掺杂 ZnO（GZO 或AZO）也被广泛研究和应用；纳米材料最初以超微颗粒形式在传感器上 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 16 of 55 使用，近年来逐渐拓展到低维材料和阵列材料，如碳纳米粉复合膜、碳纳米管复合膜、碳纳米管/炭黑/硅橡胶复合阵列等。3）电极材料：）电极材料：除少部分柔性传感器薄膜材料与电极为一体外，电极材料也为柔性传感器的主要构件，其根据使用要求不同采用不同的材料及制作工艺，包括碳材料（石墨烯、碳纳米管、碳纤维等）、金属纳米线（银纳米线、铜纳米线等）及导电聚合物

50、（聚苯胺等）等，其中碳基纳米材料发展前景表现突出，其通常与各种聚合物结合，以获得柔性和稳定的应变传感器。图图 28：柔性传感器典型设计由柔性基底、薄膜材料、电极材料组成柔性传感器典型设计由柔性基底、薄膜材料、电极材料组成 数据来源：常用新型柔性传感器的研究进展 相比普通传感器，柔性传感器性能更加优越。相比普通传感器，柔性传感器性能更加优越。普通传感器硬脆的性质使其难以进行弯曲和延展，测量范围也因此受限；柔性传感器借助于碳纳米管、石墨烯、高分子膜、高分子电解质和有机聚合物等性能优越的材料，能够极大提高延展性及其他性能，适应复杂的不平整表面。表表 4：柔性传感常用材料性能优越：柔性传感常用材料性能

51、优越 种类种类 常用常用材料材料 可实可实现的现的柔性柔性 工艺工艺水平水平 适用范围适用范围 优点优点 缺点缺点 普通传感器 金属材料 约 5%-10%完善 机械、电磁传感器 导电性好、耐磨损、高温力学性能好 易氧化、刚性材料不易弯曲 陶瓷材料 0%-1%完善 气敏、湿敏、热敏、红外敏等传感器 高硬度、高强度、价格低廉、耐腐蚀、耐高温、抗氧化 弹性模量高、无塑性、易断裂 柔性传感器 半导体材料 20%-80%较为完善 力敏、热敏、光敏、磁敏、射线敏等传感器 特殊环境与信号的测量范围扩大，拉、压、弯和扭等变形下能保持良好的性能,良好的便携性和适应性 相对介电常数、压电系数等较小，使用时限偏低,

52、成本偏高 有机材料 相对不成熟 气敏、热敏、力敏、湿度、气体、离子、有机分子等传感器 数据来源：常用新型柔性传感器的研究进展、国泰君安证券研究 柔性传感器根据信号转换机理可分为主要分为柔性传感器根据信号转换机理可分为主要分为 3 大类：电容式、电阻式大类：电容式、电阻式 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 17 of 55 和压电式。和压电式。1）电容式柔性传感器：）电容式柔性传感器：感受到外界压力时，电极板间的电容值会发生变化，从而引起其他电信号的变化，从而通过测量电信号的变化计算出外力的大小。一般电容式柔性传感器是在柔性电极中间加上一

53、层具有微结构的介质材料，介质层在受到外界压力作用下，微结构会发生比较明显的变化，引起介质材料的介电特性发生变化，导致电容值产生较为明显的变化。电容式柔性传感器一般通过改变介质层的材料或进行相关的结构修饰，再或者将柔性基底与高介电常数的物质进行复合，来提高灵敏度。2）电阻式柔性传感器：电阻式柔性传感器：工作原理是把外界施加的压力值转化为电阻或者电流值的器件。根据其工作原理的不同分为应变式和压阻式。应变式柔性传感器受到外界压力被拉伸或者压缩时，导体的横截面积变化，导电的区域也发生变化，从而导致电阻发生变化；压阻式柔性传感器是基于压阻效应的传感器，当受到外界压力作用时，导体材料的电导率会随着自身的一

54、些微小改变而发生变化。3）压电式柔性传感器：压电式柔性传感器：是基于压电材料的压电效应的原理而设计的传感器。所谓压电效应是指某些电介质在受到某一方向的外力作用而发生形变（包括弯曲和伸缩形变）时，内部就产生电极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷。当外力撤去后，电介质又恢复到不带电的状态；当外力作用方向改变时，电荷的极性也随之改变，电介质受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。在此过程中，通过电流的大小可以计算外力的大小。图图 29：电容式、电阻式及压电式柔性传感器结构电容式、电阻式及压电式柔性传感器结构 数据来源：柔性传感器研究现状与进展 3.2.电子皮肤有望向感知压力、温度等多种信号发

55、展电子皮肤有望向感知压力、温度等多种信号发展 电子皮肤（电子皮肤（E-skin）是柔性传感器的重要应用。）是柔性传感器的重要应用。皮肤是最重要的人体器官之一，具有延展性、自愈性、高机械韧性等特征，可以对各种形状和纹理、温度变化以及接触压力等进行感知，而模仿人类皮肤的特征以及具备相似感知功能的设备通常被称为电子皮肤。与人类皮肤相似，电子皮肤具有柔韧、舒适、安全等特点，被视为未来电子技术的新兴发展方向，在人形机器人触觉方案中得到较多关注。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 18 of 55 图图 30：电子皮肤能够感知压力电子皮肤能够感知压力

56、 数据来源：多维感知柔性电子皮肤的发展现状 电子皮肤一般由电极、介电电子皮肤一般由电极、介电材料、活性功能层、柔性基材组成。材料、活性功能层、柔性基材组成。当感受到外界压力时，活性功能层将应变、湿度、温度等信号转换为可探测的电信号，并在功能层两侧的电极层完成接收和传输，最终传递至目标区域，从而实现“触觉”传输。柔性基材能够承载电子皮肤，并确保其与生物皮肤等材料的相容性，优良的柔性材料能够给传感器提供高灵敏度、宽传感范围、高动态响应和高重复性。图图 31：全柔性触觉压力传感器的结构机理全柔性触觉压力传感器的结构机理 数据来源：高灵敏度柔性电子皮肤的研究与应用进展 电子皮肤具有四大特性：可拉伸性、

57、自愈合性、生物相容性及生物降解电子皮肤具有四大特性：可拉伸性、自愈合性、生物相容性及生物降解性。性。1）可拉伸性：）可拉伸性：在多种机械应力的作用下，电子皮肤将在不同方向上发生形变。提升电子皮肤可拉伸性主要有两种技术路径材料创新（开发单一或聚合形式的可拉伸新型材料来制造电子皮肤）或结构设计（改造脆性材料制的结构，使其能够吸收施加的应变）。在材料创新方面在材料创新方面，以下几种材料通常被纳入考虑范围：水凝胶水凝胶：由水 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 19 of 55 等混合溶剂作为分散剂的三维网状凝胶，具有良好的可拉伸性、自修复能力、

58、生物相容性和离子导电率，经改造可获得较高的机械性能，但稳定性较差，开发具有高稳定性、耐冻性的水凝胶是当前研究重点；液液态金属态金属：液态金属具有优秀的导电性及可变形能力，其中镓及其合金因其低毒性和高导电率在电子皮肤领域得到了广泛的应用。其缺点在于表面张力较高，难以加工并与其他材料兼容，需要通过界面材料改性克服；导电聚合物导电聚合物：聚合物是绝大多数柔性电子设备的基本组成单元，选用本征导电的聚合物作为构筑基元，可同时实现柔韧性、导电性及较好的机械性能。目前已成功应用于电子皮肤制备的聚合物材 料 包 括PEDOT:PSS、聚吡咯、聚乙炔、聚噻吩等；纳米材料纳米材料：基于纳米材料的可拉伸导体通过在可

59、拉伸的聚合物基体中混合导电填料在弹性体中形成渗透网络，从而为复合材料提供电流通路，且其外形薄，具有卓越的机械顺从性，在柔性电子设备领域具有巨大的应用前景。常用的纳米填料有零维纳米颗粒、具有高纵横比的一维纳米线以及具有较大表面积的二维纳米片；高分子聚合物如降解塑料、聚二甲基硅氧烷和聚乙烯醇等通常被用作弹性基底，为渗透网络赋予可拉伸性。图图 32：用于电子皮肤的材料类型用于电子皮肤的材料类型 数据来源：电子皮肤研究进展：材料、功能与应用 在结构设计在结构设计方面方面，通常考虑以下几种结构：波形结构波形结构：通过施加预应力对平面结构的基材进行预拉伸，修饰好所需的活性材料后再释放预应力，从而将上层的导

60、电或活性材料层改造为波浪结构，使得其形变时能够释放部分压力，缺点是该结构可提供的拉伸性极其有限；岛岛-桥结构桥结构：由导电线路（桥）及固定位置的功能性元器件（岛）组成，其中蛇形结构较为常见，其形状简单、易于加工，可实现电子皮肤的高可拉伸性；折纸折纸/剪纸结构剪纸结构：折纸包含预先布置的折叠结构，能够有效地减缓其在折叠、弯曲、拉伸等过程中所产生的应力变化，从而提供高通用性、大变形性和与刚性电子相当的性能；剪纸结构将平面结构转化规则排列的镂空结构，是基材能够充分释放形变中产生的应力，实现更强的可拉伸形变能力；织物结构织物结构：织物大多数由高分子材料组成，天然具有优异的力学性能，只需要辅以合适的导电

61、及其他功能性材料，即可构建优异的柔性电子产品。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 20 of 55 图图 33：电子皮肤结构设计多样电子皮肤结构设计多样 数据来源：电子皮肤研究进展：材料、功能与应用 2）自愈合性：）自愈合性：当材料遭受损伤时，其内部化学键发生断裂，而这些动态的化学键（氢键、二硫键、金属配位键等）通过扩散发生重组，从而实现自修复。目前自愈合材料的研究重点聚焦于开发具有延展性和自愈合性的高分子材料，这类材料在电子皮肤领域具有广阔的应用前景。图图 34：电子皮肤的自修复性电子皮肤的自修复性 数据来源：电子皮肤研究进展：材料、功

62、能与应用 3）生物相容性及生物降解性：）生物相容性及生物降解性：电子皮肤的应用场景通常与生物界面紧密相关，而生物相容性是避免引发免疫反应的重要性质。目前开发生物兼容和生物可降解装置的相关研究已有重大进步，使电子皮肤的应用更加稳定。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 21 of 55 图图 35：电子皮肤的生物相容性和生物降解性电子皮肤的生物相容性和生物降解性 数据来源：电子皮肤研究进展：材料、功能与应用 机器感知是电子皮肤在机器人领域的重要应用。机器感知是电子皮肤在机器人领域的重要应用。诸如智能类人机器人和假肢机器人的设计目标是实现精准的

63、类人操作，需要实现高精度的集成感测功能，因此相应的柔性电子皮肤需要考虑以下几个方面的需求：对多个机械刺激和触觉反馈进行实时检测；集成多功能传感器，可检测温度、湿度、硬度等多种参数；人机界面的无线信号传输和控制。目前的研究方向需聚焦于可部署的、高分辨率的传感器皮肤、能够高效处理密集传感器信息的算法以及机器人的高精度反馈控制，最终目标是让机器人实现高度类人的感知能力和触摸能力。图图 36：用于机器感知的电子皮肤用于机器感知的电子皮肤 数据来源：电子皮肤研究进展：材料、功能与应用 为实现或超越人体皮肤的感知能力，目前的电子皮肤已经向多模式复合为实现或超越人体皮肤的感知能力，目前的电子皮肤已经向多模式

64、复合方向发展。方向发展。已有的一种智能集成的多层纳米纤维结构仿生多功能柔性传感器可同时检测压力、湿度和温度信号，该电子皮肤由四部分组成：第一层为压力感应层；第二层为温度传感层；第三层用于湿度检测；第四层采用摩擦电采集系统收集生物力学能量，并为温度和湿度传感提供能量。温度传感层以多壁碳纳米管和 PEDOT:PSS 作为导电材料，湿度传感层则以酸化碳纳米管为导电材料。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 22 of 55 图图 37：可同时检测压力、湿度和温度信号的三模式电子皮肤结构可同时检测压力、湿度和温度信号的三模式电子皮肤结构 数据来源：

65、不同模式多功能柔性传感器研究进展 现有的多维电子皮肤除常规的压力现有的多维电子皮肤除常规的压力/应变、温度感知外，还可实现对微弱应变、温度感知外，还可实现对微弱气体、气体、pH 及葡萄糖等刺激的感知。及葡萄糖等刺激的感知。下图（a）中的传感器通过静电纺丝技术，将离子液体/热塑性聚氨酯离子凝胶纳米纤维制成纤维薄膜。随着温度的升高，离子的迁移率加速，因此传感器具有高灵敏的温度、压力感应能力；下图（b）中的传感器将沉积在柔性聚酰亚胺衬底上的热敏铂薄膜用于模拟人体皮肤感知，其被设计成多个条带形成阵列并配置了多感知的传感元件，整合了感知机械和热刺激、区分物质类型和感知风的多种感知能力；下图（c）中的传感

66、器整合了 Ag NWs、PPGPUU 和 CB复合材料的电阻式传感器及碳纳米管等，实现了在普通环境及水下的温度、压力和 pH 水平高感知能力；下图（d）中的两性离子皮肤传感器系统基于两性离子-葡萄糖敏感的皮肤状水凝胶，能够在没有信号干扰的情况下监测和区分压力、温度、葡萄糖浓度信号。图图 38：具有压力具有压力/应变应变-温度温度-其他信号监测能力的三模式电子皮肤其他信号监测能力的三模式电子皮肤 数据来源：不同模式多功能柔性传感器研究进展 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 23 of 55 电子皮肤大规模量产仍有几大技术难度亟需突破。电子

67、皮肤大规模量产仍有几大技术难度亟需突破。1）制造工艺有待简化。）制造工艺有待简化。为满足电子皮肤可弯曲性和延展性的需要，电子皮肤的电路大多采用蛇形几何结构，并使用转印技术将电路组装到弹性基底上，缺点是该工艺设计繁琐，且通常需要专门的洁净室，成本很高。电子打印技术（3D 打印和喷墨打印等）有望简化相应的制造流程，并具有成本低廉、可扩展生产等优势，但在柔性基材上印刷仍然存在技术性挑战，有待进一步优化。2）多功能检测能力有待提升。）多功能检测能力有待提升。目前多功能电子皮肤设备的应用规模有限，尤其是集成物理和化学信号的检测功能。为了实现对生物皮肤的高度模仿，同时获取各种形式的数据在先进水平的电子皮肤

68、应用中十分重要，并能根据不同形式的信息得到更加准确的分析结果。3）有待集成更多智能模块。）有待集成更多智能模块。目前的电子皮肤只具备初级信号处理能力，在面对大数据和复杂算法时通常需要借助外部设备帮助。若传感器内能够集成计算能力更强的小型化智能模块，则有望消除对外部刚性设备的依赖，提升电子皮肤柔性水平，并实现高精度的分析和控制。4）柔性集成芯片有待进一步发展。）柔性集成芯片有待进一步发展。在集成度较低的水平下，现有电子皮肤需依赖刚性集成芯片以实现复杂动作，因此牺牲柔性和拉伸性，并且刚柔结合部位因材料杨氏模量差别较大，会导致器件整体的抗疲劳性下降，工作状态不稳定。因此，混合电子皮肤的刚柔结合策略亟

69、待优化，以及柔性集成芯片的研发以期实现多功能的全柔性电子皮肤。3.3.柔性传感市场空间巨大，国产厂商积极布局柔性传感市场空间巨大，国产厂商积极布局 柔性传感器市场空间巨大。柔性传感器市场空间巨大。据弗若斯特沙利文数据，2022 年全球柔性电子市场规模已达 586.2 亿美元，预计 2025 年市场规模将达到 3049.4 亿美元，2023-2025 年内的 CAGR达到 70.17%。随着人形机器人加速发展，柔性电子市场有望快速增长。图图 39：全球柔性电子市场规模全球柔性电子市场规模 数据来源：弗若斯特沙利文，华经产业研究院，国泰君安证券研究 柔性传感器市场竞争日趋激烈。柔性传感器市场竞争日

70、趋激烈。目前我国柔性传感器行业涌现出了大量的企业，企业数量众多，形成了相对分散的竞争格局。中国柔性传感器企业的技术水平存在一定差异，国内主要厂商有：汉威科技、柔宇科技、1.42 10.75 29.33 58.62 105.30 175.93 304.94 657.04%172.84%99.86%79.63%67.08%73.33%0%100%200%300%400%500%600%700%0500300350200222023E2024E2025E全球柔性电子市场规模（十亿美元）YOY 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必

71、阅读正文之后的免责条款部分 24 of 55 上海思澄等。表表 5：柔性传感器厂商持续发力：柔性传感器厂商持续发力 公司名称公司名称 竞争优势竞争优势 柔宇科技 多项自主知识产权传感器由柔性显示技术衍生而来，具有良好的传感性能，同时兼备极佳的柔韧性，柔宇科技的柔性传感器可应用于移动终端智能交通、智能家居、运动时尚、办公教育、文娱传媒等众多领域 上海思澄智能科技有限公司 长期钻研柔性织物传感器理论与技术，丰富的织物材料与工艺设计经验，专业的光纤及织物传感器技术应用经验;持有多项织物及光纤传感器技术专利 汉威科技（旗下子公司苏州能斯达）专注于柔性微纳传感技术的研发和产业化，目前已形成了自主知识产权

72、的多品种、多量程的柔性微纳力学量传感器(压力、压电、应变)及阵列的核心设计能力、敏感材料及导电墨水合成制备能力大面积印刷电子批量制造能力等核心能力，解决了柔性微纳传感器灵敏度低、稳定性差和规模化制造难等关键技术难题，实现了柔性微纳传感器在消费电子、健康医疗、IOT 等战略新兴产业中的应用，在柔性传感器产业化方面具有国际领先水平。数据来源：智研咨询、国泰君安证券研究 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 25 of 55 4.MEMS 传感器：微型化契合人形机器人需求传感器：微型化契合人形机器人需求 4.1.MEMS 传感器可分为惯性传感器、

73、压力传感器等传感器可分为惯性传感器、压力传感器等 MEMS 产品具有高集成产品具有高集成、微微型化型化、智能化智能化、低功耗低功耗等特点，在人形机器等特点，在人形机器人领域拥有广阔的应用空间。人领域拥有广阔的应用空间。MEMS（Micro Electromechanical System）是指利用硅基半导体制造工艺将微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源集成于一体的微型机电系统。基于 MEMS工艺制造的芯片具有低功耗、微型化、智能化、高集成度以及可大批量生产等特点，能够满足人形机器人对于传感器微型化、低功耗以及低成本的需求，因而在人形机器人领域拥有广阔的应用空间。图图

74、40：MEMS 传感器可测量压力、温度等传感器可测量压力、温度等 资料来源：芯动联科招股说明书，国泰君安证券研究 半导体行业经营模式主要分为半导体行业经营模式主要分为 IDM 和和 Fabless，MEMS 行业行业 Fabless 模模式有其特殊之处。式有其特殊之处。MEMS 行业 Fabless 模式的特殊之处在于：晶圆代工厂在制造基于 CMOS 工艺的集成电路产品上有较多的技术积累，因此大规模集成电路的设计企业只需要负责芯片的研发与销售，但是由于MEMS 产品的技术工艺具有非标化的特点，一款 MEMS 芯片通常需要对应一套加工工艺方案，所以 MEMS 芯片设计企业需要深度参与第三方制造企

75、业的工艺开发和持续优化调整的过程。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 26 of 55 图图 41：MEMS 产业链包括芯片设计、晶圆制造等环节产业链包括芯片设计、晶圆制造等环节 资料来源：敏芯股份招股说明书，国泰君安证券研究 MEMS 行业需要跨学科知识与技术的综合运用，行业需要跨学科知识与技术的综合运用，MEMS 芯片各环节均芯片各环节均需技术积累。需技术积累。MEMS 产品的研发与设计需要机械、电子、材料、半导体等跨学科知识以及机械制造、半导体制造等跨行业技术的积累和整合。在芯片设计环节，MEMS 传感器设计厂商需要考虑温度、应力、

76、生产工艺带来的偏差等因素对产品性能、品质的影响，在芯片设计环节通过MEMS 芯片内部结构的空间排布来抵消部分偏差；在晶圆制造环节，由于一般晶圆代工厂缺乏成熟的 MEMS 工艺模块，需要 MEMS 设计企业与晶圆代工厂基于既有平台共同开发适合自身产品的生产工艺，来提升产品批量化生产的稳定性；在封装测试环节，封装结构需要在保护内部结构的同时，实现芯片内部与外部的信号交互，而测试环节需要公司根据产品应用领域和性能需求的不同，设计不同的测试卡控机制，以完成对规模量产前的品质管控。全球全球 MEMS 市场有望持续增长，国内市场有望持续增长，国内 MEMS 市场增速高于全球市场。市场增速高于全球市场。根据

77、 Yole Intelligence 的数据，2027 年全球 MEMS 市场规模有望达到222.53 亿美元，2018-2027 年复合年均增长率为 9.30%。根据中商产业研究院的数据，2023 年国内 MEMS 市场规模有望达到 1132 亿元，2018-2023 年复合年均增长率高达 17.47%，高于全球 MEMS 市场增速。（根据 Yole Intelligence 的数据，2018-2023 年全球 MEMS 市场复合年均增长率为 9.47%）行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 27 of 55 图图 42：全球：全球 ME

78、MS 市场有望持续增长市场有望持续增长 图图 43：国内：国内 MEMS 市场增速高于全球市场市场增速高于全球市场 资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券研究 资料来源：中商产业研究院，国泰君安证券研究 MEMS 产品应用领域丰富，惯性、压力等传感器属于重要产品。产品应用领域丰富，惯性、压力等传感器属于重要产品。根据敏芯股份招股说明书，MEMS 传感器可以分为惯性传感器、压力传感器、声学传感器、环境传感器以及光学传感器。根据 Yole Development 发布的Status of the MEMS Industry 2021，2020 年惯性、射频、压力、声学、流量控制

79、、光学、红外等七大类 MEMS 传感器在整个 MEMS 传感器市场总量的占比分别为 29%、21%、19.2%、10.6%、9.4%、5.4%、4.5%，MEMS 惯性传感器、压力传感器与声学传感器作为可以应用于人形机器人的重要传感器，均在 MEMS 传感器市场中占据了重要地位，三者合计占比达到了 58.8%。表表 6:MEMS 产品类别较多产品类别较多 类别类别 领域领域 主要产品主要产品 MEMS传感器 惯性传感器 加速度计、陀螺仪、磁传感器、惯性传感组合 压力传感器 压力传感器 声学传感器 微型麦克风、超声波传感器 环境传感器 气体传感器、湿度传感器、颗粒传感器、温度传感器 光学传感器

80、傅里叶变换红外光谱、指纹识别、被动红外及热电堆、高光谱、环境光、三原色、微辐射热计、视觉、三维视觉 MEMS执行器 光学 MEMS 微镜、自动聚焦、光具座 微流控 喷墨打印头、药物输送、生物芯片 射频 MEMS 开关、滤波器、谐振器 微结构 微针、探针、手表元件 微型扬声器 微型扬声器 超声指纹识别 超声波指纹识别 资料来源：敏芯股份招股说明书，国泰君安证券研究 99.94 105.46 115.48 135.95 147.50 157.12 170.63 188.56 204.25 222.53 5.52%9.50%17.73%8.50%6.52%8.60%10.51%8.32%8.95%0

81、%2%4%6%8%10%12%14%16%18%20%0500市场规模（亿美元）YoY5065987058381008113218.18%17.89%18.87%20.29%12.30%0%5%10%15%20%25%02004006008008200222023E市场规模（亿元）YoY 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 28 of 55 图图 44：2020 年年 MEMS 惯性传感器占比较大惯性传感器占比较大 资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券

82、研究 4.2.MEMS 惯性传感器：惯性传感器：IMU 可测量角速度与加速度可测量角速度与加速度 MEMS 加速度计用于测量物体线加速度，电容式加速度计用于测量物体线加速度，电容式MEMS 加速度计目前加速度计目前在市场中占据主导。在市场中占据主导。MEMS 加速度计是一种能够测量物体线加速度的器件，通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成，其测量原理为：在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量计算出加速度值，而在初速度已知的情况下，可以通过加速度对时间积分得到线速度，再次通过线速度对时间积分则可计算出直线位移。根据感测原理，MEMS 加速度计可分为压阻式、电容式以及热式

83、等多种类型，其中电容式 MEMS 加速度计具有高灵敏度、高精度、低温度敏感的特点，目前在市场中占据主导地位。图图 45：电容式：电容式 MEMS 加速度计工作原理较为复杂加速度计工作原理较为复杂 资料来源：明皜传感招股说明书 注：可动极板 C 随被测量物体的移动，使其与固定极板 A 和 B 之间的距离发生变化，使得 AC 两板之间的电容减小，CB 两板之间的电容增大，ASIC 芯片将电容值的变化转化成电学信号，运算得到加速度物理量。MEMS 陀螺仪利用科里奥利效应测量角速率，主要应用于导航定位、姿陀螺仪利用科里奥利效应测量角速率，主要应用于导航定位、姿态感知、平台稳定等应用领域。态感知、平台稳

84、定等应用领域。MEMS 陀螺仪的核心是一颗微机械（MEMS）芯片，一颗专用控制电路（ASIC）芯片及应力隔离封装，科里奥利效应为其基本工作原理：可动质量块在驱动电路控制下高速震荡，29.0%21.0%19.2%10.6%9.4%5.4%4.5%0.9%惯性传感器射频传感器压力传感器声学传感器流量控制传感器光学传感器红外传感器其他 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 29 of 55 当物体转动时，质量块发生垂直于震荡方向的横向位移，横向位移的大小与输入角速率的大小成正比，因而可以通过测量横向位移实现对角速率的测量。图图 46：MEMS 陀

85、螺仪由陀螺仪由 MEMS 芯片、芯片、ASIC 芯片等组成芯片等组成 资料来源：芯动联科招股说明书 图图 47：MEMS 陀螺仪可用于姿态感知陀螺仪可用于姿态感知 资料来源：传感器专家网 IMU 由加速度计与陀螺仪组成，可测量物体在三维空间中的角速率和加由加速度计与陀螺仪组成，可测量物体在三维空间中的角速率和加速度，助力人行机器人实现姿态控制、平衡维持等需求。速度，助力人行机器人实现姿态控制、平衡维持等需求。一个 IMU 通常包含三个轴向的陀螺仪和三个轴向的加速度计，可以测量物体在三维空间中的角速率和加速度。IMU 是人形机器人保持平衡及运动控制的关键传感器，可以帮助人形机器人实现姿态控制、平

86、衡维持、导航定位等需求。姿态控制与平衡维持：姿态控制与平衡维持：惯性稳控系统通过连续监测系统姿态与位置变化，利用控制算法对伺服结构进行控制，从而动态调整系统姿态，以实现机器人保持稳定姿态与平衡的目标。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 30 of 55 图图 48：IMU 可用于惯性稳控可用于惯性稳控 资料来源：芯动联科招股说明书，国泰君安证券研究 导航定位：导航定位：通过对角速率和线加速度按时间积分以及叠加运算，人形机器人可以动态确定自身位置变化，而且因为无需借助外源信息，所以可以免受外界干扰影响。图图 49：IMU 可用于惯性导航可用

87、于惯性导航 资料来源：芯动联科招股说明书，国泰君安证券研究 全球全球 MEMS 惯性传感器市场有望持续增长，惯性传感器市场有望持续增长，IMU 正逐步替代独立的正逐步替代独立的MEMS 陀螺仪。陀螺仪。MEMS 惯性传感器是将物体运动的加速度、位置和姿态转换为电信号的器件，包括 MEMS 加速度计、MEMS 陀螺仪、磁力计和惯性测量单元（IMU）。根据 Yole Intelligence 数据，在整体市场规模方面，全球 MEMS 惯性传感器的市场规模已从 2018 年的 28.31 亿美元增长至了 2021 年的 35.09 亿美元，预计到 2027 年市场规模有望达到49.44 亿美元，20

88、18-2027 年的复合年均增长率为 6.39%；在市场的产品结构方面，MEMS 加速度计、磁力计和 IMU 的市场持续增长，MEMS陀螺仪的市场则呈现逐年萎缩的态势，主要是由于在高端消费电子和汽车电子市场中 IMU 正逐步取代独立的 MEMS 陀螺仪。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 31 of 55 图图 50：全球：全球 MEMS 惯惯性传感器市场规模有望持续增长性传感器市场规模有望持续增长 资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券研究 图图 51：全球：全球 MEMS 惯性传感器市场中惯性传感器市场中 IMU

89、占比较大占比较大 资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券研究 MEMS 惯性传感器市场由国际厂商占据主导，市场集中度较高。惯性传感器市场由国际厂商占据主导，市场集中度较高。根据Yole Intelligence 数据，在 MEMS 加速度计市场方面，博世、ST、MURATA、NXP、ADI 为前五大厂商，CR5市场份额为 84%；在 MEMS 陀螺仪市场方面，TDK、ADI、HONEYWELL、博世、ST 为前五大厂商，CR5市场份额为 83%；在 IMU 市场方面，博世、ST、TDK、HONEYWELL、ADI 为前五大厂商，CR5 市场份额为 88%。国内的 MEMS

90、惯性传感器行业起步较晚，国内企业整体的销售规模相比国外龙头企业仍有较大差距，故而目前MEMS 惯性传感器市场的主要市场份额还是由国际厂商占据。表表 7:2021 年年 MEMS 惯性传感器全球前五大厂商市占率较高惯性传感器全球前五大厂商市占率较高 序号序号 MEMS 加速度计加速度计 MEMS 陀螺仪陀螺仪 IMU 1 博世 32%TDK 24%博世 35%2 ST 21%ADI 18%ST 20%3 MURATA 13%HONEYWELL 19%TDK 20%28.31 29.22 29.98 35.09 37.28 38.39 40.89 43.39 46.28 49.44 3.21%2.

91、60%17.04%6.24%2.98%6.51%6.11%6.66%6.83%0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%00200212022E 2023E 2024E 2025E 2026E 2027E市场规模（亿美元）YoY9.14 9.69 10.45 12.19 12.79 12.55 13.50 14.35 15.30 16.41 4.85 4.28 3.75 3.74 3.63 3.59 3.56 3.50 3.45 3.41 13.79 14.61 15.07 18.30 19.88 21.13 22.57 24.14 25.9

92、7 27.92 0.53 0.64 0.71 0.86 0.98 1.12 1.26 1.40 1.56 1.70 00200212022E 2023E 2024E 2025E 2026E 2027E加速度计陀螺仪IMU磁力计单位：亿美元 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 32 of 55 4 NXP 11%博世 12%HONEYWELL 6%5 ADI 7%ST 10%ADI 7%总计总计 84%83%88%资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券研究 4.3.MEMS 压

93、力传感器：可用于人形机器人手指感知压力传感器：可用于人形机器人手指感知 MEMS 压力传感器常用类型为电容式、电阻式以及压电式，可应用于人压力传感器常用类型为电容式、电阻式以及压电式，可应用于人形机器人手指。形机器人手指。三种类型的 MEMS 压力传感器的工作原理有所不同：1）电容式 MEMS 压力传感器：传感器受到压力时，传感器上下两个横隔(传感器横隔上部、传感器下部)之间的间距变化会导致隔板之间的电容变化，根据电容变化可以测算出压力大小；2）电阻式 MEMS 压力传感器：传感器由一个带有硅薄膜的底座和安装在其上的电阻结构组成。传感器受到压力时，电压与压力大小会成比例变化，根据该变化可以测量

94、出压力的大小；3）压电式 MEMS 压力传感器：传感器的敏感元件由压电材料制作而成。压电材料受外力作用后表面会产生电荷，电荷通过电荷放大器、测量电路的放大以及变换阻抗后，会被转换为与所受外力成正比关系的电量输出，由此可以测量出压力的大小。我们认为，通过将柔性 MEMS 压力传感器集成到机器人手部，有望帮助机器人实现灵敏的触觉感知。图图 52：MEMS 电容式压力传感器电容式压力传感器 资料来源：传感器专家网 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 33 of 55 图图 53：MEMS 电阻式压力传感器电阻式压力传感器 资料来源：传感器专家网

95、 全球全球 MEMS 压力传感器市场有望持续增长，国际厂商占据主要市场份压力传感器市场有望持续增长，国际厂商占据主要市场份额。额。根据 Yole Intelligence 的数据，在市场规模方面，全球 MEMS 压力传感器已从 2018 年的 17.63 亿元提升至了 2021 年的 20.04 亿美元，在2027 年则有望达到 26.24 亿美元；在销售量方面，全球 MEMS 压力传感器已从 2018 年的 14.72 亿颗提升至了 16.05 亿颗，在 2027 年则有望达到 25.35 亿颗；在市场竞争格局方面，全球 MEMS 压力传感器市场由国际厂商占据主导地位，博世、泰科电子、英飞凌

96、、Sensata、NXP、Honeywell为前六大厂商，占据的市场份额分别为 31%、15%、10%、9%、6%、5%，CR6 市场份额达到了 76%，市场集中度较高。图图 54：全球：全球 MEMS 压力传感器市场有望持续增长压力传感器市场有望持续增长 图图 55：全球：全球 MEMS 压力传感器销量有望持续增长压力传感器销量有望持续增长 资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券研究 资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券研究 17.6317.6517.6220.0421.0721.6222.9124.1525.4326.240.11%-0.17%13

97、.73%5.14%2.61%5.97%5.41%5.30%3.19%-2%0%2%4%6%8%10%12%14%16%051015202530市场规模（亿美元）YoY14.7214.9314.5516.0516.8418.0419.8621.5523.5125.351.43%-2.55%10.31%4.92%7.13%10.09%8.51%9.10%7.83%-4%-2%0%2%4%6%8%10%12%051015202530销售量（亿颗）YoY 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 34 of 55 图图 56：2021 年年 MEMS

98、压力传感器市场竞争格局压力传感器市场竞争格局 资料来源：Yole Intelligence，国泰君安证券研究 31%15%10%9%6%5%24%博世泰科电子英飞凌SensataNXPHONEYWELL其他 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 35 of 55 5.行业重点公司行业重点公司 传感器为人形机器人感知层的核心零部件，人形机器人对传感器需求较大，成本占比较高，六维力矩传感器、电子皮肤、MEMS 压力传感器、MEMS 惯性传感器厂商有望受益。六维力矩传感器六维力矩传感器：推荐标的为东华测试（专注结构力学性能测试，力传感器国内领先）

99、，受益标的为柯力传感；电子皮肤电子皮肤：受益标的为汉威科技；MEMS 压力传感器压力传感器：受益标的为康斯特、敏芯股份；MEMS 惯性传感器惯性传感器：受益标的为华依科技。表表 8：人形机器人传感器人形机器人传感器重点公司重点公司盈利预测与盈利预测与估值估值 代码代码 公司公司 收盘价收盘价 EPS PE 评级评级 2024/01/26 2023E 2024E 2025E 2023E 2024E 2025E 300354.SZ 东华测试 37.25 1.44 1.96 2.67 25.87 19.01 13.95 增持 603662.SH 柯力传感 26.32 1.11 1.39 1.72 2

100、3.74 18.96 15.34 -300007.SZ 汉威科技 15.70 1.00 1.01 1.34 15.63 15.55 11.75 -688071.SH 华依科技 34.84 0.82 1.74 2.93 42.62 19.99 11.88 -300445.SZ 康斯特 15.46 0.48 0.64 0.82 32.47 24.29 18.77 -688286.SH 敏芯股份 43.59 -1.35 0.29 1.00 -32.30 150.73 43.59 -数据来源：国泰君安证券研究 注：收盘价和 EPS 货币单位均为元。推荐公司 EPS 预测值来自国泰君安证券研究，其余公司

101、 EPS 预测值来自 Wind 一致性预期。5.1.东华测试东华测试：结构力学测试龙头，力传感器国内领先结构力学测试龙头，力传感器国内领先 东华测试为国内领先的结构力学性能研究和电化学工作站整体解决方东华测试为国内领先的结构力学性能研究和电化学工作站整体解决方案提供商。案提供商。公司成立于 1993 年，30 年来始终专注于智能化测控系统的研发、生产和销售，掌握核心技术，产品成熟且拥有独立自主的知识产权，从而得到市场广泛认可，60%以上的产品应用于国防工业。公司于2007 年收购上海东昊测试技术有限公司，布局 PHM（故障预测和健康管理）相关业务；于 2009 年收购扬州东瑞传感技术有限公司，

102、进一步拓展传感器业务；于 2013 年投资设立江苏东华分析仪器有限公司及江苏东华校准检测有限公司，分别负责电化学工作站、交流阻抗测试系统业务及校准、检测业务。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 36 of 55 图图 57：东华测试通过内生外延逐步拓宽业务布局：东华测试通过内生外延逐步拓宽业务布局 数据来源：东华测试公告，东华测试招股说明书，上海东昊测试官网，国泰君安证券研究 公司公司以以结构力学测试结构力学测试为核心，多为核心，多元元业务协同发展。业务协同发展。公司专注于结构力学性能测试仪器及配套软件的研发、生产与销售，并提供应用解决方

103、案和技术服务，并通过不断拓展形成了结构力学性能测试分析系统、结构安全在线监测及防务装备 PHM 系统、基于 PHM 的设备智能维保管理平台、电化学工作站四大类产品线，且正在推进自定义测控分析系统的研发生产。1）结构力学性能研究）结构力学性能研究：公司的结构力学性能研究业务聚焦于结构的强度试验、疲劳试验（寿命评估）、动态特性分析（固有频率、振型、阻尼比、模态刚度和质量），准确预计环境激励对结构的影响等，广泛应用于航天航空、车辆船舶、土木建筑、工程机械、能源电力等领域，已成为工业领域不可或缺的科学仪器产品。历经多年的研发和技术积累，公司已掌握结构力学性能测试领域相关核心技术，成为行业领军企业。2）

104、结构安全在线监测和防务装备故障预测与健康管理（）结构安全在线监测和防务装备故障预测与健康管理（PHM）：公司的 PHM 业务以智能传感、云计算、大数据、5G 等新技术为基础，对桥梁、大型建筑、水利工程、港口机械、重大装备等结构进行实时监测、安全评估和健康管理。随着各领域的工程系统日趋复杂，以预测技术为核心的 PHM 业务需求高涨，公司是国内为数不多的具备软、硬件技术研发、生产能力，能够提供 PHM 业务相关系统解决方案的服务商之一。3）基于）基于 PHM 的设备智能维保管理平台的设备智能维保管理平台：公司全资子公司上海东昊能够提供基于 PHM 的设备智能维保管理软件平台解决方案，实现以预测性维

105、护为核心的设备综合维保管理、全生命周期的设备和备件管理、数字化的工单管理以及专业的效能指标管理，可以为客户提供定制化的设备维保管理及远程看护服务等，是智慧工厂建设必不可少的组成部分。4）电化学工作站）电化学工作站：电化学工作站是通过施加激励信号的同时，测量待测体系响应的电信号进行分析。公司全资子公司东华分析专注于电化学工作站的研发、生产和电化学运用研究，在测试技术及应用领域有近 30 年 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 37 of 55 的技术积累，其产品广泛应用于电极材料/溶液/传感器的电分析研究、单体电池/锂电池堆/燃料电池堆在静

106、态或动态下的交流阻抗测试等。5）自定义测控分析系统）自定义测控分析系统：自定义测控分析系统将测试与控制相融合，主要由传感器、测控系统硬件、分析与控制软件平台组成，广泛应用于航空航天、电子电力、车辆等领域，下游需求水平持续提升。公司为国内较少的拥有相关技术能力的企业之一。图图 58：东华测试主要产品线丰富东华测试主要产品线丰富 数据来源：东华测试官网、国泰君安证券研究 东华测试东华测试营收营收及归母净利及归母净利增长增长迅速迅速。2013-2022 年公司营收整体增长快速，虽然 2016 年前后受宏观经济影响导致市场需求下行，公司业绩受到拖累，但在 2017 年后即实现快速反弹并保持高速增长水平

107、。2022 年公司实现营业收入和归母净利分别为 3.67/1.22 亿元，增速分别达42.80%/52.50%，2013-2022 营收、归母净利 CAGR分别达 17.34%/24.48%。2023 年截至 Q3 公司实现营业收入、归母净利 3.06/0.82 亿元，同增37.04%/47.92%，主要得益于高涨的国产化需求，公司产品领先的技术水平及多业务板块发展战略。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 38 of 55 图图 59：东华测试东华测试营业收入稳健增长营业收入稳健增长 图图 60：东华测试归母净利润增长迅速东华测试归母净利

108、润增长迅速 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 结构力学性能研究业务为公司基本盘，结构力学性能研究业务为公司基本盘，PHM 相关业务营收贡献明显相关业务营收贡献明显。2014-2021 年，公司主营业务构成中结构力学性能研究业务（动态及静态应变测试分析系统）营收占比最大，整体贡献比例超过 70%，但呈逐年下降趋势。近年公司 PHM 业务拓展力度加大且营收逐步兑现，2022 年公司结构安全在线监测及防务装备 PHM 系统及基于 PHM 的设备智能维保管理平台业务合计营收已达 1.14 亿元，营收占比达 31.22%。2023H1 PHM 业务占比仍在

109、20%以上，成为公司收入的有力增长点。图图 61：2021 年之前年之前结构力学性能营收占比超结构力学性能营收占比超 70%图图 62：2022 年年 PHM 相关业务营收占比超相关业务营收占比超 30%数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 公司盈利水平稳中有增公司盈利水平稳中有增。公司综合毛利率持续维持高位，2019-2022 年综合毛利率均稳定在 65%左右，2023Q3 毛利率仍保持在 66.37%的高位。公司净利率自 2016 年后不断改善，2022 年已达 33.17%，2023Q3 略降至 26.94%。-5%0%5%10%15%20%25

110、%30%35%40%45%50%00.511.522.533.54营业收入（亿元）营收YOY（右轴）-100%-50%0%50%100%150%200%250%300%00.20.40.60.811.21.4归母净利润（亿元）归母净利YOY（右轴）0%20%40%60%80%100%2000202021开发服务动态信号测试分析系统分析仪器静态应变测试分析系统配件及其他0%20%40%60%80%100%20222023H1开发服务自定义测控分析系统基于PHM的设备智能维保管理平台电化学工作站结构安全在线监测及防务装备PHM系统结构力学性能测试分析系统

111、 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 39 of 55 图图 63：东华测试盈利能力持续保持高位东华测试盈利能力持续保持高位 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 5.2.柯力传感：力传感器柯力传感：力传感器+工业物联，打造第二增长曲线工业物联，打造第二增长曲线 柯力传感为应变式传感器龙头企业。柯力传感为应变式传感器龙头企业。公司成立于 1995 年，是智能传感器行业领军企业，业务始终聚焦于研制和生产各类型物理量传感器，在应变式传感器、称重仪表及称重系统集成行业处于领先地位，据中国衡器协会统计，2017-2019 年公司应变式称重传感器

112、、称重仪表、称重系统集成的销售额的排名分别为第一名、前三名、前四名。通过内生外延打造“第二增长曲线”。通过内生外延打造“第二增长曲线”。公司从力学起步融合多物理技术发展多品种传感，展开多维度产业布局和经营，并逐步拓展至称重仪表、工业物联网系统及多场景应用解决方案。历经近 30 年的内生外延，目前公司已成为全球大型钢制传感器制造企业和工业物联网应用拓展引领者之一，并持续围绕产业主线推进战略投资布局，加快从单一物理量传感器企业向多物理量传感器融合的平台型企业的转型发展。图图 64：柯力传感在传感器和工业物联网赛道上实现从一到多，从多到融柯力传感在传感器和工业物联网赛道上实现从一到多，从多到融 数据

113、来源：柯力传感公告，柯力传感招股说明书，柯力传感官网，国泰君安证券研究 应变式传感器为公司主要业务，物联网升级提升智能化水平应变式传感器为公司主要业务，物联网升级提升智能化水平。公司主营业务为研发、生产和销售应变式传感器、仪表等元器件，提供系统集成及干粉砂浆第三方系统服务、不停车检测系统、等。近年来公司积极实0%10%20%30%40%50%60%70%80%毛利率净利率 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 40 of 55 施“物联网战略”并对上述产品进行物联网化升级，着力研发数字传感器、仪表，实现其通信与交互功能，推出了称重物联网适用

114、元器件、软件及系统集成产品等，产品矩阵不断丰富，智能化水平持续提高。图图 65：柯力传感主要产品线丰富柯力传感主要产品线丰富 数据来源：柯力传感官网、国泰君安证券研究 柯力传感柯力传感业绩营收业绩营收及归母净利增长平稳及归母净利增长平稳。自 2014 年来公司营收保持上升趋势，从 6.06 亿元上升至 2022 年的 10.61亿元，期间 CAGR位 7.25%。2022 年受疫情扰动增速有所放缓，同比增长 2.91。公司的归母净利润由2014年的0.90亿元增长至2022年的2.60亿元，期间CAGR达到14.18%，2022 年同比增长 3.59%。2023 年截至 Q3 实现营业收入、归

115、母净利8.06/2.14 亿元，同比增长 0.45%/8.72%。图图 66：柯力传感营业收入柯力传感营业收入 CAGR 为为 7.25%图图 67：柯力传感归母净润利柯力传感归母净润利 CAGR 为为 14.18%数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 应变式传感器为第一大业务应变式传感器为第一大业务。应变式传感器的营收由 2015 年的 4.06 亿-10%-5%0%5%10%15%20%25%024681012营业收入（亿元）营收YOY（右轴）-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%00.511.522.53归母净利润（亿元）归母净

116、利YOY（右轴）行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 41 of 55 元增长至 2022 年的 5.54 亿元，体量发展速度稳定，但营收占比呈逐年下降趋势。得益于公司物联网升级战略的实施，同期系统集成产品营收由 0.69 亿元增长至 2.10 亿元，发展速度较快，2022 年营收占比提高至19.84%。图图 68：柯力传感系统集成产品柯力传感系统集成产品营收占比持续提升营收占比持续提升 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 公司毛利率水平表现亮眼，系统集成产品占比不断提升且盈利能力较强。公司毛利率水平表现亮眼，系统集成产品占比不断提升且

117、盈利能力较强。2014-2022 年 间 公 司 毛 利 率/净 利 率 水 平 均 见 到 明 显 增 长，从35.60%/15.06%增 长 至 40.24%/25.99%，而 2023H1 已 持 续 提升至43.67%/28.55%，公司盈利效率得到提升。主营业务中，公司基本盘应变式传感器盈利能力表现稳定，毛利率均值保持在 35%左右；系统集成产品毛利率均值最高（48.66%），2022 年达 39.28%。图图 69：2023H1 柯力传感毛利率增长至柯力传感毛利率增长至 43.67%图图 70：柯力传感应变式传感器盈利能力稳定：柯力传感应变式传感器盈利能力稳定 数据来源：iFinD

118、、国泰君安证券研究 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 5.3.汉威科技：积极布局柔性传感业务汉威科技：积极布局柔性传感业务 汉威科技是国内领先的气体传感器龙头企业、智能仪器仪表提供商。汉威科技是国内领先的气体传感器龙头企业、智能仪器仪表提供商。公司成立于 1998 年并选择步入传感器赛道，2003 年已成为拥有全系列传感器、营收近千万的高新技术企业。为进一步扩大营收，公司在拓展传感器技术品种的同时加码仪器仪表领域，历经多年发展奠定了国内气体传感器龙头地位，仪器仪表产品也达到了国际先进水平。2009 年，公司0%20%40%60%80%100%200182019202

119、020212022应变式传感器系统集成产品附件及其他仪表干粉砂浆第三方系统服务其他业务0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%50%毛利率净利率0%10%20%30%40%50%60%70%80%2000212022综合毛利率应变式传感器系统集成产品附件及其他仪表干粉砂浆第三方系统服务其他业务 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 42 of 55 成为国内首批创业板上市公司，亦即国内气体传感器行业首家上市公司。迈入集团化发展时代，成为物联网解决方案引领者。迈入集团化发展时代，成为

120、物联网解决方案引领者。2011 年公司初步形成了以传感器为核心、以智能仪器仪表为支柱、以系统解决方案的物联网为导向的业务发展战略，同年开工建设物联网科技产业园。在加强自主研发的同时，公司连续并购了多家数据采集、软件、GIS 等物联网技术相关企业，逐步推出一系列物联网解决方案。2017 年公司更名，迈入集团化发展时代，并保持一定的对外并购节奏。2018 年公司发布祥云物联网平台，目前已拥有一系列成熟的物联网解决方案，成为行业引领者之一。图图 71：汉威科技通过集团化发展实现多产业布局汉威科技通过集团化发展实现多产业布局 数据来源：汉威科技官网，汉威科技公告，国泰君安证券研究 公司主要产品包括传感

121、器产品、仪器仪表产品和物联网综合解决方案。公司主要产品包括传感器产品、仪器仪表产品和物联网综合解决方案。1）传感器产品）传感器产品：历经多年发展，公司现已拥有气体、压力、流量、温度、湿度、光电、加速度等 17 大系列、共 300 余个品种传感器，下游领域涵盖工业、医疗、汽车、环保等，并突破国外技术和产品垄断，掌握了厚膜、薄膜、MEMS、陶瓷等核心工艺，自主研发的气体、振动、柔性传感器已达国内前沿水平，国外主流的半导体类、催化燃烧类、电化学类、红外光学类、光致电离（PID）类等 5 大系列传感器均已实现全产业链自主可控，性能跟国外基本相当。2）仪器仪表产品）仪器仪表产品：依托传感器核心技术，公司

122、研发了多样化的智能仪表产品，包括气体探测器、报警控制器、便携式检测仪、家用检测仪及酒精检测仪等门类，广泛应用于工业安全、市政监测、环境监测、燃气安全、智能家居与健康等领域，实现了从国内领跑到国际先进的飞跃，并拥有广泛的客群基础。3）物联网综合解决方案）物联网综合解决方案：公司祥云物联网平台为物联网行业应用客户提供设备接入、应用管理、设备管理、数据挖掘等全方位平台服务，拥有 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 43 of 55 城市生命线监测预警平台、智慧安全、智慧环保、智慧燃气、智慧水务、智慧消防、居家智能与健康等一系列成熟的物联网解决方

123、案，广泛应用于工业安全、环境监测、燃气、供排水、消防、交通、热力、危化品监管、综合管廊、居家健康等各个领域。图图 72：汉威科技主要产品线汉威科技主要产品线 数据来源：汉威科技官网、国泰君安证券研究 公司营收增长迅速。公司营收增长迅速。公司的营业收入增长较快，由 2013 年的 3.02 亿元增长至 2022 年的 23.95 亿元，期间 CAGR 达 25.87%；公司的归母净利润由 0.40 亿元增长至 2.76 亿元，CAGR 达 23.94%；其中 2018-2020 年受经济环境及并购业务带来的商誉减值影响，公司归母净利出现负增长，但 2021 年后实现快速反弹；2023 年截至 Q

124、3 公司实现营收/归母净利15.41/1.15 亿元，同比出现一定下滑，主要系公共事业资产剥离影响。图图 73：汉威科技业绩增长较快汉威科技业绩增长较快 图图 74：汉威科技归母净利润呈现波动态势汉威科技归母净利润呈现波动态势 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 仪器仪表营收占比不断扩张，公用事业即将出表。仪器仪表营收占比不断扩张，公用事业即将出表。物联网综合解决方案始终为公司营收基本盘，占比常年保持在 60%以上；2021 年公司将原物联网系统解决方案中的公用事业业务单独列示，物联网业务营收占比共计仍达到 62.13%。为进一步聚焦主业，2022

125、年公司加速剥离公用事业板块资产，营收降至 5.32 亿元，同年仪器仪表业务实现营收 9.52 亿元，占比已达 39.75%。-20%0%20%40%60%80%100%051015202530营业收入（亿元）营收YOY（右轴）-350%-300%-250%-200%-150%-100%-50%0%50%100%-1.5-1-0.500.511.522.53归母净利润（亿元）归母净利YOY（右轴）行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 44 of 55 图图 75：汉威科技仪器仪表营收占比提高汉威科技仪器仪表营收占比提高 数据来源：Wind、国

126、泰君安证券研究 公司总体盈利能力有所下降，重新聚焦主业有望推动毛利率改善。公司总体盈利能力有所下降，重新聚焦主业有望推动毛利率改善。由于市场竞争加剧，整体行业及公司传统产品的毛利率走低，盈利能力出现一定下降趋势，2022 年毛利率/净利率为 28.37%/11.53%，2023Q3 为31.84%/7.90%。未来随着公司将更多高毛利储存技术产品加速转化成市场产品，盈利能力有望保持稳定并实现一定复苏。分产品来看，仪器仪表毛利率表现稳定，始终保持在 40%以上；传感器产品毛利率出现一定下降趋势，2023H1 降至 34.83%。未来随仪器仪表业务不断扩张以及公司重新聚焦传感器产品的资金投入及创新

127、研发，综合毛利率有望得到改善。图图 76：汉威科技盈利能力有所下降汉威科技盈利能力有所下降 图图 77：汉威科技仪表仪器业务毛利率较高汉威科技仪表仪器业务毛利率较高 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 数据来源：Wind、国泰君安证券研究 柔性传感器潜力巨大，公司有望开拓新增长点。柔性传感器潜力巨大，公司有望开拓新增长点。公司于 2013 年投资的子公司苏州能斯达致力于柔性微纳传感技术的研发和产业化，开创了国内柔性智能感知技术和印刷电子的领先品牌，其研发和生产的柔性压力、温湿度传感器及智能感知方案已经在压力感知开关、医疗健康领域的呼吸、心率、人体机能恢复的检测终端，智能运动装备、电子货架、

128、机器人及各种智能控制终端等方面批量生产并取得了广泛的应用，具有强大的市场发展潜力。未来随公司积极拓展柔性微纳传感技术与消费电子、AIOT 的应用结合，加快推动柔性感知技术在智能终端的规模化应用落地，有望实现业绩的二次腾飞。0%20%40%60%80%100%2000222023H1仪器仪表物联网综合解决方案公用事业服务传感器其他-10%0%10%20%30%40%50%60%毛利率净利率-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%2000222023H1综合毛利率仪器仪表物联网综合解决方案公用事

129、业服务传感器其他 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 45 of 55 图图 78：汉威科技在柔性传感器方面布局完善汉威科技在柔性传感器方面布局完善 数据来源：汉威科技官网 5.4.华依科技：华依科技：IMU 技术行业领先技术行业领先 深耕汽车动力总成智能测试领域，二十余年经验积累成就行业龙头。深耕汽车动力总成智能测试领域，二十余年经验积累成就行业龙头。公司主营业务为汽车动力总成智能测试设备的研发、设计、制造、销售及提供相关测试服务，主营业务包括动力总成智能测试设备、测试服务以及高精度惯导产品。其中：1）动力总成智能测试设备包括发动机智能

130、测试设备、变速箱测试设备、涡轮增压器测试设备、水、油泵装配及检测设备以及新能源汽车动力总成测试设备；2）测试服务业务是为国内外各类企业提供汽车（新能源）及动力总成等各类研发试验、性能检测、质量评价等综合技术服务，公司的实验室包括混动/四轴总成试验、电驱动总成试验、发动机试验、高速/中速电机试验、高速减速器/变速器试验等多种实验室类型；3）高精度惯导产品是智能驾驶关键零部件，公司通过前瞻性的研发布局，使得公司 IMU 产品精度保持行业领先，实现了应用层产品的率先落地。图图 79：公司主要业务与主要产品：公司主要业务与主要产品 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正

131、文之后的免责条款部分 46 of 55 数据来源：华依科技官网，国泰君安证券研究 营收保持同比增长，盈利能力承压。营收保持同比增长，盈利能力承压。在营业收入方面，2023 年 Q1-Q3 公司营业收入为 24,218.73 万元，同比增长 3.87%，其中：2022 年上半年公司营业收入为 15,476.74 万元，同比增长 118.60%，主要是由于智能测试设备验收项目的增加以及测试服务收入的增长。2023 年 Q3 营业收入为 8,742.0 万元，同比下降-46.16%，主要是由于受客户测试设备项目验收时间节点影响，Q3 交付客户最终完成验收的测试设备项目有所减少。在归母净利润方面，20

132、23Q1-Q3 归母净利润为 618.31 万元，同比下降75.98%，主要是由于随着公司扩大生产经营，日常经营管理费用及研发投入的增加，叠加阶段性综合毛利率的下降，导致公司归母净利润出现较大幅度下滑。图图 80：公司营业收入及同比增速情况：公司营业收入及同比增速情况 图图 81：公司归母净利润及同比增速情况：公司归母净利润及同比增速情况 资料来源：华依科技公司公告，国泰君安证券研究 资料来源：华依科技公司公告，国泰君安证券研究 30,190.3232,070.0233,679.9624,218.732.02%6.23%5.02%3.87%0%1%2%3%4%5%6%7%05000100001

133、500020000250003000035000400002020202120222023Q1-Q3营业收入（万元）YoY4,187.915,801.373,636.34618.318.09%38.53%-37.32%-75.98%-100%-80%-60%-40%-20%0%20%40%60%0040005000600070002020202120222023Q1-Q3归母净利润（万元）YoY 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 47 of 55 动力总成智能测试设备为主要营收来源，测试服务营收占比逐年提升。动力总

134、成智能测试设备为主要营收来源，测试服务营收占比逐年提升。2019-2022 年公司动力总成智能测试设备占营收的比例分别为 85.0%、84.8%、71.7%、61.1%，占比虽呈现下滑趋势，但该业务对营收的贡献比例依旧超过 60%；2019-2022 年公司动力总成测试服务占营收的比例分别为 14.6%、14.7%、27.2%、38.1%，占比呈现上升趋势。公司基于研发技术和项目经验的积累，借助不断提升的测试数据处理能力，建立了自己的测试数据体系。通过算法的持续优化和整合利用测试数据，公司可以预判测试中存在的问题，提高测试的效率及安全性，帮助客户提高研发效率，缩短研发周期。辅助工程开发、提供咨

135、询服务等提升客户研发效率的增值服务可以助力公司测试服务获得差异化的竞争优势，公司的测试服务有望成为整体业绩提升的重要驱动力。图图 82：公司营业收入构成情况：公司营业收入构成情况 图图 83：公司毛利率及归母净利率情况：公司毛利率及归母净利率情况 资料来源：华依科技公司公告，国泰君安证券研究 资料来源：华依科技公司公告，国泰君安证券研究 潜心布局智能驾驶关键零部件，公司潜心布局智能驾驶关键零部件，公司 IMU 产品精度行业领先。产品精度行业领先。公司早在 2018 年便成立了智能驾驶事业部，开展智能驾驶核心零部件的前期研发布局。依托强大的软件开发团队、跨学科专家的鼎力加盟和智能软件算法的快速迭

136、代，公司 IMU 产品精度保持行业领先，实现了应用层产品的率先落地。目前公司 IMU 产品已达到量产条件，获得了奇瑞汽车、智己汽车定点。IMU 是人形机器人保持平衡及运动控制的关键零部件，我们认为，虽然公司的 IMU 产品目前主要应用于智能驾驶领域，但随着人形机器人商业化进程的不断推进以及公司 IMU 产品的不断升级迭代，未来公司 IMU 产品或有望获得更为广阔的应用空间。85.0%84.8%71.7%61.1%14.6%14.7%27.2%38.1%0.42%0.58%1.09%0.82%0%20%40%60%80%100%20022动力总成智能测试设备动力总成测试服务

137、其他业务43.27%50.68%49.71%43.44%13.87%18.09%10.80%2.55%00.10.20.30.40.50.62020202120222023Q1-Q3毛利率归母净利率 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 48 of 55 图图 84：公司：公司 IMU3000 高精度惯性测量单元产品参数高精度惯性测量单元产品参数 资料来源：华依科技官网，国泰君安证券研究 5.5.康斯特：校准测试业务领头羊，纵向延伸高端传感器康斯特：校准测试业务领头羊，纵向延伸高端传感器 康斯特为国内校准测试领先企业，聚焦于高端仪器制造。康

138、斯特为国内校准测试领先企业，聚焦于高端仪器制造。公司前身成立于 1998 年，最初研发生产智能数字压力模块，而后于压力、温度检测领域持续发力并确立国内领先地位。在 20 余年的发展历程中，公司聚焦高品质仪器仪表产业链，立足全球市场，通过高端检测仪器业务、MEMS传感器垂直产业、仪器管理云平台“一横一纵一焦点”的框架生态体系，逐步发展成为国际化的高端检测产业集团。图图 85：康斯特逐步成长为高端仪器仪表企业康斯特逐步成长为高端仪器仪表企业 数据来源：康斯特官网，国泰君安证券研究 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 49 of 55 公司主要

139、产品包括数字压力检测产品、过程信号检测产品和温湿度检测公司主要产品包括数字压力检测产品、过程信号检测产品和温湿度检测产品。产品。1）数字压力检测产品）数字压力检测产品：包括公司全自动压力校验仪、数字压力表、智能压力控制器、智能压力校验仪、压力泵、压力校准测试记录软件等产品，主要用于长短流程工业中压力仪表或产成品的校准与测试。2）过程信号检测产品）过程信号检测产品：包括公司过程信号校验仪、回路校验仪等产品，主要用于长短流程工业中过程仪表或产成品的校准与测试。3）温湿度检测产品）温湿度检测产品：包括公司智能干体炉、智能测温仪、智能恒温槽、智能标准炉、智能温湿度测试仪、温湿度检定箱、温湿度校准测试记

140、录软件等产品，主要用于长短流程工业中温湿度仪表或产成品的校准和测试。图图 86：康斯特主要产品线康斯特主要产品线 数据来源：康斯特官网、国泰君安证券研究 公司业绩增长稳健。公司业绩增长稳健。公司的营业收入由 2013 年的 1.18 亿元增长至 2022年的 4.14 亿元，期间 CAGR 为 14.97%;公司的归母净利润由 0.31 亿元增长至 0.75 亿元，CAGR 达 10.31%；其中公司业绩受疫情因素扰动较大，2020 年归母净利出现负增长，但 2021 年后恢复正常增长水平。图图 87：康斯特营收增长稳健康斯特营收增长稳健 图图 88：康斯特归母净利润较为波动康斯特归母净利润较

141、为波动 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 0%5%10%15%20%25%00.511.522.533.544.5营业收入（亿元）营收YOY（右轴）-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%00.10.20.30.40.50.60.70.80.9归母净利润（亿元）归母净利YOY（右轴）行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 50 of 55 数字压力检测产品为公司第一大产品。数字压力检测产品为公司第一大产品。公司压力检测产品收入占比均保持在 70%以上，2022 年实现营收 2.9

142、7 亿元。温(湿)度校准/检测产品营收占比逐步扩大，2022 年实现营收 0.70 元，收入占比达 42.95%。图图 89：数字压力检测产品为康斯特第一大产品数字压力检测产品为康斯特第一大产品 数据来源：iFinD、公司公告、国泰君安证券研究 公司毛利率公司毛利率/净利率保持较高水平，各项业务均具备较强盈利能力。净利率保持较高水平，各项业务均具备较强盈利能力。在盈利能力方面，公司的毛利率基本维持在 70%左右的高位水平，2023Q3 公司毛利率/净利率分别为 63.81%/24.54%，依旧保持着较高的利润率水平。公司的产品定位中高端市场，因此在利润率方面表现极佳，数字精密压力表毛利率均值达

143、到 78.88%，压力校验器、压力校验仪和智能压力发生器的毛利率均值也能分别达到 76.48%、80.80%、75.98%。公司持续的高研发投入为产品的高毛利提供了有力的支撑。图图 90：康斯特盈利能力保持在较高水平康斯特盈利能力保持在较高水平 图图 91：康斯特数字精密压力表毛利率均值达康斯特数字精密压力表毛利率均值达 78.88%数据来源：iFinD、国泰君安证券研究 数据来源：iFinD、公司公告、国泰君安证券研究 5.6.敏芯股份：敏芯股份：MEMS 声学、压力、惯性传感器多品类布局声学、压力、惯性传感器多品类布局 公司是国内少数掌握多品类公司是国内少数掌握多品类 MEMS 芯片设计和

144、制造工艺能力的企业，芯片设计和制造工艺能力的企业，致力于成为行业领先的致力于成为行业领先的 MEMS 芯片平台型企业。芯片平台型企业。公司在现有 MEMS 传感器芯片设计、晶圆制造、封装和测试等各环节都拥有自主研发能力和核心技术，同时能够自主设计为 MEMS 传感器芯片提供信号转化、处理或驱动功能的 ASIC 芯片，并实现了 MEMS 传感器全生产环节的国产化。公司目前主要产品包括 MEMS 声学传感器、MEMS 压力传感器和0%20%40%60%80%100%20002120222023H1数字压力检测产品温(湿)度校准/检测产品过程信号检测产品其

145、他0%10%20%30%40%50%60%70%80%毛利率净利率0%20%40%60%80%100%综合毛利率数字精密压力表温度自动检定系统过程校验仪标准温湿度发生装置压力校验器压力校验仪智能压力发生器 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 51 of 55 MEMS 惯性传感器。图图 92：公司主要产品丰富：公司主要产品丰富 数据来源：敏芯股份官网，国泰君安证券研究 2023 年前三季度营收同比高速增长，年前三季度营收同比高速增长，Q3 亏损环比收窄。亏损环比收窄。在营收方面，2023Q1-Q3公司营业收入达到了25,907.31万元，

146、同比增速高达18.82%，公司“占份额、降库存”的战略效果显著。公司通过提高产品出货量，采用积极的市场策略提高市占率，以保证供应链的良性运转并逐步降低库存，从而实现在消费电子下行周期中保持健康发展。在归母净利润方面，公司 Q1/Q2/Q3 的归母净利润分别为-2,055.44/-3,289.97/-2,886.80 万元，Q3 亏损环比收窄-12.25%。受到地缘政治紧张局势、全球经济下行等因素影响，终端消费动力不足，行业去库存的压力加大，市场竞争特别是价格竞争加剧。公司在市场情况不佳的情况下，立足自身技术研发优势，积极应对挑战，坚持以客户需求为导向，充分挖掘重点市场潜力，公司整体经营情况有所

147、改善。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 52 of 55 图图 93：公司营业收入呈现波动态势：公司营业收入呈现波动态势 图图 94：公司归母净利润呈现波动态势：公司归母净利润呈现波动态势 资料来源：敏芯股份公司公告，国泰君安证券研究 资料来源：敏芯股份公司公告，国泰君安证券研究 MEMS 传感器多品类布局，压力、惯性传感器占比逐年提升。传感器多品类布局，压力、惯性传感器占比逐年提升。公司在MEMS 传感器产品的布局方面采取多品类布局策略，主要产品包括MEMS 声学传感器、MEMS 压力传感器和 MEMS 惯性传感器。其中，MEMS 声

148、学传感器对营收的贡献最大，2020-2023H1 占比分别 88.2%、81.6%、79.2%、68.7%。值得注意的是，随着公司多品类布局策略的持续推进，MEMS 压力传感器和 MEMS 惯性传感器在营收中的占比呈现显著提升趋势。图图 95：MEMS 压力、惯性传感器占比逐年提升压力、惯性传感器占比逐年提升 资料来源：敏芯股份公司公告，国泰君安证券研究 行业需求下滑竞争加剧，公司盈利能力承压。行业需求下滑竞争加剧，公司盈利能力承压。2023 年 Q1-Q3，公司盈利能力承压，毛利率与归母净利率延续下滑趋势，2023 年 Q1-Q3 公司毛利率与归母净利率分别下滑至 14.41%和-31.78

149、%。公司毛利率与归母净利率下滑主要是由于受地缘政治冲突、全球经济下行等因素影响，行业处于下行周期，行业去库存压力增大，价格竞争加剧。公司选择贯彻“占份额、降库存”的战略思想，降低产品价格，努力扩大市场份额。我们认为，公司有望立足技术研发优势，依靠多品类布局策略，把握新市场33,007.4735,175.8129,265.0225,907.3116.21%6.57%-16.80%18.82%-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%050000000250003000035000400002020202120222023Q1-Q3营业收入（万元）YoY4

150、,163.611,242.40-5,493.39-8,232.21-30.00%-70.16%-80%-70%-60%-50%-40%-30%-20%-10%0%-10000-8000-6000-00060002020202120222023Q1-Q3归母净利润（万元）YoY88.2%81.6%79.2%68.7%9.1%12.6%13.9%20.6%2.60%5.00%5.76%7.65%0.19%0.73%1.08%3.05%0%20%40%60%80%100%2020202120222023H1MEMS声学传感器MEMS压力传感器MEMS惯性传感器技术服务及

151、其他 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 53 of 55 中的发展机遇，促进公司业绩的提升。图图 96：公司归母净利润及毛利率情况：公司归母净利润及毛利率情况 资料来源：敏芯股份公司公告，国泰君安证券研究 35.48%34.97%25.75%14.41%12.61%3.53%-18.77%-31.78%-0.4-0.3-0.2-0.100.10.20.30.42020202120222023Q1-Q3毛利率归母净利率 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 54 of 55 6.风险提

152、示风险提示 6.1.传感器技术研发进程不及预期传感器技术研发进程不及预期 传感器技术壁垒较高，若未来国产厂商未能在技术难点上研发成功，可能导致无法将技术成果成功转化为成熟的产品投入市场，或新产品投入后在综合性能、可靠性、稳定性等技术指标方面不及预期。6.2.人形机器人商业化应用场景不及预期人形机器人商业化应用场景不及预期 目前人形机器人商业化应用场景相对较少，主要集中于教育、展示等少部分场景，若特斯拉人形机器人推出后，不能满足在工业、物流、家庭服务、办公等应用场景的需求，商业化应用场景拓展可能不及预期。6.3.人形机器人产业政策落地不及预期人形机器人产业政策落地不及预期 国家先后出台多项产业政

153、策，聚焦技术创新、具体应用，鼓励帮扶机器人产业发展，助力机器人产业做大做强，若产业政策落地进度不及预期，可能影响国内机器人产业发展。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 55 of 55 本公司具有中国证监会核准的证券投资咨询业务资格本公司具有中国证监会核准的证券投资咨询业务资格 分析师声明分析师声明 作者具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格或相当的专业胜任能力，保证报告所采用的数据均来自合规渠道，分析逻辑基于作者的职业理解，本报告清晰准确地反映了作者的研究观点，力求独立、客观和公正，结论不受任何第三方的授意或影响，特此声明。免责声

154、明免责声明 本报告仅供国泰君安证券股份有限公司（以下简称“本公司”）的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户。本报告仅在相关法律许可的情况下发放，并仅为提供信息而发放，概不构成任何广告。本报告的信息来源于已公开的资料，本公司对该等信息的准确性、完整性或可靠性不作任何保证。本报告所载的资料、意见及推测仅反映本公司于发布本报告当日的判断，本报告所指的证券或投资标的的价格、价值及投资收入可升可跌。过往表现不应作为日后的表现依据。在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息保持在最新状态。同时，本公司对本报告所含信息可在不发出通知

155、的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。本报告中所指的投资及服务可能不适合个别客户，不构成客户私人咨询建议。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议。在任何情况下，本公司、本公司员工或者关联机构不承诺投资者一定获利，不与投资者分享投资收益，也不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任。投资者务必注意，其据此做出的任何投资决策与本公司、本公司员工或者关联机构无关。本公司利用信息隔离墙控制内部一个或多个领域、部门或关联机构之间的信息流动。因此，投资者应注意，在法律许可的情况下，本公司及其所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或

156、期权并进行证券或期权交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务。在法律许可的情况下，本公司的员工可能担任本报告所提到的公司的董事。市场有风险，投资需谨慎。投资者不应将本报告作为作出投资决策的唯一参考因素，亦不应认为本报告可以取代自己的判断。在决定投资前，如有需要，投资者务必向专业人士咨询并谨慎决策。本报告版权仅为本公司所有，未经书面许可，任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制、发表或引用。如征得本公司同意进行引用、刊发的，需在允许的范围内使用，并注明出处为“国泰君安证券研究”，且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。若本公司以外的其他机构（以下简称

157、“该机构”）发送本报告，则由该机构独自为此发送行为负责。通过此途径获得本报告的投资者应自行联系该机构以要求获悉更详细信息或进而交易本报告中提及的证券。本报告不构成本公司向该机构之客户提供的投资建议，本公司、本公司员工或者关联机构亦不为该机构之客户因使用本报告或报告所载内容引起的任何损失承担任何责任。评级说明评级说明 评级评级 说明说明 1.1.投资建议的比较标准投资建议的比较标准 投资评级分为股票评级和行业评级。以报告发布后的 12 个月内的市场表现为比较标准，报告发布日后的 12 个月内的公司股价（或行业指数）的涨跌幅相对同期的沪深 300 指数涨跌幅为基准。股票投资评级股票投资评级 增持

158、相对沪深 300 指数涨幅 15%以上 谨慎增持 相对沪深 300 指数涨幅介于 5%15%之间 中性 相对沪深 300 指数涨幅介于-5%5%减持 相对沪深 300 指数下跌 5%以上 2.2.投资建议的评级标准投资建议的评级标准 报告发布日后的 12 个月内的公司股价（或行业指数）的涨跌幅相对同期的沪深300 指数的涨跌幅。行业投资评级行业投资评级 增持 明显强于沪深 300 指数 中性 基本与沪深 300 指数持平 减持 明显弱于沪深 300 指数 国泰君安证券研究所国泰君安证券研究所 上海上海 深圳深圳 北京北京 地址 上海市静安区新闸路 669 号博华广场 20 层 深圳市福田区益田路 6003 号荣超商务中心 B 栋 27 层 北京市西城区金融大街甲 9 号 金融街中心南楼 18 层 邮编 200041 518026 100032 电话（021）38676666（0755）23976888（010）83939888 E-mail：