上海品茶

三个皮匠报告
上海品茶
最新
合集
英文
会议
图表
入驻
付费
new
报告
报告 合集 图表

电子行业半导体设备系列：刻蚀主赛道有望加速导入国产设备-210706（21页）.pdf

编号：44364 PDF 21页 1.53MB 下载积分：VIP专享
下载报告请您先登录！

电子行业半导体设备系列：刻蚀主赛道有望加速导入国产设备-210706（21页）.pdf

1、刻蚀是用化学、物理、化学物理结合的方法有选择的去除(光刻胶)开口下方的材料。被刻蚀的材料包括硅、介质材料、金属材料、光刻胶。刻蚀是与光刻相联系的图形化处理工艺。刻蚀就是利用光刻胶等材料作为掩蔽层，通过物理、化学方法将下层材料中没有被上层遮蔽层材料遮蔽的地方去掉，从而在下层材料上获得与掩膜板图形对应的图形。刻蚀设备市场超过 130 亿美元，是晶圆设备占比最高的市场。2011 年以来，刻蚀在晶圆设备的占比从 11%逐渐提升到 20%以上，2017 年起成为全球晶圆设备中占比最高的装备类别，重要性不断提升。刻蚀设备市场基本是干法刻蚀设备，2020 年全球干法刻蚀设备市场约 137 亿美元，其中介质刻

2、蚀(Dielectric Etch)60 亿美元，导体刻蚀(Conductor Etch)76 亿美元。刻蚀由海外龙头主导，国内公司保持快速增长。根据 Gartner 数据，全球刻蚀企业前三大分别是 Lam Research、TEL、AMAT，全球市占率合计 91%。国内刻蚀业务前三大企业分别为中微公司、北方华创、屹唐半导体。根据三方数据，2020 年国内的刻蚀龙头企业中微公司、北方华创的刻蚀业务都取得较高收入增长，并在规模体量逐步接近全球前五大厂商。国内刻蚀厂商加速导入。跟踪国内晶圆厂主要招投标数据，刻蚀设备需求工艺类别较多，绝大多数由海外龙头厂商供应，国内龙头公司北方华创、中微公司、屹唐半

3、导体处于加速导入过程。以长江存储、华虹无锡、华力集成的招投标数据进行分析，这三家晶圆厂的刻蚀环节上，国内设备产线的国产化率(以机台数量计算)平均约为 2030%。北方华创 ICP 刻蚀机领域国内领先，累计交付突破 1000 腔，12 英寸突破 28nm 以下制程。北方华创 2005 年第一台 8 英寸 ICP 刻蚀机在客户端商显， 12 英寸刻蚀机在客户端 28nm 实现国产替代，2020 年 12 月，北方华创 ICP 刻蚀机交付突破 1000 腔，标志着国产刻蚀机得到客户广泛认可。中微公司刻蚀产品线逐步成熟，从 CCP 向 ICP 快速开拓。中微公司 CCP 刻蚀设备应用于国际一线客户从 65nm 到 5nm、64 层及 128 层 3D NAND 晶圆产线及先进封装生产线，中微公司 ICP 刻蚀设备已经趋于成熟。中微公司已有较高装机存量反应台在客户端工作;中微公司的 ICP 设备 Nanova 已经累计交付 100 台反应腔，在领先的逻辑芯片、DRAM 和 Nand 厂商产线实现大规模量产。屹唐股份刻蚀产品处于国际先进、国内领先地位。屹唐股份拥有干法刻蚀设备 paradigmE 系列，采用专有的法拉第屏蔽电感耦合等离子 (ICP) 源与蚀刻偏臵控制相结合，设备采取双晶圆反应腔、双反应腔产品平台设计。

友情提示

1、下载报告失败解决办法
2、PDF文件下载后，可能会被浏览器默认打开，此种情况可以点击浏览器菜单，保存网页到桌面，就可以正常下载了。
3、本站不支持迅雷下载，请使用电脑自带的IE浏览器，或者360浏览器、谷歌浏览器下载即可。
4、本站报告下载后的文档和图纸-无水印,预览文档经过压缩，下载后原文更清晰。

本文（电子行业半导体设备系列：刻蚀主赛道有望加速导入国产设备-210706（21页）.pdf）为本站 （elLLL） 主动上传，三个皮匠报告文库仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对上载内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私，请立即通知三个皮匠报告文库（点击联系客服），我们立即给予删除！

温馨提示：如果因为网速或其他原因下载失败请重新下载，重复下载不扣分。
客服
商务合作
小程序
服务号
会员动态
会员动态 会员动态：

130**18... 升级为至尊VIP wei**n_...   升级为标准VIP

 wei**n_... 升级为至尊VIP wei**n_...  升级为高级VIP

 130**88... 升级为标准VIP 张川  升级为标准VIP

wei**n_...  升级为高级VIP 叶** 升级为标准VIP

wei**n_...  升级为高级VIP 138**78... 升级为标准VIP

 wu**i 升级为高级VIP wei**n_...  升级为高级VIP

 wei**n_... 升级为标准VIP wei**n_...  升级为高级VIP

185**35...   升级为至尊VIP wei**n_... 升级为标准VIP

186**30...  升级为至尊VIP  156**61...  升级为高级VIP

130**32... 升级为高级VIP  136**02... 升级为标准VIP

 wei**n_... 升级为标准VIP  133**46... 升级为至尊VIP

wei**n_... 升级为高级VIP  180**01...  升级为高级VIP

130**31...  升级为至尊VIP wei**n_...  升级为至尊VIP

微**... 升级为至尊VIP  wei**n_...  升级为高级VIP

wei**n_...  升级为标准VIP   刘磊 升级为至尊VIP

wei**n_...  升级为高级VIP  班长 升级为至尊VIP

 wei**n_... 升级为标准VIP  176**40... 升级为高级VIP

136**01...   升级为高级VIP  159**10... 升级为高级VIP

君君**i...  升级为至尊VIP   wei**n_...  升级为高级VIP

wei**n_... 升级为标准VIP 158**78... 升级为至尊VIP 

 微**... 升级为至尊VIP   185**94...  升级为至尊VIP

wei**n_...  升级为高级VIP 139**90... 升级为标准VIP 

 131**37... 升级为标准VIP 钟**  升级为至尊VIP

 wei**n_... 升级为至尊VIP  139**46... 升级为标准VIP 

 wei**n_... 升级为标准VIP wei**n_... 升级为高级VIP  

 150**80... 升级为标准VIP wei**n_... 升级为标准VIP 

 GT 升级为至尊VIP  186**25... 升级为标准VIP 

wei**n_...  升级为至尊VIP  150**68... 升级为至尊VIP

  wei**n_... 升级为至尊VIP  130**05... 升级为标准VIP

wei**n_...  升级为高级VIP wei**n_... 升级为高级VIP

 wei**n_...  升级为高级VIP 138**96...  升级为标准VIP

  135**48... 升级为至尊VIP  wei**n_... 升级为标准VIP

肖彦  升级为至尊VIP wei**n_... 升级为至尊VIP

wei**n_... 升级为高级VIP  wei**n_...  升级为至尊VIP

 国**... 升级为高级VIP 158**73...  升级为高级VIP

wei**n_... 升级为高级VIP  wei**n_... 升级为标准VIP 

wei**n_... 升级为高级VIP 136**79...  升级为标准VIP

 沉**...  升级为高级VIP  138**80... 升级为至尊VIP

138**98... 升级为标准VIP  wei**n_...  升级为至尊VIP

wei**n_...  升级为标准VIP  wei**n_... 升级为标准VIP

 wei**n_... 升级为至尊VIP  189**10... 升级为至尊VIP

wei**n_...   升级为至尊VIP 準**...  升级为至尊VIP

 151**04...  升级为高级VIP 155**04... 升级为高级VIP

  wei**n_... 升级为高级VIP sha**dx...  升级为至尊VIP

 186**26... 升级为高级VIP 136**38... 升级为标准VIP

182**73... 升级为至尊VIP   136**71... 升级为高级VIP

139**05...  升级为至尊VIP   wei**n_...  升级为标准VIP

 wei**n_... 升级为高级VIP  wei**n_... 升级为标准VIP 

微**... 升级为标准VIP    Bru**Cu... 升级为高级VIP

 155**29... 升级为标准VIP wei**n_... 升级为高级VIP