半导体主要量检测设备类型及销售额(2020年) 原图定位 根据 VLSI Research 的统计,在 2020年的半导体检测、量测设备市场中,检测设备的销售额占比为 62.6%,量测设备占比为 33.5%。具体来看,纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩膜版缺陷检测设备、关键尺寸量测设备的销售额占比分别为 24.7%、11.3%、10.2%,为销售额占比最高的三类设备。