MOS管High-k材料用量有所增多 原图定位 DRAM 线宽越细,High-k 材料用的越多。未来随着半导体技术的发展,对 High-K 材料的需求将攀升。随着制程微缩,电容的深宽比倍数增加,需要单位价值量更高的 High-k 材料降低高深宽比刻蚀产生的各种缺陷。