公司MAS6激光直写光刻机出货日本 原图定位 在性能方面,MAS6直写光刻机设备是专门面向 IC载板(FC-BGA基板、FC-CSP基板)领域量产 L/S:10/10μm节点的客户需求进行开发。解析精度可至 6/6μm;采用高精度的精密位移平台系统,配合高精度的环境温度控制,使得对位精度达到 5μm。