MEMS产品分类 原图定位 MEMS 是微电子领域新兴技术,产品通常可分为 MEMS 执行器和 MEMS 传感器,其中传感器市场占比约 70%。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)即微电子机械系统,通过将微传感器、微执行器、微电源、机械结构、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等子系统集成在一个微米甚至纳米级的器件上,从而达到电子产品微型化、智能化、低成本、低能耗、易于集成和高可靠性。MEMS 执行器主要负责接收电信号并将其转化为微动作,包括微电动机、微开关等;MEMS 传感器是一种检测装置,将感受到的信息按规律变换成电信号或其他形式的信息输出,包括惯性传感器、压力传感器、声学传感器、环境传感器以及光学传感器等。