拓荆科技2021前三季度零部件采购比例 原图定位 Gas Box 大约分别占刻蚀设备和薄膜设备价值量的 9%和 5%,2023 年国内市场空间预计 50-100 亿元。1)刻蚀设备:根据中微公司招股书,2018 年气体输送系统类零部件采购成本占原材料总成本的 17%,2018 年中微公司刻蚀设备毛利率为 48%,因此测算气体输送类(Gas Box、气体管路等)占刻蚀设备价值量约为 9%;2)薄膜沉积设备:根据拓荆科技招股书,2021 年气体输送系统类零部件采购成本占原材料总成本的 8%,2021 年拓荆科技毛利率为 44%,据此测算气体输送类零部件占薄膜设备价值量约 4.5%。根据 Gartner,2023 年全球半导体设备销售额大约千亿美金,刻蚀和薄膜沉积设备大约占比 45%,假设按照国内占比 25%,Gas Box 价值量占设备比例 5-10%测算,同时考虑到离子注入、干法去胶等其他干法设备对 Gas Box 的需求,国内 Gas Box 市场空间有望在50-100 亿人民币之间。