EEL（左）和VCSEL（右）示意 原图定位

半导体激光芯片根据谐振腔制造工艺的不同分为边发射激光芯片 （EEL）和面发射激光芯片（VCSEL）两种。EEL 芯片是在芯片的两侧镀光学膜形成谐振腔，沿平行于衬底表面发射激光，而 VCSEL 芯片是在芯片的上下两面镀光学膜，形成谐振腔，由于光学谐振腔与衬底垂直，能够实现垂直于芯片表面发射激光。VCSEL 有低阈值电流、稳定单波长工作、可高频调制、容易二维集成、没有腔面阈值损伤、制造成本低等优点。正是由于 VCSEL特点，其可应用于 3D传感、激光雷达以及近距离光通信等领域。