国内外碳化硅外延厂商产品/产能布局 原图定位

高品质的碳化硅外延晶片生长受到外延生长过程中使用的 CVD 外延炉、衬底等上游设备及材料的影响。国际上已经商业化量产的 SiC-CVD 设备有意大利 LPE、德国 Axitron 和日本NuFlare 产品，这三家公司也占据了国内市场。由于起步晚和产业化水平低，国产设备在使用方便性、可调性、稳定性以及运行维护性方面与国外先进设备相比存在较大的差距，重点需要提升温场和流场的均匀性方面的技术。以芯三代、晶盛机电为代表的国内 SiC-CVD设备厂家，产品各项指标已经达到甚至领先国际先进水平，国产 SiC-CVD 设备目前的重点是进入生产线接受大批量生产考验。