奥特维键合机发展历程 原图定位

• 成立合资公司布局CMP，半导体磁拉单晶炉获订单。化学机械研磨(CMP)是结合了化学腐蚀和机械研磨平坦化工艺，在现代半导体制造中十分重要，奥特维引入日本团队成立合资公布局CMP设备。此外，公司半导体级磁拉单晶炉，获韩国知名半导体公司批量订单。