图表14.理想万里晖PECVD设备腔体示意 原图定位

理想万里晖与钧石能源领衔国产厂商：理想万里晖专注于 HJT电池 PECVD设备的研发和生产，其设备的特点之一是采用了双真空反应腔，减小了反应腔体的体积，不易产生颗粒物，生产过程中气体消耗较少，同时采用上下极板同时加热的方式，不易产生热漂移。目前理想万里晖 PECVD设备已实现 25.11%的 HJT电池实验室转换效率世界纪录。钧石能源自 2010年起即开始对 HJT电池与设备进行研发，在电池技术和设备工艺方面均取得了较大突破，目前其自研 PECVD设备可支撑 HJT电池达到24.1%的平均转换效率。此外，迈为股份、捷佳伟创、金辰股份等上市公司亦已积极投入 PECVD设备的研发，且已取得阶段性成果。