异质结PECVD与HWCVD运营成本对比(元/W) 原图定位 HWCVD 具备成本优势。热丝 CVD 实现微晶需要增大电流而 PECVD 则需要加大射频可能产生驻波效应。相比之下,热丝 CVD 并无等离子体溅射损伤,H2 等特气耗量也显著低于 PECVD 路线,叠加无绕镀、无粉尘优势将大大提升有效工作时间。