PECVD投资成本中射频电源占比4%,为核心零部件 原图定位 射频电源为电池片设备核心零部件,PECVD 成本占比 4%。在电池片生产过程中,电源主要应用于扩散和镀膜环节,其中 TOPCon 路线主要用于扩散、PECVD,HJT 路线主要用于 PECVD/CAT-CVD、RPD/PVD。根据金辰股份 2021 年公告,射频电源占 PECVD设备成本比重达 4%,是除真空系统(腔、泵、管路)外成本占比最大的零部件。