光掩膜版的分类 原图定位 光掩模版可按照组成与产品进行分类。光掩膜版主要由基板与遮光膜两部分组成,其中基板可分为透明树脂基板和透明玻璃基板,透明树脂基板易于大型化,但是易变形,相较而言玻璃基板更为常用,按照玻璃材质可细分为合成石英、硼硅玻璃和苏打玻璃三类;遮光膜材料主要是乳胶遮光膜与硬质遮光膜两大类,硬质遮光膜可进一步细分为铬、硅、硅化钼、氧化铁四类,其中铬质材料具有涂覆均一性好,刻蚀精度高,且无毒无污染的优点,应用最为广泛。按照用途可将光掩膜版分为铬版、凸版、干版和液体凸版四类,其中,铬版主要由铬质遮光膜与石英基板组成,由于其精度高、耐用性好,广泛应用于在微电子制造领域。