表9.国内第三方掩膜版厂扩产计划 原图定位 随着掩膜版需求的不断提升,国内第三方掩膜版厂近期纷纷扩产。国内第三方掩膜版厂主要集中在 130nm 以上成熟制程,国产替代进程加剧国内掩膜版需求的上升,清溢光电、路维光电、冠石科技、龙图光罩和无锡迪思微都增加投资加快掩膜版制程推进,国内第三方掩膜版迎来了蓬勃发展,有望在近几年将制程节点提升到 28nm 先进制程。