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1、2 0 2 3 年深度行业分析研究报告目录目录 1 1、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板 2 2、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展 3 3、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间 4 4、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板+半导体双翼齐飞半导体双翼齐飞 5 5、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮、路维光电：我国掩膜版头

2、部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮 掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版掩膜版是微电子制造过程中的图形转移母版，是平板显示、半导体、触控、电路板等行业生产制造过程中重要的关键材料。掩膜版的作用是将设计者的电路图形通过曝光的方式转移到下游行业的基板或晶圆上，从而实现批量化生产。作为光刻复制图形的基准和蓝本，掩膜版是连接工业设计和工艺制造的关键，掩膜版的精度和质量水平会直接影响最终下游制品的优品率。图图 2 2：掩膜版在半导体生产中的应用：掩膜版在半导体生产中的应用 资料来源：清溢光电招股说明书 1.1 1.1 掩膜版：微电子制造的图形转移母板掩膜版：微电子制造的图形转移母板 图图 1 1：掩

3、膜版工作原理：掩膜版工作原理 资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿）掩膜版广泛应用于半导体、平板显示、电路板、触控屏等领域。掩膜版广泛应用于半导体、平板显示、电路板、触控屏等领域。TFT-LCD制造过程中，利用掩膜版的曝光掩蔽作用，将设计好的TFT阵列和彩色滤光片图形按照薄膜晶体管的膜层结构顺序，依次曝光转移至玻璃基板，最终形成多个膜层所叠加的显示器件。晶圆制造过程中，其制造过程需要经过多次曝光工艺，利用掩膜版的曝光掩蔽作用，在半导体晶圆表面形成栅极、源漏极、掺杂窗口、电极接触孔等。半导体掩膜版在最小线宽、CD 精度、位置精度等重要参数方面的要求，均显著高于平板显示、PCB 等领域掩膜版产品。

4、资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿），SEMI，Omdia，光大证券研究所整理 1.2 1.2 掩膜版：半导体和平板显示为两大主要应用领域掩膜版：半导体和平板显示为两大主要应用领域 表表 1 1：各类掩膜版及下游应用占比：各类掩膜版及下游应用占比 产品类型产品类型 产品应用领域产品应用领域 下游下游应用应用市市场场占占比比 下游应用代表厂商下游应用代表厂商 半导体掩膜版 逻辑电路制造、模拟电路制造、功率器件制造、MEMS传感器制造、IC封装等 60%台积电、英特尔、中芯国际、华虹半导体、华润微、中芯集成、士兰微、积塔半导体、比亚迪半导体、立昂微、燕东微、高德红外、长电科技等 平板显示掩膜版

5、LCD 显示屏制造、OLED显示屏制造等 28%京东方、天马微电子、华星光电、中电熊猫、惠科等 其他 电路板（PCB、FPC）制造、触控屏（TP）制造、光学器件制造等 12%蓝思科技、紫翔电子等 关键参数关键参数 关键参数说明关键参数说明 半导体掩膜版半导体掩膜版 平板显示掩膜版平板显示掩膜版 PCBPCB掩膜版掩膜版 掩膜版最小线宽 掩膜版线宽越小，制作难度越高，对应下游产品线宽越小 0.5m 1.2m 10m CD 精度 数值越小，说明精度越高 0.02m 0.10m 0.50m CD 精度均值偏差 数值越小，说明精度稳定性越高 0.02m 0.12m 1m 位置精度 数值越小，掩膜版实际

6、图形位置坐标与设计值的偏差越小，精度越高 0.02m 0.28m 套刻层数 下游生产时使用的掩膜版的层数，层数越多对套刻精度要求越高 成套芯片用掩膜版包含的张数较多，通常十几张到数十张不等 成套的平板显示用掩膜版一般数量相对较少，即使是AMOLED一般也仅需十数张 通常张数为个位数 表表 2 2：各类掩膜版参数：各类掩膜版参数 注：此处掩膜版最小线宽指掩膜版产品本身的最小线宽。由于半导体光刻时使用投影式光刻，掩膜版上曝光的图案按照4:1 的比例投影至晶圆上，因此0.5m的掩膜版自身最小线宽对应下游半导体线宽约为130nm。显示面板、PCB 在曝光时通常采用接近式光刻，掩膜版上的图案按照1:1

7、的比例曝光。资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿），光大证券研究所整理 目录目录 1 1、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板 2 2、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展 3 3、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间 4 4、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板+半导体双翼齐飞半导体双翼齐飞 5 5、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国

8、产替代浪潮、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮 随着韩国三星、随着韩国三星、LG LG 逐步关停或出售所拥有的逐步关停或出售所拥有的 TFT LCD TFT LCD 生产线，中国大陆在全球生产线，中国大陆在全球 TFT LCD TFT LCD 市场市场 的占比进一步提升。的占比进一步提升。Omdia预测，到2027 年中国大陆LCD产能在全球的占比（按面积）将达到 73.74%，占据绝对领先地位。OLED OLED 在全球占比快速提升。在全球占比快速提升。在平板显示领域，韩国已逐步放弃 TFT LCD 市场，转而将焦点放在利润更为丰厚且具有独特优势的 OLED 市场，中

9、国面板企业在 OLED 领域奋起直追，不断缩小与韩国的差距。2023 年第四季度，京东方在折叠屏 OLED 市场实现了对三星显示的超越，占有率排名居市场第一。UBI Research 预测，2024 年韩国 OLED 智能手机面板出货量的占有率将同比减少 4.6 个百分点，降至 53%；到 2025 年将逐渐下降到 45.2%。中国在2023至2024年OLED智能手机面板出货量占有率预计将从 42.4%增 加到 47%，预计2025年将会攀升至 54.8%。2025 年中国对OLED 智能手机面板占有率将超过韩国。根据路维光电2023年年报，2024 年中国柔性 OLED 智能手机面板出货量

10、占比有望首次超过韩国，成为全球最大的智能手机柔性 AMOLED 生产国。由于 OLED 是电流驱动显示，对像素驱动电路要求更高，进而对掩膜版的质量和数量提出了更高的要求，高端掩膜版需求增长。图图 3 3：全球各地区显示面板产能占比（按面积）全球各地区显示面板产能占比（按面积）2.1 2.1 中国大陆中国大陆 TFT LCD TFT LCD 已占据绝对优势，已占据绝对优势，OLED OLED 在全球占比快速提升在全球占比快速提升 平板显示需求扩张。平板显示需求扩张。平板显示行业长期发展呈现像素高精度化、尺寸大型化、竞争白热化、转移加速化、产品定制化等特点。受益于电视平均尺寸增加，大屏手机、车载显

11、示和公共显示等需求的拉动，根据 Omdia 2023 年9月预测，2027 年全球平板显示需求超过 300 百万平方米。OLEDOLED长期成长空间广阔。长期成长空间广阔。根据Omdia预测，从2021到2028年，按面积计算的全球AMOLED显示面板需求CAGR将达到11.6%。Omdia认为，AMOLED已成功进入智能手机市场，大多数智能手机品牌已经在其高端机型上采用了AMOLED面板。从面积角度，高端电视市场对OLED面板的需求超过了智能手机市场，未来将持续增长；多个移动PC品牌也开始在其高端机型上采用AMOLED显示面板，更薄且亮度更高的显示屏能够提升移动PC的产品品质，在推向市场时也

12、可作为一大卖点。图图 5 5：全球：全球AMOLEDAMOLED面板面积需求预测面板面积需求预测 资料来源：Omdia 图图 4 4：全球全球 20222022-2027 2027 年年 平板显示需求预测（单位：千平米）平板显示需求预测（单位：千平米）2.1 2.1 平板显示需求扩张，平板显示需求扩张，OLEDOLED长期成长空间广阔长期成长空间广阔 图图 6 6：AMOLEDAMOLED面板分应用面积需求预测（单位：百面板分应用面积需求预测（单位：百万平方米）万平方米）资料来源：Omdia，光大证券研究所整理 资料来源：Omdia，光大证券研究所整理 中国大陆已经成为全球面板产能最多的地区。

13、中国大陆已经成为全球面板产能最多的地区。近年来我国集中建设高精度、高世代面板线为承接全球新型显示产能转移提供了良好条件，全球平板显示产业布局向中国转移的进程明显加快。我国平板显示产业集中度进一步提高，京津唐、长三角、珠三角以及成渝鄂等四大产业聚集区开始建设高精度、高世代面板线。根据 Omdia 2023 年 9 月预计，全球各区域面板制造商的产能份额中，在 2026 年中国大陆 6 代产能占比将达到 45%左右，6 代以上产能占比将达到 80%；多条 AMOLED/LTPS 生产线建设进展顺利，京东方、华星光电、天马、维信诺、和辉光电等企业在 AMOLED/LTPS 高分辨率、折叠屏、全面屏、

14、高饱和度等新技术上加大投入，量产进程稳步推进。图图 7 7：全球全球 20002000-2028 2028 年全球各区域各世代面板制造商的产能份额趋势年全球各区域各世代面板制造商的产能份额趋势 2.1 2.1 中国大陆平板显示产能建设加速中国大陆平板显示产能建设加速 2023 年是我国显示产业的投资大年。2023 年一季度京东方宣布投资 290 亿建设第 6 代新型半导体显示器件生产线项目，着力布局 VR、Mini LED 等高端显示技术；四季度，京东方宣布在成都投资 630 亿元建设 8.6 代 AMOLED 生产线项目，主要生产用于笔记本电脑、平板电脑等高端触控显示屏，推进 OLED 在高

15、端中尺寸 IT 类产品渗透，开拓中尺寸 OLED 屏幕产品的广阔市场。与此同时，TCL 华星在其全球显示生态大会上宣布，投资建设采用印刷 OLED 技术生产显示屏的生产线，主要生产用于 IT、医疗等领域的显示屏。根据根据 OmdiaOmdia 2023 2023 年年 9 9 月统计分析，预计月统计分析，预计2024 2024 年有年有 24 24 条条8.5 8.5 代以上高世代线，其中代以上高世代线，其中 8.5/8.6 8.5/8.6 代合计有代合计有 19 19 条，条，20242024年中国大陆预计有年中国大陆预计有 23 23 条中精度及高精度条中精度及高精度 AMOLED/LTP

16、S/aAMOLED/LTPS/a-SiSi。2.1 2.1 中国大陆平板显示产能建设加速中国大陆平板显示产能建设加速 表表 3 3：2024 2024 年年 19 19 条条 8.5/8.6 8.5/8.6 代高精度代高精度 TFT TFT 产线情况产线情况 生产商生产商 工厂工厂 应用应用 主要技术主要技术 代数代数 1 1 京东方 BOE B4 LCD a-Si 8.5 2 2 京东方 BOE B5 LCD+OLED a-Si 8.5 3 3 京东方 BOE B8 LCD a-Si 8.5 4 4 京东方 BOE B10 LCD a-Si 8.5 5 5 京东方 BOE B18 LCD O

17、xide 8.5 6 6 京东方 BOE B19 LCD Oxide 8.6 7 7 华星光电 CSOT T1 LCD+EPD a-Si 8.5 8 8 华星光电 CSOT T2 LCD a-Si 8.5 9 9 华星光电 CSOT T9 LCD a-Si/Oxide 8.6 1010 华星光电 CSOT T10 LCD a-Si 8.5 1111 惠科 HKC H1 LCD a-Si 8.6 1212 惠科 HKC H2 LCD a-Si 8.6 1313 惠科 HKC H4 LCD a-Si 8.6 1414 惠科 HKC H5 LCD a-Si 8.6 1515 咸阳彩虹 CECX 1

18、LCD a-Si 8.6 1616 LG Display LGD GP1 LCD a-Si 8.5 1717 LG Display LGD GP3 OLED Oxide 8.5 1818 天马 Tianma TM19 LCD a-Si/Oxide 8.6 1919 泰嘉 Taijia LCD a-Si 8.5 userid:93117,docid:164986,date:2024-06-17, 2.1 2.1 中国大陆平板显示产能建设加速中国大陆平板显示产能建设加速 表表 4 4：2024 2024 年年 23 23 条中精度及高精度条中精度及高精度 AMOLED/LTPS/aAMOLED/L

19、TPS/a-Si Si 情况情况 生产商生产商 工厂工厂 应用应用 主要技术主要技术 代数代数 备注备注 1 1 友达光电 AUO L6K LCD LTPS 6 2 2 京东方 BOE B3 LCD a-Si 6 3 3 京东方 BOE B6 LCD+OLED LTPS 5.5 4 4 京东方 BOE B7 OLED LTPS 6 5 5 京东方 BOE B11 OLED LTPS 6 6 6 京东方 BOE B12 OLED LTPS 6 7 7 京东方 BOE B20 LCD+Micro LED LTPS 6 8 8 京东方 BOE B16 OLED-8.6 计划中 9 9 中电熊猫 C1

20、 LCD a-Si 6 1010 华星光电 CSOT T4 OLED LTPS 6 1111 华星光电 CSOT T3 LCD LTPS 6 1212 华星光电 CSOT T5 OLED LTPS 6 1313 和辉光电 Everdisplay 1 OLED LTPS 4.5 1414 和辉光电 Everdisplay 2 OLED LTPS 6 1515 华佳彩 MDT 1 LCD+OLED a-Si 6 1616 天马 TM15 OLED LTPS 5.5 1717 天马 TM16 LCD+OLED LTPS 6 1818 天马 TM17 OLED LTPS 6 1919 天马 TM18

21、OLED LTPS 6 2020 维信诺 VSX V1 OLED LTPS 5.5 2121 维信诺 VSX V1 OLED LTPS 6 2222 维信诺 VSX V1 OLED LTPS 6 2323 维信诺 VSX V1 OLED LTPS 8.6 计划中 根据 Omida 分析，2022 年全球光掩膜版市场约为 1,280 亿日元，2024 年预计将达到 1,309 亿日元。根据 Omdia 分析，中国大陆平板显示行业掩膜版需求占全球比重，从 2017 年的 32%上升到 2022 年的 57%。未来随着相关产业进一步向国内转移，中国大陆平板显示行业掩膜版的需求将未来随着相关产业进一步

22、向国内转移，中国大陆平板显示行业掩膜版的需求将持续上升持续上升，预计到 2026 年，中国大陆平板显示行业掩膜版需求全球占比将达到 60%。根据前瞻产业研究院数据，2021年我国平板显示（FPD）掩膜版市场规模为30.24亿元，估测2022年我国平板显示（FPD）掩膜版市场规模约为35.38亿元。资料来源：Omdia 2.1 2.1 平板显示掩膜版国产替代需求旺盛平板显示掩膜版国产替代需求旺盛 图图 8 8：全球光掩膜版市场规模全球光掩膜版市场规模 图图 9 9：全球全球 各区域平板显示掩膜版市场份额预测各区域平板显示掩膜版市场份额预测 资料来源：Omdia 大尺寸屏幕的需求增加引领全球平板显

23、示产业向8+代线和10+代线迈进。面板的世代数是按照产线所应用的玻璃基板的尺寸划分，总体来说，面板代数越高，面板的玻璃基板尺寸越大，切割的屏幕数目越多，利用率和效益越高。近几年面板厂商积极投资与扩产大尺寸世代线，面板尺寸的增大带动其上游材料掩膜版朝着大尺寸化的方向发展，也会带动大尺寸掩膜版的需求增长。随着面板世代数不断演进，掩膜版的世代也相应演进。随着面板世代数不断演进，掩膜版的世代也相应演进。图图 1111：9090寸及寸及23.323.3寸面板切割效率示意图寸面板切割效率示意图 资料来源：路维光电招股说明书 2.2 2.2 显示面板趋向大尺寸，平板显示掩膜版需求增加显示面板趋向大尺寸，平板

24、显示掩膜版需求增加 图图 1010：6565寸及寸及7575寸面板切割效率示意图寸面板切割效率示意图 资料来源：路维光电招股说明书 8.6 8.6 代及以下平板显示行业掩膜版需求保持稳定增长。代及以下平板显示行业掩膜版需求保持稳定增长。根据 Omdia 分析，预计 2027 年全球 8.6 代及以下平板显示行业掩膜版销售收入为 1,293 亿日元，占全球平板显示行业掩膜版销售额的比例为 93.5%。根据 Omdia 2021 年的预测，在 2019 年和 2022 年之间，液晶电视平均尺寸预计将从 45.6 英寸增加到 50.2 英寸。自 2018 年起，G11（2940mmx3370mm）及

25、以内液晶面板玻璃基板能较好地满足产品切割需求。OLED 产品方面，受限于蒸镀机尺寸，目前主流目前主流 OLED OLED 显示面板厂尺寸主要集中在显示面板厂尺寸主要集中在 G6G6，对应掩 膜版产品主要集中在 850mmx1200mm 尺寸。三星宣布在韩国牙山投建全球首条 G8.6OLED 生产线，京东方在 2023 年四季度也宣布在成都投建 G8.6 AMOLED 产线，LG 计划通过出售广州工厂筹集资金建设其 G8 AMOLED 产线。随着各大厂商对大尺寸随着各大厂商对大尺寸 OLED OLED 面板产线的投资和建设，预计未来面板产线的投资和建设，预计未来 OLED OLED 掩膜版产品也

26、将向大尺寸靠拢。掩膜版产品也将向大尺寸靠拢。2.2 2.2 显示面板趋向大尺寸，平板显示掩膜版需求增加显示面板趋向大尺寸，平板显示掩膜版需求增加 图图 1212：全球：全球8.68.6代及以下平板显示行业掩膜版销售预测（单位：万日元）代及以下平板显示行业掩膜版销售预测（单位：万日元）图图 1313：不同尺寸的面板基板对应不同尺寸的掩膜版（单位：不同尺寸的面板基板对应不同尺寸的掩膜版（单位：mmmm）资料来源：路维光电招股说明书 高分辨率终端显示产品的渗透带动掩膜版向高精细化的方向发展。高分辨率终端显示产品的渗透带动掩膜版向高精细化的方向发展。掩膜版作为平板显示制造过程的关键材料，对面板产品的精

27、度起决定性的作用，高分辨率产品对掩膜版的精度提出了更高的技术要求。近年来随着平板显示解析度不断提高，TFT半导体主动层材料已逐步采用LTPS/Oxide技术，并朝着LTPO（低温多晶氧化物）等新技术演变。对于掩膜版的配套技术要求，主要体现在曝光分辨率（最小线宽线缝）、最小孔或方块、CD均匀性以及套合精度的不断提升。随着随着LTPOLTPO屏幕技术普及，掩膜版层数也随之增加。屏幕技术普及，掩膜版层数也随之增加。为进一步降低AMOLED屏幕的功耗，业内在LTPS背板的基础上开发出了LTPO背板显示技术。传统LTPS背板一般需要9-13层掩膜版，结合IGZO技术后，LTPO背板工艺所需掩膜版增加至1

28、3-17层。2023 年，LTPO OLED 屏幕出货量达 1.882 亿片，较 2022 年的 1.4273 亿片增长 31.9%。2.2 2.2 平板显示掩膜版趋向高精度，平板显示掩膜版趋向高精度，LTPOLTPO工艺所需掩膜版层数增长工艺所需掩膜版层数增长 图图 1414：平板显示掩膜版精度发展趋势简图平板显示掩膜版精度发展趋势简图 资料来源：Omdia 目录目录 1 1、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板 2 2、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展

29、 3 3、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间 4 4、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板+半导体双翼齐飞半导体双翼齐飞 5 5、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮 根据根据SEMISEMI世界晶圆厂预测报告世界晶圆厂预测报告，20242024年半导体行业的增长将由前沿逻辑和代工、包括生成式人工智能和高性能计算（年半导体行业的增长将由前沿逻辑和代工、包括生成式人工智能和高性能计算（HPCHPC）在内

30、的应用的）在内的应用的产能增长以及芯片终端需求的复苏推动。产能增长以及芯片终端需求的复苏推动。全球半导体每月晶圆（WPM）产能在2023年增长5.5%至2960万片后，预计2024年将增长6.4%，首次突破每月3000万片大关（以200mm当量计算）。从2022年至2024年，全球半导体行业计划开始运营82个新的晶圆厂，其中包括2023年的11个项目和2024年的42个项目，晶圆尺寸从300mm到100mm不等。在政府资金和其他激励措施的推动下，预计中国将增加其在全球半导体产能中的份额。在政府资金和其他激励措施的推动下，预计中国将增加其在全球半导体产能中的份额。SEMI预计中国芯片制造商将在2

31、024年开始运营18个项目，2023年产能同比增长12%，达到每月760万片晶圆，2024年产能同比增加13%，达到每月860万片晶圆。中国台湾预计仍将是半导体产能第二大地区，2023年产能将增长5.6%至每月540万片晶圆，2024年增长4.2%至每月570万片晶圆。该地区准备在2024年开始运营五家晶圆厂。韩国的芯片产能排名第三，2023年为每月490万片晶圆，随着一家晶圆厂的投产，2024年增长了5.4%为每月510万片晶圆。日本预计将在2023年和2024年分别以每月460万片和470万片的产量位居第四，随着2024年四家晶圆厂的投产，产能将增长2%。2024年，美洲将新增6家晶圆厂，

32、芯片产能同比增长6%，达到每月310万片晶圆。随着四家新晶圆厂的投产，欧洲和中东地区的产能预计将在2024年增长3.6%，达到每月270万片晶圆。随着四个新晶圆厂项目的启动，东南亚准备在2024年将产能提高4%，达到每月170万片晶圆。FoundryFoundry供应商预计将成为最大的半导体设备买家，供应商预计将成为最大的半导体设备买家，20232023年年产能将增至每月产能将增至每月930930万片晶圆，万片晶圆，20242024年产能将达到创纪录的每月年产能将达到创纪录的每月10201020万片晶圆。万片晶圆。3.1 3.1 晶圆厂产能扩张带动半导体材料市场规模增长晶圆厂产能扩张带动半导体

33、材料市场规模增长 统计及预测 图图 1515：新增运营晶圆厂个数：新增运营晶圆厂个数 SEMI（国际半导体产业协会）最新数据显示，2023年全球半导体材料市场销售额从2022年的727亿美元同比下降8.2%，至667亿美元，主要因为2023年半导体行业处于去库存过程中，晶圆厂利用率下降，从而材料消耗下降。2023年，晶圆制造材料销售额下降7%至415亿美元，封装材料销售额下降10.1%至252亿美元。根据SEMI 数据、CEMIA 数据，中国大陆半导体材料市场规模快速增长，从2019年为87 亿美元增长至2022年的129.7亿美元，年复合增长率为14.24%，预估2023 年规模为148.2

34、 亿美元。资料来源：SEMI材料市场数据订阅(MMDS),2024年5月 3.1 3.1 晶圆厂产能扩张带动半导体材料市场规模增长晶圆厂产能扩张带动半导体材料市场规模增长 图图 1616：20年全球半导体材料市场规模（单位：十亿美元）年全球半导体材料市场规模（单位：十亿美元）资料来源：SEMI，CEMIA，龙图光罩招股说明书（注册稿），光大证券研究所 图图 1717：20年中国半导体材料市场规模年中国半导体材料市场规模 半导体材料可以划分为制造材料和封装材料两部分。其中制造材料包括硅片（也称晶圆）、电子气体、掩膜版光刻胶、湿电子化学品

35、以及靶材等。SEMI数据显示，2018-2022年，全球半导体掩膜版市场规模由40.41亿美元增长至49亿美元，复合年均增长率达4.9%，预估2023年半导体掩膜版市场规模将继续增长至50.98亿美元。根据龙图光罩招股说明书，20222022年我国大陆半导体掩膜版市场规模为年我国大陆半导体掩膜版市场规模为15.5615.56亿美元，亿美元，20232023年预估为年预估为17.7817.78亿美元，亿美元，同比增长同比增长14.27%14.27%。图图 1919：20年全球半导体掩膜版市场规模年全球半导体掩膜版市场规模 3.1 3.1 半导体掩膜版：半导体材料中占

36、比较大的市场半导体掩膜版：半导体材料中占比较大的市场 图图 1818：20222022年半导体制造材料市场结构年半导体制造材料市场结构 资料来源：SEMI，华经产业研究院，光大证券研究所 图图 2020：20年中国半导体掩膜版市场规模年中国半导体掩膜版市场规模 资料来源：SEMI，CEMIA，龙图光罩招股说明书（注册稿），光大证券研究所 资料来源：SEMI，中商产业研究院，光大证券研究所 半导体掩膜版生产厂商可以分为晶圆厂自建配套工厂和独立第三方掩膜厂商两大类。由于28nm 及以下的先进制程晶圆制造工艺复杂且难度大，各家用于芯片制造的掩膜版涉及晶圆制造厂的重要工艺

37、机密且制造难度较大，因此先进制程晶圆制造厂商所用的掩膜版大部分由自己的专业工厂内部生产，如英特尔、三星、台积电、中芯国际等公司的掩膜版均主要由自制掩模版部门提供。对于28nm以上等较为成熟的制程所用的掩膜版，芯片制造厂商为了降低成本，在满足技术要求下，更倾向于向独立第三方掩膜版厂商进行采购。根据贝恩咨询发布的中国半导体白皮书，全球晶圆制造代工收入中28nm 以上制程的收入占比约为55.38%，占据晶圆代工大部分收入。根据根据SEMISEMI 数据数据，在全球半导体掩膜版市场在全球半导体掩膜版市场，晶圆厂自行配晶圆厂自行配套的掩膜版工厂规模占比套的掩膜版工厂规模占比6565%，独立第三方掩膜厂商

38、规模占比独立第三方掩膜厂商规模占比3535%。独立第三方掩膜版市场主要被美国独立第三方掩膜版市场主要被美国PhotronicsPhotronics、日本日本ToppanToppan 和日本和日本DNPDNP 三家公司所控制三家公司所控制，三者共占八成以上的市场规模三者共占八成以上的市场规模，市场集中度较高市场集中度较高。由于半导体掩膜版具有较高的进入门槛，国内半导体掩膜版主要生产商仅包括中芯国际光罩厂、迪思微、中微掩模、龙图光罩、清溢光电、路维光电、中国台湾光罩等。图图 2222：全球独立第三方半导体掩膜版厂商市场格局：全球独立第三方半导体掩膜版厂商市场格局 3.2 3.2 独立第三方半导体掩

39、膜版市场中，海外公司占比较高独立第三方半导体掩膜版市场中，海外公司占比较高 图图 2121：全球半导体掩膜版厂商市场格局：全球半导体掩膜版厂商市场格局 资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿），光大证券研究所 资料来源：SEMI，龙图光罩招股说明书（注册稿），光大证券研究所 半导体掩膜版行业具有显著的资本投入大、技术壁垒高、高度依赖专有技术的特点。半导体掩膜版行业具有显著的资本投入大、技术壁垒高、高度依赖专有技术的特点。晶圆制造厂商自行配套掩膜工厂，主要是出于制作能力的考量，但随着制程工艺逐渐成熟及第三方掩膜版厂商的制作水平的不断提升，自建掩膜工厂的诸多弊端逐渐体现，如设备、人工投入巨大，生产环

40、节过于复杂，成本过于昂贵等。第三方半导体掩膜版厂商能充分发挥技术专业化、规模化优势，具有显著的规模经济效应。在技术水平、产品性能指标符合要求前提下，独立第三方掩膜版厂商对晶圆制造厂商的吸引力不断增加。由于掩膜版承载着芯片设计方案和图形信息，涉及到芯片设计公司的重要知识产权，第三方半导体掩膜版厂商作为芯片设计与芯片制造的中间桥梁，能够更好地发挥信息隔离功能，芯片设计公司更倾向于将芯片设计版图交给第三方掩膜厂进行掩模生产以保证自身的信息安全。随着技术水平不断提高，第三方独立掩膜版厂商竞争优势将不断体现，市场份额将随着技术水平不断提高，第三方独立掩膜版厂商竞争优势将不断体现，市场份额将持续增加。持续

41、增加。表表 5 5：半导体掩膜版行业具有较强抗周期行业特性，需求稳定性较高半导体掩膜版行业具有较强抗周期行业特性，需求稳定性较高 3.2 3.2 半导体掩半导体掩膜膜版行业需求稳定性较高，独立第三方厂商市场份额增大版行业需求稳定性较高，独立第三方厂商市场份额增大 资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿），光大证券研究所 特征特征 介绍介绍 半导体产品不断迭代创新 随着我国半导体芯片行业的国产替代推进，技术水平、工艺能力不断进步，芯片设计公司将会不断推出新的产品，对于掩膜版的产品需求不断增加。半导体掩膜版具有部分逆产业周期特性 当半导体行业处于下行周期，晶圆制造厂商的产能利用率不足时，为了提升产能

42、利用率，晶圆制造厂商会向众多的中小芯片设计公司提供晶圆代工服务，从而生产的半导体产品类型亦会增多，相应增加掩膜版的需求量；同时当下游需求低迷时，芯片设计公司将通过设计新产品刺激市场，提升销量，新产品也会带来对掩膜版的增量需求。半导体产品种类繁多，应用广泛 与产品种类较为集中的平板显示行业相比，半导体行业的产品种类繁多、工艺多样、应用广泛，不同类型的产品应用于不同的终端场景，如消费电子、人工智能、汽车电子、新能源、工业制造、无线通信、物联网等，掩膜版的需求此消彼长，不容易因某单一行业波动而产生较大的需求影响。半导体生产工艺通常采用投影式光刻方法，在投影式光刻中，激光透过掩膜版后，经过投影物镜成像

43、到晶圆的光刻胶表面，通过掩膜版对光线的遮挡或透过功能，实现掩膜图案向晶圆线路图的图形转移。半导体掩膜版的技术演进的过程，是不断解决极限情况下光的干涉与衍射现象、克服物理极限的过程。随着掩膜版的线宽和线缝越来越小，当尺寸逐渐接近光刻机的波长时，曝光过程中就会出现严重的衍射现象。光的衍射现象是指光在传播过程中，遇到尺寸与波长大小相近的障碍物时，光会传到障碍物的阴影区并形成明暗变化的光强分布情况。这种情况在投影式光刻中尤为明显，激光通过掩膜版的透光区和投影物镜后会出现显著的夫琅禾费衍射现象，导致曝光图形边缘的分辨率降低，图案边缘失真严重，CD 精度大幅下降。因此，为为了提高光刻环节曝光图形的了提高光

44、刻环节曝光图形的CD CD 精度，必须要对掩膜图案进行光学邻近效应修正（精度，必须要对掩膜图案进行光学邻近效应修正（OPCOPC）。）。图图 2424：由于光的衍射造成的图像失真及由于光的衍射造成的图像失真及OPC OPC 效果对比效果对比 3.3 3.3 半导体掩膜版技术难度较大，我国厂商逐步突破半导体掩膜版技术难度较大，我国厂商逐步突破 图图 2323：投影式光刻原理图：投影式光刻原理图 资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿）资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿）随着掩膜版图形越来越复杂、线路密度越来越大，掩膜版的透光区间距离便越来越短，此时曝光过程中就会出现显著的干涉现象。光的干涉是指两

45、束相干光相遇而引起光的强度重新分布的现象。当掩膜版的透光区间位置趋于接近时，从相邻两个透光区射出的光线频率相同、振动方向相近、相位差恒定，形成了相干光。两列或多列相干光在空间相遇时相互叠加，光强在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，出现了稳定的强弱分布现象。上述现象会造成晶圆感光时遮光区域仍有曝光、透光区域光强不足的情况，导致整体的对比度降低，CD 精度大幅下降，从而严重影响了晶圆的电路图形质量。当半导体的最小线宽小于当半导体的最小线宽小于130nm 130nm 后，传统的二元掩膜版（后，传统的二元掩膜版（Binary MaskBinary Mask）会由于光的干涉现象而无法对晶圆进）会

46、由于光的干涉现象而无法对晶圆进行有效曝光，需要采用相移掩膜版（行有效曝光，需要采用相移掩膜版（Phase Shift Mask,PSMPhase Shift Mask,PSM）来消除曝光光束中的干涉现象，提升）来消除曝光光束中的干涉现象，提升CD CD 精度水平。精度水平。随着半导体功能的不断进步，制程能力的不断提升，半导体器件与集成电路的细微电路图也越发复杂，晶圆表面需要光刻的图案由传统的二维电路图像发展成含有多层结构的三维电路图像，这也导致半导体掩膜版的层数不断增加，对掩模版的套刻精度也提出了更高的要求。图图 2626：光刻图案发展成含有多层结构的三维电路图像光刻图案发展成含有多层结构的三

47、维电路图像 3.3 3.3 半导体掩膜版技术难度较大，我国厂商逐步突破半导体掩膜版技术难度较大，我国厂商逐步突破 图图 2525：二元掩膜版和二元掩膜版和PSM PSM 掩膜版的原理掩膜版的原理 资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿）资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿）目录目录 1 1、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板 2 2、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展 3 3、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间、半导体掩膜版：晶圆厂持

48、续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间 4 4、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板+半导体双翼齐飞半导体双翼齐飞 5 5、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮 清溢光电是国内成立最早掩膜版生产企业之一，公司深耕平板显示和半导体芯片行业的应用，产品聚焦于低温多晶硅（清溢光电是国内成立最早掩膜版生产企业之一，公司深耕平板显示和半导体芯片行业的应用，产品聚焦于低温多晶硅（LTPSLTPS）、金属氧化物）、金属氧化物（IGZOIGZO）、）、有源矩阵有机发光二极体（有源矩阵有机发光二极体（A

49、MOLEDAMOLED）、）、MicroLEDMicroLED 显示、显示、Micro OLED Micro OLED 显示、半导体芯片、显示、半导体芯片、ChipletChiplet 先进封装技术等领域。先进封装技术等领域。受益于厂商加大新品开发力度带动掩膜版需求增长，公司订单数量提升，公司2023年实现营收9.24亿元，同比增长21%，2024Q1实现营收2.72亿元，同比增长49%。公司2023年实现归母净利润1.34亿元，同比增长35%，2024Q1实现归母净利润0.50亿元，同比增长155%。公司2024Q1毛净利率分别为30.68%和18.24%，同比增长7.06pct和7.62p

50、ct。图图 2828：公司：公司20192019-2024Q12024Q1归母净利润及同比增速归母净利润及同比增速 资料来源：Wind，光大证券研究所 4.1 4.1 清溢光电：国产掩膜版领航者，面板清溢光电：国产掩膜版领航者，面板+半导体双翼齐飞半导体双翼齐飞 图图 2727：公司：公司20192019-2024Q12024Q1营收及同比增速营收及同比增速 图图 2929：公司：公司20192019-2024Q12024Q1毛净利率毛净利率 资料来源：Wind，光大证券研究所 资料来源：Wind，光大证券研究所 公司在公司在 8.6 8.6 代及以下平板显示具备较强的产品技术与制造工艺能力。

51、代及以下平板显示具备较强的产品技术与制造工艺能力。2023 年，公司平板显示掩膜版的营业收入为7.31 亿元，同比增长25.42%，其中AMOLED/LTPS营业收入为2.97亿，同比增长43.91%。公司 AMOLED/LTPS 掩膜版已广泛应用到下游 AMOLED 和 LTPS 显示面板的产品上，包括平板电脑、手机、笔记本、手表、智能驾驶等产品。HTM Mask（半色调掩膜版）是公司的战略性产品，公司拥有多年的技术积累，目前在合肥新工厂进行研发制作。公司开发出了6代AMOLED高精度掩膜版，以掩膜版尺寸为980*1150mm为例，最小线宽尺寸为1.5m，大约相当于一根头发丝直径的五十分之一

52、宽度，线宽精度0.08m，位置精度0.2m，缺陷精度0.5m，公司平板显示掩膜版产品技术优异。资料来源：清溢光电公告，光大证券研究所 4.2 4.2 平板显示掩膜版：产品量产能力提升，出货量增长平板显示掩膜版：产品量产能力提升，出货量增长 表表 6 6：公司产品及工艺情况：公司产品及工艺情况 产品产品 进度进度 工艺工艺 进度进度 8.6 代高精度 TFT 掩膜版及 6 代中高精度 AMOLED/LTPS 等掩膜版 量产 掩膜基板涂胶工艺 量产 8代TFT-LCD Half tone Mask产品 量产，通过品牌客户验证及实际交付 半透膜掩膜版(HTM)产品 多家客户供货 先进高规格半透膜掩膜

53、版(HTM)积极布局 6 代 AMOLED 高精度掩膜版 开发完成 高规格相移掩膜版(PSM)技术 积极布局 6 代超高精度 AMOLED/LTPS 等掩膜版 研发 高规格半透膜掩膜版(HTM)规划研发 图图 3030：公司：公司20年平板显示掩膜版营收及同比增速年平板显示掩膜版营收及同比增速 资料来源：清溢光电2023年年报，光大证券研究所 公司产品主要应用在 IGBT、MOSFET、碳化硅和 MEMS等半导体芯片领域，涵盖半导体集成电路凸块（IC Bumping）掩膜版、集成电路代工（IC Foundry）掩膜版、集成电路载板（IC Substrate）掩膜版

54、、发光二极管（LED）封装掩膜版及微机电（MEMS）掩膜版等产品。2023 2023 年公司年公司半导体芯片掩膜版的营业收入为半导体芯片掩膜版的营业收入为 1.44 1.44 亿元，较上年同期增长亿元，较上年同期增长 41.04%41.04%。IC Foundry 产品中，功率器件产品的增长较快，半导体芯片掩膜版的技术研发持续获得较快进展，产品性能达到业内先进的水平。2023 年，公司持续推进半导体芯片掩膜版产能提升，随着设备陆续投产，预期半导体芯片掩膜版营业收入有望快速成长。公司已实现公司已实现180nm180nm工艺节点半导体芯片掩膜版的量产，以及工艺节点半导体芯片掩膜版的量产，以及150

55、nm150nm工艺节点半导体芯片掩膜版的客户测试认证与小规模量产，正在推进工艺节点半导体芯片掩膜版的客户测试认证与小规模量产，正在推进 130nm130nm-65nm 65nm 的的 PSM PSM 和和 OPC OPC 工艺的掩膜版开发和工艺的掩膜版开发和 28nm 28nm 半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划。2023 年上半年，深圳清溢微引进的清洗设备和 AOI 投产，且新引入光刻机在第三季度投产，进一步提升半导体芯片掩膜版的产能。4.2 4.2 半导体掩膜版：把握国产替代机遇，制程不断突破半导体掩膜版：把握国产替代机遇，制程不断突破 图图 3 31 1

56、：公司：公司20年半导体掩膜版营收及同比增速年半导体掩膜版营收及同比增速 资料来源：清溢光电公告，光大证券研究所 公司的平板显示掩膜版平板显示掩膜版产品和技术在业内有较高的知名度。公司的平板显示行业掩膜版产品包括薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）掩膜版含阵列（Array）掩膜版（a-Si/LTPS 技术）及彩色滤光片（CF）掩膜版、有源矩阵有机发光二极管显示器（AMOLED）掩膜 版、超扭曲向列型液晶显示器（STN-LCD）掩膜版和 Fine Metal Mask 掩膜版、MicroLED 显示掩 膜版和 Micro OLED 显示掩膜版等，服务的典型客户包括

57、京东方、维信诺、服务的典型客户包括京东方、维信诺、惠科、天马、华星光电、惠科、天马、华星光电、信利、龙腾光电、群创光电、瀚宇彩晶。信利、龙腾光电、群创光电、瀚宇彩晶。在平板显示掩膜版行业，根据 Omdia 2023 年 7 月统计的 2022 年全球平板显示掩膜版企业销售金额排名，前五名分别为福尼克斯、SKE、HOYA、LG-IT 和清溢光电，公司位列全球第五名。公司以行业发展趋势和国家的产业政策为导向，通过持续拓展半导体芯片掩膜版半导体芯片掩膜版的工艺研发能力和先进产品的竞争力，大力发展半导体芯片掩膜版业务。半导体芯片行业掩膜版主要包括半导体集成电路凸块（IC Bumping）掩膜版、集成电

58、路代工（IC Foundry）掩膜版、集成电路载板（IC Substrate）掩膜版、发光二极管（LED）封装掩膜版 及微机电（MEMS）掩膜版等。公司与国内重点的 IC Foundry、功率半导体器件、MEMS、MicroLED 芯片、先进封装 等领域企业均建立了深度的合作关系，服务的典型客户包括芯联集成、三安光电、艾克尔、士兰微、泰科服务的典型客户包括芯联集成、三安光电、艾克尔、士兰微、泰科 天润、积塔半天润、积塔半导体、华微电子、赛微电子和长电科技等客户。导体、华微电子、赛微电子和长电科技等客户。触控行业掩膜版主要包括内嵌式触控面板（In Cell、On Cell）掩膜版、外挂式触控（O

59、GS、Metal Mesh）掩膜版、触控屏用纳米压印掩膜版。服务的典型客户包括京东方、天马等。电路板行业掩膜版主要包括柔性电路板（FPC）掩膜版、高密度互连线路板（HDI）掩膜版。服务的典型客户包括紫翔电子、鹏鼎控股等。4.3 4.3 平板显示销售额领先，平板显示及半导体头部客户资源丰富平板显示销售额领先，平板显示及半导体头部客户资源丰富 类型类型 应用领域应用领域 客户客户 平板显示掩膜版 京东方、维信诺、惠科、天马、华星光电、信利、龙腾光电、群创光电、瀚宇彩晶 半导体掩膜版 IC 载板、发光二极管 LED、封装等 三安光电、长电科技 功率器件、滤波器件 中芯国际、士兰微 触控行业掩膜版 京

60、东方、天马 电路板行业掩膜版 紫翔电子、鹏鼎控股 表表 7 7：公司各产品客户：公司各产品客户 资料来源：清溢光电公告，光大证券研究所 公司拟在佛山市南海区投资人民币公司拟在佛山市南海区投资人民币 35 35 亿元建设佛山生产基地项目，包括“高亿元建设佛山生产基地项目，包括“高 精度掩膜版生产基地建设项目”和“高端半导体掩膜版生产基地建精度掩膜版生产基地建设项目”和“高端半导体掩膜版生产基地建设项目”。设项目”。其中高精度掩膜版生产基地建设项目一期、二期项目拟购置土地 50 亩（具体面积以最终挂牌面积为 准），自签订土地出让合同之月起，在 12 个月内开工建设、36 个月内投产；高端半导体掩膜

61、版生产基地建设项目一期、二期项目拟购置土地 30 亩（具体面积以最终挂牌面积为 准），自签订土地出让合同之月起，在 12 个月内开工建设、36 个月内投产。目前公司已发布一期项目定增预案。4.3 4.3 产能逐步释放，量产能力增强产能逐步释放，量产能力增强 表表 8 8：公司佛山生产基地项目投资规划公司佛山生产基地项目投资规划 资料来源：清溢光电公告，光大证券研究所 项目名称项目名称 项目期数项目期数 项目金额（亿元）项目金额（亿元）总投资额（亿元）总投资额（亿元）高精度掩膜版生产基地建设项目 一期 8 20 二期 3 三期 9 高端半导体掩膜版生产基地建设项目 一期 6.05 15 二期 2

62、.95 三期 6 目录目录 1 1、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板、掩膜版：半导体和平板显示制作的图形转移母板 2 2、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展、平板显示掩膜版：产能转移带动国产化需求，技术迭代推动产品发展 3 3、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间、半导体掩膜版：晶圆厂持续扩产，成熟制程存在巨大国产替代空间 4 4、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板、清溢光电：国产掩膜版领航者，面板+半导体双翼齐飞半导体双翼齐飞 5 5、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮、路维光电：我国掩膜版头部企业，“以屏带芯”

63、拥抱国产替代浪潮 公司自创立以来，一直致力于掩膜版的研发、生产和销售。根据基板材料的不同，公司的产品可以分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其它。根据下游应用行业的不同，公司的产品可分为平板显示掩膜版、半导体掩膜版、触控掩膜版和电路板掩膜版等。平板显示掩膜版应用于薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）制造，包括 TFT-Array 制程和 CF 制程；低温多晶硅液晶显示器（LTPS-LCD）制造；有源矩阵有机发光二极管显示器（AMOLED）制 造；扭曲/超扭曲向列型液晶显示器（TN/STN-LCD）制造；铟镓锌氧化物有机发光二极管显示器（IGZO-OLED）制造，低温多晶硅氧化物有机发光二极管显示器（

64、LTPO-OLED）制造等。半导体掩膜版应用于集成电路（IC）制造、集成电路（IC）封装、半导体器件制造（包括分 立器件、光电子器件、传感器及微机电（MEMS）等）及 LED 芯片外延片制造等。触控掩膜版用于触摸屏的制造过程；电路板掩膜版用于 PCB 及 FPC 的制造过程。公司公司20232023年实现营收年实现营收6.726.72亿元，同比增长亿元，同比增长5%5%，2024Q12024Q1实现营收实现营收1.771.77亿元，同比增长亿元，同比增长30%30%。公司。公司20232023年实现归母净利润年实现归母净利润1.491.49亿元，同比增长亿元，同比增长24%24%，2024Q1

65、2024Q1实现归母净利润实现归母净利润0.410.41亿元，同比增长亿元，同比增长45%45%。5.1 5.1 路维光电：国产掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮路维光电：国产掩膜版头部企业，“以屏带芯”拥抱国产替代浪潮 图图 3232：公司：公司20192019-2024Q12024Q1营收及同比增速营收及同比增速 资料来源：Wind，光大证券研究所 图图 3434：公司：公司20192019-2024Q12024Q1毛净利率毛净利率 图图 3333：公司：公司20192019-2024Q12024Q1归母净利润及同比增速归母净利润及同比增速 资料来源：Wind，光大证券研究所 资

66、料来源：Wind，光大证券研究所 在平板显示掩膜版方面，公司既可以提供传统的 TFT LCD 掩膜版，也可以提供 LTPS LCD、AMOLED、Mini/Micro-LED 等中高端平板显示掩膜版，产品线实现了 G2.5-G11 全世代覆盖。在高端市场，以 G11 掩膜版为例，因其技术难度大，进入门槛高，长期被少数国际先进掩膜版厂商垄断。经过多年技术沉淀，公司于公司于 2019 2019 年成功建设年成功建设G11G11掩膜版产线，成为国内第一家掌握掩膜版产线，成为国内第一家掌握G11G11高世代掩膜版生产技术的本土企业，是国内唯一一家高世代掩膜版生产技术的本土企业，是国内唯一一家可以全面配

67、套不同世代面板产线（可以全面配套不同世代面板产线（G2.5G2.5-G11G11）的本土掩膜版企业。）的本土掩膜版企业。根据 Omdia 研究报告，公司 2022 年 G11 掩膜版销售收入排名全球第三位，市场占有率提升至 21.5%。在全球范围内，目前仅有5家企业拥有 G11 高世代掩膜版生产能力，分别是DNP、福尼克斯、SKE、LG-IT 及路维光电。在平板显示领域，公司的主要客户包括京东方、公司的主要客户包括京东方、TCL TCL 华星、天马微电子、信利、上海仪电、昆山龙腾光电股份有限公司等华星、天马微电子、信利、上海仪电、昆山龙腾光电股份有限公司等。随着显示技术发展和新型显示应用产业的

68、多样化，预计平板显示行业中相移掩膜版的使用率将不断增长。图图 3535：按面板技术预测的相移光掩膜片数按面板技术预测的相移光掩膜片数 5.2 G2.55.2 G2.5-G11 G11 全世代平板显示掩膜版生产能力全世代平板显示掩膜版生产能力 在半导体领域公司实现了在半导体领域公司实现了 180nm 180nm 及以上制程节点半导体掩膜版量产，并积累了及以上制程节点半导体掩膜版量产，并积累了 150nm 150nm 制程节点及以下成熟制程半导体掩膜版制造关键核心技术，制程节点及以下成熟制程半导体掩膜版制造关键核心技术，可以满足国内先进半导可以满足国内先进半导 体封装和半导体器件等应用需求。体封装

69、和半导体器件等应用需求。公司与国内某些领先芯片公司及其配套供应商、中芯集成电路（宁波）有限公司、通富微电、晶方科技、华天科技等国内诸多主流厂商建立了紧密的合作关系，共同推动国内半导 体产业的发展。面对产业链上下游逐步实现进口替代的发展机遇，公司充分利用自身的产业背景，进一步完善和提升产业布局。2023年公司通过产业基金路维盛德间接投资江苏路芯半导体技术有限公司130nm-28nm制程节点的半导体掩膜版产线项目，该项目预计总投资人民币20亿元。公司的主要客户包括国内某些领先芯片公司及其配套供应商、中芯集成电路（宁波）有限公司、晶方科技、华天科技、通富微电、三安光电等。图图 3636：半导体多层光

70、刻原理图：半导体多层光刻原理图 5.3 5.3 持续发力半导体掩膜版领域，产品逐步量产持续发力半导体掩膜版领域，产品逐步量产 资料来源：龙图光罩招股说明书（注册稿）5.4 5.4 注重研发投入，多款产品技术持续突破注重研发投入，多款产品技术持续突破 突破光阻涂布原材料技术突破光阻涂布原材料技术 掩膜版的原材料是掩膜基板，即涂有光阻和镀铬的玻璃基板，光阻有一定的时效性，失效后会影响产品质量。与国内的竞争对手相比，目前公司已掌握掩膜版光阻涂布技术，一方面可以降低掩膜基板特别是大尺寸掩膜基板的采购成本，这是因为公司可以向供应商采购镀铬的玻璃基板后自行进行光阻涂布，减少了供应商的光阻涂布工序，因此与采

71、购常规的涂有光阻和镀铬的玻璃基板相比，采购价格相应降低；另一方面，公司可根据生产需求对基板重新光阻涂布后进行加工，大幅提升了材料利用效率，减少了产品不良率。对标对标HOYAHOYA、LGLG-ITIT 等具备研磨等具备研磨、抛光抛光、镀铬镀铬、光阻涂布等掩膜版全产业链技术能力的国际领先掩膜版厂商光阻涂布等掩膜版全产业链技术能力的国际领先掩膜版厂商，公司公司以光阻涂布技术为突破点以光阻涂布技术为突破点，逐步向原材料基础技术延伸逐步向原材料基础技术延伸，以提升公司的全产业链技术能力。平板显示用相移掩膜平板显示用相移掩膜 PSMPSM 平板显示用相移掩膜版，主要用于提升下游曝光机分辨率，属于光刻分辨

72、率增强技术（RET）的一种，此类掩膜版一方面可以提升传统液晶面板厂的制程工艺能力，丰富其产品种类；另一方面，也可以应用于AMOLED及LTPO等新型显示面板工厂，帮助其减小晶体管尺寸，提升像素密切度和开口率，随着显示技术发展和新型显示应用产业的多样化，预计平板显示行业中相移掩膜版的使用率将不断增长。公司已公司已自主开发衰减型相移掩膜版自主开发衰减型相移掩膜版(ATT(ATT PSM)PSM)工艺核心技术工艺核心技术，可应用于可应用于180180nmnm及以下节及以下节点半导体用掩膜版点半导体用掩膜版，目前正在稳步推进平板显示用相移掩膜版产品的开发，并已取得相应进展，进一 步丰富公司产品种类。图图 3737：公司掩膜版生产工艺流程：公司掩膜版生产工艺流程 资料来源：路维光电招股说明书