颗粒硅VS棒状硅工艺流程对比 原图定位

对比多晶硅的两种技术路线的生产流程，颗粒硅较西门子法的不同之处主要在硅烷制备及还原环节：改良西门子法的还原原料为三氯氢硅，在 1050~1100℃的条件下与氢气在还原炉里反应，生成高纯多晶。硅烷流化床法的还原原料为硅烷，因此需要增加硅烷制备步骤，后续硅烷气在 800℃的条件下加热分解，生成高纯多晶。