力传感器生产工艺流程(以应变式传感器为例) 原图定位 灵敏度、寿命等)。原因在于力传感器在工作时,弹性体会产生变形,并在其表面产生应变,对弹性体的要求是尽可能线性并高重复性地转换力为应变,弹性体对力传感器的综合性能和长期稳定性起关键作用。结构设计方面,例如对于多维力传感器,由于存在耦合效应必须进行力的解耦,其中一个办法就是通过设计合理弹性体结构进行结构解耦,以提高力传感器的测力精度。材料与工艺方面,由于要求弹性体能够精确传递受力信息并保持在一样受力时的形变共同性和彻底复位性,且不随时间明显变化,故需要选择强度极限和弹性极限高,弹性模量的时间、温度稳定性好,弹性滞后小,机械加工和热处理产生的残余应力小的材料,例如不锈钢、合金钢、铝合金等,同时在工艺上也需要对材料进行特殊的热处理。此外,由于表面变形的不均匀会产生较大的残余应力,而切削用量越大、残余应力就越大,磨削加工产生的残余应力最大,因此需针对弹性体制定合理的加工工艺和规定适当的切削用量。