主要两类混合键合工艺流程 原图定位

基板 有机物/引线 有机物/引线 有机物/硅 无 无 精度 20-10μm 10-5μm 5-1μm 5-1μm 0.5-0.1μm 能量/Bit 10 pJ/Bit 0.5 pJ/Bit 0.1 pJ/Bit 0.5 pJ/Bit <.05 pJ/Bit