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1、真空镀膜 集流勇进苏州道森钻采设备股份有限公司证券代码（603800）超精密真空镀膜设备，助力复合集流体产业发展朱开星朱开星副总经理、董事会秘书副总经理、董事会秘书12024年5月目录CONTENTS1公司介绍2主营产品3复合集流体发展现状4超精密真空镀膜设备未来展望5201CHAPTER公司介绍3道森股份证 券 代 码（6 0 3 8 0 0）苏州道森钻采设备股份有限公司，成立于2001年，从事流体压力控制类零部件OEM业务和销售；2015年12月道森股份在上交所上市。证券代码（603800）诚信敬业、追求卓越公司是集研发、设计、制造、销售、服务为一体的油气开发设备制造商，经过二十余年的发展

2、，公司已成为国内井口及井控设备领域的知名企业之一。为进一步提升公司持续盈利能力，公司在稳固油气钻采设备制造业务竞争优势的同时，积极转型升级，顺应全球能源变革趋势及我国推行锂电新能源的政策导向，坚定看好锂电新能源产业的发展，制定“由传统油气能源设备制造商向新能源高端装备制造商迅速转型”的发展战略。2022 年 6 月，收购洪田科技 51%股权并纳入合并报表，正式布局新能源设备业务。23 年 8 月，对洪田科技剩余30%股权进行收购，当前持股比例已上升至 81%。4发展历程苏州道森成立，主要从事流体压力控制类零部件OEM业务和销售。进军美国页岩气压裂市场，并于2015年在中国A股上市。进军加拿大，

3、东南亚市场，提供页岩气压裂成套设备。建 立 D o u s o n Vietnam Wellhead Equipment Co.，Ltd 工厂并投入生产，制造和服务能力进一步扩大。公司制定“由传统油气能源设备制造商向新能源高端装备制造商迅速转型”的发展战略。2022年6月，公司收购洪田科技51%股权，正式布局新能源设备业务。进入长庆油田，长庆油田与道达尔合作开发苏里格南区块，批量供应井口采油树成套设备。52023年 8 月，对洪田科技剩余30%股权进行收购，当前持股比例已上升至 81%。2024年初。与大连理工大学合作的“超精密技术联合研究中心”挂牌签约。增资达牛科技，成立洪瑞微，打造真空镀膜

4、设备全产业链，布局泛半导体和光学领域。洪田科技有限公司成立于2012年，注册资金10,000万元，公司总部位于江苏盐城，在上海、江苏南通等地拥有多家全资及控股子公司。并在中国及日本先后建立研发中心，布局全球市场。公司是国内知名的新能源智能装备制造商，立足于解决中国高端铜箔生产装备与超精密真空镀膜设备未来发展的关键瓶颈，坚持为我国高端铜箔生产装备与超精密真空镀膜的国产化、打破境外技术壁垒、增强供应链产业链自主可控务实笃行，致力于“成为国际领先的新能源高端装备供应商”。洪田科技介绍公司以日本名古屋松田光也先生带领的核心技术团队专注于研发各种高精密机电设备领域的高端制造装备及自动化系统开发集成，通过

5、引进日本先进技术和设计理念以及日本进口原装精密零部件，公司生产的各类设备产品已成为行业标杆。目前公司已成功研制出直径3.6米，幅宽1.82米的超大规格电解铜箔阴极辊、生箔机以及配套设备；能稳定生产高端极薄的锂电铜箔3.5um产品以及5G高频高速电子信息产品用的9um超薄标准铜箔。该技术的创新突破，填补了国内外行业空白，也刷新了全球电解铜箔设备行业的新纪录。2023年4月，公司成功发布全国首台“一步法”复合铜箔超精密真空镀膜设备“真空磁控溅射一体机”，是公司在复合铜箔真空镀膜成套设备上的一次重大创新和突破，也标志着洪田科技成为全国首家掌握该核心技术的真空镀膜行业头部企业。62012年2017年2

6、018年2020年2021年2022年2023年4月上海洪田机电科技有限公司在上海市创立。9月上海洪田机电科技有限公司南通分公司成立，开拓新能源锂电池负极材料生产设备新领域。12月公司第二代锂电生箔机研 制 成 功，稳 定 量 产6um锂电铜箔（最大幅宽2016X1550mm)。8月公司第五代4.5um锂电生箔机研制成功并批量生产。9月公司成立全资子公司南通洪田机电科技有限公司,同年更新第三代、第四代锂电生箔机。8月公司成立子公司江苏鸿禧新能源材料有限公司。11月公司获批国家级高新技术企业。1月公司研发的国内乃至国际第一支大幅宽中2700X1820锂电生箔实验机顺利试机。4月为满足集团化发展需

7、求，公司由“上海洪田机电科技有限公司更名为“洪田科技有限公司”。5月公司生产二部顺利投产专注生产制作阴极辊。7月公司成功研发高效溶铜罐并累计获得30余项国家专利。9月子公司江苏鸿禧新能源材料有限公司阳极板项目正式投产。4月公司生产三部顺利投产。6月公司在盐城新建工厂项目(占地171亩)正式取得产权证，破土动工。6月道 森 股 份(股 票 代码:603800)收购洪田科技有限公司51%控股权公司正式并入上市公司平台。3月公司成立全资子公司洪田科技(南通)有限公司布局复合铜箔成套加工设备的研发与生产。9月全资控股洪田科技(盐城)有限公司布局大型有色金属旋压加工等新产业。洪田科技介绍-历史沿革702

8、CHAPTER主营产品0102高端铜箔装备超精密真空镀膜设备8在 先 进 设 备 的 配 合 下 电子铜箔与锂电铜箔部分产能可以相互转化新能源汽车行业蓬勃发展，自下而上的推动锂电池、锂电铜箔需求快速扩张，在此情况下，铜箔企业开始新一轮的大规模扩产，电池投产周期在1年左右，铜箔为1.5-2年。电解铜箔的制备主要有溶铜、生箔、后处理和分切四大工序。电子铜箔和锂电铜箔的工序区别主要在于后处理环节，部分产能可以相互转换。不同厚度的铜箔理论上可共用产线，电子铜箔需要进行粗化层处理、固化层处理、黑化层处理、耐热层处理、防氧化层处理（又称钝化处理）等五方面的表面处理；锂电铜箔主要是防氧化处理。产线幅宽兼容的

9、情况下，部分产线具备相互转换的能力，但极薄铜箔的制备通常需要先进设备的配合。生箔机中的阳极板、阴极辊的材质、设备加工精度及一致性均须达到较高水平才能满足高性能锂电铜箔的要求。主营产品概览-高端铜箔装备9主营产品概览-高端铜箔装备表面处理机高效溶铜罐锂电生箔机10主营产品概览-超精密真空镀膜设备助力复合铜箔从0到1复合铜箔打开轻量化趋势天花板，动力电池能量密度再上台阶1、复合集流体是一种“三明治”结构的新型集流体，包括复合铜箔和复合铝箔。集流体是电池中铜箔和铝箔的总称，即中间一层基膜(为 PET/PP/PI 膜)，上下各镀一层 1m 左右的铜/铝，形成复合结构。2、复合铜箔拥有更高的安全性以及更

10、长的电池寿命。如下图：复合集流体示意图如下图：复合集流体示意图图片资料来源：金美新材料官网，国盛证券研究所图片资料来源：金美新材料官网，国盛证券研究所如下图：传统铜箔与复合铜箔的安全性对比如下图：传统铜箔与复合铜箔的安全性对比11主营产品概览-超精密真空镀膜设备真空磁控溅射镀膜机真空磁控溅射蒸发复合镀膜机真空蒸发镀膜机1070608主要客户1303CHAPTER复合集流体发展现状14复合集流体行业发展现状15传统铜箔复合铜箔工艺原理溶铜电解+电镀真空镀膜工艺区别核心工艺是在阴极辊中将硫酸铜电解液通过直流电电沉积而制成原箔将铜莫镀在非金属材料表面组成99.5%纯铜高真空下将

11、铜分子堆积到超薄型 PP 基膜上示例特点单位面积重量较重，金属铜材使用量高，成本高。导热性能高，用于电池材料安全性差中间层为 PP 膜，单位面积重量轻，铜材使用量少，降低成本和金属用量。中间层为绝缘层，用于电池材料安全性好基膜使用铜料，溶铜后生成原箔生产基膜PET/PP 原料膜作为基膜工序长度13-158-10动力电池降本提效趋势下，复合集流体优势明显16复合集流体的优势高安全性：中间层高分子材料起到“保险丝“作用，防止热失控1）切断正负极接触：中间绝缘树脂层不导电、电阻较大，可提高电池在异常情况下发生短路时的短路电阻，使短路电流大幅度减小，因此可极大降低短路产热量，从而改善电池安全性能；2）

12、点断路：导电层较薄，在穿钉等异常情况下，局部的导电网络被切断，防止电化学装置大面积发生内短路。相当于将穿钉等造成的电化学装置损坏局限于刺穿位点，仅形成“点断路”，不影响电化学装置正常工作。新能源汽车起火原因：动力电池热失控内部反应过程：复合集流体钉子穿透后电压稳定：复合集流体钉子穿透后防止热失控：资料来源：资料来源：Prevention of lithiumPrevention of lithium-ion battery thermal runaway using polymerion battery thermal runaway using polymer-substrate curre

13、nt collectorssubstrate current collectors，高安全锂离子电池复合集流体的界面强化，头豹研究院，浙商证券研究所，高安全锂离子电池复合集流体的界面强化，头豹研究院，浙商证券研究所高安全性：动力电池受到挤压时产生机械变形导致热失控发生的原因在于电池内部隔膜被挤破导致正负极接触，极板之间发生内短路。17复合集流体的优势高比容：提升能量密度；高循环寿命：增强经济性高比容：复合集流体重量更轻，可有效提升电芯能量密度。集流体作为正极材料和负极材料电子传输的载体，在电池的充放电过程中未能提供容量。再加上，铝箔和铜箔的密度均较大，这种存在于电池内的“死质量”无法提升能量密

14、度。集流体在锂电池中的重量占比仅次于正负极，其中铜箔集流体占比8.1%，铝箔集流体占比6.9%，合计超15%。对比传统铜箔，复合铜箔节省材料成本近40%，质量轻60%，能量密度提升5-10%。由于铝密度低于铜，复合铝箔减重效果略低于复合铜箔。高循环寿命：由于铜箔表面比较光滑平整，接触面积不够大，且铜箔为金属材料，而电池一般为非金属材料，使得两种物质接触相容性差，界面接触电阻较大，导致电池充放电性能有所降低。复合集流体的高分子层进一步减少铜箔集流体与锂的反应，形成致密的保护层，从而弱化锂枝晶的形成，可显著改善由平面锂金属镀层导致的锂电化学沉积，提高锂金属阳极的循环稳定性。复合集流体循环寿命可提高

15、5%。复合集流体提高电池寿命和安全性铜箔、铝箔集流体电池占比超15%资料来源：资料来源：A review of current collectors for lithiumA review of current collectors for lithium-ion batteriesion batteries，浙商证券研究所，浙商证券研究所18复合集流体的优势低成本：原材料价格高位，高分子材料成本相对较低铜材料成本高企，高分子材料替代将打开降本通道。锂电池中，锂电铜箔成本占比达到8%-10%；传统锂电铜箔中，铜金属成本占比约83%。对比复合铜箔，铜金属在复合铜箔成本占比仅约44%，中间层的高分

16、子材料成本远低于铜金属。展望未来，复合铜箔规模生产后其综合成本有望得到进一步下降。复合集流体的成本将比传统集流体降低50%以上。据测算，假设面积均为1、铜密度均为8.96g/m的情况下，复合铜箔比电解铜箔的铜用量降低约69%，分别约17.92g、58.24g。与传统铝箔集流体对比，复合铝箔的蒸镀镀铝工艺成本较高，因此复合铝箔成本下降空间相对较小。锂电铜箔在锂电池成本占比达8%-10%铜价处于高位盘整资料来源：资料来源：WindWind，阳光工匠学社公众号，浙商证券研究所，阳光工匠学社公众号，浙商证券研究所（沪铜主力）19复合集流体的优势易扩产、工艺优：生产设备易获取，工艺流程短且环境友好易扩产

17、：复合铜箔生产无需使用阴极辊，扩产难度相对较低。阴极辊是电解铜箔之母，是铜箔制造成本最高的关键设备。目前高精度阴极辊主要采购自日本新日铁、三船等日企，订货周期长，设备供应紧张限制铜箔产能扩张。工艺优：（1）工艺流程缩短：工艺流程缩短，采用真空镀膜工艺形成膜面作为阴极，可直接在离子置换设备中反应，且真空工序无污染，铜箔的溶铜电解工艺同样有污染物排放。（2）环境友好程度高：采用新型的药剂体系，规避了氰化物等剧毒物质，使生产过程的排污量更好，污染物更易处理；抗氧化采用有机抗氧化液，抗氧化直接进行烘干工艺，药剂进行循环使用。避免了金属污染物的排放。预计 2025 年全球复合集流体材料市场规模约205亿

18、元，2023-2025年CAGR=606%资料来源：工信部、资料来源：工信部、GGIIGGII、SNE SNE ResearchResearch、WindWind，浙商证券研究所测算。，浙商证券研究所测算。复合集流体的优势传统铜箔vs复合铜箔工艺流程对比图：传统电解铜箔与复合铜箔工艺流程对比图：传统电解铜箔与复合铜箔工艺流程对比复合铜箔生产无需使用阴极辊，扩产难度相对较低。工艺流程缩短：工艺流程缩短，环境友好程度高。一步法干法即直接磁控溅射，可以一次性出箔。20两步法、三步法一步法、干法数据来源：东吴证券研究所数据来源：东吴证券研究所21复合集流体的优势复合铜箔其他工艺流程：两步法、三步法工艺

19、：复合铜箔多种技术路径并行，共促产业化复合铜箔二步法：复合铜箔三步法：复合集流体的优势复合铜箔的三种主要制备方法的对比：总结：从良品率上来看：一步法 两步法 三步法2223复合集流体的优势复合铝箔主要采用蒸镀工艺复合铝箔主要采用蒸镀工艺，包括真空镀膜和真空蒸镀，核心是真空蒸镀。1）真空镀膜：通过在基膜上采用化学气相（CVD）沉积一层515nm的铝的氧化层作为膜面的活化物质使原膜活性化。其原理是在设备真空度510-2pa时，向高温蒸发舟中送入铝丝，以电加热的方式，在9501000下将固态铝气化，然后铝蒸汽向基材表面扩散，同时在铝蒸汽扩散通道上方通入氧气，使氧气和铝充分发生反应并沉积在基材表面，形

20、成一层致密的抗蚀层。2）真空镀铝：采用物理气相沉积（PVD），在真空镀膜后的抗蚀层表面继续沉积金属铝，直到形成0.81um的铝层，加热方式与真空镀膜一致，整个镀铝过程均在真空环境下进行，且铝层背面辊体需要通入-20至-30冷却液，使得铝层可以急速降温凝结，并且可以避免发生形变。为什么复合铝箔不采用水介质电镀工艺？铝的化学性质较活泼，在酸性电解液中电镀时，阴极上铝离子获得电子还原的同时会生成铝盐和氢气，而在碱性电解液中，则会生成氢氧化铝和氢气，即无法沉积得到金属铝。04CHAPTER超精密真空镀膜设备24超精密真空镀膜设备真空镀膜设备应用广泛，更具备平台化价值真空镀膜设备应用广泛，远不止复合铜箔

21、领域。复合铜箔真空镀膜设备是真空镀膜技术在复合铜箔领域的一种应用，实际上真空镀膜技术应用领域广泛，下游包括应用包括消费电子、集成电路、光学光电子元器件、医疗器械、航空航天、太阳能、建筑等等多类领域，在国内市场主要应用的有光伏、磁性材料、集成电路等。25核心技术工艺物理气相沉积（PVD）26超精密真空镀膜设备应用领域介绍一：半导体器件制备、光伏太阳能电池制备、光学领域的应用、机械领域的应用核心技术工艺物理气相沉积（PVD）半导体器件制备：真空镀膜技术广泛应用于微电子行业，用于制造集成电路、平板显示器和其他电子设备。使用真空镀膜技术沉积的薄膜具有多种功能，例如绝缘、导电和防止环境退化。真空镀膜技术

22、用于制造金属、电介质、半导体和其他材料的薄膜，这些材料是电子设备的关键部件。光伏太阳能电池制备：真空镀膜技术在光伏太阳能领域的应用涉及到光的吸收、反射、抗反射、电极制备和保护等方面，通过对太阳能电池板的表面进行薄膜沉积，能够提高光吸收效率、光转化效率和电池板的稳定性，从而提升太阳能电池的性能和寿命。光学领域的应用：真空镀膜技术可以制备各种光学薄膜，如增透膜、反射膜、滤光片、分光镜等，广泛应用于光学仪器、摄影设备、照明等领域。真空镀膜技术在精密光学领域的应用涉及到抗反射、增透、滤光和反射等方面，通过对光学器件的表面进行薄膜沉积，能够提高光线的透射率、反射率和选择性，从而实现对光的控制和增强，提升

23、光学器件的光学性能和应用效果。机械领域的应用:空镀膜技术在机械和工模具领域的应用涉及表面硬化、涂层保护、提高模具释放性能、表面装饰和防伪以及纳米涂层改性等方面。这些应用使得机械和工模具具备更高的硬度、耐磨性和其他特殊性能，提高了其使用寿命和效率，满足了不同制造领域的需求。27超精密真空镀膜设备应用领域介绍二：化学领域的应用、航天航空领域的应用、国防军工领域的应用、新能源汽车和电池行业领域的应用核心技术工艺物理气相沉积（PVD）化学领域的应用:真空镀膜技术在化学领域的应用包括耐腐蚀性涂层、催化剂改进、生物传感器、分离膜和光学涂层等方面。这些应用使得化学设备和容器具备抗腐蚀性能、提高催化效率、实现

24、生物分析、实现物质分离和纯化以及实现特殊光学性能等。这些应用为化学领域的研究和应用提供了技术支持和创新。航天航空领域的应用：真空镀膜技术在航天航空领域的应用包括热防护涂层、抗氧化涂层、光学涂层、探测器涂层和轻质材料涂层等。这些应用通过提供热防护、抗氧化、光学性能增强、灵敏度提高和重量减轻等功能，提高了航天航空器的安全性、工作效率和性能。这些应用在航天航空领域的研究和应用中起到了重要的作用。国防军工领域的应用:真空镀膜技术在国防军工领域的应用主要涉及高精度光学元件制造、表面强化和防护、隐身技术、精密传感器制造等等，其作用主要体现在提高性能、降低成本、促进新技术研发等方面。随着国防军工技术的不断发

25、展，真空镀膜技术将继续发挥重要作用。新能源汽车和电池行业领域的应用:新能源汽车和电池行业领域，真空镀膜技术被广泛应用，主要涉及以下环节和作用：电池材料镀膜、电池外层镀膜、超级电容器电极镀膜、新能源汽车外观涂装。锂电池是目前最常用的电池类型之一，而超精密真空镀膜技术在锂电池领域的应用广泛，并发挥着重要的作用。它可以提高电池的能量转化效率和功率输出，增强电池的稳定性和循环寿命，同时抑制金属锂的析出，提高锂电池的安全性能。这些应用将为锂电池的发展和应用提供更加可靠、高效和安全的解决方案。超精密真空镀膜设备-洪田提供的解决方案方案一、真空磁控溅射镀膜机；可双面镀金属材料基材规格：PET/PP胶片幅/胶

26、片厚度：1350mm/Min.3成膜有效宽度：最大:1300mm胶片原反径/芯管直径：最大:500mm/6英寸张力控制范围：20200N 全宽卷绕控制方式：通过Pickup Roller进行张力控制成膜规格：胶片双面成膜，粘附膜Cr:30nm/导电膜Cu:1/保护膜Cr:50nm，(宽度方向)，Cu:2.0cm28方案二、真空蒸发镀膜机基材规格：PET/PP胶片幅/胶片厚度：1750mm/Min.3um-Max.25um成膜有效宽度：最大:1650mm胶片原反径/芯管径：最大:中600mm/6英寸卷取速度/速度稳定度：1m/min30m/min张力控制范围：100500N 全宽卷绕控制方式：通

27、过Pickup Roller进行张力控制成膜规格：胶片双面成膜、AL膜:1000nm/胶片/AL膜:1000nm、分布10%(宽度方向)29可双面镀铝超精密真空镀膜设备-洪田提供的解决方案方案三、真空磁控溅射蒸发复合镀膜机基材规格：基材材质PET,PP胶片幅/胶片厚度:1400mm/Min.3um Max.50pm成膜有效宽度:最大:1300mm胶片原反径/芯管径:最大:中500mm/6英寸.卷取规格:速度1m/min30m/min，张力控制20-200N全宽成膜规格：胶片双面成膜，厚度1um(双)30可双面镀铜镀铝超精密真空镀膜设备-洪田提供的解决方案超精密真空镀膜设备竞争优势分析01030

28、2060405模块化设计，可根据场地、产能要求增加或减少镀膜腔数量全国首创。可同时实现双面1微米镀膜，无需将膜材在多个设备之间搬运，工艺简单。物理防氧化处理，不产生水处理费用。全部在真空环境下运行，无需在化学溶剂中运行，更环保。关键技术（如前）；溅射效率更高，32根靶材，溅射效率极高。3105CHAPTER未来展望32江苏高端成套装备产业园项目园区坐落于：江苏省盐城市大丰区总占地面积:172亩总建筑面积:120,000洪田科技高端铜箔装备产业园（盐城）洪田科技超精密真空镀膜设备产业园（南通）规划布局功能1.高端电解铜箔设备的研发与生产制造2.新能源产业智能装备的研发与生产制造3.技术交流与服务4.技术孵化四位一体园区坐落：江苏省南通市崇川区智能装备产业园总占地面积：约 100 亩总建设面积约为：60,000 项目计划总投资：10亿元规划布局功能项目完全达产后预计实现年产：1.真空磁控溅射设备100套2.真空蒸镀设备100套3.复合铜箔一体机成套设备100套33真空镀膜 集流勇进超精密真空镀膜设备，助力复合集流体产业发展朱开星朱开星副总经理、董事会秘书副总经理、董事会秘书THANK YOUTEL：E-Mail：Add:江苏省南通市通州区韩通路18号342024年5月