芯源微KS-FT(III)300Track设备内部结构 原图定位 ➢ 单元数量多、软件调度复杂、集成度高:涂胶显影机大多采用单元模块结构,主要由盒站单元 CS、盒站机械手臂 CSR、工艺机器人手臂 PSR、涂胶单元 COT、显影单元 DEV、热烘/冷却 OVEN 单元、对中单元 CA 等部分构成。一台涂胶显影机往往包括 18 个以上功能模块,以及增粘单元/涂胶单元等 150 多个单元,需要在一小时内完成 9000 余次晶圆传送,内部机械结构复杂。