中国涂胶显影设备市场份额 原图定位 前道涂胶显影设备主要被日本东京电子(TEL)所垄断。前道涂胶显影设备的市场和工艺技术长期以来均被国外厂商如日本东京电子(TEL)所垄断,特别是 28nm 及以下节点的ArFi 浸没式涂胶显影设备,我国目前完全尚未掌握此项技术。根据日本东京电子官网数据,2023 年 TEL 涂胶显影设备(Coater/Developer)在全球的市占率达 90%;而根据中商情报网数据,中国涂胶显影设备市场份额中 TEL 占比达 91%,日本迪恩士(Screen)占比5%,芯源微占比 4%。