多晶硅生产工艺流程简图（改良西门子法） 原图定位

当前主流的多晶硅生产技术主要有三氯氢硅法（改良西门子法）和硅烷流化床法，产品形态分别为棒状硅和颗粒硅。三氯氢硅法生产工艺相对成熟，根据中国光伏行业协会数据，2022 年硅料产量中，三氯氢硅法占比 92.5%。改良西门子法生产多晶硅的主要工艺流程：以硅粉、氯化氢等为原料生成三氯氢硅，三氯氢硅经过提纯后进入还原炉，与高纯氢气发生还原反应，生成多晶硅料。生产过程中的尾气、热量等可以进行回收利用。