高纯多晶硅工艺流程图（改良西门子法） 原图定位

 三氯氢硅在多晶硅的生产反应过程中不可或缺。参考大全能源的多晶硅生产流程：公司的生产工艺包含制氢、氯化氢合成、三氯氢硅精馏提纯、还原、产品破碎整理、尾气回收和冷氢化这 8 个工序，可以看出除了前期的制氢、氯化氢合成和中间的产品破碎整理外其他的生产流程均和三氯氢硅密切相关。此外，三氯氢硅的纯度对产出的多晶硅的品质也有直接影响，因此三氯氢硅在多晶硅生产中的重要性较高。