凸点分类工艺特征尺寸较小,相对晶圆制造来说较 原图定位 使wafer级封装技术得到更广泛的应用,选择合适的凸点制作工艺极为重要。在晶圆凸点制作中,金属沉积占到全部成本的50%以上。最为常见的金属沉积步骤是UBM(凸点下金属化层)的沉积和 凸点本身的沉积,而UBM的沉积通常采用Sputter(溅射),Electroless(化学镀),Plating(电 镀)方式实现;凸点本身的沉积通常采用电镀,植球,印刷的方式实现。