2020年中国半导体量检测设备市场格局（亿美元） 原图定位

全球：国际巨头主导电子束检测设备市场国内：电子束检测设备国产替代空间广阔VLSI数据统计，2023年KLA市占率达55.8%。国产半导体量检测设备供应商主要包括上海精测、中科飞测、上海睿励等，2023年上海精测、中科飞测收入分别为3.32亿元、8.91亿元，国内市占率分别为1.06%、2.84%。电子束检测设备领域，目前国内主要供应商包括上海精测、东方晶源。