每万片产线对薄膜沉积设备需求量(单位:台/每万片) 原图定位 得晶圆制造的复杂度和工序步骤都大大提升,为保障总体产能,单位产线需要更多的薄膜沉积设备。中芯国际 180nm 8寸线每万片需要的CVD设备在 9.9 台、PVD 设备在 4.8 台,而到其 90nm 12 寸线,每万片需要的 CVD 设备升至 42 台,是之前的 4 倍以上,每万片需求的 PVD 设备在 24 台,是之前的 5 倍。未来随着 5G、HPC、AI、ADAS 等新技术对制程要求越来越高,先进制程需求势必将迎来较成熟制程更快的成长,将进一步带动薄膜沉积设备市场加速增长。