2021年前道制造设备投资占比情况 原图定位 2021 年涂胶显影设备在前道投资设备占比约为 4%。根据华经产业研究院数据,2021 年前道制造设备投资占比最重的为刻蚀设备和薄膜沉积设备,分别占比 22%,其次为光刻机,占比 20%,检测设备占比 11%,清洗设备占比 5%,涂胶显影设备占比 4%,CMP 设备占比 3%,热处理设备及离子注入机占比 2%,去胶设备占比 1%,其他设备占比 8%。