2018-2023年国内半导体量检测设备供应商收入 原图定位 全球:国际巨头主导电子束检测设备市场国内:电子束检测设备国产替代空间广阔VLSI数据统计,2023年KLA市占率达55.8%。国产半导体量检测设备供应商主要包括上海精测、中科飞测、上海睿励等,2023年上海精测、中科飞测收入分别为3.32亿元、8.91亿元,国内市占率分别为1.06%、2.84%。电子束检测设备领域,目前国内主要供应商包括上海精测、东方晶源。