半导体检测对比(按工序) 原图定位 厂内产线在线监控为主;后道检测主要应用于晶圆加工后的芯片电性测试及功能性测试,目前主要分为第三方测试和厂内产线在线监控;实验室检测主要针对失效样品进行缺陷定位和故障分析,目前主要分为第三方实验室检测和厂内自建实验室。