半导体封装技术发展历程 原图定位 先进封装主要通过平面与空间上的革新实现连接的密集化、堆叠的多样化和功能的系统化。(1)平面上,以 Bump I/O Pitch(凸块间距)的缩小化和RDL L/S(Re-distributed Layer 重布线层,线宽/间距)的精细化为核心驱动,来实现高互联、低功耗、低单位面积成本的封装技术。例如:RDL(Re-distributed Layer 重布线层)线宽线距迈向 2/2μm 尺度,bump 微凸块间距从 80μm 迈向 40~50μm 尺度;(2)空间上,先进封装向三维发展,以高度集成化、高度功能化为目标,典型代表为 2.5D/3D 封装、SiP 系统级封装、Chiplet 等。3D 堆叠间距向几微米缩小,wafer to wafer 甚至缩小至百纳米尺度。