1、2022 年深度行业分析研究报告 VYlZfWmUwVcZtYpU8ObPbRmOrRoMnPfQpPwPkPpNqO8OnMnNvPtQoMwMsPsN3 内容目录内容目录 1.零部件是半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高零部件是半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高.6 1.1.半导体零部件是决定半导体产业高质量发展的关键领域.6 1.2.半导体设备由多个子系统组成，零部件数量庞大、种类繁多.7 1.3.多学科交叉融合，复合型技术壁垒高.9 2.市场空间大，零部件市场空间大，零部件交期拉长限制下游扩产需求交期拉长限制下游扩产需求.10 2.1 全球半导体零部件市场规模超 400 亿美元.

2、10 2.2 半导体零部件短缺限制设备产能提升.12 3.海外巨头垄断市场，国产率低海外巨头垄断市场，国产率低.13 3.1 射频电源：AE和 MKS垄断，英杰电气实现突破.16 3.2 机械类：品类众多，国产化快速推进.18 3.3 真空泵：Edwards 以及 Ebara 占据主要份额，汉钟精机、中科仪实现突破.21 3.4 阀门：海外巨头垄断，新莱应材份额快速提高.23 4.相关公司相关公司.26 4.1.新莱应材：国内半导体高纯洁净材料龙头，腔体、管道、阀门技术领先.26 4.2.万业企业：收购 Compart Systems 布局零部件，气体输送系统领域全球领先.28 4.3.江丰电

3、子：国内靶材龙头，布局半导体零部件打开成长空间.30 4.4.富创精密：专注金属零部件，打造平台型公司.31 4.5.汉钟精机：光伏真空泵龙头，拓展半导体业务打开国产替代空间.33 4.6.华卓精科：国内半导体精密运动控制系统龙头.35 4.7.正帆科技：国内领先的工艺介质系统供应商，加码电子特气、半导体零部件.36 4.8.至纯科技：半导体清洗设备快速成长，布局半导体设备零部件助力国产化.38 图表目录图表目录 图 1：半导体零部件在半导体产业链中的地位.6 图 2：五大关键的半导体零部件成本占比（2021 年数据）.8 图 3：陶瓷静电卡盘.10 图 4：精密零部件是半导体行业的重要支撑.

4、11 图 5：全球和中国大陆半导体设备市场规模（单位：亿美元）.12 图 6：2021 年全球半导体设备市场市占率（单位：亿美元）.12 图 7：全球 TOP5 半导体设备厂商毛利率.12 图 8：国内典型半导体设备厂商成本中直接材料占比.12 图 9：半导体资本开支及预测（单位：亿美元）.12 图 10：半导体零部件交期持续拉长.13 图 11：全球前 10 大半导体零部件厂商份额.14 图 12：半导体零部件国产化率情况.16 图 13：全球半导体刻蚀设备市场规模（单位：亿美元）.16 图 14：全球半导体薄膜沉积设备市场规模（单位：亿美元）.16 图 15：MKS半导体业务.17 图 1

5、6：MKS营收结构（单位：百万美元）.17 图 17：MKS分部门毛利率.17 图 18：MKS公司营收情况（单位：百万美元）.18 图 19：MKS公司盈利情况（单位：百万美元）.18 4 图 20：英杰电气营收情况（单位：亿元）.18 图 21：英杰电气半导体业务营收及毛利率（单位：亿元）.18 图 22：部分半导体机械类零部件图示.19 图 23：Ferrotec 营收情况（单位：亿美元）.19 图 24：京鼎精密营收情况（单位：亿元）.19 图 25：Ferrotec 半导体产品线.20 图 26：京鼎精密全球产能布局.20 图 27：新莱应材管道管件产品图示.21 图 28：干式真空

6、泵产品图示.21 图 29：2021 年全球半导体真空泵市场份额.22 图 30：2021 年全球半导体真空泵主要厂商介绍.23 图 31：全球半导体阀门市场规模预测（单位：亿美元）.24 图 32：2021 年全球半导体阀门市场份额.24 图 33：2021 年 VAT 公司分市场营收占比.24 图 34：VAT 公司市场份额.24 图 35：Parker 营收情况（单位：亿美元）.25 图 36：Parker 盈利情况（单位：亿美元）.25 图 37：新莱应材阀门图.25 图 38：盛机电产品图.25 图 39：新莱应材发展历程.26 图 40：新莱应材高纯洁净产品系列.27 图 41：新

7、莱应材营收结构（单位：亿元）.27 图 42：新莱应材分业务毛利率.27 图 43：新莱应材营收情况（单位：亿元）.28 图 44：新莱应材盈利情况（单位：亿元）.28 图 45：Compart Systems 主要产品.28 图 46：万业企业营收结构（单位：亿元）.29 图 47：万业企业分业务毛利率.29 图 48：万业企业营收情况（单位：亿元）.30 图 49：万业企业盈利情况（单位：亿元）.30 图 50：江丰电子半导体零部件业务合作厂商.30 图 51：江丰电子 2021 年营收结构（单位：亿元）.31 图 52：江丰电子分业务毛利率.31 图 53：江丰电子营收情况（单位：亿元）

8、.31 图 54：江丰电子盈利情况（单位：亿元）.31 图 55：富创精密部分具体产品在刻蚀设备中的应用示例.32 图 56：富创精密营收结构（单位：亿元）.33 图 57：富创精密分业务毛利率.33 图 58：富创精密营收情况（单位：亿元）.33 图 59：富创精密盈利情况（单位：亿元）.33 图 60：汉钟精机半导体真空泵产品.34 图 61：汉钟精机营收结构（单位：亿元）.34 图 62：汉钟精机分业务毛利率.34 图 63：汉钟精机营收情况（单位：亿元）.35 图 64：汉钟精机盈利情况（单位：亿元）.35 5 图 65：华卓精科营收情况（单位：亿元）.36 图 66：华卓精科盈利情况

9、（单位：亿元）.36 图 67：正帆科技发展历程.37 图 68：正帆科技 2021 年营收结构（单位：亿元）.37 图 69：正帆科技分业务毛利率.37 图 70：正帆科技营收情况（单位：亿元）.38 图 71：正帆科技盈利情况（单位：亿元）.38 图 72：至纯科技营收结构（单位：亿元）.39 图 73：至纯科技分业务毛利率.39 图 74：至纯科技营收情况（单位：亿元）.39 图 75：至纯科技盈利情况（单位：亿元）.39 表 1：主要零部件产品及其主要服务的半导体设备.7 表 2：半导体设备八大子系统及构成.7 表 3：半导体全部品类零部件具体情况.9 表 4：半导体不同品类零部件技术

10、难度情况.10 表 5：全球主要半导体零部件领先厂商.15 表 6：2021 公司可转债募投项目.38 6 1.零部件是零部件是半导体设备半导体设备的核心，品类众多，技术壁垒高的核心，品类众多，技术壁垒高 1.1.半导体零部件是决定半导体零部件是决定半导体产业高质量发展的关键领域半导体产业高质量发展的关键领域 半导体零部件是半导体设备行业的支撑：半导体零部件是半导体设备行业的支撑：半导体设备是延续半导体行业“摩尔定律”的瓶颈和关键，而半导体设备厂商绝大部分关键核心技术需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作为载体来实现。半导体设备零部件在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达

11、到了半导体设备及技术要求，并具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特性，生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和学科，是半导体设备核心技术的直接保障。图图 1：半导体零部件在半导体产业链中的地位半导体零部件在半导体产业链中的地位 资料来源：富创精密招股书，安信证券研究中心 半导体设备结构复杂，由成千上万个零部件组成，零部件的性能、质量和精度都共同决定半导体设备结构复杂，由成千上万个零部件组成，零部件的性能、质量和精度都共同决定着设备的可靠性与稳定性。着设备的可靠性与稳定性。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，而半导

12、体设备的升级迭代很大程度上有赖于精密零部件的技术突破。各种半导体零部件相互配合，共同支持半导体设备的运转，比起其他行业设备的基础零部件尖端技术特性更为明显，精度高、批量小、多品种、尺寸特殊、工艺复杂，还要兼顾强度、应变、抗腐蚀、电子特性、电磁特性、材料纯度等复合功能要求。半导体精密零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一，也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一。同样一个部件，相较于传统工业，半导体设备关键零部件在原材料的纯度、原材料批次的一致性、质量稳定性、机加精度控制、棱边倒角去毛刺、表面粗糙度控制、特殊表面处理、洁净清洗、真空无尘包装、交货周期等方面要求就更高，

13、造成了极高的技术门槛。以半导体用过滤件为例，目前半导体级别滤芯的精度要求达到 1 纳米甚至以下，而在其他行业精度则要求在微米级。同时，为获得超纯的产品清洁度、高度一致的质量和可重复高性能，半导体用过滤件对一致性、耐化学和耐热性、抗脱落性亦有较高的要求。7 表表 1：主要零部件产品及其主要服务的半导体设备主要零部件产品及其主要服务的半导体设备 零部件零部件 主要服务的半导体设备类型及工艺步骤主要服务的半导体设备类型及工艺步骤 O-Ring 密封圈密封圈 单晶炉、氧化炉、清洗机、等离子刻蚀设备、湿法刻蚀机、CVD、PVD、CMP 精密轴承精密轴承 离子注入、PVD、RTP、WET 金属零部件金属零

14、部件 PVD Valve 阀阀 CVD、光刻、离子注入、PVD、RTP、WET、CMP 硅硅/SiC 件（硅环、硅电机）件（硅环、硅电机）等离子刻蚀设备 Robots 光刻、WET、TF、Etch、DIFF 石英件（电容石英、电解石英）石英件（电容石英、电解石英）刻蚀、炉管 Filter 光刻、RTP、WET 射频电源射频电源 离子注入、PVD、CVD、刻蚀 陶瓷件陶瓷件 CVD、PVD、离子注入、刻蚀 ESC 静电吸盘静电吸盘 等离子刻蚀设备、湿法刻蚀设备、CVD、PVD、ALD 压力压力 Gauge 离子注入、WET 泵泵 WET、离子注入、PVD MFC 流量计流量计 CVD、离子注入、

15、RTP 步进马达步进马达 CVD、PVD、ETCH 资料来源：中国集成电路，安信证券研究中心 1.2.半导体设备由多个子系统组成，零部件数量庞大、种类繁多半导体设备由多个子系统组成，零部件数量庞大、种类繁多 各类半导体设备都可以分解成若干个模块，由多个子系统组成。根据 VLSI 公司统计分类，半导体设备由八大关键子系统组成：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、电源及气体反应系统、热管理系统、晶圆传送系统及其他关键组件。其中，真空系统、电源系统是较为关键的子系统，成本占比均在 10%以上。前者主要包括各类阀、泵，后者则以射频电源等为主。表表 2：半导体设备八大子系统及构成：半导体

16、设备八大子系统及构成 子系统子系统 具体零部件具体零部件 气液流量控制系统气液流量控制系统 气体流量控制器、液体流量控制器、排液泵等 真空系统真空系统 控制阀、隔离阀、传输阀、低温泵、干式泵、分子泵等 制程诊断系统制程诊断系统 气体分析仪、液体分析仪、粒子计数器、其他计量等 光学系统光学系统 光刻光学系统 电源电源系统系统 RF 射频电源、RF 射频电源匹配网络、DC 制程电源、等离子体源等 热管理系统热管理系统 温控装臵、换热系统、测温系统等 晶圆传送系统晶圆传送系统 真空机械手臂、常压机械手臂等 关键组件关键组件 静电卡盘装臵、陶瓷组件、橡胶组件 资料来源：VLSI，安信证券研究中心 8

17、图图 2：五大关键的半导体零部件五大关键的半导体零部件成本占比成本占比（2021 年数据）年数据）资料来源：VLSI，安信证券研究中心 半导体零部件数量庞大、种类繁多，碎片化特征明显。半导体零部件数量庞大、种类繁多，碎片化特征明显。按照业内主流的零部件划分方式，半导体零部件可以划分为机械类、电器类、机电一体类、气体/液体/真空系统类、仪器仪表类、光学类和其他零部件。机械类：机械类：应用于所有设备，起到构建整体框架、基础结构、晶圆反应环境和实现零部件特殊功能的作用，保证反应良率，延长设备使用寿命，对加工精度、耐腐蚀性、密封性、洁净度、真空度等指标有较高要求。电器类：电器类：应用于所有设备，起到控

18、制电力、信号、工艺反应制程的作用，对输出功率的稳定性、电压质量、波形质量、频率质量等指标有较高要求。机电一体类：机电一体类：在设备中起到实现晶圆装载、传输、运动控制、温度控制的作用，部分产品包含机械类产品，对真空度、洁净度、放气率、SEMI 定制标准等指标有较高要求，还需要保证多次使用后的一致性和稳定性，不同具体产品要求差别较大。气体气体/液体液体/真空系统类：真空系统类：在设备中起到传输和控制特种气体、液体和保持真空的作用。其中，气体输送系统类对真空度、耐腐蚀性、洁净度、SEMI 定制标准等指标有较高要求，真空系统类对抽气后的真空指标、可靠性、稳定性、一致性等指标有较高要求，气动液压系统类对

19、真空度、表面粗糙度、洁净度、使用寿命、耐液体腐蚀等指标有较高要求。仪器仪表类：仪器仪表类：应用于所有设备，起到控制和监控流量、压力、真空度、温度等数值的作用，对量程时间、流量测量精度、温度测量精度、压力测量精度、温度影响小等指标有较高要求。光学类：光学类：主要应用于光刻设备、量测设备等，起到控制和传输光源的作用，对制造精度、分辨率、曝光能力、光学误差小等指标有较高要求。Vacuum Vacuum SubsystemsSubsystems Process PowerProcess Power Wafer HandlingWafer Handling Fluid Fluid ManagementM

20、anagement OtherOther 9 表表 3：半导体全部品类零部件具体情况：半导体全部品类零部件具体情况 分类分类 占设备成本的比例占设备成本的比例 零部件具体类别零部件具体类别 所应用的主要设备所应用的主要设备 机械类机械类 20%-40%金属工艺件：反应腔、传输腔、过渡腔、内衬、匀气盘等 金属结构件：托盘、冷却板、底座、铸钢平台等 非金属机械件：石英、陶瓷件、硅部件、静电卡盘、橡胶密封件等 应用于所有设备 电气类电气类 10%-20%射频电源、射频匹配器、远程等离子源、供电系统、工控电脑等 应用于所有设备 机电一体类机电一体类 10%-25%EFEM、机械手、加热带、腔体模组、阀

21、体模组、双工机台、浸液系统、温控系统等 应用于所有设备，其中双工机台和浸液系统仅用于光刻设备 气体气体/液体液体/真真 空系统类空系统类 10%-30%气体输送系统类：气柜、气体管路、管路焊接件等 主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀设备和离子注入设备等干法设备 真空系统类：干泵、分子泵、真空阀门等 主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀设备和离子注入设备等干法设备 气动液压系统类：阀门、接头、过滤器、液体管路等 主要应用于化学机械抛光设备、清洗设备等湿法设备 仪器仪表类仪器仪表类 1%-3%气体流量计、真空压力计等 应用于所有设备 光学类光学类 55%光学元件、光栅、激光源、物镜等 主要应用于光刻设备、量测设

22、备等 其他其他 3%-5%定制装臵、耗材等 应用于所有设备 资料来源：富创精密招股书，安信证券研究中心 根据半导体零部件产业现状及发展（发表在中国集成电路），半导体零部件还有按照典型集成电路设备腔体内部流程划分、按照半导体零部件的主要材料和使用功能划分和按照半导体零部件服务对象划分的分类方式。按照典型集成电路设备腔体内部流程划分，零部件可以分为五大类：电源和射频控制类、气体输送类、真空控制类、温度控制类、传送装臵类。按照半导体零部件的主要材料和使用功能划分，可以将其分为十二大类，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、过滤部件、运动部件、电控部件以及其他部件。

23、按照半导体零部件服务对象来分，半导体核心零部件可以分为两种，即精密机加件和通用外购件：精密机加件通常由半导体设备公司自行设计再委外加工，只用于自己公司的设备，如工艺腔室、传输腔室等，一般对其表面处理、精密机加工等工艺技术的要求较高；通用外购件则是一些经过长时间验证，得到众多设备厂和制造厂广泛认可的通用零部件，更加标准化，会被不同的设备公司使用，也会被作为产线上的备件耗材来使用，例如硅结构件、O-Ring 密封圈、阀门、规（Gauge）、泵、Face plate、气体喷淋头 Shower head 等，由于这类部件具备较强的通用性和一致性，并且需要得到设备、制造产线上的认证。1.3.多学科交叉融

24、合，复合型技术壁垒高多学科交叉融合，复合型技术壁垒高 半导体零部件覆盖范围广半导体零部件覆盖范围广、产业链产业链长，长，需要多学科交叉融合。需要多学科交叉融合。半导体零部件的研发设计、制造和应用涉及到材料、机械、物理、电子、精密仪器等跨学科、多学科的交叉融合，生产工艺横跨精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和学科。以半导体制造中用于固定晶圆的静电吸盘（ESC）为例，传统的以有机高分子材料和阳极氧化层为电介质的静电卡盘逐步被陶瓷静电卡盘逐渐替代，而以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷为主体材料陶瓷静电卡盘拥有良好的导热和耐卤素等离子气氛的性能。作为离子注入、刻蚀等关键制

25、程核心零部件之一，为满足在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控制等作用的需要，需加入其他导电物质使得 ESC 总体电阻率满足功能性要求，还需在较低的烧结温度下实现纳米级陶瓷粉体快速致密化，静电吸盘表面处理后还要达到10 0.01 微米左右的涂层，才能制备出致密性高、晶体结构稳定、体电阻率分布均匀且符合静电卡盘使用特性的专用陶瓷材料。因此，ESC 的制造需要对材料的导热性，耐磨性及硬度指标非常了解，对精密机加工和表面处理技术要求也很高。由此可见，半导体零部件是一个多学科交叉融合、需要复合型技术的领域。图图 3：陶瓷静电卡盘陶瓷静电卡盘 资料来源：海拓创新官网，安信证券研究中心 半导

26、体零部件技术突破难度大，行业壁垒高。半导体零部件技术突破难度大，行业壁垒高。目前，应用最广、市场份额最大的机械类零部件主要产品技术已经实现突破，机电一体类零部件以及气体/液体/真空系统类零部件也都已有部分产品实现技术突破，包括腔体、机械手、金属加工件、石英零部件、硅部件、EFEM、温控系统等零部件都已有国产供应商。然而，机械类的高端产品技术突破难度高、国产化率仍然较低；电气类零部件技术难度高，核心模块（射频电源等）尚未国产化；仪器仪表类零部件对测量精准度要求极高，国产化率较低，高端产品尚未国产化；光学类零部件对光学性能要求极高，国际垄断程度高，国产化率较低，高端产品亦未国产化。表表 4：半导体

27、不同品类零部件技术难度情况：半导体不同品类零部件技术难度情况 分类分类 技术突破难度技术突破难度 机械类机械类 作为应用最广，市场份额最大的零部件类别，具体品类繁多，主要产品技术已实现突破和国产替代，应用于高制程设备的产品技术突破难度仍较高 电气类电气类 设备中作为控制工艺制程的核心部件，技术突破难度较高 机电一体类机电一体类 品类繁多，部分产品已实现技术突破，但产品稳定性和一致性与国外有差距，技术难度适中 气体气体/液体液体/真空系统类真空系统类 品类繁多，部分产品已实现技术突破，但产品稳定性和一致性与国外有差距，技术难度适中 仪器仪表类仪器仪表类 对测量的精准度要求极高，国产化率低，技术突

28、破难度较高 光学类光学类 对光学性能要求极高，鉴于光刻设备国际市场高度垄断，高端产品一家独大，国内光刻设备尚在发展，相应配套光学零部件国产化率低，技术突破难度较高 资料来源：富创精密招股书，安信证券研究中心 2.市场市场空间空间大，大，零部件零部件交期拉长交期拉长限制下游扩产需求限制下游扩产需求 2.1 全球半导体零部件市场规模全球半导体零部件市场规模超超 400 亿美元亿美元 半导体设备精密零部件是半导体设备行业的重要支撑，半导体设备精密零部件是半导体设备行业的重要支撑，根据半导体零部件公司富创精密估计，全球的半导体零部件市场超过百亿美元规模。为了较为精确地测算全球和中国大陆的半导体零部件市

29、场规模，可以按照半导体设备市场规模成本率零部件成本占比的公式进行测算。其中，半导体设备市场规模来自 SEMI 数据，成本率（即 1-毛利率）来自半导体设备全球 TOP5 企业的毛利率按销售额取加权平均，零部件成本占比参考光刻设备、刻蚀11 设备和薄膜沉积设备三个最为关键的半导体设备代表公司，分别为芯源微、中微公司和拓荆科技。图图 4：精密零部件是半导体行业的重要支撑精密零部件是半导体行业的重要支撑 资料来源：富创精密招股书，安信证券研究中心 近年来，全球半导体设备市场规模不断扩张。根据 SEMI 统计，2011 年到 2021 年，全球半导体设备市场规模从 435.3 亿美元提升到 1026.

30、4 亿美元亿美元，预期 2022 年同比增长 14.7%，达到 1175.7 亿美元。同时，中国大陆半导体设备市场规模增速高于全球市场，占全球半导体设备市场份额呈显著上升趋势，从 2011 年的 36.5 亿美元增长到 2021 年的 296.2 亿美元亿美元。全球的半导体设备市场集中度较高，TOP5 厂商的市占率之和超过 75%（2021 年），它们的毛利率也较为稳定，因此参考全球半导体设备 TOP5 厂商的毛利率估算半导体设备的成本率。除了第五大厂商科天半导体毛利率超过 60%，前四大厂商毛利率基本都在 40%-50%范围内。按照 2021 年的销售额对 TOP 厂商的毛利率进行加权，得到

31、半导体设备的毛利率得到半导体设备的毛利率约为约为 46.5%，即成本率，即成本率约为约为 53.5%。考虑到光刻设备、刻蚀设备和薄膜沉积设备是晶圆制造中最重要的三类设备，分别选用国内代表半导体设备企业估算直接材料占比。总的来看，半导体设备的直接材料占比基本在90%以上。根据富创精密招股书，半导体设备的直接材料主要为各类精密零部件，考虑到安全边际，假设成本中零部件占比为 80%。根据公式：半导体零部件市场规模=半导体设备市场规模*成本率*设备中零部件成本占比，结合以上分析，得到：2021 年全球半导体零部件市场规模=1026.4 亿美元53.5%80%=439.30 亿美元。2021 年中国大陆

32、半导体零部件市场规模=296.2 亿美元53.5%80%=134.70 亿美元。12 图图 5：全球和中国大陆半导体设备市场规模（单位：亿美全球和中国大陆半导体设备市场规模（单位：亿美元）元）图图 6：2021 年年全球半导体设备市场市占率（单位：亿美元）全球半导体设备市场市占率（单位：亿美元）资料来源：SEMI，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 图图 7：全球全球 TOP5 半导体设备厂商毛利率半导体设备厂商毛利率 图图 8：国内典型半导体设备厂商成本中直接材料占比国内典型半导体设备厂商成本中直接材料占比 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：公司公告，安信证

33、券研究中心 2.2 半导体零部件半导体零部件短缺限制设备产能提升短缺限制设备产能提升 根据 IC Insights 的数据，预计 2022 年半导体资本开支将增长 21%，达到 1855 亿美元，再创历史新高，资本开支的高成长拉动上游设备需求增长，进而带动零部件需求持续提高。图图 9：半导体资本开支半导体资本开支及及预测预测（单位：亿美元）（单位：亿美元）资料来源：IC Insights，安信证券研究中心 435.3 369.3 317.9 375.0 365.3 412.4 566.2 645.3 597.5 711.9 1026.4 1175.7 36.5 25.0 33.7 43.7 4

34、9.0 64.6 82.3 131.1 134.5 187.2 296.2 0%5%10%15%20%25%30%35%0200400600800020000202021 2022E全球 中国大陆 中国大陆占比 231,22%211,21%146,14%127,12%69,7%242,24%AMATASMLLAMTELKLA其他 35%40%45%50%55%60%65%70%20021AMATASMLLAMTELKLA94.37%89.58%90.43%90.74%94.46%93.

35、48%90.76%90.38%94.48%87%88%89%90%91%92%93%94%95%201920202021中微公司 芯源微 拓荆科技 43.4 26.1 54 67.4 59 55.3 66.1 65.2 67.8 95.6 106.1 102.5 113.1 153.1 185.5-29%-40%107%25%-12%-6%20%-1%4%41%11%-3%10%35%21%-60%-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%$0$20$40$60$80$100$120$140$160$180$2002008 2009 2010 2011 2012 2013 2

36、014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022Capital SpendingPercent Change13 半导体零部件的短缺限制了设备公司产能提高以及产品交付。根据 AMAT 公司 2022Q2 投资者会议，半导体零部件短缺是公司上游供应最为关键的问题，对向客户及时交货构成了挑战。ASML 公司也受到了上游产品供应短缺的困扰。根据 ASML 公司 2022Q2 投资者会议，由于供应链限制日益严重（主要来自半导体零部件的短缺），造成公司的应收账款增加、与产出相关的额外成本增加。同时，ASML 预测 2023 年半导体零部件的短缺将有所缓解。据 ETN

37、ews 报道，现在半导体核心部件的交货期为 6 个月以上，之前的交货期通常仅为 2-3 个月。来自美国、日本和德国的零部件交货时间显著增加，主要短缺的产品有高级传感器、精密温度计、MCU单元和电力线通信（PLC）设备。例如 PLC 设备，交货时间更是被推迟了 12 个月以上。相比于半导体设备厂商，零部件厂商重资产占比更高，因此扩产速度相对较慢，这也加剧了半导体零部件的短缺。目前，由于半导体零部件的持续性短缺，部分相关零部件厂商有扩产计划，将有助于缓解半导体零部件短缺问题。2022 年 4 月 20 日，陶瓷封装基板领域的领导者日本京瓷集团的董事长谷本秀夫表示，公司将投资 625 亿日元（约合

38、31.4 亿人民币）在鹿儿岛川内扩建一栋半导体用零部件工厂，于 5 月份动工并预计明年 10 月开始投产。2022 年 6 月，真空泵龙头 Edwards 在韩国牙山市的新工厂正式开始生产，占地 16000 平方米，成为该公司在韩国天安和中国青岛的另一重要真空泵生产基地。图图 10：半导体零部件交期半导体零部件交期持续拉长持续拉长 资料来源：半导体行业联盟，安信证券研究中心 3.海外巨头垄断市场海外巨头垄断市场，国产率低国产率低 根据 VLSI 的数据，2020 年全球半导体零部件领军供应商前 10 中（见表 5），包括有蔡司ZEISS（光学镜头），MKS 仪器（MFC、射频电源、真空产品），

39、英国爱德华 Edwards（真空泵），Advanced Energy（射频电源），Horiba（MFC），VAT（真空阀件），Ichor（模块化气体输送系统以及其他组件），Ultra Clean Tech（密封系统），ASML（光学部件）及EBARA（干泵）。14 表表 5：2021 年年全球前十大半导体零部件厂商排名全球前十大半导体零部件厂商排名 企业名称企业名称 所在国家所在国家 主要产品主要产品 半导体零部件收入规模半导体零部件收入规模（单位：亿美元）（单位：亿美元）蔡司蔡司 ZEISS 德国 光学镜头 21.2 MKS 仪器仪器 美国 MFC、射频电源、真空产品 14 爱德华爱德华 E

40、dwards 英国（2014年加入瑞典 Atlas集团）真空泵 13.8 Advanced Energy 美国 射频电源 6.12 Horiba 日本 MFC 4.94 VAT 瑞士 真空阀件 4.3 Ichor 美国 模块化气体输送系统以及其他组件 3.8 Ultra Clean Tech 美国 真空阀件 3.5 ASML 荷兰 光学部件及光刻机组件服务 3 EBARA 荏原荏原 日本 干式真空泵 3 合计合计/75-80 资料来源：半导体材料与工艺装备，安信证券研究中心 根据 VLSI数据，全球前十大半导体零部件供应商的市场份额总和趋于稳定在 50%左右。另外，由于半导体零部件对精度和品质

41、的严格要求，就单一半导体零部件而言，往往会出现仅有几家供应商的局面，集中度远高于 50%。图图 11：全球全球前前 10 大大半导体半导体零部件厂商份额零部件厂商份额 资料来源：VLSI，安信证券研究中心 从细分品类的零部件来看，目前在大部分零部件领域，美国、日本等企业均处于领先地位。例如在静电吸盘领域，基本由美国和日本半导体企业主导，根据 QYR 数据分析统计，美日市场份额占 95%以上，主要有美国 AMAT（应用材料）、美国 LAM（泛林集团），以及日本企业 Shinko（新光电气）、TOTO、NTK等。O 型密封圈：是最普遍认可的密封设计，主要来自美国半导体企业 Dupont、Green

42、e Tweed，以 Greene Tweed 公司为例，既能提供 AS568 或 ISO 3601-1 标准尺寸的 O 型圈，也能设计和制造非标准尺寸的 O 型圈。材料选择上，包括 Fusion FKM和 Chemraz FFKM，可设计用于在-40 度327 度的温度范围内提供耐化学性。精密轴承：全球轴承市场被瑞典、德国、日本、美国四个国家的八大集团垄断。2020 年全球轴承市场份额主要由八大海外厂商占据（瑞典 SKF、德国 Schaeffler、日本 NSK、日本 JTEKT、日本 NTN、美国 TIMKEN、日本 NMB、日本 NACHI）。主要应用于半导体领域的精密轴承代表厂商包括 F

43、ala 和 Kaydon。Kaydon 是瑞典 SKF 旗下子公司，精密轴承设计15 半导体领域，Reali-Slim 轴承可以定制优化，可在高于 250 度的温度下工作，真空度为10-8至10-12Torr，以最大限度减少颗粒产生，并耐受腐蚀性化学环境。压力计：压力计的主要生产厂商包括 MKS 和 Inficon，以 MKS 公司为例，其生产的电容式压力计具有高度准确性和可重复性，几乎完全使用镍基合金制造隔膜量规，具有很强的耐腐蚀性和安全级别。石英件：根据芯谋研究，石英制品中半导体用石英制品约占整体市场的 68%。半导体用石英件的代表企业包括韩国 Wonik 和日本 Ferrotec。残余气

44、体分析仪 RGA：全球市场来看，美系厂商在残余气体分析仪大幅领先，包括 Inficon和 MKS。据 GIR(Global Info Research)调研，2019 年 Inficon 在全球市场的产值份额接近30%。表表 5：全球全球主要半导体零部件领先厂商主要半导体零部件领先厂商 零部件零部件 国际领先企业国际领先企业 O-Ring 密封圈密封圈 Dupont、Greene Tweed 精密轴承（陶瓷）精密轴承（陶瓷）Fala、Kaydon 压力计压力计 MKS、Inficon ESC 静电吸盘静电吸盘 Shinko（新光电气）、TOTO、NGK 射频电源射频电源 AE、MKS 真空泵（

45、干泵、分子泵、冷泵）真空泵（干泵、分子泵、冷泵）Edwards、EBARA（荏原）、Pfeiffer Vaccum（普发）、Kashiyama（坚山工业）、Brooks、Sumitomo 石英件石英件 Wonik、Ferrotec 陶瓷件陶瓷件 Kyocera、CoorsTek 残余气体分析仪残余气体分析仪 RGA Inficon、MKS 制冷机制冷机 Chiller SMC、ATS MFC 气体流量计气体流量计 Horiba、Brooks Robot 机械手臂机械手臂 Brooks、MKS EFEM 传输系统传输系统 Brooks、Rorze Showerhead 气体喷淋头气体喷淋头 AM

46、SEA、UMS 资料来源：半导体材料与工艺装备，安信证券研究中心 从国产化率来看，目前半导体零部件处于偏低的水平，石英、反应腔喷淋头、边缘环等自给率大于 10%，各种泵、陶瓷部件自给率在 5%-10%之间，射频发生器、机械手、MFC 等自给率在 1%-5%之间，阀门、测量仪器等自给率甚至不到 1%。16 图图 12：半导体零部件国产化率情况半导体零部件国产化率情况 主要零部件主要零部件 海外供应商海外供应商 国内供应商国内供应商 自给率自给率 Quartz Ferrotec，Heraeus 菲利华、太平洋石英 10%Edge ring Tokai Carbon，EPP 珍宝、神工半导体 10%

47、Shower head 新鹤 靖江先锋、江丰电子 10%Pump Alcatel，Pfeiffer，Edwards，Ebara，Ulvac，Leybold，Varian 沈阳科仪、京仪 5%10%Ceramic-苏州柯玛 5%10%RF generator AE，MKS，Kyosan，Daihen 北广科技、中科院微电子 1%5%Robot Brooks，Yaskawa，Kawasaki，JEL，Rorze，Sankyo，Robostar，RND，Kostek 新松机器人 1%5%MFC Brooks，MKS，Fujikin，Horiba，CDK 北方华创 1%5%Valve Fujikin，

48、VAT，MKS，Swagelok，Hamlet 1%Gauge MKS，Inficon 1%O-ring Dupont 1%资料来源：芯谋研究，安信证券研究中心 3.1 射频电源：射频电源：AE 和和 MKS 垄断，英杰电气实现突破垄断，英杰电气实现突破 半导体射频电源主要应用于半导体射频电源主要应用于刻蚀设备、刻蚀设备、PVD 和和 CVD 设备，设备，粗略估算，粗略估算，2022 年全球半导体年全球半导体射频电源市场规模超过射频电源市场规模超过 26亿美元。亿美元。根据 Gartner 数据，2022 年全球半导体刻蚀设备市场规模将达到 184 亿美元，同比增长 6.98%。根据 Maxi

49、mize Market Research 数据，2022 年全球半导体薄膜沉积设备市场规模预计将达到 220 亿美元，同比增长 15.79%。按照半导体设备毛利率 46.5%、一台半导体设备射频电源约占成本的 12%的假设来测算，2022 年全球半导体刻蚀设备用射频电源市场规模为 184 亿美元（1-46.5%）12%=11.81 亿美元，全球半导体薄膜沉积设备用射频电源市场规模 14.12 亿美元。考虑到其他半导体设备中亦会使用到射频电源，如离子注入设备，2022 年全球半导体射频电源市场规模将会超过 26 亿美元。图图 13：全球半导体刻蚀设备市场规模（单位：亿美元）全球半导体刻蚀设备市场

50、规模（单位：亿美元）图图 14：全球半导体薄膜沉积设备市场规模（单位：亿美元）全球半导体薄膜沉积设备市场规模（单位：亿美元）资料来源：Gartner，安信证券研究中心 资料来源：Maximize Market Research，安信证券研究中心 从竞争格局来看，全球射频电源市场是寡头市场，被美国万机仪器（MKS）和美国先进能源工业（AE）垄断，集中度较高。2021 年，MKS 和 AE 分别实现营收 29.5 亿美元和 14.6亿美元，其中，半导体业务营收分别为 18.3 亿美元和 7.1 亿美元，分别占公司当年营收的62.04%和 48.63%。MKS 的 RF 射频电源主打 Elite 系

51、列，采取高速闭环控制、E 类 RF 卡座和开关调制器设计，可实现卓越的输出性能。AE 的 RF 射频电源主打 Cesar 系列，采用紧凑流线型设计和标准平台封装，并使用主动式前面板和 CEX操作模式。110 136 172 184 0%5%10%15%20%25%30%020406080002020212022E刻蚀设备 YoY155 172 190 220 0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%050020022E薄膜沉积设备 YoY17 美国万机仪器（MKS）是全球半导体射频电源的龙头企业，

52、根据 TechInsights 数据，MKS在 2021 年成为射频电源的市场领导者，在 2020 年近 10%的份额增长基础上，又获得了近1%的份额。MKS 还在射频功率匹配网络和线性运动子系统，以及残余气体分析仪中超过 3%的份额增长。此外，MKS 进一步扩大了其在远程等离子源和压力传感领域的市场领导地位，在每个类别中获得了超过 2%的份额。半导体业务是 MKS 公司的核心业务，公司的半导体业务共有沉积和蚀刻、湿法工艺、计量和检验以及光刻四大模块，拥有 RF 射频电源、真空压力计、电容压力计、流量计、真空法兰和管件、各类阀门和疏水阀、等离子体源、臭氧发生器等多品类半导体零部件。公司致力于解

53、决半导体客户的复杂问题，有着先进的半导体零部件制造技术，其生产的 RF 射频电源能够钻出数十亿个纵横比大于 55:1、完全笔直和平行的孔，相当于以小于 0.5 英寸的偏差击中大于 1 英里外的目标。图图 15：MKS 半导体业务半导体业务 资料来源：MKS官网，安信证券研究中心 图图 16：MKS 营收结构（单位：百万美元）营收结构（单位：百万美元）图图 17：MKS 分部门毛利率分部门毛利率 资料来源：MKS公告，安信证券研究中心 资料来源：MKS公告，安信证券研究中心 928 1387 1826 488 050002500300035002002

54、2Q1特种工业 先进电子 半导体 35%37%39%41%43%45%47%49%20021Vaccum&AnalysisLight&MotionEquipment&SolutionsTotal18 图图 18：MKS 公司营收情况（单位：百万美元）公司营收情况（单位：百万美元）图图 19：MKS 公司盈利情况（单位：百万美元）公司盈利情况（单位：百万美元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 目前，国内亦有厂商如英杰电气在射频电源领域有所突破，公司和中微半导体的合作有深度合作，从 MOCVD 这个设备的电源国产替代开始，取得了客户的

55、信任，并扩展到半导体行业更多的客户，产业链包括等离子注入、CVD、PECVD 等环节，新研发的射频电源也在这个行业领域开始运用。2021 年，公司来自半导体等电子材料行业营收 7067.57 万元，占总营收的 10.71%，同比增长 74.66%。英杰电气主打 RHH 系列射频电源，具有 13.56MHz、27.12MHz 和40.68MHz 三档输出频率，频率稳定精度0.005%，额定输出时效率达到 75%（MKS 的Elite 系列效率可大于 85%，仍存在一定差距）。公司目前正在进一步研发高端射频电源以提升其性能，致力于在半导体领域实现国产替代，将采用 FPGA 作为射频信号处理，结合脉

56、冲功率闭环控制，运用自主跳频算法控制，响应速度达到 US级。目前，公司已实现其小批量试制并交客户测试。图图 20：英杰电气营收情况（单位：亿元）英杰电气营收情况（单位：亿元）图图 21：英杰电气半导体业务营收及毛利率（单位：亿元）英杰电气半导体业务营收及毛利率（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 3.2 机械类机械类：品类众多，国产化快速推进品类众多，国产化快速推进 机械类零部件在半导体设备中起到构建整体框架、基础结构、晶圆反应环境和实现零部件特殊功能的作用，保证反应良率，延长设备使用寿命的作用，主要包括金属工艺件（主要有反应腔、传输腔、过渡

57、腔、内衬、匀气盘等）、金属结构件（主要有托盘、冷却板、底座、2075 1990 2330 2950 742-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%05000250030003500200212022Q1营收 YoY393 140 350 551 143-100%-50%0%50%100%150%200%00500600200212022Q1净利润 YoY2.77 4.10 4.43 4.21 6.60 -10%0%10%20%30%40%50%60%70%020182019

58、20202021营业收入 YoY0.72 1.60 1.20 0.40 0.71 44%45%46%47%48%49%50%51%52%53%00.20.40.60.811.21.41.61.8200202021半导体营收 半导体毛利率 19 铸钢平台等）以及非金属机械件（主要有石英、陶瓷件、硅部件、静电卡盘、橡胶密封件等）。图图 22：部分半导体机械类零部件部分半导体机械类零部件图示图示 资料来源：富创精密招股书，华卓精科官网，安信证券研究中心 从竞争格局来看，从竞争格局来看，半导体机械零部件的半导体机械零部件的全球全球龙头包括龙头包括 Ferrotec、京鼎精密等、京

59、鼎精密等半导体厂商。半导体厂商。其中，Ferrotec 主要生产真空密封件、石英部件、陶瓷部件和碳化硅部件等机械零部件，京鼎精密则主要生产金属类机械零部件，主要涉及工艺零部件、结构零部件、模组等产品。2021 年，Ferrotec 实现营收 11.02 亿美元，同比增长 33.48%，净利润 2.20 亿美元，同比增长 193.24%，公司盈利质量逐渐改善，毛利率 36.4%，净利率 19.9%。京鼎精密 2021年实现营收 28.24 亿元，同比增长 22.20%，2022 年第一季度实现营收 7.62 亿元，同比增长 22.71%，连续三年保持增长。图图 23：Ferrotec 营收情况（

60、单位：亿美元）营收情况（单位：亿美元）图图 24：京鼎精密营收情况（单位：亿元）京鼎精密营收情况（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 Ferrotec 于 1980 年在日本注册成立，主营半导体硅片、半导体设备精密零部件、光伏电 池及电子设备等业务，其旗下的杭州大和热磁电子有限公司为半导体设备精密零部件业务 主要经营实体，是国际半导体设备企业的直接供应商。杭州大和热磁电子有限公司成立于 1992 年，其陶瓷、石英、硅及碳化硅等非金属密零部件业务规模较大。8.09 7.55 8.26 11.02-10%-5%0%5%10%15%20%25%30

61、%35%40%02468920202021营业收入 YoY20.79 16.99 23.11 28.24 7.62-30%-20%-10%0%10%20%30%40%0500212022Q1营业收入 YoY20 图图 25：Ferrotec 半导体半导体产品线产品线 资料来源：Ferrotec官网，安信证券研究中心 京鼎精密于 2001 年在中国台湾地区注册成立，总部位于新竹科学园区竹南基地，在江苏昆山和上海松江均设有工厂，主营半导体精密零部件、半导体设备和医疗设备等业务。京鼎精密是半导体机械零部件的重要厂商，在中国大陆地区设有

62、富士迈半导体精密工业（上海）有限公司，从事精密零部件的研发及生产。图图 26：京鼎精密全球产能布局京鼎精密全球产能布局 资料来源：京鼎精密官网，安信证券研究中心 目前，国内生产半导体机械零部件的厂商主要有新莱应材、江丰电子和富创精密。目前，国内生产半导体机械零部件的厂商主要有新莱应材、江丰电子和富创精密。新莱应材在半导体用高纯洁净材料进行布局，可生产包括管道、管件和接头等机械配件，深度布局半导体配件国产化。江丰电子在 PVD、CVD、刻蚀机等半导体设备用零部件进行布局，包括压环、准直器气体喷淋头等零部件，已在部分国内厂商实现国产替代并批量供货。富创精密则主要在金属材料精密零部件布局，包括反应腔

63、、传输腔、过渡腔、内衬、匀气盘等金属工艺件和托盘、冷却板、底座、铸钢平台等金属结构件，目前公司已进入多家主流国产半导体设备厂商供货商名单。21 图图 27：新莱应材管道管件产品图示新莱应材管道管件产品图示 资料来源：新莱应材官网，安信证券研究中心 3.3 真空泵：真空泵：Edwards 以及以及 Ebara 占据主要份额，占据主要份额，汉钟精机、中科仪汉钟精机、中科仪实现突破实现突破 真空泵是真空获得设备中的主要种类，用于获得、改善以及维持真空环境。真空泵之于半导体设备意义重大：半导体器件不同材料层之间混入气体分子会破坏器件的电学或光学性能，故而真空系统对芯片的性能和良率直接造成影响。半导体真

64、空泵可广泛应用于晶圆制造过程中的单晶拉晶、LoadLock、刻蚀、CVD、ALD、封裝、测试等清洁或严苛制程。半导体真空泵具有较高的技术门槛，对产品的可靠性、定制化以及能源效率具有较高的要半导体真空泵具有较高的技术门槛，对产品的可靠性、定制化以及能源效率具有较高的要求。求。可靠性：半导体真空泵对产品可靠性有较高要求，工作过程需要不断保养，维修成本较高，因此可靠性高的产品能减少维修次数，降低客户使用成本。定制化：在半导体制造领域，每天生产线工况各不相同，客户端对解决方案和产品的需求更加定制化。能源效率：真空产品为高能耗产品，提高能源效率能减少客户的能源损耗。图图 28：干式真空泵产品图示干式真空

65、泵产品图示 资料来源：Edwards官网，安信证券研究中心 目前，目前，全球全球半导体真空泵市场由国际厂商主导，海外厂商占据了超过半导体真空泵市场由国际厂商主导，海外厂商占据了超过 90%的市场份额。的市场份额。全球真空泵的主要厂商包括龙头 Edwards（瑞典 Atlas 子公司）、Ebara（日本）、Pfeiffer Vacuum（德国）、Kashiyama（日本）等海外公司，国内厂商份额不足 5%，有着较大的国产替代空间。根据 ISVT 估测，2017-2020 年全球真空泵的市场规模为 44.9、48.8、45.4、45.8 亿欧元，市场规模相对保持稳定；2020 年半导体用真空泵需求

66、占比达到 42%左右，全球半导体领域真空泵市场需求约 19.24 亿欧元（约 134 亿人民币）。2021 年 Edwards（已22 被 Atlas 收购）、Ebara 和 Pfeiffer Vacuum 市占率分别为 48%、24%和 13%，合计占据了超过 80%的市场。图图 29：2021 年全球年全球半导体真空泵市场份额半导体真空泵市场份额 资料来源：ISVT，各公司公告，安信证券研究中心 国内半导体真空泵的主要厂商是汉钟精机和中科仪，其中汉钟精机主要采用螺杆干式真空泵，拥有 PMF、iPM、iPH系列干式真空泵产品。公司经过多年发展和积累，在螺杆、涡旋、离心等不同领域已拥有自己雄厚

67、的技术实力，不断加强研发投入和技术创新，取得了行业内领先的技术研发优势。汉钟精机的产品为螺杆干式真空泵，在高严苛、粉尘多的制程中更有优势，而爪式真空泵排气道出气距离长，容易造成电机负载过高。未来随着半导体制程越来越严苛，螺杆真空泵的优势将逐步体现。目前，汉钟精机与国内部分机台商、晶圆厂都已有合作，并有一定的小批量出货。同时，公司产能正在不断释放。公司 8 月 29 日披露投资者关系活动记录表显示，台中厂三期已于今年上半年投入使用，上海厂三期预计明年一季度投入使用。48.54%12.74%24.10%9.67%4.95%AtlasPfeifferEbara其他国外厂商 国内厂商 23 图图 30

68、：2021 年全球半导体真空泵年全球半导体真空泵主要厂商介绍主要厂商介绍 全球真空泵主要厂商介绍全球真空泵主要厂商介绍 企业名称企业名称 公司介绍公司介绍 主要产品主要产品 2021 年真空业务年真空业务营收（亿元）营收（亿元）Atlas Copco 公司成立于 1873年，公司的四大业务领域分别为压缩机技术、真空技术、工业技术、动力技术，并着力于全面开拓售后服务市场。Atlas2010年收购 Quincy 进入工业真空泵领域，于 2014年收购 Edards,2016年收购 Leybold和 CSK，目前是全球真空领域龙头 工业压缩机，气体和过程压缩机，工业干泵、无油干泵、回旋式活塞真空泵、

69、机械真空助力器、涡轮分子泵等 196 Pfeiffor（德（德国）国）公司成立于 1890年，1951年开发用于核工业真空泵，2010年并购阿尔卡特真空部门，2019年在中国建厂。公司产品主要用于半导体、工业等领域。支撑泵、涡轮泵、测量与分析设备、安装工具真空系统、真空单元等。27.52（半导体及新兴技术）Ebara（日（日本）本）公司从事以泵等旋转机械为中心的开发活动，成立于 1912年。公司经营三个部分：流体机械和系统，环 境工程和精密机械。干式真空泵，化学机械抛光(CMP)系统，电镀系统和气体减排系统。-kashiyama 成立于 1951年，主要有两块业务：1)为半导体真空设备；2）滑

70、雪设备和管理咨询。公司生产的真空设备己被广泛应用于包括半导体制造业和液晶显示制造业的高科技领域中。干式真空泵、液环真空泵、海水泵、制雪系统滑雪场设施等。-汉钟精机汉钟精机 公司是螺杆压缩机、真空泵龙头。传统业务国内份额领先，保持稳健增长;真空泵业务在光伏及锂电领域占据主要市场份额，得到隆基股份/晶盛机电等知名光伏/锂电企业的认可。干式真空泵、螺杆/离心压缩机、空气压缩机、热泵 10.43 中科仪中科仪 公司创建于 1958年，主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售，并提供相关技术服务。干式真空泵：罗茨干泵和涡旋千泵；真空仪器设备：大科学装臵、真空薄膜仪器设备、新材料制备设备。2.6

71、5 资料来源：华经产业研究院，安信证券研究中心 3.4 阀门：阀门：海外巨头垄断，新莱应材海外巨头垄断，新莱应材份额快速提高份额快速提高 半导体阀门是由带有辅助设备的半导体器件组成的阀，主要是在流体系统中，用来控制流体的方向、压力、流量的装臵。半导体制造是制造用于电子设备和电气设备的集成电路的过程，这些过程中需要许多阀门和配件的解决方案。目前，半导体阀门主要可分为隔膜阀、波纹管阀、真空阀、球阀、蝶阀、门阀、角阀、特氟龙门阀等，其中真空阀是主要的半导体阀门类型。根据 Market Research Reports 的数据显示，全球半导体阀门市场预计 2022 年规模将达到 17.12 亿美元，预

72、计到 2028 年市场规模达到 25.45 亿美元，在 2022-2028 年预测期间的复合年增长率为 6.8%。半导体阀门全球主要制造商包括 VAT Vakuumventile、Parker、Fujikin、CKD、Swagelok、MKS、SMC Corporation、GEM、Entegris 等。根据 Market Research Reports 数据显示，2021 年全球前五名的收入份额约为 68.61%，市场集中度相对较高。24 图图 31：全球半导体阀门市场全球半导体阀门市场规模预测规模预测（单位：亿美元）（单位：亿美元）图图 32：2021 年全球半导体阀门市场份额年全球半导

73、体阀门市场份额 资料来源：Market Research Reports，安信证券研究中心 资料来源：Market Research Reports，安信证券研究中心 VAT：瑞士 VAT 公司是是全球领先的高性能真空阀、多阀单元、真空模块和边缘焊接金属波纹管的开发商和制造商，主要生产用于半导体、LED、太阳能电池、显示器和其他高真空要求产品的先进研发和制造工艺的关键任务组件。VAT 公司拥有十分广泛的阀门产品组合，产品包括约 140 个阀门系列，其中包含了 8000+种定制产品和 2500+种标准产品。VAT 公 司 还 拥有 先 进的 真 空阀 制 造 技术，拥有 独 家的 VATLOCK

74、、MONOVAT、VATTERFLY、VATRING、VATSEAL 等技术，能够最大限度的确保阀内真空、增强使用性能、承受 450 摄氏度高温、具有长的使用周期（清洁条件下可以使用 100000 次循环）。VAT 公司的核心产品是各类阀门，2021 年阀门占公司营业收入的 81%。从分市场营收占比来看，半导体相关业务是支撑公司业绩持续增长的重要驱动力，2021 年，VAT 公司约有 75%的营业收入来自半导体相关业务。同时，VAT 公司不断扩大市场份额，2021 年，公司全产业、半导体及相关产业、半导体产业的真空阀市场份额分别达到 58%、65%、75%，七年来份额不断提升，是当之无愧的真空

75、阀行业领军者。图图 33：2021 年年 VAT 公司分市场营收公司分市场营收占比占比 图图 34：VAT 公司市场份额公司市场份额 资料来源：VCT公司官网，安信证券研究中心 资料来源：VCT公司官网，安信证券研究中心 Parker（派克汉尼汾）是 VAT 之后的美国半导体阀件领域领先企业，公司有 V01 高频阀、SQ2 MICRO 系列减压阀、FR1000 系列调节阀、PFA/PTFE 阀门和接头等半导体阀门产品。半导体阀占 Parker 营收比重较小，2020 年 Parker 营收 14347.64 百万美元，根据QYResearch 数据，2020 年 Parker 半导体阀营业额为

76、 136.93 百万美元，约占全球半导体68.61%31.39%前五大厂商 其他厂商 60%7%14%19%半导体 显示和太阳能 先进工业 全球服务 39%41%46%49%49%55%58%45%47%53%55%57%61%65%54%56%62%63%65%70%75%0%10%20%30%40%50%60%70%80%200021全产业 半导体及相关产业 半导体产业 25 阀总市场的 11.13%。Fujikin（富士金）是制造流体和气体自动控制设备、专用控制单元以及超高纯度阀门和配件的半导体零部件厂商，拥有 MEGA 系列、标准系列、双流量

77、阀和电控阀等阀门产品，能够生产成品低于 5Ra 的阀门，从而在很大程度上减少半导体制造过程中的杀伤性颗粒。图图 35：Parker 营收情况（单位：亿美元）营收情况（单位：亿美元）图图 36：Parker 盈利情况（单位：亿美元）盈利情况（单位：亿美元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 目前，国内生产半导体阀门的企业主要包括新莱应材和晶盛机电。新莱应材在半导体阀门已经能实现对海外零部件的替代，下游客户包括国内外知名的半导体设备厂商，并与制造公司长江存储、合肥长鑫等在高端真空阀门等产品方面也有深入合作。晶盛机电近年来积极布局半导体阀门等零部件业务，202

78、2 年 5 月 19 日，晶盛机电宣布其子公司晶鸿精密和日本 primet 合资成立的绍兴普莱美特真空部件有限公司跨国合作的第一批国产半导体真空阀门产品上市。4 月份，该公司首批 6 款真空隔膜阀通过客户认证并实现量产，为打造半导体核心精密真空阀门部件国产化基地迈出重要一步。图图 37：新莱应材阀门图新莱应材阀门图 图图 38：盛机电产品图盛机电产品图 资料来源：新莱应材官网，安信证券研究中心 资料来源：晶盛机电官网，安信证券研究中心 -10%-5%0%5%10%15%20%25%00201920202021营业收入 YoY-3

79、0%-20%-10%0%10%20%30%40%50%024680200202021净利润 YoY26 4.相关公司相关公司 4.1.新莱应材新莱应材：国内半导体国内半导体高纯洁净材料龙头高纯洁净材料龙头，腔体、管道、阀门技术领先，腔体、管道、阀门技术领先 新莱应材于 1991 年成立于中国台湾，2000 年落户昆山陆家镇，于 2011 年在深圳成功上市，成为江苏省内第一家在创业板上市的台资企业。公司一直专注于超高洁净应用材料的研究、制造与销售，产品领域包括半导体、光电、光伏、生物医药、精细化工、食品饮料等行业。在泛半导体领域，公司产品可以覆盖半导体

80、产业除设计之外的全制程，并通过了美国排名前二的半导体应用设备厂商的认证并成为其一级供应商，填补了国内超高纯应用材料的空白。在稳定超高纯应用材料产品品质的同时，公司仍在不断研发创新，覆盖于半导体制程设备和厂务端所需的真空系统和气体管路系统。公司与世界顶级半导体制造设备企业 AMAT 加大半导体产品的合作，中国领先的存储器芯片设计与制造公司长江存储、合肥长鑫等在高端真空阀门等产品方面也有深入合作，气体管道及气体控制元件也在深入国产替代化，与中国国内最大的半导体设备供应商北方华创在半导体领域展开全面合作。图图 39：新莱应材发展历程新莱应材发展历程 资料来源：新莱应材官网，安信证券研究中心 在泛半导

81、体业务，公司主要提供半导体用高纯洁净材料，包括管道/管件、配件、隔膜阀、减压阀几大类产品，主要应用于设备端及厂务端。公司的高纯及超高纯应用材料可以满足洁净气体、特殊气体和计量精度等特殊工艺的要求，同时也可以满足泛半导体工艺过程中对真空度和洁净度的要求。公司经过二十余年的不懈努力，成为国内同行业中拥有洁净应用材料和高纯及超高纯应用材料完整技术体系的厂商之一。半导体高纯洁净材料技术壁垒高，其中半导体制程所用的气体产品需要很强的腐蚀性，产品的表面耐腐蚀电解抛光（EP）处理要求极高；半导体真空产品要达到超高真空 10-9Pa 要求，对应产品焊接技术要求高。目前市场绝大部分被欧美日韩等外企占据，公司十多

82、年的国际半导体超高纯应用材料厂商的代工经验，电解抛光和焊接技术通过应用材料认证。27 图图 40：新莱应材高纯洁净产品系列新莱应材高纯洁净产品系列 资料来源：新莱应材官网，安信证券研究中心 根据公司投资者调研纪要内容显示，公司半导体产品使用量约占芯片厂总投入 3%-5%左右，约占在半导体设备厂，原材料采购额的 5%-10%，市场空间超过 500 亿人民币。从营收结构来看，公司无菌包材、高纯及超高纯应用材料和洁净应用材料是公司的主要业务，其中，泛半导体领域的高纯及超高纯应用材料业务营收增速迅猛。2021 年，公司高纯及超高纯应用材料、洁净应用材料、无菌包材营业收入分别为 5.32 亿元（YoY+

83、82.80%）、5.92 亿元（YoY+52.34%）、8.16 亿元（YoY+41.03%），占公司整体收入比例分别为 25.90%、28.80%、39.74%。公司的高纯及超高纯应用材料毛利率也在逐步提升，从 2020 年的31.40%提升到 2021 年的 33.47%。图图 41：新莱应材营收结构（单位：亿元）新莱应材营收结构（单位：亿元）图图 42：新莱应材分业务毛利率新莱应材分业务毛利率 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 受益于半导体国产化趋势以及国内疫苗及医药生产厂商快速扩产，公司半导体板块业务快速增长、生物医药板块业务增长迅猛。2018

84、-2021 年，公司营业收入分别为 11.75 亿元、13.87 亿元、13.23 亿元、20.54 亿元，3 年 CAGR 为 20.46%。得益于半导体高景气及国产替代，2021 年公司营收大幅增长 55.25%；同时，归母净利润 1.70 亿元，同比增加105.66%；归母扣非净利润 1.62 亿元，同比增加 128.76%。2022 年上半年度，公司订单继续增加，营业收入达到 12.24 亿元，同比增加 36.57%；实现归母净利润 1.56 亿元，同比大增 129.91%；实现归母扣非净利润 1.54 亿元，同比大增146.12%。其中，公司半导体业务营收 3.17 亿元，毛利率提高

85、至 35%，同比+2pct，主要原因为订单饱满、产品结构优化升级以及规模效应持续凸显。3.71 3.88 5.92 3.41 2.91 5.32 5.94 5.79 8.16 05920202021食品设备 无菌包材 高纯及超高纯应用材料 洁净应用材料 24.50%31.40%24.66%37.12%27.39%33.47%17.29%23.34%0%5%10%15%20%25%30%35%40%洁净应用材料 高纯及超高纯应用材料 无菌包材 食品设备 2020202128 图图 43：新莱应材营收情况（单位：亿元）新莱应材营收情况（单位：亿元）图图 44：新莱应材盈利情况

86、（单位：亿元）新莱应材盈利情况（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 4.2.万业企业万业企业：收购收购 Compart Systems 布局零部件，布局零部件，气体输送系统领域气体输送系统领域全球全球领先领先 万业企业成立于 1991 年，并于 1993 年在上海交易所上市。2015 年上海浦东科技投资有限公司成为第一大股东，设立公司向集成电路产业领域转型的战略目标。2018 年，万业企业成功收购上海凯世通半导体股份有限公司，正式进入集成电路四大核心装备之一的离子注入机领域。2020 年，万业企业领头境内外投资人收购 Compart Syst

87、ems Pte.Ltd 并成为其第一大股东。2021 年，公司携手宁波芯恩成立嘉芯半导体，产品覆盖刻蚀、薄膜沉积、快速热处理及退火、清洗设备等多款集成电路核心前道设备以满足国内市场对 8 英寸及 12 英寸设备的需求。通过收购 Compart Systems，公司布局半导体核心零部件领域。2020 年公司以浙江镨芯和镨芯控股为收购主体收购 Compart Systems，作为集成电路设备所需的气体输送系统领域供应商之一，Compart Systems 长期为多家海外龙头半导体设备厂提供稳定供应，主要产品包括 BTP（Built To Print）组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器（

88、MFC）、焊接件等，主要用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输送系统，是全球少数可完成该领域零组件精密加工全部环节的公司。图图 45：Compart Systems 主要产品主要产品 资料来源：Compart Systems官网，安信证券研究中心 收购完成后，Compart Systems 逐步开拓国内市场，其相关产品打入国内集成电路设备公司供应链，2021 年浙江镨芯实现营业收入约 9.2 亿元。2021 年 6 月，浙江镨芯签约海宁启11.75 13.87 13.23 20.54 12.24-10%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%051

89、00022H1营业收入 YoY0.39 0.62 0.83 1.70 1.56 0%20%40%60%80%100%120%140%00.20.40.60.811.21.41.61.8200212022H1归母净利润 YoY29 动新建 Compart 制造中心项目，总投资约 30 亿元，预计项目落成后将助力国内半导体设备厂商快速推进关键核心零组件的国产替代。2022 年 3 月，大基金二期拟向浙江镨芯增资3.5 亿元。增资完成后，大基金二期持有浙江镨芯 17.28%的股权，公司以 29.63%的持股比例为浙江镨芯第一大股东。通

90、过此次引入国家级战略投资人的增资，有利于进一步优化浙江镨芯的资金实力，促进 Compart Systems 业务与国内半导体设备企业的产业协同，加速推进半导体设备零部件国产化进程。从营收结构来看，公司目前主要业务仍为房地产业务，但得益于半导体行业的高景气度以及公司对半导体业务的投入布局，公司的专业设备制造业务营收占比总体呈增加趋势。2021 年，公司房产销售、专业设备制造、物业服务、租赁业务营业收入分别为 6.81 亿元（YoY-20.54%）、1.23 亿元（YoY+459.09%）、0.34 亿元（YoY+9.68%）、0.25 亿元（YoY+19.05%），占公司整体收入比例分别为 78

91、.91%、14.25%、3.94%、2.90%。公司专业设备制造业务营收占比扩大的同时，毛利率也在逐步提升。2021 年，公司专业设备制造业务毛利率达到 39.20%，较 2020 年提升 7.17 个百分点。图图 46：万业企业营收结构（单位：亿元）万业企业营收结构（单位：亿元）图图 47：万业企业分业务毛利率万业企业分业务毛利率 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 由于正处于由房地产业务向集成电路战略转型的过渡期，公司的营收和盈利呈下降趋势，主要为房地产业务营收和盈利下降所致。2018-2021 年，公司营收分别为 26.79 亿元、18.69 亿元

92、、9.31 亿元、8.80 亿元。2021 年年公司实现营业收入 8.80 亿元，同比下降5.54%；归属于上市公司股东的净利润 3.77 亿元，同比增长 19.42%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润 2.33 亿元，同比下降 7.28%。2022 年 H1，公司实现营业收入 1.66 亿元，同比下降 72.72%；实现归属于上市公司股东的净利润 0.28 亿元，同比下降 89.84%；实现归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润 0.24 万元，同比下降 87.57%。0.58 0.84 0.22 1.23 050021租赁 物业

93、服务 专业设备制造 房产销售 27.81%16.69%32.03%39.20%-0.100.10.20.30.40.50.60.720021房产销售 专业设备制造 物业服务 租赁 30 图图 48：万业企业营收情况（单位：亿元）万业企业营收情况（单位：亿元）图图 49：万业企业盈利情况（单位：亿元）万业企业盈利情况（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 4.3.江丰电子江丰电子：国内靶材龙头，布局半导体零部件打开成长空间国内靶材龙头，布局半导体零部件打开成长空间 江丰电子与 2005 年成立于宁波，并于 2017 年 6

94、月在深交所创业板上市，是一家专业从事超大规模集成电路制造用超高纯金属材料及溅射靶材研发生产的企业。在超大规模集成电路用高纯金属靶材领域，公司的产品包括铝靶、钛靶、钽靶、铜靶以及各种超高纯金属合金靶材，成功打破美国、日本跨国公司的垄断格局，填补了国内电子材料行业的空白。公司在半导体精密零部件领域也有布局，主要用于半导体芯片以及液晶面板生产线的机台，覆盖了包括 PVD、CVD、刻蚀、离子注入以及产业机器人等应用领域，顺应中国半导体行业智造装备国产化的趋势。近年来，公司持续投入零部件制造工艺的研发，投资强化装备能力，建成了零部件生产的全工艺、全流程生产体系，建成了宁波余姚、上海奉贤、沈阳沈北三个零部

95、件生产基地，实现了多品种、大批量、高品质的零部件量产。公司新开发的各种精密零部件产品已经广泛用于 PVD、CVD、刻蚀机等半导体设备，其中 PVD 机台用零部件包括压环（Clamp Ring）、准直器（Collimator）等，CVD 机台用零部件包括 CVD 气体喷淋头（shower head）等，CMP 机台用零部件及耗材包括 300mm 抛光垫、保持环等。目前，公司生产的多品类零部件已在多家芯片制造企业实现国产替代，与国内半导体设备龙头北方华创、拓荆科技、芯源微、上海盛美、上海微电子、屹唐科技等多家厂商形成战略合作新开发的各种半导体精密零部件产品加速放量并实现批量交货。图图 50：江丰电

96、子半导体零部件业务合作厂商江丰电子半导体零部件业务合作厂商 资料来源：江丰电子公告，安信证券研究中心 从营收结构看，公司的主要业务为高纯金属靶材，包括钽靶、铝靶、钛靶，半导体零部件业务营收占比 2021 年也有明显提升。2021 年，钽靶、铝靶、钛靶、零部件营业收入分别26.79 18.69 9.31 8.80 1.66-80%-60%-40%-20%0%20%40%0500212022H1营业收入 YoY9.72 5.73 3.15 3.77 0.28-100%-80%-60%-40%-20%0%20%40%024689202

97、020212022H1归母净利润 YoY31 为 5.18 亿元（YoY+28.02%）、2.77 亿元（YoY+30.95%）、2.14 亿元（YoY+35.72%）、1.84 亿元（YoY+239.96%），占公司整体收入比例分别为 32.48%、17.37%、13.40%、11.56%。半导体零部件营收占比较 2020 年提升 6.92pct，毛利率提升 10.43 个百分点达到23.93%。图图 51：江丰电子江丰电子 2021 年年营收结构（单位：亿元）营收结构（单位：亿元）图图 52：江丰电子分业务毛利率江丰电子分业务毛利率 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind

98、，安信证券研究中心 由于公司在靶材领域不断攻克技术难题、在市场推广取得突破，并布局半导体精密零部件业务打造第二曲线，公司几年来营业收入持续增长。2018-2021 年，公司营业收入分别为6.50 亿元、8.25 亿元、11.67 亿元、15.94 亿元，3 年 CAGR 为 34.85%。2021 年，公司营收增长 36.59%，归母净利润 1.07 亿元，同比下降 27.21%，归母扣非净利润 0.76 亿元，同比增长 25.59%。当年归母净利润下降主要由于毛利率同比下降 2.54pcts 且间接持有的中芯国际的股票公允价值变动收益同比大幅降低。2022 年上半年度，公司营收和净利润均实现

99、快速增长，营收达到 10.86 亿元，同比增长50.18%；归母净利润达到 1.55 亿元，同比增长 156.24%；扣非归母净利润达到 1.13 亿元，同比增长 181.49%。公司的半导体精密零部件业务持续快速增长，国产替代进程进一步加速，多种新开发的精密零部件为国内半导体设备和芯片制造企业实现批量交货。2022H1，公司半导体零部件业务实现营收 1.76 亿元，同比增长 149.58%。图图 53：江丰电子营收情况（单位：亿元）江丰电子营收情况（单位：亿元）图图 54：江丰电子盈利情况（单位：亿元）江丰电子盈利情况（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安

100、信证券研究中心 4.4.富创精密富创精密：专注金属零部件，打造平台型公司专注金属零部件，打造平台型公司 富创精密在 2008 年成立于沈阳，专注于金属材料零部件精密制造技术，掌握了可满足严苛5.18,33%2.77,17%2.14,13%1.84,12%4.02,25%钽靶 铝靶 钛靶 零部件 其他 25.29%36.88%42.01%13.50%21.84%22.99%37.46%39.54%23.93%13.99%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%钽靶 铝靶 钛靶 零部件 其他 202020216.50 8.25 11.67 15.94 10.86 0%10%20%3

101、0%40%50%60%0246800212022H1营业收入 YoY0.58 0.64 1.47 1.07 1.55-50%0%50%100%150%200%00.20.40.60.811.21.41.61.8200212022H1归母净利润 YoY32 标准的精密机械制造、高洁净度表面处理、焊接、组装、检测等一站式制造工艺，科创板IPO 注册已经成功，上市在即。目前，公司是全球为数不多的能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商，已进入国际大客户 A、东京电子、HITACHI、High-Tech 和 ASMI

102、 等全球半导体设备龙头厂商供应链体系，还是客户 A 的全球战略供应商。同时，公司顺应半导体设备国产化趋势，积极开拓境内市场，产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商，保障了我国半导体产业供应链安全。公司的产品为半导体设备、泛半导体设备及其他领域的精密零部件，具体包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路，产品的高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能达到国际水平。通过此次股票发行，公司将利用募集资金投资 10 亿于集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地，另外 6 亿用于补充流动资金。届时，公司将搭建智能信息化管理

103、平台，扩大现有产品产能，提高产品科技含量和生产信息化水平，进一步满足下游市场需求，同时有助于公司拓宽产品应用领域，提升产品供货能力。图图 55：富创精密部分富创精密部分具体产品具体产品在刻蚀设备中的应用在刻蚀设备中的应用示例示例 资料来源：富创精密招股说明书，安信证券研究中心 从营收结构看，公司的主要业务包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路，其中，结构零部件营收占比最高，气体管路营收占比也在持续提高。2021 年，工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路营业收入分别为 1.78 亿（YoY+52.52%）、3.52 亿（YoY+78.88%）、1.61 亿（YoY+60.66%）、

104、1.38 亿（YoY+134.01%），占公司整体收入比例分别为 21.50%、42.44%、19.44%、16.62%。三年来公司半导体零部件毛利率呈上升趋势，2019-2021 年，工艺零部件毛利率从 22.77%上升到 34.02%，结构零部件毛利率从18.19%上升到 32.38%，模组产品毛利率从 6.15%上升到 22.19%，气体管路毛利率从-0.34%上升到 33.85%。33 图图 56：富创精密营收结构（单位：亿元）富创精密营收结构（单位：亿元）图图 57：富创精密分业务毛利率富创精密分业务毛利率 资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心

105、在行业景气度回升及半导体设备国产化趋势下，公司的工艺技术、行业口碑、产品质量和交付能力不断得到境内外客户认可，主营业务收入快速增长，2020 年和 2021 年，公司主营业务收入分别同比增长 89.77%和 75.36%，三年 CAGR 达到 55.42%。2022 年第一季度，公司营业收入和净利润同比 2021 年同期均大幅增长，归母净利润 0.41 亿元，同比增长122.82%，归母扣非净利润 0.31 亿元，同比增长 233.91%，主要由于：（1）行业景气度持续旺盛，公司产品供不应求，随着产能持续提升，公司业绩进一步释放；（2）公司产能紧张，聚焦高附加值产品订单，综合毛利率同比提升。同

106、时随着经营规模扩大，规模效应凸显，期间费用同比增幅远低于收入，导致净利润同比增幅高于收入。图图 58：富创精密营收情况（单位：亿元）富创精密营收情况（单位：亿元）图图 59：富创精密盈利情况（单位：亿元）富创精密盈利情况（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 4.5.汉钟精机汉钟精机：光伏真空泵龙头，拓展半导体业务打开：光伏真空泵龙头，拓展半导体业务打开国产替代国产替代空间空间 上海汉钟机械有限公司于 1998 成立，2005 年更为现名，并于 2007 年在深交所挂牌上市，是是国内螺杆压缩机、真空泵龙头企业。公司是台资企业，早期发展真空泵业务

107、时，技术主要源于中国台湾汉钟精机。公司的传统业务是压缩机，真空泵业务营收近年飞速增长，同时布局光伏和半导体两大赛道。在太阳能光伏领域，真空泵已经实现国产化，主要应用于拉晶及电池片制程，公司产品实现大批量供货及长时间可靠运行，主要客户包括隆基股份、晶盛机电、捷佳伟创等光伏企业，以优异的性价比赢得了较大的市场份额。在半导体领域，真空泵市场仍由外国厂商主导，主要包括 Edwards（已被 Atlas 收购）和 Pfeiffer 两大产商。根据 IC Insights 数据，2021 年，Atlas 占据了 48.54%的半导体真空泵市场份额，Pfeiffer 占据了 12.74%市场份额，国内厂商市

108、场份额不足 5%，存在着广阔的国产替代空间。0.67 1.17 1.78 1.18 1.97 3.52 0.59 1.00 1.61 0.06 0.59 1.38 01920202021气体管路 模组产品 结构零部件 工艺零部件-5%0%5%10%15%20%25%30%35%40%201920202021工艺零部件 结构零部件 模组产品 气体管路 2.25 2.53 4.81 8.43 2.80 0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%00212022Q1营业收入 YoY0.07-0.33 0.94

109、1.26 0.41-800%-600%-400%-200%0%200%400%600%-0.6-0.4-0.200.20.40.60.811.21.4200212022Q1归母净利润 YoY34 公司已成为中国台湾半导体厂商真空泵设备的主要供应商，客户包括台积电、力机电、日月光、力成等知名厂商。同时，公司是国内集成电路国产化零部件创新联盟一员，目前已通过部分国内大厂认可，并与多家半导体设备企业展开新设备开发合作，且已开始接单合作。目前，公司拥有能满足半导体最先进工艺的全系列中真空干式真空泵产品，包括 PMF、iPM、iPH三个系列：PMF 系列产品：体积小、节能，适用于

110、Load Lock、TR、Metrology 等干净制程。IPM 系列产品：体积小、节能，适用于一般严苛工艺腔，如 PVD、Ashing、ETCH 等工艺。IPH 系列产品：抗沾黏、腐蚀、热氮气系统、壳体温度控制，适用于严苛工艺腔，如CVD、ALD 等工艺。图图 60：汉钟精机半导体真空泵产品汉钟精机半导体真空泵产品 资料来源：汉钟精机官网，安信证券研究中心 从营收结构看，公司传统业务压缩机整体保持稳健增长，真空泵业务营收增速迅猛，占营收比重从 2019 年的 20.43%增长到 2021 年的 34.98%。2021 年，压缩机（组）、真空产品、铸 件 产 品 和 零 件 及 维 修 营 业

111、 收 入 分 别 为 16.97 亿（YoY+17.45%）、10.43 亿（YoY+59.71%）、0.58 亿（YoY+50.77%）、1.76 亿（YoY+34.89%），占公司整体收入比例分别为 56.93%、34.98%、1.94%、6.15%。从分业务毛利率看，公司压缩机业务维持在高于 30%的水平，真空泵业务毛利率逐年提升，2021 年真空产品毛利率达到 43.14%。图图 61：汉钟精机营收结构（单位：亿元）汉钟精机营收结构（单位：亿元）图图 62：汉钟精机分业务毛利率汉钟精机分业务毛利率 资料来源：汉钟精机公告，安信证券研究中心 资料来源：汉钟精机公告，安信证券研究中心 由于

112、传统业务保持稳健增长、真空泵业务持续收益国产替代，公司营收和盈利几年来均实12.95 14.45 16.97 3.69 6.53 10.43 055201920202021零件及维修 铸件产品 真空产品 压缩机（组）33.00%33.64%30.14%40.65%41.61%43.14%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%50%201920202021压缩机（组）真空产品 铸件产品 零件及维修 35 现持续增长。2018-2021 年，公司营业收入分别为 17.32 亿元（YoY+7.98%）、18.07 亿元（YoY+4.33%）、22.72 亿元（

113、YoY+25.73%）、29.81 亿元（YoY+31.21%），三年 CAGR为 19.84%。2021 年，公司实现归母净利润 4.87 亿元，同比增长 34.11%，实现归母扣非净利润 4.56 亿元，同比增长 36.45%。2022 上半年度，公司继续保持增长，实现营收13.69 亿元，同比增长 3.08%，实现归母净利润 2.46 亿元，同比增长 24.17%，业绩增长主要源于真空泵业务快速发展以及公司降本增效。2022H1，公司真空产品业务营收 5.15 亿元，同比增长 27.18%，毛利率 41.57%，同比+0.36pct。图图 63：汉钟精机营收情况（单位：亿元）汉钟精机营收

114、情况（单位：亿元）图图 64：汉钟精机盈利情况（单位：亿元）汉钟精机盈利情况（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 4.6.华卓精科华卓精科：国内半导体精密运动国内半导体精密运动控制系统龙头控制系统龙头 华卓精科成立于 2012 年，主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化，产品包括超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件，主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线，并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。目前公司正在申请 IP

115、O。华卓精科与清华大学有紧密合作，公司实际控制人为朱煜，兼任清华大学机械工程系长聘教授，截至 2021 年 6 月 30 日，发行人与清华大学共同所有 162项专利技术以及 1 项独占实施许可专利。除精密运动系统、晶圆级键合设备、激光退火设备之外，公司还生产研发部分半导体零部件，包括静电卡盘和隔振器。静电卡盘是一种适用于真空环境下的超洁净晶圆片吸附装臵，利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，在集成电路制造中是 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端装备的核心部件，目前公司开发出 12 吋 PVD 氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了国外厂商在该产品领域内的长期垄断局面隔振器是连接设备和安

116、装基座的弹性和阻尼元件，主要用以减少和消除由设备传递到安装基座的振动或由安装基座传递到设备的振动，公司自主研发的被动型隔振产品结构紧凑、起始隔振频率低和振动衰减率高。从营收结构看，公司的核心业务为精密运动系统及技术开发、纳米精度运动及测控系统技术开发、激光退火设备和晶圆级键合设备及技术开发，分别占 2020 年营收的 63.47%、11.42%、10.76%和 8.97%；半导体零部件业务小而精：静电卡盘和隔振器分别占 2020 年营收的 1.45%和 1.21%。公司的主营收入连年增长，2017-2020 年营收分别为 0.54 亿元、0.86 亿元、1.21 亿元、1.52 亿元，公司 2

117、019 年度营业收入增幅 41.14%，2020 年度营业收入增幅 25.94%，主要来自于超精密测控装备整机中的激光退火设备和晶圆级键合设备的交付以及精密运动系统的增长共同推动了公司业绩的大幅增长。公司净利润也呈上升态势，17.32 18.07 22.72 29.81 13.69 0%5%10%15%20%25%30%35%055200212022H1营业收入 YoY2.03 2.46 3.63 4.87 2.46-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%00022H1归母净利润 YoY36

118、 2020 年度公司净利润有所下降主要系公司管理费用、贷款利息、计提预计信用损失大幅增加所致。图图 65：华卓精科营收情况（单位：亿元）华卓精科营收情况（单位：亿元）图图 66：华卓精科盈利情况（单位：亿元）华卓精科盈利情况（单位：亿元）资料来源：Wind，安信证券研究中心 资料来源：Wind，安信证券研究中心 4.7.正帆科技正帆科技：国内领先的：国内领先的工艺介质工艺介质系统供应商，加码电子特气、半导体零部系统供应商，加码电子特气、半导体零部件件 上海正帆科技前身正帆有限成立于 2009 年，是一家致力于为泛半导体、光纤通信、医药制造等行业客户提供工艺介质和工艺环境综合解决方案的高新技术企

119、业。其主营业务包括气体化学品供应系统的设计、生产、安装及配套服务；高纯特种气体的生产、销售以及洁净厂房配套系统的设计、施工。公司持续投入生产研究，在泛半导体、光纤通信、医药制造等领域积累了丰富的客户资源，其中包括中芯国际、京东方、三安光电、亨通光电、恒瑞医药等国内知名客户以及 SK 海力士、德州仪器等国际品牌客户。近年来逐步在高纯特种气体业务方面逐渐站稳脚跟，实现了砷烷、硅烷等产品的批量销售，成功打入大陆领先的中芯国际 14 纳米制程 Fab 厂的供应链体系，并为其提供特气、大宗气体相关设备及系统服务。公司围绕客户的需求，布局半导体零部件领域，主要产品为半导体工艺设备的流体输送系统/设备（Ga

120、s Box）。GAS BOX 是在制造环节，将各路工艺高纯气体、液体集成在一个空间环境内，并按工艺需求对不同气体进行传输、分配和混合的气路装臵。对安全气密性、耐蚀性和精密性有着较高的要求，故具有较高的技术门槛和行业壁垒。公司 GAS BOX 产品客户多数为泛半导体设备制造商，目前产品多数运用于光伏行业，并在进行 IC 行业设备的设备认证。子公司鸿舸半导体专注于为半导体主设备提供关键零部件模块业务，促进国产化替代进程。0.54 0.86 1.21 1.52 0%10%20%30%40%50%60%70%00.20.40.60.811.21.41.620020营业收入 YoY

121、0.13 0.15 0.21 0.12-60%-40%-20%0%20%40%60%80%100%00.050.10.150.20.2520020归母净利润 YoY37 图图 67：正帆科技正帆科技发展历程发展历程 资料来源：正帆科技官网，安信证券研究中心 从营收结构看，公司的主要业务包括高端电子工艺设备、工艺介质供应系统、高纯特种气体和生物制药设备，其中工艺介质供应系统业务占比一直处于较高水平，2020 年以前一直维持在占比 80%左右的水平。2021 年，高端电子工艺设备、工艺介质供应系统、高纯特种气体和生物制药设备营业收入分别为 12.83 亿（YoY+77.99%

122、）、1.88 亿（YoY-80.95%）、1.76 亿（YoY+64.21%）、1.68 亿（YoY+31.27%），占公司整体收入比例分别为 69.88%、10.21%、9.56%、9.31%。三年来公司整体毛利率呈上升趋势，分业务来看，2021 年高端电子工艺设备毛利率 24.81%，工艺介质供应系统毛利率 40.63%，同比提升 11.74pct。图图 68：正帆科技正帆科技 2021 年营收结构（单位：亿元）年营收结构（单位：亿元）图图 69：正帆科技正帆科技分业务毛利率分业务毛利率 资料来源：正帆科技公告，安信证券研究中心 资料来源：正帆科技公告，安信证券研究中心 由于近两年半导体及

123、光伏行业景气度持续爬升，公司在泛半导体工艺设备模块与组件不断攻克技术难题、设备产品不断获得新订单并通过验证，拓展市场份额，打造业务增长新曲线。公司营收和盈利几年来均实现持续增长，2018-2021 年，公司营业收入分别为 9.21 亿元、11.86 亿元、11.09 亿元、18.37 亿元，3 年 CAGR 为 25.88%。2021 年，公司实现归母净利润 1.68 亿元，同比增长 35.53%，实现归母扣非净利润 1.37 亿元，同比增长84.61%。2022 上半年度，公司营收保持稳定增长态势，实现营收 9.43 亿元，同比增长19.70%，实现归母净利润 0.53 亿元，同比下降 2.

124、48%，归母扣非净利润 0.45 亿元，同比下降 9.54%,。公司归母净利润与扣非归母同比均有所下降，主要由本期期权激励造成的股份支付费用的影响所致。高端电子工艺设备 工艺介质供应系统 高纯特种气体 生物制药 0%10%20%30%40%50%高端电子工艺设备 工艺介质供应系统 高纯特种气体 生物制药 2020202138 图图 70：正帆科技正帆科技营收情况（单位：亿元）营收情况（单位：亿元）图图 71：正帆科技正帆科技盈利情况（单位：亿元）盈利情况（单位：亿元）资料来源：wind，安信证券研究中心 资料来源：wind，安信证券研究中心 4.8.至纯科技至纯科技：半导体清洗设备快速成长，布

125、局半导体清洗设备快速成长，布局半导体设备零部件半导体设备零部件助力国产化助力国产化 至纯科技成立于 2000 年，2017 年 1 月于上交所主板上市，是半导体清洗设备龙头企业。公司主营业务以半导体行业为核心，包括括高纯工艺系统、半导体湿法清洗设备、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售，产品广泛应用于半导体、微电子、生物医药、光伏、光纤、TFT-LCD、LED 等领域。据公司披露，公司在半导体业务板块持续发力，2021 年拿到 13 位用户的重复订单，期间又开拓了 10 位新用户，客户覆盖中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源。在半导体清洗设备产品中，由于国产核心零部件以进口为主

126、。公司从高阶单片湿法工艺模块、高纯工艺零部件领域切入，旨在研发先进制程工艺的半导体高阶湿法工艺模块、单片式腔体、高纯度阀，旨在进一步巩固公司半导体湿法清洗设备行业领先地位，增强公司在半导体湿法设备制造领域及关键零部件行业的市场竞争力。2021 年公司布局可转债募投项目拟募集 11 亿元，拟研发的零部件及模块产品完全适用于 14nm 及以下高阶工艺节点以下的逻辑芯片，提升在高宽深比条件下的湿法工艺模块研发能力，实现整机产品在 14nm 及以下的逻辑芯片及 1Xnm 存储芯片、以及特殊工艺的制造应用。加快实现公司半导体核心零部件的进口替代，提高自主研发水平，将成为后续发展重点。从营收结构看，公公司

127、的主要业务包括高纯工艺系统、半导体设备和光传感及光器件设备，其中高纯工艺系统占比常年维持高位水平。2021 年营业收入分别为 10.78 亿（YoY+24.86%）、7.01 亿（YoY+222.06%）、3.03 亿（YoY-3.72%），占公司整体收入比例分别为 51.72%、33.64%、14.54%。三年来公司整体毛利率呈上升趋势，分业务来看，2021 年半导体设备毛利率32.48%，高纯工艺系统毛利率 34.71%，同比分别提升 2.94pct、2.63pct。表表 6：2021 公司可转债募投项目公司可转债募投项目 序号序号 项目名称项目名称 项目投资金额项目投资金额 拟使用募集资

128、金金额拟使用募集资金金额 1 单片湿法工艺模块、核心零部件研发项目 56,197.56 35,000.00 2 至纯北方半导体研发生产中心项目 33,130.00 25,000.00 3 半导体设备模组及部件制造项目 21,944.21 17,000.00 4 补充流动资金或偿还银行贷款 33,000.00 33,000.00 合计 144,271.77 110,000.00 资料来源：公司公告，安信证券研究中心-20%0%20%40%60%80%100%120%00.511.52200212022H1归母净利润 YOY-10%0%10%20%30%40%05101520

129、200212022H1营业收入 YOY39 图图 72：至纯科技营收结构（单位：亿元）至纯科技营收结构（单位：亿元）图图 73：至纯科技分业务毛利率至纯科技分业务毛利率 资料来源：至纯科技公告，安信证券研究中心 资料来源：至纯科技公告，安信证券研究中心 受益泛半导体行业大规模扩产以及清洗设备放量，半导体板块业务持续高速增长，公司营收和盈利几年来均实现持续增长。公司营收和盈利几年来均实现持续增长，2018-2021 年，公司营业收入分别为 6.74 亿元、9.86 亿元、13.97 亿元、20.84 亿元，3 年 CAGR 为45.68%。2021 年，公司实现归母净利润

130、2.84 亿元，同比增长 8.12%，实现归母扣非净利润 1.62 亿元，同比增长 46.57%。2022 上半年度，公司营收保持稳定增长态势，实现营收11.20 亿元，同比增长 21.67%，实现归母净利润 0.81 亿元，同比下降 45.92%。公司归母净利润的下降主要是由于上年度公司收到的包括政府补助及公允价值调整较本期金额较大所致。图图 74：至纯科技营收情况（单位：亿元）至纯科技营收情况（单位：亿元）图图 75：至纯科技盈利情况（单位：亿元）至纯科技盈利情况（单位：亿元）资料来源：wind，安信证券研究中心 资料来源：wind，安信证券研究中心 05920202021高纯工艺系统 半导体设备 光传感及光器件 0%10%20%30%40%50%60%201920202021高纯工艺系统 半导体设备 光传感及光器件 0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%05820022H1营业收入 YOY-100%-50%0%50%100%150%200%250%300%00.511.522.53200212022H1归母净利润 YOY