1、2022 年深度行业分析研究报告 2 目录目录 公司是国内领先的电子化学材料生产商公司是国内领先的电子化学材料生产商.5 公司主要从事电子湿化学品、电子特气和前驱体材料的研发、生产和销售.5 公司产品主要应用于集成电路、显示面板及光伏等下游领域.7 巨化股份和产业投资基金为公司并列第一大股东.8 公司业绩表现：营业收入快速增长，预计未来盈利水平向好.9 电子湿化学品市场空间广阔，国产化替代需求增长电子湿化学品市场空间广阔，国产化替代需求增长.15 电子湿化学品种类丰富.15 电子湿化学品下游需求旺盛，市场规模持续扩大.16 我国电子湿化学品高端产品不足，国产化替代空间大.18 公司电子湿化学品

2、业务已成规模，市占率不断提升.21 公司研发实力雄厚，产品品质处于行业领先水平.22 公司电子湿化学品下游客户认证顺利，荣获多个奖项.24 公司电子特气及前驱体业务技术领先公司电子特气及前驱体业务技术领先.26 公司电子特气验证顺利，营收增速明显.26 公司前驱体材料产品成功进入客户认证阶段.30 募投项目：拟募集募投项目：拟募集 15亿元，主要用于潜江年产亿元，主要用于潜江年产 19.6万吨超纯电子化学品万吨超纯电子化学品项目项目.32 AVjWhZgYwVlViXuZhUnVbW8ObP7NpNrRpNmOeRoPnNfQoMmQ7NoPrQvPoNsOxNtQoQ 3 图表图表目录目录

3、图表图表 1.中巨芯业务发展历程中巨芯业务发展历程.5 图表图表 2.公司产品主要公司产品主要领域领域及所处阶段及所处阶段.6 图表图表 3.中巨芯电子化学材料产品演变中巨芯电子化学材料产品演变.7 图表图表 4.中巨芯产品中巨芯产品主要应用于集成电路、显示面板及光伏等主要应用于集成电路、显示面板及光伏等下游领域下游领域.8 图表图表 5.电子湿化学品和电子特气参与电子湿化学品和电子特气参与集成电路的整个制作过程集成电路的整个制作过程.8 图表图表 6.中巨芯股权结构中巨芯股权结构.9 图表图表 7.公司营业收入持续增长公司营业收入持续增长.10 图表图表 8.公司尚未实现盈利公司尚未实现盈利

4、.10 图表图表 9.公司营业收入以电子湿化学品为主公司营业收入以电子湿化学品为主.10 图表图表 10.公司公司分布于集成电路的营收占比逐年提升分布于集成电路的营收占比逐年提升.10 图表图表 11.2019-2021年年公司电子湿化学品各细分产品产能利用率提升，产销率水平较公司电子湿化学品各细分产品产能利用率提升，产销率水平较高高.11 图表图表 12.2019-2021年公司电子湿化学品各产品均价年公司电子湿化学品各产品均价.11 图表图表 13.2019-2021年年公司电子湿化学品各产品收入结构公司电子湿化学品各产品收入结构.11 图表图表 14.2019-2021年年公司电子公司电

5、子特气特气各细分产品产能利用率各细分产品产能利用率逐渐逐渐提升提升.12 图表图表 15.2019-2021年公司电子特气各产品均价年公司电子特气各产品均价.12 图表图表 16.2019-2021年年公司电子特气各产品收入结构公司电子特气各产品收入结构.12 图表图表 17.公司主营业务毛利率呈上升趋势公司主营业务毛利率呈上升趋势.13 图表图表 18.公司电子湿化学品业务毛利率与同行业上市公司对比公司电子湿化学品业务毛利率与同行业上市公司对比.13 图表图表 19.公司电子特气业务毛利率与同行业上市公司对比公司电子特气业务毛利率与同行业上市公司对比.14 图表图表 20.公司期间费用率保持

6、稳定公司期间费用率保持稳定.14 图表图表 21.电子湿化学品具体分类电子湿化学品具体分类.15 图表图表 22.2019年通用电子湿化学品需求占总电子湿化学品需求的年通用电子湿化学品需求占总电子湿化学品需求的 88.2%.15 图表图表 23.电子湿化学品技术标准电子湿化学品技术标准.16 图表图表 24.2020年全球电子湿化学品市场规模为年全球电子湿化学品市场规模为 50.84亿美元亿美元.16 图表图表 25.全球电子湿化学品三大应用市场需求不断增加（单位：万吨）全球电子湿化学品三大应用市场需求不断增加（单位：万吨）.16 图表图表 26.2020年我国电子湿化学品市场规模为年我国电子

7、湿化学品市场规模为 100.62亿元亿元.17 图表图表 27.预计预计 2027年我国电子湿化学品市场规模达年我国电子湿化学品市场规模达 210.38亿元亿元.17 图表图表 28.2020-2025年年我国三大应用市场电子湿化学品需求量我国三大应用市场电子湿化学品需求量不断增加（单位：万吨）不断增加（单位：万吨）.17 图表图表 29.2020年全球电子湿化学品市场份额，欧美与日本企业占主导地位年全球电子湿化学品市场份额，欧美与日本企业占主导地位.18 图表图表 30.全球主要电子湿化学品企业（除中国大陆）全球主要电子湿化学品企业（除中国大陆）.19 图表图表 31.国内电子湿化学品高端产

8、品仍存在不足，国产化率低国内电子湿化学品高端产品仍存在不足，国产化率低（2020年数据）年数据）.20 4 图表图表 32.2015-2021年年我国电子湿化学品产量持续扩大我国电子湿化学品产量持续扩大，复合增长率达，复合增长率达 22.55%.20 图表图表 33.我国主要电子湿化学品生产企业我国主要电子湿化学品生产企业.21 图表图表 34.2019-2021年年中巨芯中巨芯电子湿化学品业务与可比公司营收及复合增速电子湿化学品业务与可比公司营收及复合增速.21 图表图表 35.2019-2021年年公司公司电子湿化学品业务市占率逐年提升电子湿化学品业务市占率逐年提升.22 图表图表 36.

9、2019-2021年年公司公司研发费用逐年提升研发费用逐年提升，研发费用率高于研发费用率高于同行业同行业可比公司平均可比公司平均水平水平.22 图表图表 37.公司公司电子湿化学品产品等级处于行业领先水平电子湿化学品产品等级处于行业领先水平.23 图表图表 38.公司公司开展多个电子湿化学品在研项目开展多个电子湿化学品在研项目.24 图表图表 39.2021年公司年公司电子湿化学品前四电子湿化学品前四大大客户情况客户情况.25 图表图表 40.公司公司电子湿化学品获下游客户颁发多项荣誉电子湿化学品获下游客户颁发多项荣誉.25 图表图表 41.晶圆制造领域使用的特种气体晶圆制造领域使用的特种气体

10、.26 图表图表 42.预计预计 2022年全球电子特气市场规模将达到年全球电子特气市场规模将达到 50.01亿美元亿美元.26 图表图表 43.2017-2021年中国电子特气市场规模复合增速高于全球平均增速年中国电子特气市场规模复合增速高于全球平均增速.26 图表图表 44.我国集成电路市场规模增长迅速我国集成电路市场规模增长迅速.27 图表图表 45.2020年年半导体材料需求半导体材料需求比例，电子气体占比比例，电子气体占比 14%.27 图表图表 46.2018年年全球电子特气市场全球电子特气市场格局格局.27 图表图表 47.2020年我国年我国电子特气市场格局电子特气市场格局.2

11、7 图表图表 48.2019-2021年公司年公司电子特气业务营业收入电子特气业务营业收入显著显著增长增长.28 图表图表 49.公司公司电子特气业务毛利率电子特气业务毛利率大幅提升，大幅提升，于于 2021年年实现正值实现正值(%).28 图表图表 50.公司电子特气产品技术公司电子特气产品技术处于处于行业行业领先水平领先水平.29 图表图表 51.公司公司电子特气在研项目电子特气在研项目.29 图表图表 52.全球前驱体市场规模快速增长，预计全球前驱体市场规模快速增长，预计 2024年将达到年将达到 20.21亿美元亿美元.30 图表图表 53.CVD工艺简工艺简图及前驱体应用图及前驱体应

12、用.31 图表图表 54.ALD工艺简图及前驱体应用工艺简图及前驱体应用.31 图表图表 55.公司公司募投项目资金用途（万元）募投项目资金用途（万元）.32 图表图表 56.公司公司募集资金投资募集资金投资项目产品方案项目产品方案.32 5 公司是国内领先的电子化学材料生产商公司是国内领先的电子化学材料生产商 公司公司主要从事电子湿化学品主要从事电子湿化学品、电子特气和前驱体材料的研发、生产和销售电子特气和前驱体材料的研发、生产和销售 中巨芯科技股份有限公司成立中巨芯科技股份有限公司成立于于 2017年，年，专注电子化学材料领域，主要从事电子湿化学品专注电子化学材料领域，主要从事电子湿化学品

13、、电子特电子特气和前驱体材料的研发、生产和销售。气和前驱体材料的研发、生产和销售。公司产品广泛应用于集成电路、显示面板以及光伏等领域的清洗、刻蚀、成膜等制造工艺环节，目前产品已批量供应国内集成电路及显示面板的下游核心客户，多项产品已被中芯国际、海力士等知名公司使用。图表图表 1.中巨芯业务发展历程中巨芯业务发展历程 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司前身公司前身浙江凯圣氟化学有限公司浙江凯圣氟化学有限公司成立成立于于 2003年，于年，于 2013年开始销售电子湿化学品，具备多年研发、年开始销售电子湿化学品，具备多年研发、量产电子量产电子湿湿化学品的经验。化学品的经验。电子湿化学品的工

14、艺水平和产品质量对集成电路制造的成品率、电性能及可靠性有重要影响，进而影响终端产品的性能。在集成电路领域，晶圆尺寸越大，单位体积晶圆可生产的芯片越多，生产效率更高，因此大尺寸化是国际主流趋势。大尺寸晶圆的生产对电子湿化学品的纯度有更高要求，集成电路用电子湿化学品纯度要求为 G3及以上水平，12英寸晶圆制造一般要求 G4水平。目前国内只有少数几家企业的产品能够达到 G4水平，而公司主要产品电子级氢氟酸、电子级硝酸、电子级硫酸均已达到更高的 G5水平，电子级盐酸、电子级氟化铵、电子级氨水等产品也达到 G4水平。浙江浙江博瑞电子科技有限公司成立于博瑞电子科技有限公司成立于 2014年，于年，于 20

15、16年开始进行电子特气生产，年开始进行电子特气生产，2017年并入中巨芯年并入中巨芯，获国家科技部重点研发专项课题，研发实力雄厚。获国家科技部重点研发专项课题，研发实力雄厚。电子特气是集成电路、显示面板等电子工业生产不可或缺的原材料，广泛应用于刻蚀、清洗、掺杂、气相沉积等工艺环节，决定了器件的最终良率和可靠性，具有较高的产品附加值。纯度是电子特气核心指标，集成电路制造对不同气体的纯度要求不一，通常需要纯度 5N 及以上的电子特气。公司主要产品高纯氯气、高纯氯化氢纯度均达到 6N水平，可应用于 28 nm 以下先进制程的集成电路制造。高纯六氟化钨及高纯氟碳类气体部分产品也达到 5N水平。6 公司

16、于公司于 2018 年开始前驱体材料的研发工作，目前已掌握年开始前驱体材料的研发工作，目前已掌握 HCDS、BDEAS、TDMAT 等前驱体材料的生等前驱体材料的生产制备技术产制备技术。前驱体材料是薄膜沉积工艺的核心制造材料，应用于半导体生产制造工艺，产品主要用于沉积半导体导线间的介电层，以及在半导体栅极中复合金属材料。集成电路制造中先进制程（28 nm及以下）一般需要前驱体材料纯度达到 6N以上。目前公司已实现纯度为 6-7N的 HCDS、BDEAS、TDMAT生产，产品已进入客户端认证环节。图表图表 2.公司公司产品主要产品主要领域领域及所处阶段及所处阶段 12英寸8英寸6英寸电子级氢氟酸

17、刻蚀、清洗、玻璃减薄*量产电子级硫酸酸性清洗、刻蚀*量产电子级硝酸酸性清洗、刻蚀*量产电子级盐酸酸性清洗、刻蚀*量产电子级氟化铵缓冲氧化物刻蚀液原料*量产电子级氨水碱性清洗、氟化铵原料*量产缓冲氧化物刻蚀液缓释刻蚀*量产硅刻蚀液硅刻蚀*量产高纯氯气金属铝刻蚀、多晶硅刻蚀、光纤脱水*量产高纯氯化氢清洗、刻蚀*量产高纯氟化氢二氧化硅刻蚀、炉管清洗*量产高纯氟碳类气体刻蚀、清洗*认证高纯六氟化钨沉积集成电路内钨导电层*认证HCDS*认证BDEAS*认证TDMAT*认证类别产品名称产品主要用途应用领域所处阶段集成电路显示面板光伏光纤前驱体材料薄膜沉积电子湿化学品1、通用电子化学品2、功能性湿化学品电子

18、特种气体1、刻蚀、清洗气体2、成膜气体 注：*代表产品应用领域 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 7 图表图表 3.中巨芯电子化学材料产品演变中巨芯电子化学材料产品演变 序号序号 产品产品 等级等级 产品销售或送样时间产品销售或送样时间 1 电子级氢氟酸 G4 2013年（销售）G5 2019年（销售）2 电子级硫酸 G4 2017年（销售）G5 2021年（销售）3 电子级硝酸 G4 2015年（销售）G5 2019年（销售）4 电子级盐酸 G4 2017年（销售）5 电子级氟化铵 G3 2016年（销售）G4 2021年（销售）6 电子级氨水 G4 2016年（销售）7 缓冲氧化物刻蚀

19、液 G4 2018年（销售）8 硅刻蚀液 G3 2020年（销售）9 高纯氯气 5N 2018年（销售）5N5 2020年（销售）6N 2021年（销售）10 高纯氯化氢 5N 2019年（销售）5N5 2020年（销售）6N 2021年（销售）11 高纯氟化氢 5N 2020年（销售）12 高纯六氟化钨 5N5 2021年（送样）13 高纯三氟甲烷 5N 2021年（送样）14 高纯八氟环丁烷 5N 2021年（送样）15 高纯六氟丁二烯 4N5 2021年（送样）16 高纯八氟环戊烯 4N 2021年（送样）17 HCDS 7N 2021年（送样）18 BDEAS 6N 2021年（送样）

20、19 TDMAT 6N 2021年（送样）资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司产品公司产品主要应用于集成电路、显示面板及光伏等主要应用于集成电路、显示面板及光伏等下游领域下游领域 公司产品位于电子信息产业偏中上游的材料领域公司产品位于电子信息产业偏中上游的材料领域，下游应用领域包括集成电路、显示面板及光伏等，下游应用领域包括集成电路、显示面板及光伏等，终端应用场景主要是电子信息产业。终端应用场景主要是电子信息产业。电子化学材料行业是精细化工和电子信息行业交叉的领域，具有品种多、质量要求高、对环境洁净度要求苛刻、产品更新换代快、产品附加值高、资金投入量大等特点。电子湿化学品和电子特气伴随集

21、成电路的整个制作过程，涉及多个制造工艺环节，包括硅片、晶圆制造过程的刻蚀、清洗，以及外延、高温扩散等。集成电路制程对电子湿化学品和电子特气的纯度、金属杂质含量、颗粒数量和粒径、品质一致性要求严苛。例如，电子湿化学品金属杂质含量千亿分之一（10-11）级、电子特气金属杂质含量百亿分之一（10-10）级的波动会对整条集成电路生产线的产品良率造成影响，进而影响终端产品的性能。8 图表图表 4.中巨芯产品中巨芯产品主要应用于集成电路、显示面板及光伏等主要应用于集成电路、显示面板及光伏等下游领域下游领域 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 图表图表 5.电子湿化学品和电子特气参与集成电路的整个制作过程

22、电子湿化学品和电子特气参与集成电路的整个制作过程 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 巨化股份和产业投资基金为公司并列第一大股东巨化股份和产业投资基金为公司并列第一大股东 公司成立于公司成立于 2017年年 12月，由巨化股份、产业投资月，由巨化股份、产业投资基金、远致富海、盈川基金、盛芯基金、聚源聚芯基金、远致富海、盈川基金、盛芯基金、聚源聚芯共同出资设立。共同出资设立。公司下设 3 家全资子公司，分别是凯圣氟化学、博瑞电子与中巨芯湖北。招股书显示，中巨芯无控股股东和实际控制人。截至 2022年 7月 11日，巨化股份和产业投资基金为公司并列第一大股东，持股比例均为 35.1999%。9

23、图表图表 6.中巨芯股权结构中巨芯股权结构 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司业绩表现：公司业绩表现：营业收入营业收入快速快速增长增长，预计未来盈利水平向好预计未来盈利水平向好 公司公司 2021 年年营业收入营业收入为为 5.66 亿元，同比增长亿元，同比增长 41.38%。公司 2018年营收为 1.56亿元，2021年营收为5.66 亿元，2018-2021 年复合增速达 53.61%。2022 年一季度公司营收为 1.72 亿元，较上年同期增长44.57%，高于 2018年全年营收。公司营收公司营收逐年递增、逐年递增、增速迅猛增速迅猛，原因在于原因在于：1）公司公司子公司凯圣氟

24、化子公司凯圣氟化学电子湿化学品销售收入逐年上升学电子湿化学品销售收入逐年上升。由于凯圣氟化学投产较早，2011至 2015年已先后建成电子湿化学品各系列产品的生产装臵并进入试生产阶段，具有良好的客户基础，且凯圣氟化学持续投入研发活动、改善产品生产工艺、提升产品品质，使得其产品在市场中具备更高竞争力，可用于更高端的集成电路领域。2）公司子公司博瑞电子的电子特气公司子公司博瑞电子的电子特气一期高纯氯气和高纯氯化氢建设项目于一期高纯氯气和高纯氯化氢建设项目于 2018 年年建成并投产建成并投产。该项目投产时间相对较晚，报告期内公司产品品质不断提升，在产品逐渐得到市场验证和认可后，收入规模也同步上升。

25、3）半导体半导体材料材料国产化进程加速国产化进程加速，显示面板产能向大陆地区转移显示面板产能向大陆地区转移，中国集成电路、显示面板行业高速发展中国集成电路、显示面板行业高速发展。随着近年来集成电路、显示面板上游电子化学材料国产替代的推动，市场对国产电子湿化学品和电子特气的需求得到了较大提升，市场规模快速增长。公司公司尚未实现盈利尚未实现盈利。2019年至 2021年，公司分别实现归母净利润-620.6万元、2,467.16万元、3,332.03万元，实现扣非归母净利润-2,133.32万元、7.83万元、-682.16万元。公司部分产品尚处于客户认证阶段，新产线投产尚未实现规模效应，折旧压力较

26、高。且公司研发投入不断增大，并叠加 2021年确认了 1,362.37 万元股份支付费用的影响，使得公司 2021 年扣非归母净利润为负，处于尚未盈利状态。2022年一季度公司实现归母净利润-89.38万元，同比下降 116.31%，实现扣非归母净利润-224.66万元，同比下降 151.22%，主要原因系博瑞电子和博瑞中硝部分电子特气、前驱体材料的产品尚处于客户认证阶段，以及疫情对公司主要生产经营地衢州市 2022年一季度的生产经营和市场开拓活动造成了严重影响，公司按存货成本高于其可变现净值的差额计提了存货跌价准备，产生 1,486.02万元资产减值损失。预计未来公司盈利水平向好。预计未来公

27、司盈利水平向好。随着博瑞电子已量产产品产能利用率的进一步提升，以及尚处于客户认证阶段的产品认证进程达到预期，预计未来销售收入呈增长趋势，亏损也将收窄，直至实现盈利。未来随着凯圣氟化学生产线的升级、改造和扩产，相关应用领域下游需求稳定、产品销量持续提升，盈利规模有望继续增长。综上，预计公司整体规模将持续扩张，未来公司盈利水平保持向好趋势。10 图表图表 7.公司营业收入公司营业收入持续持续增长增长 图表图表 8.公司尚未实现盈利公司尚未实现盈利 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司公司营业营业收入收入以以电子湿化学品为主电子湿化学品为主，电子特气电子特

28、气收入收入逐年上升。逐年上升。公司目前主营业务为电子湿化学品和电子特气，其中电子湿化学品对收入贡献最大。2019年至 2021年，公司电子湿化学品板块分别实现营业收入 2.98亿元、3.37亿元、4.47亿元，占各期主营业务收入的比例分别为 97.51%、91.98%、83.18%。报告期内公司电子特气业务收入分别为 0.07亿元、0.29亿元、0.90亿元，占各期主营业务收入的比例分别为 2.43%、8.02%、16.82%。受到各产品线投入和建设时间不同的影响，公司收入呈现以电子湿化学品为主、电子特气收入逐年上升的趋势。公司公司产品产品收入主要分布于收入主要分布于集成电路、显示面板以及光伏

29、等集成电路、显示面板以及光伏等下游下游应用领域应用领域。由于集成电路工艺用的电子湿化学品和电子特气主要产品量产或投产时间较晚，部分产品仍处于客户认证阶段，2019-2021 年公司应用于集成电路领域产品的销售收入占比分别为 43.18%、58.27%、68.48%。图表图表 9.公司营业收入以电子湿化学品为主公司营业收入以电子湿化学品为主 图表图表 10.公司公司分布于集成电路的分布于集成电路的营收营收占比逐年提升占比逐年提升 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司电子湿化学品各产品产能利用率公司电子湿化学品各产品产能利用率提升，提升，产销率产销率较高

30、较高。2011-2015 年，公司子公司凯圣氟化学主要产品电子级氢氟酸、硝酸、硫酸的产线先后建成生产装臵并进入试生产阶段，公司先后对电子湿化学品的产线进行技改或扩建，以适应产能利用率的提升。凯圣氟化学电子级氢氟酸 2020年实施技改，产能新增 6,000吨，2021年根据下游市场变化调减 2,500吨/年 40%浓度电子级氢氟酸的产能；电子级硝酸 2021年实施技改，产能新增 9,000吨；电子级硫酸 2021年实施技改和扩建，产能新增 20,000吨。此外公司持续投入研发活动，使产品在市场中具有更高的竞争力，产销率维持较高水平。11 图表图表 11.2019-2021年年公司电子湿化学品各细

31、分产品产能利用率提升公司电子湿化学品各细分产品产能利用率提升，产销率水平较高，产销率水平较高 年份年份 产品产品 产能（万吨）产能（万吨）产量（万吨）产量（万吨）销量（万吨）销量（万吨）产能利用率产能利用率（%）产销率产销率（%）2019 电子级氢氟酸 3.30 2.97 2.86 90.15 96.00 电子级硝酸 0.60 0.38 0.36 64.24 94.80 电子级硫酸 1.00 0.54 0.52 53.88 96.89 2020 电子级氢氟酸 3.90 2.89 2.78 74.14 96.00 电子级硝酸 0.60 0.58 0.59 97.54 100.72 电子级硫酸 1

32、.00 0.67 0.69 67.01 102.54 2021 电子级氢氟酸 3.65 3.15 3.04 86.40 96.51 电子级硝酸 1.50 1.11 1.05 73.99 94.33 电子级硫酸 3.00 1.31 1.30 43.68 98.83 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 2019-2021 年年公司电子级氢氟酸、电子级硫酸均价提升，公司电子级氢氟酸、电子级硫酸均价提升，电子级硝酸均价下电子级硝酸均价下行行，各产品收入呈上升趋各产品收入呈上升趋势。势。公司电子级氢氟酸均价逐年上升，与产品规格提升、可应用于更高端的下游市场有关。受下游集成电路客户降本增效影响，公司主动

33、调整电子级硝酸产品价格，2020 年、2021 年均价分别下降3.62%、4.38%。由于集成电路用电子级硫酸规格高且销售单价较高，随着其收入占比提升，产品均价上升。2019 年至 2021 年公司电子级氢氟酸、电子级硝酸、电子级硫酸合计收入分别占总营收的89.40%、85.79%、87.04%。公司其他产品包括缓冲氧化物刻蚀液、电子级氨水、硅刻蚀液、电子级氟化铵、电子级盐酸等，2019 年至 2021 年合计收入占比为 10.60%、14.21%、12.96%。2019-2021 年公司电子湿化学品各产品收入均呈现上升趋势，主要原因为公司产品技术等级提升以及下游市场开拓。图表图表 12.20

34、19-2021年年公司电子湿化学品公司电子湿化学品各产品均价各产品均价 图表图表 13.2019-2021年年公司公司电子湿化学品各产品收入电子湿化学品各产品收入结构结构 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 注：图中数据标签为2019-2021年公司电子湿化学品各产品收入，单位为亿元。坐标纵轴代表公司电子湿化学品各产品收入占总营收的比例。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司电子特气公司电子特气产品逐渐通过客户认证，产能产品逐渐通过客户认证，产能利用率及利用率及销售收入提升销售收入提升。公司生产的电子特气主要为高纯氯化氢、高纯氯气等产品。博瑞电子高纯氯化氢、高纯氯气产能利用率较低，主要原

35、因为 2016年底博瑞电子一期电子气体项目装臵建成并进行试生产，高纯氯气、高纯氯化氢分别于 2018 年、2019年形成销售，导致报告期内产能利用率较低。2019-2021 年受到集成电路客户降本增效等影响，公司高纯氯化氢均价有所下降；因客户采购量增加，单位产品的包装及运输成本下降，高纯氯气销售单价下降。随着公司加强市场开拓力度、产品论证深入，公司高纯氯化氢、高纯氯气销售规模不断扩大，2021 年分别实现销售收入 6,023.76 万元、2,966.74 万元，2019-2021 年收入复合增长率分别为1,579.71%、146.48%。12 图表图表 14.2019-2021年年公司电子公司

36、电子特气特气各细分产品产能利用率各细分产品产能利用率逐渐逐渐提升提升 年份年份 产品产品 产能（吨）产能（吨）产量（吨）产量（吨）销量（吨）销量（吨）产能利用率产能利用率（%）产销率产销率（%）2019 高纯氯化氢 1,500.00 7.72 2.47 0.51 31.98 高纯氯气 1,000.00 60.08 49.10 6.01 81.73 2020 高纯氯化氢 1,500.00 120.17 124.98 8.01 104.01 高纯氯气 1,000.00 194.96 207.20 19.50 106.28 2021 高纯氯化氢 1,500.00 698.12 694.86 46.5

37、4 99.53 高纯氯气 1,000.00 396.18 367.40 39.62 92.74 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 图表图表 15.2019-2021年公司电子特气各产品均价年公司电子特气各产品均价 图表图表 16.2019-2021年公司年公司电子特气各产品电子特气各产品收入结构收入结构 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 注：图中数据标签为2019-2021年公司电子特气各产品收入，单位为万元。坐标纵轴代表公司电子湿化学品各产品收入占总营收的比例。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司主营业务毛利率公司主营业务毛利率总体总体呈上升趋势呈上升趋势。2019年至 202

38、1年公司主营业务毛利率分别为 20.74%、19.26%、22.69%，呈上升趋势。电子湿化学品方面，公司不断加大研发投入、改善生产工艺、提升产品规格，使其可用于更高端的集成电路。随着客户积累，销量进一步提升，整体销售单价因此上升。2021 年公司电子湿化学品业务毛利率为 20.10%，同比下降 3.35 pct，主要原因为 2021年度大宗商品价格上涨，导致上游原材料价格上涨，使电子湿化学品毛利率下滑。电子特气方面，2019 年、2020 年公司电子特气业务毛利率均为负，2021 年毛利率为 35.48%，主要原因为公司电子特气项目投产较晚，初期处于市场开拓、客户认证和工艺提升阶段，固定资产

39、折旧费用、人工成本等金额较大，且由于产能利用率较低，单位产品材料用量大，导致毛利率为负。随着公司电子特气产品品质改善以及客户数量的增加，产量和销售收入规模逐渐扩大，毛利率逐年提高。13 图表图表 17.公司主营业务毛利率呈上升趋势公司主营业务毛利率呈上升趋势 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司电子湿化学品毛利率略低于公司电子湿化学品毛利率略低于同行业可比公司同行业可比公司，子公司凯圣氟化学毛利率与行业平均毛利率不存子公司凯圣氟化学毛利率与行业平均毛利率不存在明显差异。在明显差异。公司电子湿化学品业务主要由凯圣氟化学和凯恒电子开展，其中凯圣氟化学专注于集成电路用电子湿化学品系列产品，产品

40、规格高，是公司未来业务发展重点。凯恒电子从事光伏、显示面板用电子级氢氟酸的生产和销售，产品规格较低，主要应用在太阳能电池片清洗、显示面板玻璃减薄等，其报告期内产生的收入占全部收入的比重逐年下降。若剔除凯恒电子毛利率影响因素，公司子公司凯圣氟化学毛利率与行业可比公司平均毛利率不存在明显差异。图表图表 18.公司公司电子湿化学品业务毛利率与同行业上市公司对比电子湿化学品业务毛利率与同行业上市公司对比 注：江化微和晶瑞电材毛利率为超净高纯试剂；格林达的产品分为功能电子湿化学品和通用电子湿化学品，毛利率为其总毛利率；上海新阳毛利率为电子化学材料毛利率；飞凯材料2019年毛利率为电子化学材料毛利率，20

41、20和2021年毛利率为屏幕显示材料和半导体材料合计毛利率。新宙邦毛利率为半导体化学品毛利率。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 14 公司公司电子特气电子特气毛利率与同行业可比公司有较大毛利率与同行业可比公司有较大差异。差异。公司电子特气投产时间较晚，目前仍处于工艺提升以及市场拓展阶段。随着产能逐步释放，公司电子特气毛利率逐步提升，于 2021 年提升至35.48%。同行业公司进入市场较早，产品品种较多，故毛利率高于公司同类产品。图表图表 19.公司公司电子特气电子特气业务毛利率与同行业上市公司对业务毛利率与同行业上市公司对比比 注：华特气体、金宏气体、南大光电和雅克科技毛利率为特种气体毛

42、利率。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司公司期间费用率保持稳定。期间费用率保持稳定。2019年至 2021年，公司期间费用总额分别为 6,919.78万元、6,915.13万元和 10,968.60万元，占营业收入的比重分别为 20.89%、17.28%、19.39%。2020年和 2021年公司期间费用率降低，主要是因为公司采用新收入准则，将运输费用调整至主营业务成本。随着公司管理体系的日趋成熟、规模经济和学习效应渐显，公司期间费用率将逐渐下降。当未来毛利能够覆盖期间费用时，可实现扭亏为盈。公司测算扭亏为盈的时间节点约为 2023年。图表图表 20.公司期间费用率保持稳定公司期间费用

43、率保持稳定 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 15 电子湿化学品电子湿化学品市场空间广阔，国产化替代需求增长市场空间广阔，国产化替代需求增长 电子湿化学品种类丰富电子湿化学品种类丰富 电子湿化学品又称超净高纯试剂或工艺化学品，主体成分纯度大于电子湿化学品又称超净高纯试剂或工艺化学品，主体成分纯度大于 99.99%，一般要求控制杂质颗粒一般要求控制杂质颗粒粒径低于粒径低于 0.5 m，金属杂质含量低于，金属杂质含量低于 ppm 级（级（10-6为为 ppm，10-9为为 ppb，10-12为为 ppt），可分为通用可分为通用电子湿化学品和功能电子湿化学品电子湿化学品和功能电子湿化学品。通用电

44、子湿化学品一般为单组分、单功能、被大量使用的液体电子化学品，例如酸类、碱类、有机溶剂类等；功能电子湿化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的化学品，如剥离液、显影液、刻蚀液、清洗液等。目前市场需求以通用电子湿化学品为主。中国电子材料行业协会数据显示，2019 年通用电子湿化学品需求占总电子湿化学品需求的 88.2%。图表图表 21.电子湿化学品具体分类电子湿化学品具体分类 类别类别品名品名氢氟酸、硝酸、盐酸、磷酸、硫酸、乙酸等氨水、氢氧化钠、氢氧化钾等醇类甲醇、乙醇、异丙醇等酮类丙酮、丁酮、甲基异丁基酮等酯类乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯等烃类甲苯、二甲苯、环己烷等卤代烃类三

45、氯乙烯、三氯乙烷、氯甲烷、四氯化碳等双氧水等金属刻蚀液、缓冲氧化物刻蚀液、ITO刻蚀液、硅刻蚀液等钢抛光后清洗液、铝工艺刻蚀后清洗液、铜工艺刻蚀后清洗液、HKMG假栅去除后清洗液、去溢料清洗液稀释液丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、乳酸乙酯显影液正胶显影液、负胶显影液等剥离液正胶剥离液、负胶剥离液、剥离清洗液、酸性剥离液等子类别子类别通用电子湿化学品酸类碱类有机溶剂类其他类刻蚀液功能电子湿化学品清洗液光刻胶配套试剂 资料来源：中国电子材料行业协会，中银证券 图表图表 22.2019年通年通用电子湿化学品需求占总电子湿化学品需求的用电子湿化学品需求占总电子湿化学品需求的 88.2%类别类别湿化学品名

46、称湿化学品名称占总需求比例（）占总需求比例（）合计占比（）合计占比（）过氧化氢16.7%氢氟酸16.0%硫酸15.3%硝酸14.3%磷酸8.7%盐酸4.8%氢氧化钾3.8%氨水3.7%异丙酮2.8%醋酸1.9%MEA等极佳溶液3.2%显影液（半导体用）2.7%蚀刻浪（半导体用）2.2%显影液（液晶面板用）1.6%剥离液（半导体用）1.2%功能电子湿化学品11.8%通用电子湿化学品88.2%资料来源：中国电子材料行业协会，中银证券 电子湿化学品具有严格的国际技术标准，各应用领域的产品标准不同。电子湿化学品具有严格的国际技术标准，各应用领域的产品标准不同。国际半导体设备与材料组织（SEMI）按金属

47、杂质、控制粒径、颗粒个数、适应 IC制程范围等指标制定了国际统一技术标准。G1等级属于低档产品，G2等级属于中低档产品，G3等级属于中高档产品，G4和 G5等级则属于高档产品。光伏一般只需要 G1级水平；显示面板和 LED对电子湿化学品的等级要求一般为 G2、G3水平；集成电路对电子湿化学品的纯度要求较高，基本集中在 G3以上水平，晶圆尺寸越大对纯度要求越高，12英寸晶圆制造一般要求 G4以上水平；分立器件对电子湿化学品纯度的要求略低于集成电路，基本集中在 G2级水平。16 图表图表 23.电子湿化学品技术标准电子湿化学品技术标准 SEMI等级等级 G1 G2 G3 G4 G5 金属杂质（g/

48、L）1000.00（1ppm）10.00（10ppb）1.00（1ppb）0.10（0.1ppb）0.01（10ppt）控制粒径（m）1.00 0.50 0.50 0.20*颗粒个数（个/ML）25.00 25.00 5.00*适应IC制程范围（m）1.20 0.80-1.20 0.20-0.60 0.09-0.20 0.09 主要下游应用 光伏 分立器件、显示面板、LED 显示面板、LED、集成电路 集成电路 集成电路 资料来源：SEMI，中银证券 电子湿化学品电子湿化学品下游需求旺盛下游需求旺盛，市场，市场规模持续规模持续扩大扩大 2020年全球电子湿化学品市场规模约为年全球电子湿化学品市

49、场规模约为 50.84亿美元，下游需求量不断增长。亿美元，下游需求量不断增长。受益于半导体、显示面板、光伏等下游行业的快速发展，全球电子湿化学品市场规模不断增大。根据智研咨询数据，全球电子湿化学品市场规模由 2011年的 25.31亿美元发展到 2020年的 50.84亿美元，复合增长率为 8.06%。2020年受新冠疫情影响，全球电子湿化学品市场规模较 2019年同比下降 4%。预计预计 2025年全球三大年全球三大应用应用领域电子湿化学品市场需求领域电子湿化学品市场需求将将达达 624万吨。万吨。集成电路、平板显示和太阳能电池是电子湿化学品三大应用市场。根据中国电子材料行业协会，2020

50、年全球三大应用市场下游需求量合计 378.3万吨，其中集成电路领域电子湿化学品需求量 172万吨，平板显示领域需求量 145万吨，太阳能电池领域需求量 62万吨。中国电子材料行业协会预计 2025年全球三大领域电子湿化学品市场需求合计将达 624万吨。图表图表24.2020年年全球全球电子湿化学品市场规模电子湿化学品市场规模为为50.84亿亿美美元元 图表图表 25.全球电子湿化学品三大应用市场需求不断增加全球电子湿化学品三大应用市场需求不断增加（单单位：位：万吨）万吨）资料来源：智研咨询，中银证券 资料来源：中国电子材料行业协会，中银证券 2020 年年我我国电子湿化学品国电子湿化学品行业市

51、场规模为行业市场规模为 100.62 亿元，亿元，复合复合增速高于全球水平增速高于全球水平。随着半导体国产化进程加速，以及全球半导体和面板制造产业链迁移，我国电子湿化学品市场规模快速增长，增速远高于全球平均水平。根据智研咨询数据，2020 年我国电子湿化学品行业市场规模为 100.62 亿元，2011-2020年国内电子湿化学品行业市场规模年复合增长率为 15.31%，高于图表 24所示全球 8.06%的复合增速。智研咨询预计未来我国电子湿化学品市场规模将由 2021年的 117.46亿元扩大至 2027年的210.38亿元，复合增长率为 10.20%。17 图表图表 26.2020年我国电子

52、湿化学品市场规模为年我国电子湿化学品市场规模为 100.62亿元亿元 图表图表 27.预计预计 2027年年我国电子湿化学品市场规模我国电子湿化学品市场规模达达 210.38亿元亿元 资料来源：智研咨询，中银证券 资料来源：智研咨询，中银证券 我国三大应用市场电子湿化学品需求量我国三大应用市场电子湿化学品需求量大幅提升大幅提升。中国电子材料行业协会数据显示，2021 年我国集成电路、显示面板、太阳能光伏应用市场电子湿化学品需求量总计约为 213.52万吨，与 2020年 156.33万吨相比增加 36.58%，且未来几年将有大幅提升，中国电子材料行业协会预计 2025年我国电子湿化学品市场需求

53、将增长至 369.56万吨，2020-2025年复合增速达 18.78%。未来电子湿化学品的需求增长主要来自半导体和显示面板行业未来电子湿化学品的需求增长主要来自半导体和显示面板行业。随着半导体行业晶圆厂新增产能不断落地、晶圆尺寸扩大到 12英寸以及显示面板行业向高世代线产品不断升级，电子湿化学品技术要求及耗用量大幅提升。根据中国产业信息网数据，12 英寸晶圆制造所消耗的电子湿化学品是 8 英寸晶圆制造的 4.6 倍，6 英寸晶圆制造的 7.9 倍。半导体和显示面板行业产能的扩张及技术升级将拉动电子湿化学品用量的快速增长。图表图表 28.2020-2025年年我国三大应用市场电子湿化学品需求量

54、我国三大应用市场电子湿化学品需求量不断增加不断增加（单位：万吨）（单位：万吨）资料来源：中国电子材料行业协会，中银证券 18 我国电子湿化学品我国电子湿化学品高端产品不足，国产化替代空间大高端产品不足，国产化替代空间大 欧美欧美和和日本企业主导日本企业主导全球全球电子湿化学品市场电子湿化学品市场。电子湿化学品行业技术门槛较高，欧美和日本企业凭借技术优势，占据了全球市场主导地位。2020年欧美传统电子湿化学品企业占据约 31%的市场份额，代表企业有德国巴斯夫、美国亚什兰、美国霍尼韦尔等。这些老牌化工企业拥有极强的技术优势，产品等级可达到 SEMI G4及以上级别。市场第二位主要为日本电子湿化学品

55、企业，合计约 29%市场份额。日本化工行业发展晚于欧美，但进步非常快，技术已与欧美达到同一水平。市场第三位是韩国、中国大陆及台湾地区的电子湿化学品企业，约占 38%的市场份额。图表图表 29.2020年年全球全球电子湿化学品市场电子湿化学品市场份额份额，欧美与日本企业占主导地位，欧美与日本企业占主导地位 资料来源：华经产业研究院，中银证券 19 图表图表 30.全球主要电子湿化学品企业（除中国大陆）全球主要电子湿化学品企业（除中国大陆）公司名称公司名称 地区地区 概况概况 巴斯夫 Basf 德国 为半导体和平板显示生产提供电子化学品，收购了德国伊默克公司，成为了行业领先企业 汉高集团 Henk

56、el 德国 其开发生产的 LCD清洗液、剥离液以及显影液在世界以及我国的液晶面板生产企业（如京东方）得到一定规模使用 陶氏化学 Dowchemical 美国 是一家多元化的化学公司，包括特种化学、高新材料、农业科学和塑料等业务，为全球约 180个国家和地区的客户提供种类繁多的产品及服务，应用于包装、电子产品、水处理、涂料和农业高速发展的市场。2014年，陶氏年销售额超 580亿美元，在 35个国家和地区运营 201家工厂，产品达 6000多种 美国亚什兰公司 Ashland 美国 主要业务涉及专业化学品等精细化工产品，在高雄与 UPC（联金石化公司）建有超纯化学岛生产基地合资企业 霍尼韦尔公司

57、 Honeywell 美国 供应杂质在 100ppt以下的高纯度电子湿化学品，如氢氟酸、氢氧化铵、过氧化氢和盐酸等产品，材料事业部门每年创收近 10亿美元 Avantor Performance公司 美国 以 LCD、IC、LED工业使用的电子级磷酸出名，在世界和我国范围内有一定规模的市场 ATMI公司 美国 大型化学品供应商，世界知名的半导体聚合物剥离液厂商 Air Roducts公司 美国 主要生产制造特气、电子化学品及有关设备，在半导体中使用的显影液、清洗液中有一定的市场地位 关东化学公司 Kanto 日本 主要从事半导体用酸碱类超净高纯化学试剂的生产，研发，在世界上有较高声誉 三菱化学

58、 Mitsubishi 日本 产高纯电子湿化学品，如硫酸、硝酸、盐酸、草酸、过氧化氢 佳友化学 Sumitomo 日本 业务为超净高纯化学试剂的研发和生产。在日本及亚洲市场上占有一定的份额，特别是在大尺寸品圆制造中应用的电子湿化学品中更其产品优势 宇部兴产 UBE 日本 主要生产半导体、显示面板等电子湿化学品，品种较多 DaiKin工业公司 日本 拥有氢氰酸和缓冲氢氟酸的核心技术，产品包括以氟化物为基础的Zielex系列多种药液 东友精细化工有限公司 韩国 半导体用高纯电子化学品及精细化工产品 东进世美肯科技有限公司 韩国 以生产和销售半导体及 FPD用电子化学品和发泡剂产品为主导，国内设有子

59、公司 ENF科技有限公司 韩国 半导体和 LCD电子材料 台湾东应化股份有限公司 中国台湾 半导体、TFT-LCD用剥离液、显影液 伊默克化学科技股份有限公司 中国台湾 提供台湾半导体及平面显示器工业高纯度化学品与相关的生产供应及技术服务 台湾三福化工股份有限公司 中国台湾 IC半导体、LCD、触控面板、LED、太阳能面板等产业所需的湿式化学品 鑫林科技股份有限公司 中国台湾 提供半导体及光电相关产业制程所需的高纯度化学品，与日本关东化学技术合作，近年在平板显示领域有明显的发展壮大 理盛精密科技股份有限公司 中国台湾 主要生产高纯度磷酸，主要用途是作为液晶面板刻蚀液 资料来源：华经产业研究院，

60、中银证券 国内电子湿化学品企业距世界整体水平仍有差距国内电子湿化学品企业距世界整体水平仍有差距，国产化替代空间大，国产化替代空间大。在低端电子湿化学品应用领域（太阳能电池、分立器件等），国内已有较多企业掌握相关生产技术，竞争较为激烈，参与者基本是国内电子湿化学品企业。在高端电子湿化学品应用领域，外资企业占据大部分市场。根据中国电子化学材料行业协会数据，2020年集成电路工艺用电子湿化学品整体国产化率为 23%，8英寸及以上晶圆制造用电子湿化学品国产化率不足 20%，国内企业产品供应主要集中在 6 英寸及以下晶圆制造及封装领域。显示面板领域，包括各个世代的液晶面板及 OLED 用电子湿化学品整体

61、国产化率为40%，其中 OLED面板及大尺寸液晶面板所需部分电子湿化学品目前仍被韩国、日本和中国台湾地区厂商垄断。国内企业已基本实现光伏太阳能电池领域电子湿化学品自主供应。未来国内企业如能在研发、生产技术上有所突破，半导体、新型显示面板等领域将具有较大的替代进口空间。20 图表图表 31.国内电子湿化学品高端产品仍存在不足，国产化率低国内电子湿化学品高端产品仍存在不足，国产化率低（2020年数据）年数据）资料来源：中国电子材料行业协会，中银证券 我国电子湿化学品产量持续扩大，市场集中度较低。我国电子湿化学品产量持续扩大，市场集中度较低。根据华经产业研究院数据，2021 年我国电子湿化学品产量达

62、 64.35万吨，2015-2021年复合增长率达 22.55%。华经产业研究院报告显示，我国共有电子湿化学品生产企业 40 余家，规模化企业 30 余家。按照销售规模计算，龙头企业江化微和格林达2019 年的市占率仅为 4.8%和 5.1%。大陆电子湿化学品企业大致分为三类：1）以江化微、格林达和江阴润玛为代表的电子湿化学品专业供应商，主营业务为电子湿化学品，产品种类丰富且毛利率较高；2）以晶瑞电材和飞凯材料为代表的电子材料平台型企业，以泛半导体业务为主，具有客户导入优势；3）以巨化股份和滨化股份为代表的大化工企业，电子湿化学品品种较少，营收占比较小，与其他业务有产业链协同效应，在原料方面具

63、有优势。图表图表 32.2015-2021年年我国电子湿化学品产量持续扩大我国电子湿化学品产量持续扩大，复合增长率达，复合增长率达 22.55%资料来源：华经产业研究院，中银证券 21 图表图表 33.我国主要电子湿化学品生产企业我国主要电子湿化学品生产企业 企业企业 地区地区 主营业务主营业务 江化微 江苏江阴 高纯湿电子化学品和功能性材料，全系列的湿电子化学品 江阴润玛 江苏江阴 微电子制造用超净高纯电子化学品 江阴市化学试剂厂 江苏江阴 超净高纯试剂、光刻胶配套试剂、通用试剂 晶瑞电材 江苏苏州 超净高纯试剂、功能性材料、光刻胶、锂电池粘结剂 达诺尔 江苏常熟 半导体湿法工艺超高纯微电子

64、化学品 格林达 浙江杭州 功能电子湿化学品、通用电子湿化学品 上海新阳 上海 晶圆制造及先进封装用电镀液、CMP抛光液、光刻胶等 飞凯材料 上海 屏幕显示材料、半导体材料（湿电子化学品如显影液、蚀刻液、剥离液、电镀液等）、紫外固化材料 彤程新材（北京科华）北京 光刻胶及其配套试剂 西陇科学 广东广州 化学试剂（通用、PCB用、超净高纯试剂）、依外诊断试剂、原料药及食品添加剂 多氟多 河南焦作 无机氟化工 滨化股份 山东滨州 电子级氢氟酸、烧碱、环氧丙烷等 兴发集团 湖北宜昌 磷矿石、黄磷及精细磷产品、有机硅产品、草甘膦及副产品、电子化学品、肥料产品、贸易 资料来源：各公司公告，中银证券 公司公

65、司电子湿化学品业务已成规模，市占率不断提升电子湿化学品业务已成规模，市占率不断提升 公司于公司于 2013年开始年开始生产生产电子湿化学品，是国内较早的供应商之一电子湿化学品，是国内较早的供应商之一，经过近十年发展经过近十年发展已成为电子湿化已成为电子湿化学品领域龙头企业学品领域龙头企业。2021年公司电子湿化学品营业收入达4.47亿元，2019-2021年复合增长率为22.51%，国内市占率由 2.23%增至 5.97%。2021年公司主要产品电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸的市占率分别达到 19.78%、4.41%、66.39%。随着公司募投项目规划产能落地，公司营业收入及市占率有望进

66、一步提升。图表图表 34.2019-2021年年中巨芯中巨芯电子湿化学品业务与可比公司营收及复合增速电子湿化学品业务与可比公司营收及复合增速 公司名称公司名称 营业收入（营业收入（亿亿元）元）2019 2020 2021 复合增长率复合增长率（%）江化微 2.87 3.05 4.93 31.12 晶瑞电材 1.79 2.09 3.32 36.23 格林达 5.17 5.75 7.63 21.56 上海新阳 2.12 2.78 4.19 40.54 飞凯材料 10.28 13.22 18.52 34.21 新宙邦 1.15 1.57 2.14 36.75 湖北兴福 2.56 2.73 5.28

67、43.61 江阴润玛 3.12 3.57 5.24 29.52 中巨芯中巨芯 2.98 3.37 4.47 22.51 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 22 图表图表 35.2019-2021年年公司公司电子湿化学品业务市占率逐年提升电子湿化学品业务市占率逐年提升 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司公司研发实力雄厚，产品品质处于行研发实力雄厚，产品品质处于行业领先水平业领先水平 公司公司研发投入快速增长，研发费用率高于可比公司平均水平。研发投入快速增长，研发费用率高于可比公司平均水平。公司通过设立先进电子化学材料浙江省工程研究中心开展研究工作，截至 2021年 12月 31日已获

68、得总计 47项专利。2021年末公司共有研发人员 82 人，占公司员工总数的 16.14%，其中中高级工程师 26 名。研发人员专业覆盖面广，涵盖化工、电子、材料、物理、化学等专业领域。2019-2021 年公司研发投入由 2,300.75 万元快速增长至4,017.40万元，复合增长率达到 32.14%。2021年公司研发费用率达 7.10%，高于同行业可比公司平均水平。图表图表 36.2019-2021年年公司公司研发费用逐年提升研发费用逐年提升，研发费用率高于研发费用率高于同行业同行业可比公司平均水平可比公司平均水平 注：同行业可比公司为江化微、晶瑞电材、格林达、上海新阳、飞凯材料、新宙

69、邦、华特气体、金宏气体、南大光电、雅克科技。研发费用率=研发费用/营业收入，上述公司数据来源于各公司招股说明书及年报/财务报告。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司电子湿化学品产品技术优势明显，集成电路制造工艺节点不断提升。公司电子湿化学品产品技术优势明显，集成电路制造工艺节点不断提升。公司电子湿化学品业务主 23 要产品电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸均达到 G5等级，产品品质处于行业领先水平，与可比公司相比技术优势明显，为公司在未来集成电路高端电子湿化学品的发展奠定了基础。同时，公司通过多个在研项目不断提升集成电路制造工艺节点，使公司电子湿化学品产品能够满足 14 nm 及以下工

70、艺需求。图表图表 37.公司公司电子湿化学品产品等级处于行业领先水平电子湿化学品产品等级处于行业领先水平 产品及等级产品及等级 中巨芯中巨芯 江化微江化微 晶瑞电材晶瑞电材 格林达格林达 上海新上海新阳阳 飞凯材飞凯材料料 新宙邦新宙邦 湖北兴福湖北兴福 江阴瑞玛江阴瑞玛 氢氟酸 G5 SL UP-SS-金属离子 0.1ppb 金属离子 0.005ppb G4 硫酸 G5 SL UP-SSS-金属离子 0.01ppb-硝酸 G5 SL UP-SS-金属离子 0.1ppb G4 盐酸 G4 SL UP-SS-金属离子 1ppb-氨水 G4 SL UP-SSS-金属离子 0.1ppt-G5 氟化铵

71、 G4 SL UP-SS-缓冲氧化 物刻蚀液 G4 SL UP-SS-金属离子 0.1ppb 金属离子 0.1ppb G5 硅刻蚀液 G3 UL-金属离子 5ppb G4 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 24 图表图表 38.公司公司开展多个开展多个电子电子湿湿化学品在研项目化学品在研项目 序号序号 项目名称项目名称 拟达到的主要目标拟达到的主要目标 预算金额（万元）预算金额（万元）与行业技术水平比较与行业技术水平比较 1 超高纯氢氟酸制备、提纯工艺开发与检测技术 作为国家重大科研项目子课题，实现超高纯氢氟酸分离除杂工艺装备集成研究与优化，多价态无机非金属离子深度去除，建立可靠的超高纯氢

72、氟酸痕量杂质检测方法。1,766.00 通过本项目实施，制备出超高纯氢氟酸以满足国内最先进的 14 nm及以下工艺需求。2 多官能团金属离子络合剂开发 作为国家重大科研项目子课题，研发高效提纯除杂制剂，实现氢氟酸原料中金属离子高效络合去除。69.50 作为电子级氢氟酸项目的子课题，开发新的金属离子络合剂，有效控制金属离子3 ppt。改变常规用精馏法控制金属离子杂质的技术，能更高效去除氢氟酸中痕量金属离子杂质。3 颗粒物去除及包装材料、包装物密封工艺研究 作为国家重大科研项目子课题，开发 12英寸晶圆、14纳米关键节点用超高纯氢氟酸包装需求的过滤膜和包装材料。168.00 作为电子级氢氟酸项目的

73、子课题，开发支持 14 nm及以下工艺用新型过滤膜和包装材料，更有效控制金属离子和颗粒物的析出。4 复配型功能性电子化学品开发 进行蚀刻液配方的设计、研发，对混配方式、温度、物料配比进行优化，对颗粒去除、金属离子去除进行研究，产品在客户端提供验证。3,067.00 针对 45 nm，28 nm，14 nm及以下集成电路制造中段、后段的刻蚀后清洗液进行开发，为客户提供定制化产品，突破国外技术壁垒，实现国产替代。5 电子化学品在集成电路中应用开发（二期）为集成电路各工艺段需要制作相应试样柜，并与集成电路厂商生产机台对接，实现生产与测试零切换。305.00 根据客户应用需求和客户所处行业的技术要求，

74、在产品应用端进行定制化的技术开发，与集成电路厂商生产机台对接，实现生产与测试零切换，解决产品在客户端使用的技术问题。6 MAI研发 开发出国内集成电路制造先进制程用电子级混酸、缓冲氧化物刻蚀液系列产品，并实现在客户端的应用。500.00 在原有功能电子湿化学品技术基础上，进一步开发满足 8英寸，12英寸集成电路制造用单晶硅刻蚀液、缓冲氧化物刻蚀液等定制化产品，满足客户国产化供应需求。7 电子湿化学品关键技术开发 通过提升金属除杂、颗粒去除、品质分析方法等关键技术，使发行人现有电子级硫酸、电子级硝酸、电子级盐酸、电子级氨水等电子湿化学品品质进一步提升。1,800.00 通过本项目的实施，持续提升

75、通用电子湿化学品的品质，以满足集成电路制造工艺节点不断进步的要求。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司公司电子湿化学品电子湿化学品下游客户认证顺利，荣获多下游客户认证顺利，荣获多个个奖项奖项 公司公司电子湿化学品电子湿化学品下游客户实力雄厚，下游客户实力雄厚，产品及服务产品及服务荣获荣获客户颁发的客户颁发的多多个个奖项奖项。公司电子湿化学品主要客户有 SK 海力士、中芯国际、长江存储、华虹集团、华润微电子、绍兴中芯等公司。2021 年 SK海力士、中芯国际、长江存储、华虹集团合计采购公司产品金额 1.72 亿元，占公司总营业收入比例的 30.47%。公司产品已经通过下游客户认证并获多个奖

76、项。25 图表图表 39.2021年年公司公司电子湿化学品前四电子湿化学品前四大大客户情况客户情况 序号序号 客户名称客户名称 销售内容销售内容 金额（万元）金额（万元）占营业收入比例占营业收入比例 1 SK海力士 电子级氢氟酸 5,705.27 10.08%2 中芯国际 电子级硫酸、电子级硝酸等 4,955.00 8.76%3 长江存储 电子级硝酸、电子级氢氟酸等 3,390.68 5.99%4 华虹集团 电子级硝酸、电子级氢氟酸等 3,191.26 5.64%合计合计 17242.21 30.47%资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 图表图表 40.公司公司电子湿化学品获下游客户电子湿化

77、学品获下游客户颁发颁发多项荣誉多项荣誉 序号序号 荣誉名称或应用证明内容荣誉名称或应用证明内容 客户名称客户名称 年份年份 1 凯圣氟化学半年度 QCDSE优秀供应商（化学品类）第二名 中芯国际 2020 2 凯圣氟化学2020最佳服务奖 上海新昇 2020 3 凯圣氟化学电子级氢氟酸批量供应 12英寸 1Xnm（10-20nm）制程、指标达到国际同类产品先进水平、关键材料之超高纯化学品本土化供应 SK海力士 2020 4 中巨芯首家国产硫酸量产供应一周年 中芯北方 2021 5 中巨芯系列产品批量供应五周年（硫酸、氢氟酸、硝酸、氨水、氯气）中芯国际 2021 6 中巨芯国产超纯电子湿化学品首

78、家量产供应商系列产品合作八周年 华虹宏力 2021 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 26 公司公司电子特气电子特气及及前驱体业务前驱体业务技术领先技术领先 公司公司电子特气电子特气验证顺利，验证顺利，营收营收增速明显增速明显 电子特气是集成电路、显示面板等电子工业生产不可或缺的原材料电子特气是集成电路、显示面板等电子工业生产不可或缺的原材料。电子特气广泛应用于刻蚀、清洗、掺杂、气相沉积等工艺环节，决定了器件的最终良率和可靠性，具有较高的产品附加值。此外，电子特气在生产过程中涉及原料合成、纯化、充装、分析检测、气瓶处理、混合气配制等多项工艺技术，具有较高的技术壁垒。图表图表 41.晶圆制造

79、领域使用的特种气体晶圆制造领域使用的特种气体 用途用途 气体名称气体名称 化学气相沉积（CVD）氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS（正硅酸乙酯）、TEB（硼酸三乙酯）、TEPO（磷酸三乙酯）、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六 氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等 离子注入 氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等 光刻胶印刷 氟气、氦气、氪气、氖气等 扩散 氢气、三氯氧磷等 刻蚀 氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧化碳等 掺杂 含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯 化硼、乙硼烷、三氟化硼

80、、磷化氢、砷化氢等 资料来源：金宏气体招股说明书，中银证券 我国电子特气市场规模增长迅速，复合增长率高于全球水平。我国电子特气市场规模增长迅速，复合增长率高于全球水平。TECHCET 统计显示，全球电子特气市场规模由 2017年的 36.91亿美元增长至 2021年的 45.38亿美元，复合增长率为 5.30%，TECHCET预计2022年全球电子特气市场规模将达到 50.01亿美元，同比增长 10.20%。根据 SEMI统计，中国电子特气市场规模快速增长，2017-2021 年复合增长率达 15.69%，高于全球市场复合增速。SEMI 预计 2022年中国特种气体市场规模将达到 220.8亿

81、元，同比增长 12.77%。图表图表 42.预计预计 2022年全球电子特气市场规模将达到年全球电子特气市场规模将达到 50.01亿美元亿美元 图表图表 43.2017-2021年中国电子特气市场规模复合增速高于年中国电子特气市场规模复合增速高于全球平均增速全球平均增速 资料来源：TECHCET，中银证券 资料来源：SEMI，中银证券 受益受益于于国内外半导体产业大发展，上游电子特气国内外半导体产业大发展，上游电子特气行业行业迎来发展良机。迎来发展良机。我国是全球需求最大的半导体市场，根据中国半导体行业协会数据，2017-2021年我国集成电路市场规模由 5,411亿元增长至 10,458亿元

82、，复合增长率为 17.91%，2021年同比增长 18.20%。在半导体下游市场需求增加、国家政策持续推动等环境下，中国半导体行业协会预计 2022年我国半导体市场规模将达到 11,397亿元。根据中商产业研究院数据，2020 年在半导体材料需求中，电子气体占比 14%，仅次于硅片及硅基材料。中国半导体市场规模的不断增长将带动半导体上游市场电子特气行业的持续发展。27 图表图表 44.我国我国集成电路集成电路市场规模增长迅速市场规模增长迅速 图表图表 45.2020年年半导体材料需求半导体材料需求比例比例，电子，电子气体气体占占比比 14%资料来源：中国半导体行业协会，中银证券 资料来源：中商

83、产业研究院，中银证券 电子特气电子特气市场集中度高，国产市场集中度高，国产化化率较低。率较低。全球电子特气市场集中度较高，根据前瞻产业研究院数据，2018 年美国空气化工、林德集团、法国液化空气和日本太阳日酸四大国际领先企业占全球市场份额的 91%。2020 年在中国大陆市场，上述四大国际领先企业占据了 86%的市场份额，总体市场集中度高。我国电子特气国产化率仍然处于较低水平，未来国产化替代空间较大。图表图表 46.2018年年全球电子特气市场全球电子特气市场格局格局 图表图表 47.2020年年我国我国电子特气市场格局电子特气市场格局 资料来源：前瞻产业研究院，中银证券 资料来源：前瞻产业研

84、究院，中银证券 公司电子特气业务营业收入及毛利率大幅提升。公司电子特气业务营业收入及毛利率大幅提升。公司电子特气于 2016年开始试生产。2019年至 2021年，公司电子特气业务营业收入由 741.54万元增长至 9,038.44万元，复合增长率达 249.12%。公司电子特气业务毛利率于 2021年实现正值，达到 35.48%，接近可比公司平均水平。由于公司电子特气产品仍处于验证阶段，产能利用率低于 50%，未来营业收入及毛利率有望进一步增长，缩小与可比公司的规模差距。28 图表图表 48.2019-2021年年公司公司电子电子特气业务营业收入特气业务营业收入显著显著增长增长 公司名称公司

85、名称 营业收入（万元）营业收入（万元）2019 2020 2021 复合增长率复合增长率（%）南大光电 1.64 4.29 7.31 111.40 华特气体 4.48 5.48 7.97 33.36 金宏气体 4.60 4.48 6.59 19.65 雅克科技 3.95 3.73 3.91（0.47）派瑞特气 9.30 11.04 14.94 26.71 黎明化工研究院*绿菱气体*太和气体*中巨芯中巨芯 0.07 0.29 0.90 249.12 注1：可比公司资料来源于其年报、招股说明书（申报稿）或官网披露信息；注2：中巨芯2019年、2020年和2021年营业收入均为电子特气领域收入；可比

86、上市公司南大光电的营业收入为特气产品营业收入；华特气体、金宏气体的营业收入为特种气体营业收入；雅克科技、派瑞特气的营业收入均为电子特气营业收入。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 图表图表 49.公司公司电子特气电子特气业务毛利率业务毛利率大幅大幅提升，提升，于于 2021年年实现正值实现正值(%)公司名称公司名称 毛利率毛利率 2019 2020 2021 华特气体 40.00 30.97 29.37 金宏气体 54.78 38.18 35.46 南大光电 49.98 43.59 45.01 雅克科技 50.89 43.66 40.17 平均平均 48.91 39.10 37.50 中巨芯

87、中巨芯(59.27)(28.89)35.48 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 公司电子特气产品技术优势明显，处于行业领先水平。公司电子特气产品技术优势明显，处于行业领先水平。电子特气主要产品高纯氯气及高纯氯化氢均达到 6N水平，能够满足先进制程的纯度要求，产品品质处于领先水平，与可比公司相比技术优势明显。公司同时开展多个在研项目，布局 14 nm 及以下先进制程用电子特气的研发工作。公司电子特气主要客户有中芯国际、华润微电子、士兰微、厦门联芯、沪硅产业、河北普兴等上市公司，产品已通过下游客户认证。29 图表图表 50.公司公司电子特气产品技术电子特气产品技术处于处于行业行业领先水平领先水

88、平 产品及等级产品及等级 中巨芯中巨芯 南大光电南大光电 华特气体华特气体 金宏气体金宏气体 雅克科技雅克科技 派瑞特气派瑞特气 黎明化工研黎明化工研究院究院 绿菱气体绿菱气体 太和气体太和气体 氯气 6N-5N5 氯化氢 6N-5N5-5N 氟化氢 5N-4N5（在研）-5N-六氟化钨 5N5-5N-6N 5N-三氟甲烷 5N-5N5-5N-八氟环丁烷 5N-5N 5N-5N-5N-六氟丁二烯 4N5-4N（在研）4N（在研）-4N-八氟环戊烯 4N-注1：可比公司资料来源于其年报、招股说明书（申报稿）或公开披露信息；注2：华特气体2021年年报披露，其在研项目半导体用六氟丁二烯纯化研制目前

89、处于项目验收小批量生产阶段，拟达到目标为99.99%纯度并实现规模化生产；注3：金宏气体2021年年报披露，其在研项目高纯氟化氢研发目前已经完成工艺包的设计，拟达到目标为99.995%纯度并实现规模化生产；其在研项目高纯六氟丁二烯研发目前已完成工艺包的设计，拟达到目标为99.99%纯度并实现规模化生产。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 图表图表 51.公司公司电子特气在研项目电子特气在研项目 序号序号 项目名称项目名称 拟达到的主要目标拟达到的主要目标 预算金额（万元）预算金额（万元）与行业技术水平比较与行业技术水平比较 1 腐蚀性电子气体品质提升及市场应用 作为国家重大科研项目，对公司现

90、有产品进行升级，HCl品质提升至水分250ppb（成品槽），Fe等单一金属离子杂质100ppt（成品槽）；HF品质提高至水分 500ppb（成品槽），均通过 12英寸晶圆先进制程验证并实现量产。400.00 提升后的高纯氯化氢气体目标是应用于 28 nm以下逻辑工艺SiGe选择性外延生长工艺；高纯氟化氢气体满足 14 nm及以下浅沟道隔离回刻工艺及伪栅氧去除工艺，解决进口替代问题。2 电子级六氟化钨关键技术开发及产业化 作为衢州市科技项目，开发稳定的 6N纯度高纯六氟化钨技术，并应用于产业化装臵。600.00 开发 6N纯度高纯六氟化钨，项目实施后产品品质进一步提升，满足 8英寸，12英寸晶圆

91、制造，从成熟的0.25 um以上到14 nm以下先进工艺中钨穿孔沉积工艺需求。3 一氟甲烷（含氟气体）研发及产业化验证 开发高纯一氟甲烷提纯技术并实现产业化，产品品质达到 4N5 纯度，满足集成电路先进制程刻蚀要求。1,355.00 研发集成电路先进制程用高纯含氟有机气体的制备和纯化技术，产品满足 0.35 um到 14 nm特定刻蚀工艺。4 高纯有机气体在集成电路中的应用开发 为集成电路各工艺端开发配套的测试设备：包括气柜、测试管路设计等，与集成电路厂商生产机台对接，实现生产与测试无缝对接。320.00 根据客户应用需求和客户所处行业的技术要求，在产品应用端进行定制化的技术开发，与集成电路厂

92、商生产机台对接，实现生产与测试零切换，解决产品在客户端使用的技术问题。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 30 公司公司前驱体材料前驱体材料产品产品成功进入客户认证阶段成功进入客户认证阶段 前驱体是半导体制造的核心材料之一，主要应用于薄膜沉积工艺。前驱体是半导体制造的核心材料之一，主要应用于薄膜沉积工艺。半导体前驱体材料是携有目标元素、呈气态或易挥发液态、具备化学热稳定性、同时具备相应反应活性或物理性能的一类物质，主要应用于薄膜沉积工艺（包括物理沉积 PVD、化学气相沉积 CVD和原子气相沉积 ALD），以形成符合半导体制造要求的各类薄膜层、实现不同的电气特性。前驱体也可用于半导体外延生长、

93、刻蚀、离子注入掺杂和清洗等过程，是半导体制造的核心材料之一；也可用于薄膜封装技术（TFE），发挥水汽阻隔、延长有机发光物质寿命的作用，是 OLED工艺的核心技术之一。前驱体前驱体材料市场规模快速增长。材料市场规模快速增长。根据富士经济数据，全球前驱体市场规模从 2014年约 7.50亿美元增至 2019年约 12.00亿美元，复合增长率达 9.86%，富士经济预计 2024年全球前驱体市场规模可达 20.21亿美元，2020-2024年复合增长率达 5.3%。未来随着集成电路先进制程占比上升，在薄膜沉积工艺中起到关键作用的前驱体材料需求将进一步提升。我国是全球半导体前驱体的主要市场之一。根据Q

94、YResearch数据，2021年我国半导体前驱体市场规模达到 5.9亿美元，QYResearch预计 2028年我国半导体前驱体市场规模将达到 11.56亿美元，复合增长率为 10%。图表图表 52.全球前驱体市场规模快速增长，预计全球前驱体市场规模快速增长，预计 2024年将达到年将达到 20.21亿美元亿美元 资料来源：富士经济，中银证券 公司公司生产的前驱体材料主要用于生产的前驱体材料主要用于 CVD 和和 ALD。CVD是指利用气态物质通过化学反应在基底表面形成固态薄膜的一种成膜技术；ALD 是指将气相前驱体材料脉冲交替地通入反应器，并在沉积基体上吸附、反应而形成薄膜的一种技术。CV

95、D 和 ALD 两项技术均是目前应用广泛的薄膜沉积技术，两项技术相比，CVD的沉积速率更快，而 ALD在复杂表面进行沉积的薄膜均匀性和界面质量更好。31 图表图表 53.CVD工艺简图及前驱体应用工艺简图及前驱体应用 图表图表 54.ALD工艺简图及前驱体应用工艺简图及前驱体应用 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 前驱体技术壁垒高，国外企业垄断严重前驱体技术壁垒高，国外企业垄断严重，国产化率极低，国产化率极低。前驱体行业较电子湿化学品、电子特气准入门槛更高，国外企业深耕该领域已久，市场集中度较高。目前前驱体材料生产商基本为海外企业，如德国默克、法国液化

96、空气、美国英特格、日本 Tri Chemical、韩国 Soul-Brain、DNF、Hansol Chemical等。国内在前驱体产品开发方面取得了初步进展，例如南大光电已完成以及正在开发多个前驱体产品；雅克科技通过收购韩国 UP Chemical进入前驱体业务领域，多款产品已在国际知名存储器制造公司中得到应用。目前我国前驱体的产品成熟度仍然很低，与国际先进水平差距很大，国产化率极低。公司公司承担浙江省重点研发项目，产品进入承担浙江省重点研发项目，产品进入客户认证客户认证阶段。阶段。公司于 2020年开始承担集成电路制造用前驱体材料研发项目，目前已掌握 HCDS、BDEAS、TDMAT等前驱

97、体材料的生产制备技术，产品纯度达到 6-7N，能够满足集成电路制造中先进制程（28 nm及以下）采用原子层沉积技术的纯度要求。公司前驱体产品已进入客户端认证环节，成功送样至华虹半导体（无锡）等企业，是国内少数能够进入该领域并完成产品生产的企业之一。32 募投项目：募投项目：拟募集拟募集 15亿元，主要用于潜江年产亿元，主要用于潜江年产 19.6万吨超纯电万吨超纯电子化学品项目子化学品项目 本次募投项目资金主要用于潜江年产本次募投项目资金主要用于潜江年产 19.6 万吨超纯电子化学品项目。万吨超纯电子化学品项目。公司作为国内电子湿化学品领军企业，其电子湿化学领域研发技术、拟扩产的各主要产品均已满

98、足集成电路 8 英寸及以上的品质要求。公司将通过募投项目对电子湿化学品进行开发、扩产，填补国内市场空缺，在政策等外部有利环境的协同推动下，加速电子湿化学品领域高端市场的国产化替代进程。图表图表 55.公司公司募投项目资金用途（万元）募投项目资金用途（万元）序号序号 项目项目名称名称 总投资额总投资额 拟投入募集资金拟投入募集资金 1 中巨芯潜江年产 19.6万吨超纯电子化学品项目 138,000.00 120,000.00 2 补充流动资金 30,000.00 30,000.00 合计合计 168,000.00 150,000.00 资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 图表图表 56.公司公

99、司募集资金投资募集资金投资项目产品方案项目产品方案 序号序号 超纯电子化学品名称超纯电子化学品名称 生产规模（万吨）生产规模（万吨）1 电子级硫酸 8.0 2 电子级氢氟酸 3.0 3 电子级硝酸 3.0 4 电子级氨水 2.5 5 电子级双氧水 2.0 6 电子级异丙醇 1.0 7 电子级混酸 0.1 合计合计 19.6 注：项目分为两期，一期为4万吨/年电子级硫酸、1.25万吨/年电子级氨水；二期为项目其余部分。资料来源：中巨芯招股说明书，中银证券 募投项目有助于公司巩固行业竞争优势和领先地位。募投项目有助于公司巩固行业竞争优势和领先地位。现阶段 8 英寸及以上集成电路用电子湿化学品国产化率较低，而下游需求增速明显，公司在该细分领域研发实力强劲，产品品质位居国内前列，拥有与国际巨头同台竞争的能力。募投项目投产后，将继续巩固公司在电子湿化学品集成电路应用领域的竞争优势与市场领先地位，提升公司市占率，保障公司业绩持续增长。