1、 敬请参阅最后一页特别声明 1 新能源与电力设备组分析师：姚遥（执业 新型金属化助力降本增效，无银时代曙光乍现投资逻辑 短期来看，金属化工艺的变革是未来几年影响新型电池技术生产成本的核心。年内新型电池技术产能加速扩张趋势清晰可见，TOPCon、HJT 等新技术在成本方面虽然已经实现大幅下降，但性价比仍需进一步提升。在金属化工艺中，银浆作为光伏电池生产成本中第二大、非硅成本中第一大的构成项，由于工艺原理的问题，其在新型电池技术中的单耗量相较 PERC 不降反升，成为影响新型电池技术降本速度进而可能影响其产业化进展的重要因素。我们认为，在硅料价格下行的趋势下，金属化工艺的演变路线将成为继电池技术路

2、线纷争之外最值得关注的方向。长期来看，银的贵金属属性导致其难以支撑光伏装机进入 TW 级时代，去银化大势所趋。2021 年起，在平价、疫情、双碳等因素的共同作用下，全球新能源“潜在需求规模”急速扩张，光伏成为全球绝大部分地区最低成本电源的趋势已不可逆转，在各国将“加速清洁能源转型、提升能源独立性”提升到战略诉求高度的背景下，我们认为光伏需求将持续维持高增长，预计中性情境下 2025 年全球光伏新增装机将突破 500GW，CARG 持续维持在 30%以上。但银具有贵金属属性，难以支撑光伏装机的快速增长，长远看少银化、去银化是未来光伏电池发展的必然趋势，金属化在未来几年将会成为光伏降本过程中的焦点

3、环节。本篇报告我们将对于市场上主流的接触式金属化工艺及未来的非接触金属化工艺进行系统性梳理，并且对新型金属化工艺的技术难点、发展情况做深入分析。丝网印刷仍有降本增效空间，预计 2-3 年内仍是金属化工艺路线中的主流。从各厂商光伏电池新技术量产线上的设备选型来看，丝网印刷仍然是不可缺少的环节。从技术本身来看，丝网印刷工艺能够通过对网版材质、栅线图形化等技术细节的优化，在银浆耗量、转换效率方面仍有所突破，短期内难以被取代。非接触式金属化工艺预计 1-2 年内出现大范围、大规模的量产线。近两年新型金属化工艺技术不断突破，主流设备、电池、组件厂商相继布局。考虑到非接触式金属化工艺当前所面临的缺少实证数

4、据支撑、成本较高、量产设备尚未定型等问题，我们预计 2023 年非接触式金属化工艺仍会以各家企业内部研发为主，在量产设备定型后，非接触式金属化工艺有望成为行业主流，从产业实际进度及研发进展来看，铜电镀有望率先实现量产落地。投资建议 建议关注两个方向：当前在接触式金属化环节领先且有电镀工艺储备的头部电池设备厂，重点推荐迈为股份；在非接触式金属化工艺有布局且已有中试设备较为成熟的设备厂商。建议关注芯碁微装、苏大维格、东威科技、罗博特科。风险提示 新技术进展不及预期；行业竞争加剧风险。行业深度研究电力设备与新能源年月日买入维持评级 行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 2 内容目录内容目录 1、金

5、属化工艺为光伏电池制作过程中的重要环节.4 1.1 承上启下，金属化工艺在光伏电池生产制作过程中举足轻重.4 1.2 电池技术加速迭代，推动浆料供应差异化.5 2、接触式金属化工艺，丝网印刷仍为市场主流，改进空间大.7 3、非接触式金属化工艺众望所归，为未来行业趋势.10 3.1 激光转印为较为成熟的非接触式金属化工艺，有望小规模放量.10 3.2 电镀工艺或为下一代金属化环节主流工艺，产业化步伐持续加快.11 3.2.1 铜电镀图形化设备及工艺详解.14 3.2.2 铜电镀电镀设备及工艺详解.17 4、思考：从 HJT 角度看金属化环节走向铜电镀的必然性.18 5、投资建议.19 6、风险提

6、示.21 图表目录图表目录 图表 1：金属化为 PERC、TOPCon、HJT 工艺路线必备环节.4 图表 2：部分元素常温（20）下的电阻率.4 图表 3：银粉在浆料中成本占比情况.4 图表 4：电子导电浆料构成及作用.5 图表 5：光伏银浆进口替代情况.5 图表 6：2021 年中国正面银浆市场格局.5 图表 7：各技术路线对银浆的要求.6 图表 8：当前电池片环节成本结构.7 图表 9：全球光伏用银需求占比（吨，%）.7 图表 10：丝网印刷示意图.7 图表 11：网版参数.8 图表 12：丝网印刷网版变化.8 图表 13：多主栅技术发展路线.9 图表 14：通过焊带演变趋势看主栅宽度变

7、化.9 图表 15：主栅技术市占率变化.9 图表 16：华晟异质结不同版型电池银耗变化.10 图表 17：激光转印原理图.11 图表 18：激光转印技术优势.11 2YkXuZlZvWbWxPvNbRdN7NoMnNnPtQiNrRoMkPnMuNaQmNsMxNqQnRuOmNtN行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 3 图表 19：激光转印对不同类型电池技术银浆耗量的影响.11 图表 20：铜栅线较银栅线拥有多项优势.12 图表 21：铜栅线较银栅线固化后形貌更好.12 图表 22：沪铜指数（人民币/千克）.12 图表 23：沪银指数（人民币/千克）.12 图表 24：电镀铜原理图.13

8、 图表 25：电镀液原材料作用.13 图表 26：铜电镀在电池工艺流程中的位置.14 图表 27：铜电镀总流程.14 图表 28：图形化工艺综合对比.14 图表 29：光刻技术分类.16 图表 30：传统曝光技术与 LDI 区别.16 图表 31：三种图形化方式优缺点对比.17 图表 32：连续垂直电镀示意图.17 图表 33：水平电镀示意图.18 图表 34：电镀技术路线主工艺流程及设备.18 图表 35：不同降本路线假设下 HJT 浆料成本的对比（元/w）.19 图表 36：公司九宫格产品布局.20 图表 37：公司太阳能电极设备及材料处于产业化进程中.20 图表 38：罗博特科首创新型异

9、质结电池铜电镀设备成功交付.21 行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 4 1、金属化工艺为光伏电池制作过程中的重要环节 1 1.1.1 承上启下，金属化工艺在光伏电池生产制作过程中举足轻重承上启下，金属化工艺在光伏电池生产制作过程中举足轻重 金属化工艺是指在太阳能电池的正面和背面制作金属电极，为太阳能电池的电流输金属化工艺是指在太阳能电池的正面和背面制作金属电极，为太阳能电池的电流输出提供通路，通常为光伏电池制作的最后一道工序。出提供通路，通常为光伏电池制作的最后一道工序。这一步骤对电极与硅界面间的接触电阻和黏结强度有重要的影响，无论在哪种电池技术路线下都必不可少。金属化工艺路线的优化本质

10、上是为了通过降低浆料单耗/选用低成本材料实现降本，同时兼顾/提高电池的转换效率和可靠性。图表图表1 1：金金属化为属化为 PERCPERC、TOPConTOPCon、HJTHJT 工艺路线必备环节工艺路线必备环节 来源：国金证券研究所绘制 在金属化工艺过程中，银浆通过烧结/固化与电池片正背面粘合，形成电极。电极与电池 PN 结两端形成欧姆接触，电极由两部分构成，主栅线和细栅线，主栅线负责接连接电池外部引线，输出电流，细栅线起到电流收集并传递到主线的作用。金属化电极浆料经过印刷涂抹在硅片上，经烧结/固化后形成电极。导电浆料是金属化实现的关键材料。由于银的导电性好于大部分金属元素，因此行业内主要选

11、取银浆作为导电浆料。银浆主要由高纯度的银粉、玻璃氧化物、有机原料等成分组成，其组成物质的化学价态、品质、含量、形状、微纳米结构等参数均可能对银浆的性能产生影响。其中：银粉作为导电材料，是正面银浆的主要成分，在原材料成本结构中占比超 97%；玻璃氧化物用作银浆的传输媒介；有机原料是承载银粉和玻璃氧化物的关键组成。图表图表2 2：部分元素常温部分元素常温（2020）下的电阻率下的电阻率 图表图表3 3：银粉在浆料中银粉在浆料中成本成本占比占比情况情况 种类 电阻率（cm）银（Ag）1.5910-6 铜（Cu）1.6810-6 铅（Pb）2.0710-6 金（Au）2.4010-6 铝（Al）2.6

12、510-6 锌（Zn）5.2010-6 镍（Ni）6.8410-6 来源：国金证券研究所整理 来源：聚和股份招股书、国金证券研究所 行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 5 图表图表4 4：电子导电浆料构成及作用电子导电浆料构成及作用 项目项目 主要成分主要成分 作用作用 导电相 银、金、铜等金属及合金或其混合物 传输电流 粘结相 玻璃粉、氧化物晶体或二者混合物 1）作为金属颗粒的载体与硅相连；2）腐蚀氮化硅膜，使金属颗粒与硅片表面形成接触；3）腐蚀硅片，形成良好的欧姆接触 液体载体相 有机载体和水基载体，并以有机载体为主 1）分散粘结相，不使其发生团聚和沉淀；2）保证浆料良好的触变性，从而

13、得到高的栅线分辨率和窄的栅线宽度 来源：晶体硅太阳能电池丝网印刷工艺的研究、国金证券研究所 1 1.2.2 电池技术加速迭代，推动浆料供应差异化电池技术加速迭代，推动浆料供应差异化 年内新型高效电池技术正式步入产业化元年，TOPCon、HJT、IBC 等电池技术在效率、成本等方面均有突破。由于不同电池之间对于银浆的需求存在很大差异性，因此银浆产品也需要顺应新技术的迭代来进行差异化改动，比如温度、配方等。在此背景下，TOPCon高温银浆、HJT 低温银浆等产品加速放量。传统 PERC 银浆正面采用高温银浆，背面使用银铝浆。正面银浆起汇集、输出载流子的作用，对浆料的导电性能要求高。背面银铝浆为电池

14、片提供背面汇流及焊接点，对导电能力要求相对低。正面银浆国产化程度高，可以基本满足光伏电池的生产要求。中国正面银浆生产企业经过数十年发展，迅速崛起，市场份额不断提升。根据 CPIA统计，2021 年国产正面银浆替代达到 61%，帝科股份、苏州固锝、聚和股份三大企业占国内近一半市场，行业集中度高，预计 2022 年国产正银市场份额将进一步提升。图表图表5 5：光伏银浆进口替代情况光伏银浆进口替代情况 图表图表6 6：2 202021 1 年中国正面银浆市场格局年中国正面银浆市场格局 来源：CPIA、国金证券研究所 来源：CPIA、wind、国金证券研究所 TOPCon 电池双面均使用纯银浆：目前

15、TOPCon 用银浆与 PERC 正银都为高温银浆，即在 500以上烧结得到。但基于 TOPCon 引入了不同于 PERC 的多晶硅钝化层，对金属化浆料也提出了更高的性能要求。太阳能电池的电学损失包括欧姆损失和复合损失。银浆（金属）与钝化层（半导体）的接触可以形成欧姆接触，这是一种电阻非常小的接触，因此浆料应该被设计去保证较宽的欧姆接触窗口，实现更低的接触电阻；但金半接触会促进载流子复合，影响电池效率。综上，TOPCon 电池用银浆在效率层面需要平衡两个损失的关系。TOPCon 发电“原动力“N 型硅片表面硼扩形成 P 型发射极（PN 结）。发射极的轻度扩散可使电池片获得更高的方阻，提高开路电

16、压、短路电流、转换效率等基本参数。硼扩的均匀性问题要求银（铝）浆增大 Ag 和 Al 的接触窗口，保证电流输运性能；但扩散方阻值越高，银浆烧结的均匀性变差，对正面钝化层和 PN 结的损伤加剧。综上，TOPCon 电池用银浆在 PN 结层面需要平衡方阻与损伤的关系。HJT 电池正背面使用低温纯银浆：HJT 电池结构简单对称，在 N 型硅片的双面用非晶硅做钝化，再生长透明氧化层（TCO）。基于以上特殊的薄膜结构，HJT 用银浆与 TOPCon和 PERC 最大的差别就是浆料的烧结温度低（50um 工艺步骤简单；设备成本低；图形开口尺寸难以降低 干膜、曝光、显影 较高 干膜-曝光-显影机，设备需求高

17、 较复杂 20-25um 设备需求高；图形化精度高；开口尺寸小；成本高、良品率低 湿膜、曝光、显影 较低 印刷-曝光-显影 较简单 15um 设备可整合成掩膜机（印-曝光-显影）；成本低、良品率高 来源：国金证券研究所绘制 行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 15 在图像化阶段，无论使用干膜 or 湿膜，曝光都是必不可少的一个步骤，相关光刻设备也是目前整个电镀铜工艺中研发难度最大、价值量最大的环节。根据是否需要使用掩模版，可以将光刻分为掩膜光刻和直写光刻。掩膜光刻即需要掩膜版对图案部分进行保护，经过 PCB 领域的多年发展，目前可分为接近/接触式光刻、光学投影式光刻。接近/接触式光刻是最成

18、熟的光刻技术，使用汞灯作为光源，利用电极控制掩模版和衬底之间的间隙调节接触方式，调整掩模版和衬底相对位置和角度实现对准曝光。相比接触式对材料和掩模版的污染，接近式中掩模版与衬底保持约 10um 的距离，在保证材料质量的同时延长了掩模版的使用寿命，但其分辨率较低，工业生产中一般只在3um 以上不需要高分辨率的情况下使用。投影式光刻使用汞灯或紫外激光作为光源，采用透镜成像原理，通过光学投影系统，将图形转移至衬底上，进一步提高了掩模版和基片之间的距离，避免物理接触。这一原理也使得掩模版和衬底的大小不需要再是 1：1，以此又衍生出步进式光刻。步进式可适配大尺寸基片，保持透镜尺寸不变，通过调整掩模版和衬

19、底的尺寸比例为 n：1（n 一般为 4 或 5），再将基片分为几个小区域，先曝光一个区域，结束后通过步进器只需调整基片位置，使下一个区域对准曝光位置，进行曝光即可。投影式光刻的分辨率为 0.25m1um，在精度、产能方面能满足大多数制程需求，是当前的主流光刻技术之一。直写光刻将掩膜和曝光结合，不需要掩模版转移图形，用计算机控制的高精度光束聚焦投影至涂覆有感光材料的基材表面上，直接进行扫描曝光。省去多个环节，节省时间成本，提高工作效率。根据辐射源的不同，分为带电粒子直写光刻、光学直写光刻。带电粒子直写光刻的辐射源选用电子束或离子束。高能电子波长短，分辨率高，可用于纳米尺度的微细结构加工，但电子束

20、发射器成本昂贵，难以精准控制刻蚀深度，需要先长时间积累高能电子再进行作业，不适合量产需求。离子质量大，可以减小邻近效应，但穿透深度不够，能量分散，导致分辨率较低。光学直写光刻主要是指激光直接成像技术（Laser direct imaging，LDI），通过光学反射原理获得大量激光束同时进行扫描，分辨率 100nm500nm，且可以实现高速的无掩膜光刻，图像解析度高，在光伏领域使用，可匹配细线化，提升产品良率，满足量产需求。LDI 的核心零部件是 DMD 数字微镜。其主要原理是利用计算机把对应的光刻图案输至DMD 芯片中，DMD 微镜阵列根据光刻图案调整对应的微镜转角，同时准直光源照射至DMD

21、微镜阵列表面，产生与光刻图案相符的光图像，光图像通过投影曝光镜头成像至基材表面，基材在受控的运动平台上完成多次往返扫描运动和图形拼接，实现任意图形的高精度光刻。行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 16 图表图表2929：光刻技术分类光刻技术分类 来源：芯碁微装招股说明书、国金证券研究所绘制 图表图表3030：传统曝光技术与传统曝光技术与 LDILDI 区别区别 传统曝光技术传统曝光技术 LDILDI 激光直写技术激光直写技术 光刻精度光刻精度 受限于底片的图形解析能力，光纤经底片透射后发生角度变化、底片与基板贴合的平整度等因素，影响线宽解析能力，目前曝光精度30um 无需底片，解析能力由微

22、镜尺寸及镜头缩放倍率决定，可以实现10um 精度的线宽 对位精度对位精度 底片吸收光致热，产生热膨胀，影响对位精度 根据基板的标记点直接测量实际型变量，实时修改曝光图形，避免底片热膨胀问题，对位精度高 良品率良品率 因使用底片，光刻精度、对位精度较低，影响产品良率 避免底片使用中带来的缺陷，光刻、对位精度高，因此良率高 生产节拍生产节拍 需要对位摆放底片，拉长了工艺流程 直接曝光，生产节拍高 直接生产成本直接生产成本 底片使用寿命数千次，底片耗材及相应的动力人工成本 节约了底片的物料、人工、动力成本 自动化水平自动化水平 自动化水平略低，人工环节多、成本高 自动化水平高，减少了人为因素带来的生

23、产质量问题 来源：芯碁微装招股书、国金证券研究所绘制 行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 17 图表图表3131：三种图形化方式优缺点对比三种图形化方式优缺点对比 干膜干膜+汞灯汞灯 湿膜湿膜+汞灯汞灯 湿膜湿膜+LDI+LDI 优点优点 PCB、显示屏行业应用广 工艺成熟度高 汞灯曝光设备成熟 油墨成本低 设备投资低 产能大 集成成熟印刷设备 油墨成本低 精度高，利用提高效率 无需掩模版 单片成本低 缺点缺点 干膜成本高 自动化摆片精度要求高 易产生皱膜、偏移等不良 需用掩模版等易耗品 设备投资成本高 产能较低 高产能的设计方案不成熟 油墨残留 包边工艺难 单面曝光 自动化要求高 产能低

24、 汞灯为接触式曝光 暂时无工艺方案 油墨残留 边缘曝光难 单面曝光 来源：国金证券研究所整理 3 3.2 2.2.2 铜电镀铜电镀电镀设备及工艺电镀设备及工艺详解详解 按照电池片悬挂方式分类，按照电池片悬挂方式分类，目前主要的电镀铜技术目前主要的电镀铜技术包括包括垂直电镀和水平电镀。垂直电镀和水平电镀。光伏行业的电镀技术承袭自 PCB 电镀铜，垂直电镀技术使用导电性能良好的挂具悬挂电池板，使其浸没在电镀液中作为阴极。后为适应光伏行业需求，进行了一定的改良，并衍生出连续垂直电镀。改良后的垂直电镀采用夹点式接触，即挂具和电池板为点接触，减小了挂具对电池片的遮挡面积。连续垂直电镀工艺不含去膜和镀/化

25、锡工序，增加对挂具的清洗工序，结构简单，操作方便；可兼容多种尺寸的电池片；槽体大，液面相对平稳，保障电镀过程稳定。图表图表3232：连续垂直电镀示意图连续垂直电镀示意图 来源：罗博特科官网，国金证券研究所绘制 垂直电镀技术在光伏行业中的应用表现出一些“水土不服“现象：电池片上难以做夹点；电池片本身太薄，影响碎片率；自动化困难等。在垂直电镀的基础上，水平电镀技术延伸发展。水平电镀技术使用导电辊将电池板沿平行于电镀液液面方向传送，不需要做夹点；对电池片尺寸厚度没有要求；电镀均匀性更好；且电镀传送速度快，符合光伏量产需求。水平电镀技术成为各厂商研究的重点方向，包括太阳井、捷德堡在内，未来有望成为主流

26、电镀技术。行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 18 图表图表3333：水平电镀示意图水平电镀示意图 来源：罗博特科官网，国金证券研究所绘制 图表图表3434：电镀技术路线主工艺流程及设备电镀技术路线主工艺流程及设备 来源：国金证券研究所绘制 4、思考：从 HJT 角度看金属化环节走向铜电镀的必然性 电镀铜和 HJT 电池的升级逻辑一致。HJT 电池制程简单，工艺成本低，工艺过程中的效率损失小，实际可实现的光电转换效率更高；电镀铜以纯铜作电极实现去银化，金属导电率也明显优于引入了有机溶剂的低温银浆/银包铜方案，两者均是从降本和增效的双重路径进行技术迭代。此外，透明导电层（TCO）的技术发展也

27、使得电镀铜在 HJT 电池制备中成为更有优势的金属化工艺。HJT 电池电极直接接触 TCO 层，与 PN 结和载流子输运区域无直接关系，TCO 作为连通太阳能电池光生伏特效应和输出的重要桥梁，承担着透光和导电的双重作用。TCO 层的材料选择以低电阻、高透过为基本要求，目前市场上普遍使用氧化铟锡（ITO）。ITO 通过在氧化铟中掺杂锡制备得到，是透明导电薄膜领域应用较为成熟的材料，但在光伏应用上存在 3 个明显缺点：1、元素铟资源稀有，价格昂贵；2、铟锡氧化物微毒，在产业化过程中对人体和环境都会造成危害；3、刻蚀艰难，绒面结构难以实现，导致光散射能力较差。因此，光伏行业 TCO 去铟化进程更多是

28、在透明导电材料选择上的迭代，而非 ITO 掺杂成分或含量上的更新。铝掺杂的氧化锌（AZO）是目前便宜无毒，光电性能可媲美 ITO，在太阳能电池中最具发展潜力的透明导电材料。虽然 AZO 的电阻率始终比 ITO 大 1 个数量级，但其高透射率窗口比 ITO 宽，随膜厚变化较小，光学性能更优，在厚度允许的情况下，两者的品质因子可达到相同数量级，即光电综合性能相当。在 AZO 作为透明导电层的未来，电镀铜工艺能更好地保证转换效率。行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 19 电镀铜工艺降本增效实力强劲，设备成本仍有突破空间。电镀铜金属化环节成本主要包括设备成本、掩膜成本（假设为低成本湿膜路线）、添加

29、剂成本和其他成本。根据目前电镀铜产业化进度，我们假设应用于 HJT 电池片的电镀铜前道设备 6000 万元/GW，后道设备 9000 万元/GW，设备折旧期限为十年。根据调研口径，目前电镀铜湿膜成本约为 0.03元/w，添加剂成本为 0.02-0.03 元/w，按以上假设，我们测算目前电镀铜环节总成本可达0.08 元/w，较当前 HJT 浆料单瓦成本节约 4 分钱，与 55 开银包铜路线的降本程度持平。但考虑到电镀铜环节实际所带来的效率提升，实际成本预计将低于银包铜+0BB 方案。电镀铜产业化目前仍面临产能不足、良率低、设备及湿膜成本较高等问题，预计后续技术将继续攻克痛点，设备和湿膜成本有望降

30、低，叠加薄片化等技术为 HJT 工艺带来更大的降本空间。图表图表3535：不同降本不同降本路线路线假设下假设下 HJTHJT 浆料成本的对比（元浆料成本的对比（元/w/w）来源：solarzoom、国金证券研究所测算 异质结友好型的钙钛矿叠层技术备受认可。基于当前晶硅电池成熟的市场环境和对钙钛矿可靠性的质疑，钙钛矿/晶硅叠层电池相比纯钙钛矿电池更容易被市场接受。在 N 型电池新技术中，TOPCon 结构复杂，叠加钙钛矿需要去除绝缘的氧化铝，将氮化硅改为透光性较差的 TCO，这使得 TOPCon 失去了本身的高电流优势；HJT 结构对称、工艺简洁，本身结构中的 TCO 层也与钙钛矿适配，因此异质

31、结和钙钛矿的叠层方案更为理想。根据 HJT对栅线导电率和电池效率的追求，钙钛矿/HJT 叠层电池的正背面栅线工艺也必然走向电镀铜。电镀铜同样也是纯钙钛矿电池栅线降本路径。环境对钙钛矿材料长期性的制约使得纯钙钛矿电池必须表现出远超晶硅的光电转换效率才能获得市场的进一步认可，除了材料本身的高效率优势外，在电流输运效率也极为关键。考虑到成本和稳定性的需求，单结钙钛矿电池的 TCO 层材料多选用 FTO，其光电性能相比 ITO 并不具有优势，此时就对栅线的导电性和稳定性提出了更高的要求，因此电镀铜无疑是纯钙钛矿电池金属化降本的必由之路。5、投资建议 建议关注两个方向：当前在接触式金属化环节领先且有电镀

32、工艺储备的头部电池设备厂，重点推荐迈为股份；在非接触式金属化工艺有布局且已有中试设备较为成熟的设备厂商。建议关注苏大维格、芯碁微装、东威科技、罗博特科。迈为股份：丝网印刷设备领军者，HJT 设备技术开拓者。公司主营太阳能电池丝网印刷生产线成套设备，构建九宫格产品矩阵，多层次、立体化布局光伏、显示、半导体三大领域。在 HJT 设备方面，自 2019 年 1 月启动 HJT PECVD 及其配套设备，迈为先后首创性地研制了第一代产能 200MW、第二代产能 400MW、第三代产能 600MW 的 PECVD 整线设备，2022 年市占率超过 80%。2022 年 9 月，迈为股份联合澳大利亚金属化

33、技术公司 SunDrive采用迈为自主创新的可量产微晶设备技术和工艺研制的全尺寸(M6，274.5cm)N 型晶硅异质结电池，其转换效率高达 26.41%。该电池片电极由 SunDrive 在其无种子层电镀设备上行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 20 完成。通过不到一年的技术迭代及工艺优化，双方联合开发的无银异质结电池转换效率屡次获ISFH认证，从25.54%迅速攀升至26.41%。目前公司在铜电镀技术中有整线方案储备。图表图表3636：公司九宫格产品布局公司九宫格产品布局 来源：迈为股份官网，国金证券研究所 苏大维格：纳米压印光刻龙头，横向切入光伏电镀铜及激光转印环节。公司是国内领先的

34、微纳结构产品制造和技术服务商，相继开发多个系列覆盖纳米级和微米级的光刻机与压印设备，产品涉及公共安全、新型印材、消费电子新材料等领域。公司近年来切入光伏设备领域，公司自行开发的光伏铜电镀曝光设备采用了掩模投影曝光的方式，有利于协助下游厂商的降本增效。目前，公司正在积极与光伏厂商进行深度对接和测试。图表图表3737：公司公司太阳能电极设备及材料处于产业化进程中太阳能电极设备及材料处于产业化进程中 来源：苏大维格年报，国金证券研究所 芯碁微装：国内直写光刻设备龙头。公司以直写光刻技术展开产品布局，深耕 PCB及泛半导体领域，是国内少数在光刻技术领域里拥有关键核心技术，并具有全球竞争力的相关设备供应

35、商。公司 2021 年切入光伏电镀铜环节，截至目前，公司已实现了在实验室条件下满足 5m 以下线宽的铜栅线曝光需求的直写光刻设备产业化；同时提供量产线实现最小 15m的铜栅线直写曝光方案，产能达到 6,000 片/小时、对位精度10m，不但可以满足 HJT的应用，也可满足 XBC 高效电池的高对位要求，并支持 210mm 的整片和双半片光伏电池的制造。东威科技：垂直电镀技术代表设备厂商。公司主营业务为高端精密电镀设备，涉及PCB、五金、动力电池及光伏多个领域，在行业内率先实现 VCP 电镀设备设计标准化、生行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 21 产流程化和产业规模化。与国电投达成战略合作

36、，光伏铜电镀产业化进程开启。2023 年 1 月，公司宣布与国电投签订战略合作框架协议，将于 2023 年 7 月份向国电投提供 1 台铜电镀样机。根据公司公告，公司第三代垂直连续硅片电镀设备相较于 2022 年初的第二代设备相比，成本更低、性能更优，产能可达 8000 片/小时。罗博特科：光伏电池全产业链智能制造，电镀设备成功交付。公司实行新能源光伏+泛半导体双主业发展，产品主要应用于光伏电池领域，覆盖制绒到电镀、清洗的完整链条。2021 年公司开始光伏电池电镀铜技术垂直连续电镀设备的研发，2022 年 12 月公司完成首台 HJT 电镀设备交付。2023 年 1 月与国电投签订 HJT 电

37、镀铜 VDI 解决方案战略合作框架协议，有望为公司打开新的业务增长点。图表图表3838：罗博特科首创新型异质结电池铜电镀设备成功交付罗博特科首创新型异质结电池铜电镀设备成功交付 来源：罗博特科官方公众号、国金证券研究所 6、风险提示 新技术进展不及预期：非接触式金属化工艺尚处于行业萌芽阶段，若后续降本增效进展受阻，则会导致新技术产业化进程延后，进而对公司远期业绩造成影响；行业竞争加剧风险：金属化工艺为光伏电池制造端必备环节，若出现新进入者涌入情况，则会导致行业格局恶化、竞争加剧，进而对公司盈利产生影响。行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 22 行业行业投资评级的说明：投资评级的说明：买入：

38、预期未来 36 个月内该行业上涨幅度超过大盘在 15%以上；增持：预期未来 36 个月内该行业上涨幅度超过大盘在 5%15%；中性：预期未来 36 个月内该行业变动幅度相对大盘在-5%5%；减持：预期未来 36 个月内该行业下跌幅度超过大盘在 5%以上。行业深度研究 敬请参阅最后一页特别声明 23 特别声明：特别声明：国金证券股份有限公司经中国证券监督管理委员会批准，已具备证券投资咨询业务资格。本报告版权归“国金证券股份有限公司”（以下简称“国金证券”）所有，未经事先书面授权，任何机构和个人均不得以任何方式对本报告的任何部分制作任何形式的复制、转发、转载、引用、修改、仿制、刊发，或以任何侵犯本

39、公司版权的其他方式使用。经过书面授权的引用、刊发，需注明出处为“国金证券股份有限公司”，且不得对本报告进行任何有悖原意的删节和修改。本报告的产生基于国金证券及其研究人员认为可信的公开资料或实地调研资料，但国金证券及其研究人员对这些信息的准确性和完整性不作任何保证。本报告反映撰写研究人员的不同设想、见解及分析方法，故本报告所载观点可能与其他类似研究报告的观点及市场实际情况不一致，国金证券不对使用本报告所包含的材料产生的任何直接或间接损失或与此有关的其他任何损失承担任何责任。且本报告中的资料、意见、预测均反映报告初次公开发布时的判断，在不作事先通知的情况下，可能会随时调整，亦可因使用不同假设和标准

40、、采用不同观点和分析方法而与国金证券其它业务部门、单位或附属机构在制作类似的其他材料时所给出的意见不同或者相反。本报告仅为参考之用，在任何地区均不应被视为买卖任何证券、金融工具的要约或要约邀请。本报告提及的任何证券或金融工具均可能含有重大的风险，可能不易变卖以及不适合所有投资者。本报告所提及的证券或金融工具的价格、价值及收益可能会受汇率影响而波动。过往的业绩并不能代表未来的表现。客户应当考虑到国金证券存在可能影响本报告客观性的利益冲突，而不应视本报告为作出投资决策的唯一因素。证券研究报告是用于服务具备专业知识的投资者和投资顾问的专业产品，使用时必须经专业人士进行解读。国金证券建议获取报告人员应

41、考虑本报告的任何意见或建议是否符合其特定状况，以及（若有必要）咨询独立投资顾问。报告本身、报告中的信息或所表达意见也不构成投资、法律、会计或税务的最终操作建议，国金证券不就报告中的内容对最终操作建议做出任何担保，在任何时候均不构成对任何人的个人推荐。在法律允许的情况下，国金证券的关联机构可能会持有报告中涉及的公司所发行的证券并进行交易，并可能为这些公司正在提供或争取提供多种金融服务。本报告并非意图发送、发布给在当地法律或监管规则下不允许向其发送、发布该研究报告的人员。国金证券并不因收件人收到本报告而视其为国金证券的客户。本报告对于收件人而言属高度机密，只有符合条件的收件人才能使用。根据证券期货

42、投资者适当性管理办法，本报告仅供国金证券股份有限公司客户中风险评级高于 C3 级(含 C3 级）的投资者使用；本报告所包含的观点及建议并未考虑个别客户的特殊状况、目标或需要，不应被视为对特定客户关于特定证券或金融工具的建议或策略。对于本报告中提及的任何证券或金融工具，本报告的收件人须保持自身的独立判断。使用国金证券研究报告进行投资，遭受任何损失，国金证券不承担相关法律责任。若国金证券以外的任何机构或个人发送本报告，则由该机构或个人为此发送行为承担全部责任。本报告不构成国金证券向发送本报告机构或个人的收件人提供投资建议，国金证券不为此承担任何责任。此报告仅限于中国境内使用。国金证券版权所有，保留一切权利。上海上海 北京北京 深圳深圳 电话： 传真： 邮箱： 邮编：201204 地址：上海浦东新区芳甸路 1088 号 紫竹国际大厦 7 楼 电话： 邮箱： 邮编：100005 地址：北京市东城区建内大街 26 号 新闻大厦 8 层南侧 电话： 传真： 邮箱： 邮编：518000 地址：中国深圳市福田区中心四路 1-1 号 嘉里建设广场 T3-2402