1、 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。1 证券研究报告 科技科技 半导体设备：机会和挑战并存的一年半导体设备：机会和挑战并存的一年 华泰研究华泰研究 电子电子 增持增持 (维持维持)半导体半导体 增持增持 (维持维持)研究员 黄乐平，黄乐平，PhD SAC No.S0570521050001 SFC No.AUZ066 +(852)3658 6000 研究员 丁宁丁宁 SAC No.S0570522120003 +(86)21 2897 2228 研究员 刘溢刘溢 SAC No.S0570522070002 +(86)21 2897 2228 行业行业走势图走势图 资料

2、来源：Wind，华泰研究 重点推荐重点推荐 股票名称股票名称 股票代码股票代码 目标价目标价 (当地币种当地币种)投资评级投资评级 拓荆科技 688072 CH 339.60 买入 盛美上海 688082 CH 126.50 买入 北方华创 002371 CH 375.20 买入 华海清科 688120 CH 298.30 买入 资料来源：华泰研究预测 2023 年 2 月 21 日中国内地 专题研究专题研究 半导体设备：机会和挑战并存的一年半导体设备：机会和挑战并存的一年 半导体行业自 2022 年初进入下行周期，2023 年对于设备板块挑战与机遇并存。1）SEMI 预计 2023 年全球半

3、导体设备市场规模将同比减少 16.0%至 912亿美元。2）2022 年 10 月 7 日美国商务部宣布修订出口管理条例，受此影响，22 年 11 月中国半导体制造设备进口额显著下滑至 18.76 亿美元（同比-42.63%，环比-7.91%），我们预测 2023 年中国大陆半导体设备资本开支下滑 31.5%。3）在内因及外因推动下，下游厂商加快国产设备认证，我们看好拓荆科技、盛美上海、北方华创、华海清科等受益于国产化率提升带来的投资机会。挑战挑战 1#：SEMI 预计预计 2023 年全球半导体设备规模同比减少年全球半导体设备规模同比减少 16.0%受下游需求及宏观经济转弱影响，半导体自 2

4、H22 进入下行周期，台积电、美光等半导体制造商宣布削减 2023 年资本开支，SEMI 预计 2023 年全球半导体设备市场规模将同比减少16.0%至 912 亿美元，而 2024 年恢复成长 17.6%至 1071.6 亿美元。Lam Research 预估 2023 年的 WFE（晶圆厂设备）市场规模将从 2022 年的 950 亿美元衰退至 750 亿美元，约为 21%跌幅，其中存储行业的强周期属性，因此受到终端消费、景气的影响更甚逻辑设备，NAND设备支出衰退幅度将会超过 DRAM 设备支出。挑战挑战 2#：美：美国出口管制新规进一步发酵，中国国出口管制新规进一步发酵，中国 2023

5、 年半导体资本开支下滑年半导体资本开支下滑 2022 年 10 月 7 日国商务部宣布修订出口管理条例，受美国禁令影响，22年 10 月中国半导体制造设备进口额显著下滑至 20.37 亿美元（同比-22.81%，环比-31.30%），11 月份持续削减至 18.76 亿美元，同比锐减42.63%，环比下滑 7.91%，创 2020 年 5 月以来新低。2023 年，我们预计中芯国际、虹仍逆周期保持较高资本开支步伐，但是由于供应链中断，长江存储自主技术进展与量产能力将受阻碍，可能推迟部分产线的建设。我们预测 2023 年中国大陆地区半导体设备资本开支下滑 31.5%，仍有望接近 200亿美元，2

6、024 年同比提升 32.5%。机遇：外因机遇：外因+内因进一步催化国产替代加速内因进一步催化国产替代加速 半导体设备国产化率仍有提升空间，我们预计 2022 年国内半导体设备市场国产化率在 13%左右。当前干法刻蚀、清洗、去胶设备等均已实现较高国产化率，CMP、薄膜沉积、量测等设备成熟制程均有产品推出。国内尚未获得突破的设备主要为光刻设备，另外，28nm 及以下薄膜沉积、刻蚀、量测检测、离子注入和涂胶显影等环节国产设备仅覆盖部分步骤。在内因及外因推动下，下游厂商加快国产设备认证，我们看好增量空间较大如刻蚀、CVD等领域，以及此前国产化率较低量测、涂胶显影等设备国产化率提升。板块估值或已板块估

7、值或已消化消化资本开支下行预期，建议关注政策催化以及国产化突破资本开支下行预期，建议关注政策催化以及国产化突破 自 10 月 7 日美国宣布出口管制条例后，设备板块估值下滑，根据 Wind一致市场预期，当前时点设备板块估值中枢为 9.9 倍 23 年 PS，我们认为当前半导体设备板块估值或已消化资本开支下滑预期。在目前板块整体估值水平不高的情况下，市场主要关注美对华出口管制后续进展以及中国对半导体扶持政策落地。我们建议投资者关注（1）所处赛道空间广阔的单一设备厂商如拓荆科技受益于国产率提升带来的业绩高弹性。（2）持续扩张新品类如盛美上海、北方华创、华海清科未来成长性。风险提示：中美贸易摩擦升级

8、，半导体周期下行。(35)(25)(14)(4)7Feb-22Jun-22Oct-22Feb-23(%)电子半导体沪深300 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。2 科技科技 SEMI 预测预测 2023 年半导体设备市场规模同比下滑年半导体设备市场规模同比下滑 16%SEMI 预计预计 2023 年全球半导体设备市场规模同比下滑年全球半导体设备市场规模同比下滑 16%至至 912 亿美元，而亿美元，而 2024 年恢复年恢复成长成长17.6%至至1071.6亿美元。亿美元。半导体设备行业的核心增长驱动力是下游晶圆厂的资本开支，由于半导体行业的强周期属性，晶圆厂的扩产节

9、奏及资本开支同样也呈现较强的周期性特征，带动半导体设备行业呈现一定的周期性。近年来，随着先进制程投资比例逐步加大，以及本地建厂的趋势兴起，全球半导体设备市场的周期性有所减弱，呈现波动上行的趋势。在经历了 2020-21 年高昂的资本开支后，SEMI 预计 2022 年全球半导体设备市场规模仍有望同比增长 5.9%至 1,085 亿美元。但受下游需求及宏观经济转弱影响，半导体自 2H22 进入下行周期，台积电、美光等半导体制造商宣布削减 2023 年资本开支，SEMI 预计 2023年全球半导体设备市场规模将同比减少 16.0%至 912 亿美元，而 2024 年恢复成长 17.6%至 1071

10、.6 亿美元。图表图表1：全球半导体设备市场规模全球半导体设备市场规模 资料来源：Gartner，SEMI,华泰研究 海 外 半 导 体 设 备海 外 半 导 体 设 备 4Q4Q 业 绩 增 速 放 缓，对业 绩 增 速 放 缓，对 2323 年 指 引 保 守。年 指 引 保 守。4Q22 ASML/Lam Research/AMAT/KLA/Teradyne 分别实现营业收入 56.6/52.8/67.5/29.8/7.3 亿美元，同比+28.5%/+24.9%/+10.2%/+26.8%/-17.3%，环比+11.2%/+4.0%/+3.5%/+9.5%/+11.5%，均在前期财测指引

11、之内，其中前道设备厂 AMAT 说明获利降低系原先替中国客户提供的特定库存受到禁令影响所致，后道设备厂中 Teradyne 则因占比较高的记忆体终端导致收入下滑明显；毛利率依旧维持高位，分别为 51.8%/45.0%/46%/60.9%/57.5%。ASML/Lam Research/AMAT/KLA/Teradyne 分别给出 6670/3541/62.6/2225/5.56.3 亿美元的23Q1 收入指引。半导体设备厂商均下调半导体设备厂商均下调 20232023 全年全年 WFEWFE 预测。预测。随着景气下行，半导体制造巨头相继削减 23年资本开支同时由于美国对华出口管制新规，各设备厂

12、商面临不同程度的收入压力，中国区收入占比高的厂商后续受影响尤其严重。Lam Research 特别提到了其预估 2023 年的WFE（晶圆厂设备）市场规模将从 2022 年的 950 亿美元衰退至 750 亿美元，约为 21%跌幅，这与 SEMI 预估的-16.9%大致吻合，公司提到衰退的主因是存储行业，由于存储行业的强周期属性，因此受到终端消费、景气的影响更甚逻辑设备，其中公司指出 NAND 设备支出衰退幅度将会超过 DRAM 设备支出。-100%-50%0%50%100%150%200%0204060809889419951

13、99692000200042005200620072008200920000022E2023E全球半导体设备销售额半导体设备销售额同比增速（右）1987-1995，6寸晶圆开始替代4寸晶圆，PC与家电为主要需求驱动力1995-2000，手机和通讯带动半导体需求提升，8寸晶圆开始替代6寸晶圆，迎来扩产期2000年年互联网泡沫破裂，产能过剩导致两年倒退，2004年起12寸晶圆带动新一轮扩产潮2007-2011，智能手机需求爆发，12寸晶圆厂产能扩张2011-2015，

14、全球经济出现疲软，智能手机销量增速出现下滑2016-2018，数据中心与智能手机对存储器需求增加。2019，行业短暂进入下行周期(十亿美元)2020年后，年后，全球半导体进入上行周期，资本开支大幅提升2023年年主要代工厂及存储厂下修资本开支强周期性强周期性波动上行波动上行 kUhUtVsUmWdU9WbWrUfW7N8Q9PmOqQnPnOkPnNnPlOtRpNaQnNwPMYtQnMxNoMxO 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。3 科技科技 图表图表2：海外设备公司业绩一览海外设备公司业绩一览 资料来源：Gartner，SEMI,华泰研究 A 股设备公司股设备

15、公司 Q4 业绩基本符合或略超市场预期，仍维持高速增长。业绩基本符合或略超市场预期，仍维持高速增长。从业绩侧角度，不同于海外半导体公司 3Q21 以来营收增速的逐步下滑，国内半导体公司营收持续保持高速增长，1Q22/2Q22/3Q22国内半导体设备公司营收同比增速分别达到 87%/133%/78%，4Q 预告普遍维持 50%以上高增速。毛利率方面，19-22 年国内设备公司稳中有升，受益于规模效应和费用管控，公司整体盈利水平改善，4Q 预告利润增速显著高于收入增速。免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。4 科技科技 图表图表3：A 股设备公司业绩一览股设备公司业绩一览 资

16、料来源：Wind,华泰研究 美国对中国限制愈演愈烈，政策问题成为设备板块重要影响因素美国对中国限制愈演愈烈，政策问题成为设备板块重要影响因素 美国 2022 年出台芯片和科技法案，法案禁止出口 14nm 及以下制程设备，并禁止未获许可的美国公民在中国从事芯片开发或制造工作。除此之外，10 月以来多家企业入列实体清单，包括长江存储、合肥万亿芯、寒武纪、深圳鹏芯微、上海微电子等。长江存储列入美国实体清单，未来 232 层 NAND Flash 高层数制程发展遭到锁喉；上海微作为国内光刻机先行者，目前 SSX600 系列光刻机仍停留在 90nm，美对上海微的限制使中国芯片 28nm甚至 45nm 全

17、设备国产化进程受到阻碍。图表图表4：美国禁令限制中国半导体行业发展美国禁令限制中国半导体行业发展 资料来源：华泰研究 1Q212Q213Q214Q211Q222Q223Q22 4Q22预告中位数收入（亿元）688072.SH 拓荆科技0.60.52.63.81.14.24.76.9688082.SH 盛美上海2.83.54.65.33.57.48.88.2688120.SH 华海清科1.21.72.52.63.53.74.24.8300604.SZ长川科技2.93.84.04.45.46.55.7N.A.002371.SZ北方华创14.221.825.735.121.433.145.745.4

18、688012.SH 中微公司6.07.47.310.49.510.210.717.0688200.SH 华峰测控1.22.13.12.42.62.82.4N.A.688037.SH 芯源微1.12.42.02.81.83.23.94.6603690.SH 至纯科技2.36.93.68.05.55.78.1N.A.收入同比增速688072.SH 拓荆科技0%0%0%0%86%658%79%81%688082.SH 盛美上海0%0%0%33%29%112%91%54%688120.SH 华海清科0%0%0%0%193%111%66%84%300604.SZ长川科技160%85%117%46%82%

19、72%43%N.A.002371.SZ北方华创52%76%55%58%50%51%78%29%688012.SH 中微公司46%30%47%30%57%39%46%64%688200.SH 华峰测控36%111%188%130%124%35%-24%N.A.688037.SH 芯源微1230%340%31%141%62%35%100%65%603690.SH 至纯科技104%69%52%26%137%-17%123%N.A.净利润（亿元）688072.SH 拓荆科技-0.1-0.10.80.1-0.11.21.31.3688082.SH 盛美上海0.40.50.61.20.02.32.02.2

20、688120.SH 华海清科0.40.30.80.50.90.91.61.3300604.SZ长川科技0.50.50.40.80.91.60.81.5002371.SZ北方华创0.82.93.94.32.56.39.94.8688012.SH 中微公司1.42.61.54.71.23.53.23.5688200.SH 华峰测控0.31.21.61.31.21.51.1N.A.688037.SH 芯源微0.10.30.20.20.30.40.70.5603690.SH 至纯科技0.70.80.41.00.30.60.8N.A.净利润同比增速688072.SH 拓荆科技0%0%0%0%-19%12

21、99%65%1219%688082.SH 盛美上海0%0%0%58%-89%347%246%86%688120.SH 华海清科0%0%0%0%122%222%102%168%300604.SZ长川科技917%127%381%69%93%228%93%80%002371.SZ北方华创132%59%128%77%197%117%154%12%688012.SH 中微公司426%179%-8%118%-15%35%124%-26%688200.SH 华峰测控-25%127%244%104%356%22%-32%N.A.688037.SH 芯源微183%103%-53%486%398%30%309%1

22、04%603690.SH 至纯科技542%70%-31%-45%-60%-24%123%N.A.限制限制系统系统厂商与设计公司厂商与设计公司限制限制晶晶圆厂圆厂/IDM/存储厂存储厂20020限制中兴通讯再次限制中兴通讯限制华为及华为海思等114家关联公司新增38家与华为有关联的企业2021再次限制中芯国际、时代电气、海康威视限制商汤科技、海康威视、依图科技限制中芯国际等10家关联公司2022限制适用14nm及以下逻辑芯片制造设备出口限制适用 128层及以上存储芯片制造设备出口芯片法案 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。5 科技科技 产业面临经济

23、萧条的冲击，加上美国近期针对华制订的新管制，导致新技术无法输出中国大陆。据 Wind 数据，受美国禁令影响，22 年 10 月中国半导体制造设备进口额显著下滑至20.37 亿美元（同比-22.81%，环比-31.30%），11 月份持续削减至 18.76 亿美元，同比锐减 42.63%，环比下滑 7.91%，创 2020 年 5 月以来新低。图表图表5：中国半导体制造设备进口金额及增长情况中国半导体制造设备进口金额及增长情况 资料来源：Wind，华泰研究 美新规对中国区收入占比较大，尤其是存储占比较大的海外设备厂商具有较大不利影响。美新规对中国区收入占比较大，尤其是存储占比较大的海外设备厂商具

24、有较大不利影响。2022 年 10 月 7 日美国商务部宣布修订出口管理条例，ASML 和 LAM 对此表态不一，ASML 表示没有直接影响 23 年发货，或间接影响公司 5%积压订单，但这些订单是符合美国出口管制条例的；而 LAM 则表示或因此减少 2025 亿美元收入，并明确向中国销售设备需购买主体和相应技术均不受限。科磊集团对其大陆地区的业务前景持悲观态度，预估2023年全球营收损失6-9亿美元。新规影响不同，或因此前ASML已不得向中国销售EUV，此次并未收紧美国对光刻机的出口管制，ASML 可继续向中国晶圆厂销售 DUV，而主要限制了除光刻机以外的其他半导体设备。此外，本次新规主要限

25、制了中国存储厂商，LAM 存储收入占比 52%，受影响较大。图表图表6：半导体设备公司中国内地半导体设备公司中国内地+港澳收入占比港澳收入占比 注：时间截止 2022/10 资料来源：各公司财报，DIGTIMES，华泰研究 -60%-40%-20%0%20%40%60%80%055Jan-20Feb-20Mar-20Apr-20May-20Jun-20Jul-20Aug-20Sep-20Oct-20Nov-20Dec-20Jan-21Feb-21Mar-21Apr-21May-21Jun-21Jul-21Aug-21Sep-21Oct-21Nov-21Dec-21Jan-

26、22Feb-22Mar-22Apr-22May-22Jun-22Jul-22Aug-22Sep-22Oct-22Nov-22（亿美元）半导体制造设备进口额yoy（右轴）qoq（右轴）0%20%40%60%80%100%120%东京电子应用材料拉姆研究KLA泰瑞达阿斯麦中国内地+港澳其他 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。6 科技科技 根据根据 Gartner 数据数据，综合晶圆前后道加工，以及封测设备来看，综合晶圆前后道加工，以及封测设备来看，全球半导体设备市场全球半导体设备市场中北中北美和日本则处于绝对的优势地位。美和日本则处于绝对的优势地位。就晶圆处理设备而言，美

27、国公司实力非常强劲，其中美国的刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备、测试设备、程序控制、CMP 等设备的制造技术位于世界前列；荷兰凭借 ASML 的高端光刻机在全球处于领先地位。在 2021 年全球半导体设备供应商前10名中，美国公司占4席，分别为AMAT/Lam Research/KLA/Teradyne，市占率为 24.0%/16.0%/8.0%/3.6%，排名 1/4/5/7。日本公司在电子束描画设备、涂布/显影设备、清洗设备、氧化炉、减压 CVD 设备等重要前端设备、以划片机为代表的重要后道封装设备和以探针器为代表的重要测试设备环节竞争力强劲，21 年全球半导体设备供应商前10 名 中

28、日 本 公 司 占 4 席，分 别 为 TEL/Advantest/Screen/Hitachi，市 占 率 为17.0%/3.8%/3.5%/2.4%，排名 3/6/8/10。中国半导体设备公司并未上榜，国半导体设备整体国产化率不足 20%。国内国内半导体设备公司已进入多个细分领域，但国产替代仍处于早期。半导体设备公司已进入多个细分领域，但国产替代仍处于早期。当前重要的国内半导体设备公司涵盖产品已涵盖半导体全产业链，包括清洗设备（盛美上海、北方华创、至纯科技）、氧化设备（屹唐股份、北方华创）、光刻设备（上海微）、涂光显影设备（芯源微）、刻蚀设备（屹唐股份、北方华创、中微公司）、去胶设备（屹唐

29、股份、北方华创）、离子注入设备（万业企业）、CMP 设备（华海清科）、过程控制设备（上海睿励、中科飞测）等。图表图表7：2021 年半导体制造设备产业链地图年半导体制造设备产业链地图 资料来源：Gartner，SEMI,华泰研究 受下行周期及美对华出口管制影响，中国大陆受下行周期及美对华出口管制影响，中国大陆 23 年资本开支或下滑。年资本开支或下滑。不同于全球半导体资本开支放缓趋势，国内晶圆厂产能仍持续扩张，进而拉升对上游设备厂商的需求。根据各公司公开披露数据，国内内资晶圆厂/IDM/存储厂 2022 年资本开支有望从 2021 年的 198亿美元提升至 269 亿美元，同比增长 36%，较

30、 2021 年同比增速提升 3.5pct。在 2023 年，虽然中芯国际、华虹仍保持资本开支强度，同时由于美国出口管制影响，长江存储自主技术进展与量产能力将受阻碍，最新 Xtacking 3.0 架构 3D NAND 技术也面临较大障碍，并可能推迟部分产线的建设。我们预测 2023 年中国大陆地区半导体设备资本开支下滑 31.5%，仍有望接近 200 亿美元，2024 年同比提升 32.5%。过程控制设备2021全球市场空间：93亿美元上海睿励(未上市)中科飞测（待上市）KLA AMAT Hitachi过程控制过程控制设备硅片表面清洗氧化涂光刻胶光刻显影蚀刻金属溅射化学机械抛光原子层沉积气相沉

31、积离子注入光刻胶去除硅抛光片/硅外延片/SOI晶片靶材CMP设备光刻胶光刻设备电子气体热处理/氧化扩散刻蚀设备显影设备去胶设备清洗设备CVD&PVD离子注入设备清洗设备2021全球市场空间：42亿美元盛美上海(688082 CH)北方华创(002371 CH)至纯科技(603690 CH)SCREENTELSEMESLam Research热处理/氧化扩散设备2021全球市场空间：20亿美元屹唐股份(待上市)北方华创(002371 CH)AMATVECO涂光显影设备2021全球市场空间：34亿美元芯源微(688037 CH)TEL SEMS SCREENCMP设备2021全球市场空间：28亿美

32、元华海清科(688120 CH)烁科精微（未上市）EBARAAMATCVD2021年全球市场空间：135亿美元北方华创(002371 CH)拓荆科技(688072 CH)AMAT Lam Research TEL刻蚀设备2021全球市场空间：200亿美元屹唐股份(待上市)北方华创(002371 CH)中微公司(688012 CH)Lam Research TEL AMAT光刻设备2021全球市场空间：231亿美元上海微电子(未上市)ASMLNikonCanonPVD2021年全球市场空间：36亿美元北方华创(002371 CH)AMAT Evatec UVAC去胶设备2021全球市场空间：7亿

33、美元屹唐股份(待上市)北方华创(002371 CH)PSKHitachiTESLam ResearchULVAC离子注入设备2021全球市场空间：22亿美元万业企业(600641 CH)AMATSMITAxcelis 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。7 科技科技 图表图表8：22-23 年中国内资晶圆厂整体持续扩张（等效年中国内资晶圆厂整体持续扩张（等效 8 英寸）英寸）图表图表9：中国内资晶圆厂中国内资晶圆厂/IDM/存储厂存储厂 2020-2023E 资本开支资本开支 资料来源：各公司公告，华泰研究预测 资料来源：各公司公告，华泰研究预测 美对长江存储等厂商的限

34、制或将对国内设备公司产生不利影响。美对长江存储等厂商的限制或将对国内设备公司产生不利影响。而长江存储作为华海清科、盛美上海、中微公司、拓荆科技等国产设备厂商的大客户，美对其限制将对中国设备厂商营收产生较大影响，但从另一个层面讲，美国新规未来或将推动设备国产化率在客户端的提高。图表图表10：国内设备厂商来自长江存储收入占比（国内设备厂商来自长江存储收入占比（2021A）资料来源：各公司公告，华泰研究 为避免半导体发展掣肘于海外，实现设备自主可控是关键。为避免半导体发展掣肘于海外，实现设备自主可控是关键。半导体设备国产化率整体处于低位，据我们统计 2021 年国内半导体设备厂商收入仅占中国半导体设

35、备销售额的 12%。干法刻蚀、清洗、去胶设备等均已实现较高比例国产设备采用率，且在 2020-2022 年维持较高水平，CMP、薄膜沉积、量测等设备 2022 年国产设备采用率均有提高。国内在尚未获得突破的设备主要为光刻设备，另外，28nm 及以下薄膜沉积、刻蚀、量测检测、离子注入和涂胶显影等环节中国产设备仅覆盖环节的几个步骤，目前尚未完成整个环节的覆盖，且部分国产设备良率较低，会对 fab 厂商形成较大的成本压力，高国产化线目前难以形成损益平衡，供应链安全问题依旧十分严重，技术优化、突破与国产化替代均刻不容缓。0%5%10%15%20%25%30%35%01,0002,0003,0004,0

36、005,0006,0007,0008,0002002120222023E(kwpm)内资晶圆厂合计产能（折合8寸）同比（右轴）-40%-20%0%20%40%60%80%100%05,00010,00015,00020,00025,00030,0002000212022E2023E2024E(百万美元)中国大陆内资晶圆厂资本开支YOY长江存储66.40%其他33.60%华海清科华海清科长江存储36.38%其他63.62%盛美上海盛美上海长江存储25.00%其他75.00%中微公司中微公司长江存储16.79%其他83.21%拓荆科

37、技拓荆科技 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。8 科技科技 图表图表11：各半导体制造设备招标国产化率情况各半导体制造设备招标国产化率情况（2021）资料来源：中国国际招标网，华泰研究 根据各个环节所需设备的市场空间及国产化率，我们将目前的半导体设备国产化进程划分根据各个环节所需设备的市场空间及国产化率，我们将目前的半导体设备国产化进程划分为三大环节：国产替代程度较高的环节、正在实现国产替代的环节、易被“卡脖子”的亟为三大环节：国产替代程度较高的环节、正在实现国产替代的环节、易被“卡脖子”的亟待突破的重点环节。待突破的重点环节。去胶设备及清洗设备国产替代程度较高，屹唐

38、半导体、盛美上海等占据领先地位去胶设备及清洗设备国产替代程度较高，屹唐半导体、盛美上海等占据领先地位 去胶设备：去胶设备：2021 年去胶设备的全球市场空间为 7 亿美元，国内市场空间为 2 亿美元。目前去胶设备工艺以干法去胶为主，其中屹唐半导体为干法去胶设备全球龙头企业，2021 年全球市占率达 31%，位列第一，其他主要竞争对手为比思科、日立高新、LamResearch。屹唐半导体的干法去胶设备可用于 90 nm 到 5nm 逻辑芯片、1y 到 2x nm 系列 DRAM 芯片以及 32 层到 128 层 3D 闪存芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。清洗设备：清洗设备：2021 年清洗设

39、备全球市场空间达 42 亿美元，国内市场空间达 14 亿美元，目前我国半导体清洗设备的国产化率已达国产化率已达 25%，预计到 2030 年有望翻倍。全球半导体清洗设备行业高度集中，龙头企业主要是迪恩士、TEL、韩国 SEMES、LamResearch 等等。近年来盛美上海、至纯科技、北方华创等国产设备公司不断在单片、槽式等清洗设备上有所突破，盛美上海已率先研发出 14nm 清洗设备并处于客户验证中，7/5nm 在研，至纯科技、北方华创、芯源微已具备28nm制程技术，14nm在研。盛美上海2021年全球市占率达2.3%。国产设备有望在刻蚀、国产设备有望在刻蚀、CMP、薄膜沉积等领域率先突破薄膜

40、沉积等领域率先突破 刻蚀设备：刻蚀设备：2021 年刻蚀设备全球市场空间达 200 亿美元，由 Lam Research，TEL，AMAT三巨头主导市场，国内市场空间为 58 亿美元，主要玩家包括北方华创、中微公司等，目前国产化率已达国产化率已达 20%。北方华创以硅刻蚀、金属刻蚀为主，ICP 刻蚀机领域国内领先，14nm等离子硅刻蚀机在客户端通过多道制程工艺验证，已实现量产应用。中微半导体以介质刻蚀为主，已经成功生产出 5nm 的刻蚀机，并开始获得台积电及长江存储等公司的刻蚀设备订单。目前国内刻蚀设备虽已实现一定的国产替代，但开发能够处理这些工艺的干式蚀刻技术和原子层刻蚀设备成为当务之急。C

41、MP 设备：设备：CMP 在半导体前道设备中占比较低，仅为 3%。2021 年 CMP 设备全球市场空间为 28 亿美元，AMAT 联合日本荏原合计占据了全球 90%以上的市场空间。华海清科为国产 CMP 设备龙头，占据全球市场 4%的份额，国产化率达国产化率达 18%，目前在国内成熟制程领域，华海清科 28nm 及以上制程的主要 CMP 设备与国际龙头已不存在明显技术差距；而在先进制程领域，美国 AMAT 与日本荏原分别已实现 5nm 制程和部分材质 5nm 制程的工艺应用，华海清科的 14nm 制程工艺技术正处于验证中。0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%50%干法去胶

42、机清洗设备抛光设备刻蚀设备炉管设备后道检测设备沉积设备涂胶显影机 前道检测设备 离子注入机光刻机 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。9 科技科技 热处理热处理/氧化扩散设备：氧化扩散设备：2021 年全球市场规模达 20 亿美元，AMAT 垄断近 70%的份额，屹唐半导体与北方华创分别占比 12%/2%，21 年国产化率达年国产化率达 12%。屹唐半导体的快速热处理设备达到国际领先水平，技术突破至 14nm，已覆盖台积电、三星电子、中芯国际、华虹集团、长江存储等知名厂商。薄膜沉积设备：薄膜沉积设备：2021 年薄膜沉积设备全球市场空间达 190 亿美元，国内市场空间达

43、 50 亿美元，21 年国产化率达年国产化率达 7%。薄膜沉积设备是目前半导体设备国产化的重要突破口，国产替代空间广阔，主要包括 CVD/PVD/ALD 三大类，全球市场中 AMAT/LAM/TEL 占据主导，国内企业中拓荆科技的PECVD设备已适配180-14nm逻辑芯片、19/17nmDRAM及64/128层 FLASH 制造工艺，SACVD 设备适配 12 英寸 40/28nm 及 8 英寸 90nm 以上的逻辑芯片制造工艺，ALD 设备也已适配 55-14nm 逻辑芯片制造工艺需求，基本达到国际厂商设备水准；北方华创在 PVD 领域实现了国产高端薄膜制备设备零的突破，28nm Hard

44、mask PVD、Al-Pad PVD 设备已率先进入国际供应链体系，覆盖 90-14nm 多个制程。涂胶显影设备：涂胶显影设备：涂胶显影设备是配合光刻机工作的核心工艺设备，2021 年全球市场规模达34 亿美元，长期被 TEL 垄断，国产化率为国产化率为 2%处于低位处于低位。目前芯源微是国内唯一可提供前道高端量产涂胶显影设备的厂商，尚处于产业化初期，2021 年全球市占率为 2%，公司可全面覆盖盖 PI、Barc、SOC、SOD、I-line、KrF、ArF 等工艺，ArFi 处于研发验证中，offline-buck、I 线、k 线等工艺通过客户验证，公司浸没式高产能涂胶显影机可覆盖 28

45、nm及以上工艺节点，国产化率有望进一步提升。离子注入设备：离子注入设备：2021 年全球市场规模为 22 亿美元，被应用材料、Axcelis 垄断，国产设备仍相对空缺处于快速起步期，国产化率仅为国产化率仅为 2%。万业企业旗下的凯世通制造的 IC 离子注入机迎来商业客户及多款设备订单的重大突破，电科装备旗下的烁科中科信的中束流离子注入机已经在 12 英寸和 8 英寸产线量产或 demo 验证超过数十台套，大束流离子注入机已实现多台销售，正在陆续进入客户端。光刻机及过程控制设备是易被“卡脖子”的亟待突破的重点环节光刻机及过程控制设备是易被“卡脖子”的亟待突破的重点环节 光刻设备：光刻设备：光刻机

46、是芯片制造与光刻胶研发中的核心工艺设备，2021 年全球市场份额高达231 亿美元，ASML 市占率达 75%，是全球唯一销售高端光刻机-EUV 的厂商。国内市场规模达 67 亿美元，但国产化率仍接近于零国产化率仍接近于零，极大程度上依赖海外光刻设备。在国产光刻机领域中，上海微电子产品主要采用 ArF、KrF 和 i-line 光源，目前只能达到 90nm 制程量产，且主要用于 IC 的后道封装和面板领域，公司正在攻关 28nm 制程。过程控制设备：过程控制设备：贯穿于集成电路领域生产过程的质量控制环节可分为前道检测、中道检测和后道测试，检测和量测环节贯穿制造全过程，是保证芯片生产良品率非常关

47、键的环节。2021 年全球市场规模为 93 亿美元，竞争格局相对集中，全球范围内主要检测和量测设备企业包括 KLA、AMAT、日立等。国内设备国产化率较低仅为设备国产化率较低仅为 2%左右左右，目前上海睿励 12 英寸光学测量设备可满足 28nm 及以上应用，14nm 正在验证，存储芯片领域已覆盖 64 层 3DNAND 芯片的生产，96 层 3DNAND 芯片并正在验证。精测电子膜厚量测设备已量产，电子束、OCD 产品通过国内客户验证，硅片应力测量设备、明场缺陷检测设备也均有突破.但国内企业目前在过程控制设备产品线上的覆盖广度与深度仍与国际龙头存在较大差距，仍存在较大的国产替代空间。免责声明

48、和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。10 科技科技 图表图表12：国产半导体前道制造设备基本覆盖国产半导体前道制造设备基本覆盖 28nm 及以上制程且其他性能基本达到国际水平及以上制程且其他性能基本达到国际水平 资料来源：Wind，公司公告，全球半导体观察，华泰研究 自 10 月 7 日美国宣布 出口管制条例 后，设备板块估值下滑，根据 Wind 一致市场预期，当前时点设备板块估值中枢为 9.5 倍 23 年 PS，我们认为当前半导体设备板块估值或已消化资本开支下滑预期。我们建议投资者关注国内半导体设备公司由于设备国产化率提升以及新品类拓张平台化布局带来的业绩增长以及政策面驱动

49、因素。图表图表13：可比公司估值表（截至可比公司估值表（截至 2023 年年 2 月月 21 日）日）PE（倍）（倍）PB（倍）（倍）PS（倍）（倍）证券代码证券代码 可比公司可比公司 收盘价（元）收盘价（元）总市值（百万）总市值（百万）2023E 2024E 2023E 2024E 2023E 2024E 002371 CH 北方华创 239.05 126,350 47.0 37.0 6.5 5.7 6.4 5.0 688012 CH 中微公司 108.02 66,567 45.7 36.2 4.4 4.1 10.8 8.3 688082 CH 盛美上海 85.19 36,935 55.0

50、41.8 6.8 6.1 10.0 7.4 688200 CH 华峰测控 282.06 25,688 27.2 25.0 6.9 5.6 15.9 12.7 688037 CH 芯源微 208.97 19,354 78.8 55.3 12.0 10.4 9.9 7.3 688120 CH 华海清科 245.58 26,195 38.2 28.2 6.8 5.7 9.9 7.1 688072 CH 拓荆科技 270.12 34,164 82.9 44.7 11.3 9.9 12.5 9.0 603690 CH 至纯科技 37.42 12,026 22.7 17.7 3.0 2.6 3.0 2.4

51、 300604 CH 长川科技 46.09 27,854-19.5-23.0 12.4 9.3 7.0 5.4 平均值平均值 40.7 29.4 7.8 6.6 9.5 7.2 中位数中位数 -44.1 32.7 6.8 5.7 9.9 7.3 注:北方华创、盛美上海、华海清科、拓荆科技预测数据为华泰预测，其余可比公司预测数据来自 Wind 一致预期 资料来源：Wind，华泰研究预测 板块建议：估值或已板块建议：估值或已消化消化资本开支下行预期，建议关注政策催化以及国产化资本开支下行预期，建议关注政策催化以及国产化突破突破 近年来，近年来，国内国内设备厂商持续拓宽产品广度和挖掘产品深度，平台化

52、布局有利于其后续规模设备厂商持续拓宽产品广度和挖掘产品深度，平台化布局有利于其后续规模的持续扩张。的持续扩张。芯片制造各阶段所需设备种类不同，具体涵盖清洗设备、氧化设备、光刻设备、涂光显影设备、刻蚀设备、去胶设备、离子注入设备、CMP 设备、过程控制设备等，中国设备厂商往往仅专注于其中 1-2 种设备。我们认为，拓宽现有设备的覆盖工艺及道次我们认为，拓宽现有设备的覆盖工艺及道次将为公司营收增长提供更多可能性，有助于将为公司营收增长提供更多可能性，有助于国内国内设备厂商规模的扩张。设备厂商规模的扩张。此外，挖掘产品深度，在特定细分设备领域中持续推出性能更佳的新产品将有助于公司在该细分领域市占率的

53、提升，也有利于公司整体营收规模的提升。精测电子 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。11 科技科技 图表图表14：中国半导体设备厂商产能实现逐步突破中国半导体设备厂商产能实现逐步突破 设备设备/公司公司 北方华创北方华创 中微公司中微公司 盛美上海盛美上海 屹唐半导体屹唐半导体 上海微电子上海微电子 芯源微芯源微 万业企业万业企业 至纯科技至纯科技 华海清科华海清科 沈阳拓荆沈阳拓荆 上海睿励上海睿励 中科飞测中科飞测 光刻光刻 涂胶显影涂胶显影 热处理热处理 刻蚀刻蚀 清洗清洗 去胶去胶 CMP CVD PVD 电镀电镀 离子注入离子注入 量测量测 2121 年中国市

54、占率年中国市占率 2.45%1.57%0.78%1.43%N.A.0.41%0.06%0.80%0.41%0.38%N.A.0.18%2121 年全球市占率年全球市占率 0.71%0.45%0.23%0.41%N.A.0.12%0.02%0.23%0.12%0.11%N.A.0.05%注：黄色表示 21 年该细分领域有新产品推出，红色表示 21 年公司新切入该细分领域 资料来源：各公司官网及公告，华泰研究 图表图表15：重点推荐公司一览表重点推荐公司一览表 收盘价收盘价 目标价目标价 市值市值(百万百万)EPS(元元)PE(倍倍)股票名称股票名称 股票代码股票代码 投资评级投资评级(当地币种当

55、地币种)(当地币种当地币种)(当地币种当地币种)2021 2022E 2023E 2024E 2021 2022E 2023E 2024E 拓荆科技 688072 CH 买入 270.12 339.60 34,164 0.54 2.98 3.26 6.04 500.22 90.64 82.86 44.72 盛美上海 688082 CH 买入 85.19 126.50 36,935 0.61 1.33 1.55 2.04 139.66 64.05 54.96 41.76 北方华创 002371 CH 买入 239.05 375.20 126,353 2.04 4.15 5.09 6.46 117

56、.18 57.60 46.96 37.00 华海清科 688120 CH 买入 245.58 298.30 26,195 1.86 4.26 6.43 8.72 132.03 57.65 38.19 28.16 注：数据截至 2023/2/21 资料来源：Bloomberg，华泰研究预测 拓荆科技拓荆科技（688072 CH，买入，目标价：，买入，目标价：339.6 元元）：薄膜沉积设备龙头进口替代加速薄膜沉积设备龙头进口替代加速 拓荆科技成立于 2010 年，专注于薄膜沉积领域，是国内唯一一家实现 PECVD 和 SACVD产业化应用的公司，同时在 ALD 领域也处于国内龙头地位。公司目前已

57、进入到中芯国际、长江存储等国内头部制造企业，同时在海外客户拓展上有所突破。薄膜沉积作为半导体制造三大核心工艺之一，目前国产化率不足 10%，未来替代空间较大，公司作为国内头部企业将核心受益。我们预计公司 2022-24 年收入为 16.9/27.4/38.0 亿元，归母净利润为3.8/4.1/7.6 亿元。给予买入评级，目标价 339.6 元，基于 15.7 倍 2023 年 PS。（估值日期：2023/2/20）风险提示：1）管理层美籍人士研发运营活动受影响；2）半导体下行周期对应设备厂新增订单缩减风险；3）中美贸易摩擦升级导致收入不达预期风险；4）薄膜沉积设备行业竞争加剧风险。盛美上海盛美

58、上海（688082 CH，买入，目标价：，买入，目标价：126.5 元元）：清洗设备龙头发力涂胶显影清洗设备龙头发力涂胶显影 PECVD 盛美上海发布公告，预计 22 年营收 27-29 亿元，中位数 yoy+72.7%,23 年营收预计为 36.5-42.5 亿元，中位数yoy+41.1%。2022年公司顺利切入涂胶显影及PECVD设备实现将2022年潜在市场空间总和从 80 亿美元翻至 160 亿美元。我们看好公司“平台化、差异化、全球化”核心竞争力，但考虑到 23 年中国设备资本开支存在不确定性，下调我们预计 22/23/24年收入为 27.9/37.0/49.8 亿元，维持“买入”，考

59、虑到公司涂胶显影、PECVD 未来对收入的提升，以行业 Wind 一致预期均值 11.0 x 23PS 为基础给一定的溢价，基于 14.8 倍 23 年PS，给于目标价 126.5 元。（估值日期：2023/1/20）风险提示：中美贸易摩擦加剧、清洗设备竞争加剧。免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。12 科技科技 北方华创北方华创（002371 CH，买入，目标价：，买入，目标价：375.2 元元）：新产品推动泛半导体设备高速增长新产品推动泛半导体设备高速增长 北方华创公告预计 2022 年实现收入 135-156 亿元,中位数 145.5 亿元（+50.3%yoy），

60、归母净利润预计为 21-26 亿元，中位数 23.5 亿元（+118%yoy），符合我们预期（149.8/21.9亿元）。公司 2022 年订单饱满，全年电子工艺装备和电子元器件业务经营业绩均实现了持续增长。其中 4Q22 单季度预计实现收入 45.4 亿元，环比持平，受股权激励费用的影响，利润中位数为 6.6 亿元，环比-28.7%。我们预计 22/23/24 年收入为 149.81/198.33/251.61亿元不变。维持“买入”评级，设备板块估值中枢下行至 9.3x2023 年 PS，考虑到公司平台化布局抵抗风险能力更强，给予 2023 年 10 倍 PS，对应目标价 375.2 元。（

61、估值日期：2023/1/13）风险提示：全球半导体设备进入下行周期的风险；设备研发不及预期的风险。华海清科华海清科（688120 CH，买入，目标价：，买入，目标价：298.3 元元）：国产国产 CMP 设备龙头持续拓展新业务设备龙头持续拓展新业务 华海清科成立于 2013 年，是国内唯一一家能够量产 CMP（Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光）设备的上市公司，公司目前产品能够覆盖 12 寸及 8 寸产线，最高工艺节点可支持到 28nm，并已切入中芯国际、长江存储、华虹集团等国内头部企业。根据我们测算，公司 2021 年在国内 CMP 市场中份额达到 16

62、.1%，随着公司 300 系列的大规模放量，我们预计远期公司份额有望超过 50.0%。我们预计公司 2022-24 年收入为 16.7/26.4/37.1 亿元，归母净利润为 4.5/6.9/9.3 亿元，给予买入评级，目标价 298.3 元，基于 12.1x 2023 年 PS。（估值日期：2023/2/20）风险提示：1）半导体下行周期风险；2）中美贸易摩擦升级风险；3）新品研发及工艺改进不及预期风险；4）CMP 设备行业竞争加剧风险。风险提示风险提示 半导体行业下行周期对应设备厂商订单缩减风险。半导体行业下行周期对应设备厂商订单缩减风险。目前全球半导体处于下行周期，3Q22 包括台积电及

63、一批存储企业在内的重资产公司已经下修了资本开支指引，相应导致设备厂商新增订单边际下降，影响远期收入规模。中美贸易摩擦升级导致收入不达预期风险。中美贸易摩擦升级导致收入不达预期风险。2022 年 10 月，美国商务部公布了一系列针对中国半导体产业的管制措施，禁令加码后可能导致制造环节扩产低于预期，从而对于设备厂商的新增订单产生负面影响。另一方面，国内设备厂商采购美系供应链零部件同样可能受限，导致设备产出不达预期。图表图表16：报告提及公司列表报告提及公司列表 证券代码证券代码 公司名称公司名称 证券代码证券代码 公司名称公司名称 证券代码证券代码 公司名称公司名称 证券代码证券代码 公司名称公司

64、名称 证券代码证券代码 公司名称公司名称 002371 CH 北方华创 未上市 屹唐半导体 603690 CH 至纯科技 688072 CH 拓荆科技 688120 CH 华海清科 688012 CH 中微公司 未上市 上海微 688037 CH 芯源微 688200 CH 华峰测控 未上市 长江存储 688082 CH 盛美上海 未上市 上海睿励上海睿励 LARC US Lam research ASML US ASML AMAT US AMAT 未上市 中科飞测 资料来源：Wind，华泰研究预测 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。13 科技科技 免责免责声明声明

65、分析师声明分析师声明 本人，黄乐平、丁宁、刘溢，兹证明本报告所表达的观点准确地反映了分析师对标的证券或发行人的个人意见；彼以往、现在或未来并无就其研究报告所提供的具体建议或所表迖的意见直接或间接收取任何报酬。一般声明及披露一般声明及披露 本报告由华泰证券股份有限公司（已具备中国证监会批准的证券投资咨询业务资格，以下简称“本公司”）制作。本报告所载资料是仅供接收人的严格保密资料。本报告仅供本公司及其客户和其关联机构使用。本公司不因接收人收到本报告而视其为客户。本报告基于本公司认为可靠的、已公开的信息编制，但本公司及其关联机构(以下统称为“华泰”)对该等信息的准确性及完整性不作任何保证。本报告所载

66、的意见、评估及预测仅反映报告发布当日的观点和判断。在不同时期，华泰可能会发出与本报告所载意见、评估及预测不一致的研究报告。同时，本报告所指的证券或投资标的的价格、价值及投资收入可能会波动。以往表现并不能指引未来，未来回报并不能得到保证，并存在损失本金的可能。华泰不保证本报告所含信息保持在最新状态。华泰对本报告所含信息可在不发出通知的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。本公司不是 FINRA 的注册会员，其研究分析师亦没有注册为 FINRA 的研究分析师/不具有 FINRA 分析师的注册资格。华泰力求报告内容客观、公正，但本报告所载的观点、结论和建议仅供参考，不构成购买或出售所述

67、证券的要约或招揽。该等观点、建议并未考虑到个别投资者的具体投资目的、财务状况以及特定需求，在任何时候均不构成对客户私人投资建议。投资者应当充分考虑自身特定状况，并完整理解和使用本报告内容，不应视本报告为做出投资决策的唯一因素。对依据或者使用本报告所造成的一切后果，华泰及作者均不承担任何法律责任。任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效。除非另行说明，本报告中所引用的关于业绩的数据代表过往表现，过往的业绩表现不应作为日后回报的预示。华泰不承诺也不保证任何预示的回报会得以实现，分析中所做的预测可能是基于相应的假设，任何假设的变化可能会显著影响所预测的回报。华泰及作者在

68、自身所知情的范围内，与本报告所指的证券或投资标的不存在法律禁止的利害关系。在法律许可的情况下，华泰可能会持有报告中提到的公司所发行的证券头寸并进行交易，为该公司提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务或向该公司招揽业务。华泰的销售人员、交易人员或其他专业人士可能会依据不同假设和标准、采用不同的分析方法而口头或书面发表与本报告意见及建议不一致的市场评论和/或交易观点。华泰没有将此意见及建议向报告所有接收者进行更新的义务。华泰的资产管理部门、自营部门以及其他投资业务部门可能独立做出与本报告中的意见或建议不一致的投资决策。投资者应当考虑到华泰及/或其相关人员可能存在影响本报告观点客观性的潜在利益

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70、告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。本公司保留追究相关责任的权利。所有本报告中使用的商标、服务标记及标记均为本公司的商标、服务标记及标记。中国香港中国香港 本报告由华泰证券股份有限公司制作,在香港由华泰金融控股（香港）有限公司向符合证券及期货条例及其附属法律规定的机构投资者和专业投资者的客户进行分发。华泰金融控股（香港）有限公司受香港证券及期货事务监察委员会监管，是华泰国际金融控股有限公司的全资子公司，后者为华泰证券股份有限公司的全资子公司。在香港获得本报告的人员若有任何有关本报告的问题,请与华泰金融控股（香港）有限公司联系。免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。14

71、科技科技 香港香港-重要监管披露重要监管披露 华泰金融控股（香港）有限公司的雇员或其关联人士没有担任本报告中提及的公司或发行人的高级人员。拓荆科技（688072 CH）：华泰金融控股（香港）有限公司、其子公司和/或其关联公司实益持有标的公司的市场资本值的 1%或以上。盛美上海（688082 CH）：华泰金融控股（香港）有限公司、其子公司和/或其关联公司在本报告发布日担任标的公司证券做市商或者证券流动性提供者。有关重要的披露信息，请参华泰金融控股（香港）有限公司的网页 https:/.hk/stock_disclosure 其他信息请参见下方“美国“美国-重要监管披露”重要监管披露”。美国美国

72、在美国本报告由华泰证券（美国）有限公司向符合美国监管规定的机构投资者进行发表与分发。华泰证券（美国）有限公司是美国注册经纪商和美国金融业监管局（FINRA）的注册会员。对于其在美国分发的研究报告，华泰证券（美国）有限公司根据1934 年证券交易法（修订版）第 15a-6 条规定以及美国证券交易委员会人员解释，对本研究报告内容负责。华泰证券（美国）有限公司联营公司的分析师不具有美国金融监管（FINRA）分析师的注册资格，可能不属于华泰证券（美国）有限公司的关联人员，因此可能不受 FINRA 关于分析师与标的公司沟通、公开露面和所持交易证券的限制。华泰证券（美国）有限公司是华泰国际金融控股有限公司

73、的全资子公司，后者为华泰证券股份有限公司的全资子公司。任何直接从华泰证券（美国）有限公司收到此报告并希望就本报告所述任何证券进行交易的人士，应通过华泰证券（美国）有限公司进行交易。美国美国-重要监管披露重要监管披露 分析师黄乐平、丁宁、刘溢本人及相关人士并不担任本报告所提及的标的证券或发行人的高级人员、董事或顾问。分析师及相关人士与本报告所提及的标的证券或发行人并无任何相关财务利益。本披露中所提及的“相关人士”包括 FINRA 定义下分析师的家庭成员。分析师根据华泰证券的整体收入和盈利能力获得薪酬，包括源自公司投资银行业务的收入。拓荆科技（688072 CH）：华泰证券股份有限公司、其子公司和

74、/或其联营公司实益持有标的公司某一类普通股证券的比例达 1%或以上。盛美上海（688082 CH）：华泰证券股份有限公司、其子公司和/或其联营公司在本报告发布日担任标的公司证券做市商或者证券流动性提供者。华泰证券股份有限公司、其子公司和/或其联营公司,及/或不时会以自身或代理形式向客户出售及购买华泰证券研究所覆盖公司的证券/衍生工具，包括股票及债券（包括衍生品）华泰证券研究所覆盖公司的证券/衍生工具，包括股票及债券（包括衍生品）。华泰证券股份有限公司、其子公司和/或其联营公司,及/或其高级管理层、董事和雇员可能会持有本报告中所提到的任何证券（或任何相关投资）头寸，并可能不时进行增持或减持该证券

75、（或投资）。因此，投资者应该意识到可能存在利益冲突。评级说明评级说明 投资评级基于分析师对报告发布日后 6 至 12 个月内行业或公司回报潜力（含此期间的股息回报）相对基准表现的预期（A 股市场基准为沪深 300 指数，香港市场基准为恒生指数，美国市场基准为标普 500 指数），具体如下：行业评级行业评级 增持：增持：预计行业股票指数超越基准 中性：中性：预计行业股票指数基本与基准持平 减持：减持：预计行业股票指数明显弱于基准 公司评级公司评级 买入：买入：预计股价超越基准 15%以上 增持：增持：预计股价超越基准 5%15%持有：持有：预计股价相对基准波动在-15%5%之间 卖出：卖出：预计

76、股价弱于基准 15%以上 暂停评级：暂停评级：已暂停评级、目标价及预测，以遵守适用法规及/或公司政策 无评级：无评级：股票不在常规研究覆盖范围内。投资者不应期待华泰提供该等证券及/或公司相关的持续或补充信息 免责声明和披露以及分析师声明是报告的一部分，请务必一起阅读。15 科技科技 法律实体法律实体披露披露 中国中国：华泰证券股份有限公司具有中国证监会核准的“证券投资咨询”业务资格，经营许可证编号为：941011J 香港香港：华泰金融控股（香港）有限公司具有香港证监会核准的“就证券提供意见”业务资格，经营许可证编号为：AOK809 美国美国：华泰证券（美国）有限公司为美国

77、金融业监管局（FINRA）成员，具有在美国开展经纪交易商业务的资格，经营业务许可编号为：CRD#:298809/SEC#:8-70231 华泰证券股份有限公司华泰证券股份有限公司 南京南京 北京北京 南京市建邺区江东中路228号华泰证券广场1号楼/邮政编码：210019 北京市西城区太平桥大街丰盛胡同28号太平洋保险大厦A座18层/邮政编码：100032 电话：86 25 83389999/传真：86 25 83387521 电话：86 10 63211166/传真：86 10 63211275 电子邮件：ht- 电子邮件：ht- 深圳深圳 上海上海 深圳市福田区益田路5999号基金大厦10楼

78、/邮政编码：518017 上海市浦东新区东方路18号保利广场E栋23楼/邮政编码：200120 电话：86 755 82493932/传真：86 755 82492062 电话：86 21 28972098/传真：86 21 28972068 电子邮件：ht- 电子邮件：ht- 华泰金融控股（香港）有限公司华泰金融控股（香港）有限公司 香港中环皇后大道中 99 号中环中心 58 楼 5808-12 室 电话：+852-3658-6000/传真：+852-2169-0770 电子邮件： http:/.hk 华泰证券华泰证券（美国美国）有限公司有限公司 美国纽约公园大道 280 号 21 楼东（纽约 10017）电话：+212-763-8160/传真：+917-725-9702 电子邮件:Huataihtsc- http:/www.htsc- 版权所有2023年华泰证券股份有限公司