1、 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。精测电子 300567.SZ 公司研究|首次报告 平板显示检测领军企业，半导体、新能源开启成长新曲线平板显示检测领军企业，半导体、新能源开启成长新曲线：公司自 2006 年成立起，深耕平板显示检测领域十余年，集合“光、机、电、软、算”一体化系统优势，在平板显示检测领域已处于行业领先水平，期间成立昆山精讯进入检测自动化领域，并着手布局搭建海外研发中心与投资平台，进一步走向国际化；2018 年，先后成立武汉精鸿等子公司开拓新赛道，涉及半导体、新能源、激光设备

2、领域，战略转型初见成效。目前，公司将发展战略定为半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务提供商，未来将持续开拓半导体和新能源两大领域。半导体半导体前道检测量测行业进入放量前夜，公司作为龙头之一确定性强前道检测量测行业进入放量前夜，公司作为龙头之一确定性强：全球半导体检测和量测设备市场保持高速增长态势，2021 年全球市场规模达 100 亿美元，预计 2022 年将达到 112 亿美元，中国市场在全球中占比约 29%，2022 年国内市场空间约 200 亿元，全球及国内市场仍被 KLA 等美系设备厂商垄断，国产化率不足3%。美国半导体管制新规后国内检测与量测设备厂商有望受到下游晶圆厂、

3、政府部分鼎力支持，设备验证和订单放量加速可期，目前，头部厂商已有放量势头，新签订单大幅增长。我们持续看好以精测电子为代表的检测量测头部厂商业绩弹性，目前上海精测在膜厚、电子束、OCD 设备方面均处于国内领先地位，公司已有产品国内市场空间在百亿以上，去年该部分收入仅 1.4 亿元，未来放量空间广阔，同时公司还将受益于品类的拓张、盈利能力的成长及长期服务收入的起量。锂电设备绑定核心客户，未来空间广阔锂电设备绑定核心客户，未来空间广阔：公司积极布局锂电池化成分容系统、切叠一体机等中后段锂电设备，有望受益市场的快速增长，根据 GGII 预测，在新一轮锂电设备扩产周期中，锂电设备市场规模将快速上升，20

4、25 年可以达到 1200 亿元。公司绑定大客户中创新航，大客户规划 2025 年电池目标产能将达 500GWh，并预计在 2030 年实现 1000GWh 的产能，带来旺盛设备需求。精测通过可转债项目扩产锂电装备产能，完全达产后将新增收入 14 亿以上。平板显示技术持续升级，带动平板显示技术持续升级，带动相关相关设备需求旺盛设备需求旺盛：尽管未来 LCD 产能增量趋缓，但已有产线存在存量升级需求，面板产线通常生命周期为 8 年，其中生产设备、检测设备技改需求约 4 年，带动 LCD 检测设备需求维持旺盛。同时公司积极布局Mini/MicroLED、OLED 等新兴显示设备，将持续受益于显示技

5、术的升级。我们预测公司 22-24 年每股收益分别为 0.99、1.40、1.96 元，根据可比公司 23 年平均 57 倍 PE 估值，给予 79.80 元目标价，首次给予买入评级。风险提示风险提示 平板显示设备需求不及预期；检测量测设备国产化进度不及预期；半导体设备毛利率提升不及预期；新能源设备核心大客户扩产不及预期；费用率下降不及预期；半导体设备行业景气度不及预期；零部件断供风险。2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 营业收入(百万元)2,077 2,409 2,845 3,417 4,447 同比增长(%)6.4%16.0%18.1%20.1%30.2%营业利润(

6、百万元)250 176 291 458 698 同比增长(%)-19.2%-29.6%64.9%57.5%52.6%归属母公司净利润(百万元)243 192 274 390 546 同比增长(%)-9.8%-20.9%42.7%42.2%39.9%每股收益（元）0.87 0.69 0.99 1.40 1.96 毛利率(%)47.4%43.3%44.7%45.7%47.0%净利率(%)11.7%8.0%9.6%11.4%12.3%净资产收益率(%)15.2%7.6%8.0%10.7%13.7%市盈率 72.9 92.3 64.7 45.5 32.5 市净率 10.1 5.4 5.1 4.7 4.

7、3 资料来源：公司数据.东方证券研究所预测.每股收益使用最新股本全面摊薄计算.盈利预测与投资建议 核心观点 公司主要财务信息 股价（2023年02月22日）63.78 元 目标价格 79.80 元 52 周最高价/最低价 64.5/31.55 元 总股本/流通 A 股（万股）27,814/20,682 A 股市值（百万元）17,740 国家/地区 中国 行业 电子 报告发布日期 2023 年 02 月 23 日 1 周 1 月 3 月 12 月 绝对表现 3.2 12.75 13.15 20.43 相对表现 3.61 14.53 4.2 30.64 沪深 300-0.41-1.78 8.95-

8、10.21 蒯剑 *8514 执业证书编号：S0860514050005 香港证监会牌照：BPT856 李庭旭 执业证书编号：S0860522090002 韩潇锐 薛宏伟 杨宇轩 张释文 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 买入（首次）精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。2 目 录 1 平板显示检测领军企业，半导体、新能源开启成长新曲线.5 1.1 深耕平板显示检测，半导体+新能源助推战略转型.5 1.2 业绩新增

9、长点持续涌现，未来成长可期.6 1.3 下游客户覆盖范围广泛，多元化业务发展降低客户集中度.8 1.4 研发实力雄厚，高度重视人才建设.9 2 前道检测量测行业进入放量前夜，公司作为龙头之一确定性强.11 2.1 前道检测与量测设备市场空间大，已进入放量前夜.11 2.2 检测与量测赛道先发优势明显，公司作为龙头之一确定性强.14 3 锂电设备绑定核心客户，未来空间广阔.17 3.1 聚焦中后段设备环节，市场空间广阔.17 3.2 绑定核心大客户中创新航，受益大客户大幅扩产.18 4 平板显示技术持续升级，带动检测设备需求旺盛.20 盈利预测与投资建议.22 盈利预测.22 投资建议.23 风

10、险提示.23 YUnUoXlZuXcZwOzR8ObP6MsQmMoMpMkPpPmOiNpNsO6MqRoOwMmNtRMYrQnM 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。3 图表目录 图 1：公司业务线持续拓展.5 图 2：精测电子股权结构（截至 22 年 11 月 5 号）.6 图 3：公司 22 年前三季度营收略有下滑.7 图 4：半导体检测、新能源设备业务占比持续提升.7 图 5：公司归母净利润近三年略有下滑.7 图 6：原材料价

11、格上涨，短期毛利率承压.7 图 7：公司分产品毛利率.8 图 8：公司管理水平优异，费用管控能力良好.8 图 9：公司前五大客户销售情况.9 图 10：公司客户结构持续多元化.9 图 11：公司绑定半导体、显示、新能源领域头部客户.9 图 12：公司持续高研发投入.10 图 13：公司研发人员数量快速增长.10 图 14：检测与量测设备示意图.11 图 15：检测与量测主要应用.11 图 16：检测与量测工艺贯穿整个芯片生产过程.11 图 17：全球检测与量测设备市场规模.12 图 18：全球检测与量测设备市场格局-2020.12 图 19：中国检测与量测市场格局-2020.12 图 20：国

12、内检测与量测设备国产化率仅不足 3%.12 图 21：精测电子近 1 年新签订单呈现明显放量趋势.13 图 22：中科飞测在手订单快速增长.13 图 23：半导体设备国产化率有望加速提升.13 图 24：华海清科 CMP 市场份额加速提升.13 图 25：检测设备跨越多个技术领域.14 图 26：国内主要检测与量测设备厂商晶圆制造环节产品布局及市场空间.15 图 27：国内检测与量测设备头部厂商产品覆盖度相比 KLA 提升空间广阔.15 图 28：国内外主要半导体设备厂商毛利率对比（2021）.16 图 29：国内外主要半导体设备厂商净利率对比（2021）.16 图 30：KLA 设备平均使用

13、寿命达 12 年（装机量，台）.16 图 31：KLA 服务收入呈指数级增长.16 图 32：精测半导体存储器高低温高速老化测试设备.17 图 33：精测电子 JH5320 存储器测试系统.17 图 34：锂电池生产工艺流程.17 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。4 图 35：2015-2025E 年全球及中国动力电池出货量及预测.18 图 36：锂电设备市场规模有望快速增长（单位：亿元）.18 图 37：2016-2025E 国内显

14、示面板出货量（单位：百万平方米）.20 图 38：中国大陆新型显示设备市场规模（十亿元）.21 图 39：中国大陆新型显示行业检测设备市场规模（十亿元）.21 图 40：2021 年中国大陆 AMOLED 行业 Array 检测设备厂商销售额占比排名.21 图 41：2021 年中国大陆 AMOLED 行业 Cell/Module 检测设备厂商销售额占比排名.21 图 42：东湖高新区高端显示用电子检测系统研发及产业化项目.22 图 43：可比公司估值.23 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您

15、的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。5 1 平板显示检测领军企业平板显示检测领军企业，半导体、新能源开启成长，半导体、新能源开启成长新曲线新曲线 1.1 深耕平板显示检测，半导体+新能源助推战略转型 平板平板显示显示检测检测处于行业领先水平，半导体与新能源领域同步发力。处于行业领先水平，半导体与新能源领域同步发力。公司自 2006 年成立起，深耕平板显示检测领域十余年，集合“光、机、电、软、算”一体化系统优势，在平板显示检测领域已处于行业领先水平，期间成立昆山精讯进入检测自动化领域，并着手布局搭建海外研发中心与投资平台，进一步走向国际化；2018 年，先后成立武汉精鸿等子

16、公司开拓新赛道，涉及半导体、新能源、激光设备领域，战略转型初见成效。目前，公司将发展战略定为半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务提供商，未来将持续开拓半导体和新能源两大领域。图 1：公司业务线持续拓展 数据来源：公司官网，东方证券研究所 公司聚焦显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。公司聚焦显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。在显示领域，公司主营产品以LCD和 OLED显示器件检测设备为主，目前正在积极布局 Mini/Micro-LED检测设备，多款产品投放市场，取得了国外主流厂商的大批订单，且正在推进以-LED 为基础的半导体显示；半导体检测设备主要涉及半

17、导体前道量测检测设备和存储芯片自动检测设备（ATE），走在国产替代前列，尤其是公司自主开发的半导体制程工艺缺陷全自动检测、晶圆缺陷自动识别与分类等核心技术，以及定位于高速和全功能的 BI 产品线；新能源领域主要产品为锂电池检测和生产设备，可用于锂电池生产和电池管理系统各阶段的测试，公司经过持续的研发投入，已掌握了智能制造的多项通用核心技术，产品应用领域不断拓宽。表 1：公司主要产品及应用 产品类别产品类别 产品类型产品类型 产品用途产品用途 具体产品具体产品 平板显示检测设备 信号检测系统 可针对显示面板、显示模组的显示效果和电气参数等进行多功能检测，适用于显示面板和模组的研发、生产、信赖性试

18、验等环节的全面测试需求 LCD 模组信号检测系统、LCDCELL 信号检测系统等 AOI 光学检测系统 可针对模组、面板、背光、OLED 显示屏的光学、图像、外观等进行多功能自动检测，适用于被测品的产线测试需求 2.5DCG素玻璃外观检测系统、中大尺寸 OCAPI 检测系统等 OLED 调测系统 可针对 OLEDCELL、模组、触控效果、显示效果、电气特性进行多功能检测 OLED 模 组 检 测 系 统、OLEDCELL 图形信号检测系统等 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并

19、请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。6 平板显示自动化设备 可用于平板显示生产全制程 框胶检查机、膜厚测量机等 半导体检测设备 膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统和自 动 检 测 设 备（ATE）应用范围包括刻蚀、化学气相沉积、光刻和化学机械抛光（CMP）等 集成式膜厚量测设备、高精度光学关键尺寸量测设备（OCD）等 新能源设备 锂电池检测和生产设备 主要用于锂电池生产工序中的电芯装配和检测 锂电池化成分容系统、切叠一体机和 BMS 检测系统等 数据来源：精测电子可转债募集说明书，东方证券研究所 公司股权结构稳定，实际控制人彭骞持股公司股权结构稳定，实际控制人彭骞持股

20、26%以上。以上。截至 2022 年 11 月 5 日，公司实控人彭骞先生直接和间接持有公司 26.08%股份。公司主要控股参股公司共计 21 家。苏州精濑、武汉精立等子公司聚焦平板显示设备业务，上海精测聚焦半导体前道测试设备，常州精测聚焦新能源设备业务。2022年 6月，公司通过股权激励计划向 300多位公司核心管理、技术人员授予 575万股激励股权，核心管理、技术人员与公司高度绑定，有助公司长远发展。图 2：精测电子股权结构（截至 22 年 11 月 5 日）数据来源：精测电子可转债募集说明书，东方证券研究所 1.2 业绩新增长点持续涌现，未来成长可期 22年前三季度营收略有下滑年前三季度

21、营收略有下滑，半导体和新能源半导体和新能源业务占比逐渐增加业务占比逐渐增加。公司营业收入2019-2021年保持稳定增长，2022 年前三季度公司实现营收 18.2 亿元。平板检测显示设备方面，受疫情影响，2022 年前三季度光学检测系统、OLED 调测系统和平板显示自动化设备收入较上年同期分别降低了 13%、34%和 67%，6 月开始逐渐恢复；信号检测系统受下游需求拉动，营收较上年同期增长95%。半导体和新能源领域方面，半导体设备交付量显著提升，新能源设备开拓了新的市场，二者 2022 年均取得了较高的营收，较上年同期增长 44%和 502%，在营业收入中占比逐渐上升。精测电子首次报告 半

22、导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。7 图 3：公司 22 年前三季度营收略有下滑 图 4：半导体检测、新能源设备业务占比持续提升 数据来源：Wind，东方证券研究所 数据来源：Wind，东方证券研究所 毛利率和归母净利润有所下降。毛利率和归母净利润有所下降。公司归母净利润与毛利率在 2019-2021 年均呈下降趋势，与营收变动方向相反。受公司产品结构变化叠加原材料价格上涨的影响，2022 年前三季度，公司实现归母净利润 1.4 亿元，综合毛利率 44%。

23、其中，OLED 调测系统及 AOI 光学检测产品是公司主要的利润来源，尤其 OLED 调测系统下游需求旺盛，拉动了该领域销售收入的快速增长。图 5：公司归母净利润近三年略有下滑 图 6：原材料价格上涨，短期毛利率承压 数据来源：Wind，东方证券研究所 数据来源：Wind，东方证券研究所 平板显示业务毛利率有所下滑，半导体及新能源业务毛利率提升平板显示业务毛利率有所下滑，半导体及新能源业务毛利率提升。信号检测系统、半导体检测设备和 OLED 调测系统 2022 年前三季度的毛利率水平均高于公司综合毛利率，依次为 59%、52%、47%。信号检测系统具有较强的竞争力，在行业内保持领先优势；半导体

24、和新能源设备毛利率保持上升态势。-30%-25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%050022Q1-Q3营业收入（亿元）同比（右轴）0%50%100%20022Q1-Q3信号检测系统AOI光学检测系统OLED调测系统平板显示自动化设备半导体检测设备新能源设备其他-30%-25%-20%-15%-10%-5%0%00.511.522.5320022Q1-Q3归母净利润（亿元）同比（右轴）41%42%43%44%45%46%47%48%20022Q1-Q3毛利率 精测

25、电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。8 图 7：公司分产品毛利率 数据来源：Wind，东方证券研究所 公司费用率稳定公司费用率稳定。公司正处于业务扩张期，但仍维持着较为稳定的费用率，主要得益于公司较好的管理水平。图 8：公司管理水平优异，费用管控能力良好 数据来源：Wind，东方证券研究所 1.3 下游客户覆盖范围广泛，多元化业务发展降低客户集中度 平板检测业务平板检测业务客户资源丰富，客户资源丰富，未来将未来将拓宽拓宽 Mini/Micro

26、-LED 客户资源客户资源。平板检测行业具有客户集中度高的特点，优质的客户资源是行业日益重要的竞争优势。公司积累了丰富优质的客户资源，日前已全面覆盖 LCD、OLED 主要厂商，例如京东方、华星光电、Apple 等。作为平板检测行业的领军企业，公司正致力于提高公司研发实力与制造水平，未来将拓宽 Mini/Micro-LED 客户资源，客户数量将进一步多元化，有望降低客户依赖风险。半导体和新能源领域发展，有望降低客户集中度。半导体和新能源领域发展，有望降低客户集中度。公司与前五大客户建立了长期稳定的合作关系，凭借良好的产品性能和优质的客户服务赢得了下游客户的信赖。公司通过在新能源检测和半导体检测

27、领域的布局，横向拓宽了客户范围，例如长江存储、宁德时代等合作伙伴。从公司客户集中度，即公司前五大客户的销售收入占当期营收比例来看，呈连年下降的趋势。2019-2022Q3，前五大客户的比例分别为86%、76%、72%、62%，最终销往公司第一大客户京东方占比也从2019年的 45%下降到目前的 30%。0%10%20%30%40%50%60%20022Q1-Q3信号检测系统AOI光学检测系统OLED调测系统平板显示自动化设备半导体检测设备新能源设备0%2%4%6%8%10%12%20022Q1-Q3销售费用率管理费用率 精测电子首次报告 半导体量测设

28、备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。9 图 9：公司前五大客户销售情况 图 10：公司客户结构持续多元化 数据来源：精测电子可转债募集说明书，东方证券研究所 数据来源：精测电子可转债募集说明书，东方证券研究所 图 11：公司绑定半导体、显示、新能源领域头部客户 数据来源：公司官网，东方证券研究所 1.4 研发实力雄厚，高度重视人才建设 公司核心技术除了公司核心技术除了 AOI 技术以外，均源于自主研发，应用于平板显示、半导体检测及新能源设备技术以外，均源于自主研发，应

29、用于平板显示、半导体检测及新能源设备等产品的批量生产。等产品的批量生产。公司注重知识产权建设，持续加大对“光、机、电、算、软”技术融合与提升的研发投入，形成了完善的研发创新体系。表 2：公司核心技术积累丰富 核心技术核心技术 技术来源技术来源 应用产品类别应用产品类别 平板显示检测设备平板显示检测设备 DP 解码及分辨率自适应技术 自主研发 模组自动化检测系统；多路信号老化检测系统；信号扩展检测设备 高清静态图像信号编解码技术 自主研发 模组自动化检测系统；多路信号老化检测系统；辅助功能设备 Shorting Bar 探针短接式信号检测技术 自主研发 面板自动化检测系统 基于机器视觉 的 LC

30、D 屏缺陷自动光 学 检 测（AOI）技术 引进、自主研发 AOI 检测系统 半导体检测设备半导体检测设备 0%5%10%15%20%25%30%35%00500600京东方TCL致茂电子Apple和辉光电销售收入（百万元）占营业收入比例（右轴）0%20%40%60%80%100%20022Q1-Q3第一大客户占比前五大客户占比 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。10 薄膜椭偏测量技术 自主研

31、发 高性能膜厚量测设备 光学关键尺寸测量技术 自主研发 高精度光学关键尺寸量测设备 新能源设备新能源设备 双目视觉对位与纠偏技术 自主研发 柔性 OLED Array 段、切叠一体机 卷材收/放卷张力控制技术 自主研发 切叠一体机 数据来源：精测电子可转债募集说明书，东方证券研究所 核心技术团队稳定，研发经历丰富。核心技术团队稳定，研发经历丰富。公司高度重视研发人员的管理，公司有 6 名核心技术人员，大都有国内外领先半导体公司的从业经历。截至 2022 年 Q3，公司研发人员总数已达 1597 人，占公司总人数的 50%。此外，公司分别在 2017 年、2022 年进行股权激励，充分调动了研发

32、人员积极性。表 3：公司核心技术人员 姓名姓名 职务职务 学历学历 主要过往任职经历主要过往任职经历 陈凯 副董事长 硕士学历 华测电子 沈亚非 董事、副总经理 本科学历 武大英康、武汉长征、烽火通信 刘荣华 董事、副总经理 本科学历 泛林半导体 邓标华 副总经理 硕士学历 众友科技、虹信通信 秦明 显示事业群高级产品总监 武汉理工大学硕士 烽火通信、中兴通讯 白静 LCD 测试机产品线开发总监 湖北工业大学本科 安智泰科、安防技术 数据来源：精测电子可转债募集说明书，东方证券研究所 公司重视研发投入与研发人员建设。公司重视研发投入与研发人员建设。公司的每年的研发费用自 2020 年以后均超过

33、 3 亿元，研发费用率逐年上涨，至 2022年Q3已达 21%。随着公司经营规模的不断扩大，公司研发人员数量由2019 年的 1008 人上涨至 2022Q3 的 1597 人。图 12：公司持续高研发投入 图 13：公司研发人员数量快速增长 数据来源：wind，东方证券研究所 数据来源：wind，东方证券研究所 0%5%10%15%20%25%0.0100.0200.0300.0400.0500.020022Q1-Q3研发费用（百万元）研发费用率（右轴）42%43%44%45%46%47%48%49%50%51%020040060080001600

34、020212022Q3研发人员占员工总数比例（右轴）精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。11 2 前道检测量测行业进入放量前夜，公司作为龙头之前道检测量测行业进入放量前夜，公司作为龙头之一确定性强一确定性强 2.1 前道检测与量测设备市场空间大，已进入放量前夜 检测与量测设备是集成电路制造核心设备之一，是保证芯片良率的关键。检测与量测设备是集成电路制造核心设备之一，是保证芯片良率的关键。检测与量测设备是应用于芯片制造

35、工艺过程中的测量类设备和缺陷（含颗粒）检查类设备的统称。检测指在晶圆表面上或电路结构中，检测其是否出现异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷；量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述，如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。随着芯片结构的不断细微化和工艺的不断复杂化，工艺检测设备在先进前段生产线中发挥着越来越重要的作用。图 14：检测与量测设备示意图 图 15：检测与量测主要应用 数据来源：上海精测官网、东方证券研究所 数据来源：中科飞测招股书、东方证券研究所 检测与量测设备品类众多，贯穿整个芯片生产流程。检测

36、与量测设备品类众多，贯穿整个芯片生产流程。薄膜沉积、光刻、掩膜、刻蚀、离子注入、CMP、清洗等每个工艺环节的质量控制均需要用到检测与量测设备。图 16：检测与量测工艺贯穿整个芯片生产过程 主要产品 前道制程 先进封装 薄膜沉积 光刻 掩膜 刻蚀 离子注入 CMP 清洗 光刻 刻蚀 电镀 键合 检测设备 掩膜版缺陷检测设备-无图形晶圆缺陷检测设备 -图形晶圆缺陷检测设备-纳米图形晶圆缺陷检测设备-电子束缺陷检测设备-电子束缺陷复查设备-量测设备 关键尺寸量测设备-电子束关键尺寸量测设备-套刻精度量测设备-晶圆介质薄膜量测设备 -X 光量测设备 -掩膜版关键尺寸量测设备-三维形貌量测设备-精测电子

37、首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。12 晶圆金属薄膜量测设备 -计数 4 8 2 7 6 7 4 5 5 5 4 数据来源：中科飞测招股书、东方证券研究所 检测与量测设备检测与量测设备 2022 年国内市场约年国内市场约 200 亿人民币，亿人民币，KLA 等美系厂商主导等美系厂商主导。全球半导体检测和量测设备市场保持高速增长态势，2021 年全球市场规模达 100 亿美元，预计 2022 年将达到 112 亿美元，中国市场在全球中占比约29%

38、，2022年国内市场空间约200亿元。前道检测设备领域中，科磊（KLA，美国）在大部分量测设备处于龙头地位，占全球 51%的市场份额；阿斯麦（ASML，荷兰）量测业务优势领域在套刻误差测量、电子束检测，应用材料（AMAT，美国）优势领域也在电子束检测，新星测量仪器（Nova，以色列）优势领域在膜厚检测设备，日立（Hitachi，日本）则主要是 CD-SEM（关键尺寸量测-电子束）处于行业领先地位，雷泰光电（Lasertec，日本）则聚焦 EUV 掩模版检测，创新科技（Onto Innovation，美国）优势在于关键尺寸测量和缺陷检测。图 17：全球检测与量测设备市场规模 图 18：全球检测与

39、量测设备市场格局-2020 数据来源：Wind、Gartner、东方证券研究所 数据来源：中科飞测招股书、VLSI Research、QY Research、东方证券研究所 检测与量测设备国产率不足检测与量测设备国产率不足 3%，是是未来长存、长鑫等产线扩产需要突破未来长存、长鑫等产线扩产需要突破的的关键关键环节。环节。2022年10月7日，美国商务部工业和安全局（BIS）公布了一系列更广泛的出口管制新规，半导体制造端限制延伸至 18 纳米或以下的 DRAM芯片、128 层或以上的 NAND闪存芯片和 14 纳米或以下的逻辑芯片。直接导致国内长江存储、合肥长鑫等产线扩产规划受阻，相关厂商如果未

40、来想在此次新规限制的技术范畴内扩产，检测量测设备的突破将成为关键的一环。根据我们的测算，国内头部厂商中科飞测、精测电子、上海睿励2021年在国内检测量测设备市场份额仅1.9%、0.7%、0.2%，行业国产化率未来 3-5 年至少 10 倍级提升空间。从确定性的角度看，国内主要存储、先进逻辑产线扩产诉求强烈，检测与量测设备突破必要性强。图 19：中国检测与量测市场格局-2020 图 20：国内检测与量测设备国产化率仅不足 3%395462576936080002020212022E全球检测设备市场规模（亿美元

41、）中国检测与量测设备市场规模（亿美元）51%12%9%6%6%5%3%2%7.80%科磊（KLA）应用材料日立雷泰光电创新科技阿斯麦新星测量仪器康特科技其他 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。13 数据来源：中科飞测招股书、VLSI Research、QY Research、东方证券研究所 数据来源：wind、东方证券研究所 设备验证有望加速，设备验证有望加速，精测电子等精测电子等头部厂商已有放量势头。头部厂商已有放量势头。由于过去国内

42、检测与量测市场主要由美系厂商主导，国内厂商体量较小，我们预计，美国半导体管制新规后国内检测与量测设备厂商有望受到下游晶圆厂、政府部分鼎力支持，设备验证和订单放量加速可期。目前，头部厂商已有放量势头，精测电子 2021 年 12 月 1 日至 2022 年 11 月 11 日仅某单一大客户半导体检测量测设备新签订单就已达到约 3.4 亿，相当于 2022 年前三季度该部分营收的 3 倍以上；中科飞测 2021 年底在手订单金额达到 10 亿元，是 2020 年底的约 4 倍。图 21：精测电子近 1 年新签订单呈现明显放量趋势 图 22：中科飞测在手订单快速增长 注：上述新签订单时间段为 202

43、1 年 12 月 1 日至 2022 年 11 月 11 日 数据来源：精测电子公告、东方证券研究所 数据来源：中科飞测招股书、东方证券研究所 行业特点决定行业特点决定未来未来放量有望呈现指数级增长。放量有望呈现指数级增长。一方面，半导体设备在下游客户验证有一定复用性，同种工艺的机台在客户 A 处通过验证后在客户 B 处验证时间有望缩短；另一方面，随着下游晶圆厂对于国产设备的信任度增强，订单往往呈现样机小批量订单大批量订单的特征，所以半导体设备放量过程往往存在加速趋势。以华海清科为例，公司2018年CMP设备在国内份额仅2%，但仅 4 年间便提升至 32%，增长倍数为 2 的四次方。我们认为，

44、检测与量测设备市场目前相当于2018 年的 CMP 设备市场，美国半导体管制新规和国内相关厂商扩产需求迫切的背景下未来国内相关厂商份额和收入增长将驶入快车道。图 23：半导体设备国产化率有望加速提升 图 24：华海清科 CMP 市场份额加速提升 55%9%7%4%3%2%20.00%科磊（KLA）应用材料日立雷泰光电阿斯麦康特科技其他1.9%0.7%0.2%0.0%0.5%1.0%1.5%2.0%2.5%0.00.51.01.52.02.53.03.54.0中科飞测精测电子上海睿励检测量测设备收入（亿元）-2021国内份额0.81.13.40.00.51.01.52.02.53.03.54.0

45、2021年1-9月营收2022年1-9月营收单一大客户新签订单精测电子-半导体检测设备（亿元）1.22.610.00.02.04.06.08.010.012.0201920202021中科飞测 在手订单金额（亿元）精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。14 数据来源：东方证券研究所整理 数据来源：Wind、东方证券研究所 2.2 检测与量测赛道先发优势明显，公司作为龙头之一确定性强 行业先发优势明显，行业先发优势明显，精测电子等精测电子等头

46、部厂商确定性强。头部厂商确定性强。行业先发优势主要来源于：1）检测设备的技术跨越电子束、X 射线衍射、激光照明以及高性能计算等领域，并需要运用光学、电学原理进行纳米级精密程度以及 3D 维度上的检测及量测，整体硬件技术壁垒高，且下游验证流程长、成本高，因此行业内存在先发优势；2）检测与量测设备功能的实现依赖数据积累和算法设计，头部厂商数据积累丰富，更具备优势；3）设备需要持续升级迭代，头部厂商依赖与下游头部晶圆厂的紧密合作能够第一时间了解下游客户最新工艺需求，保持技术的持续领先。因此，我们认为当前精测电子、中科飞测等头部检测与量测设备厂商有望持续保持领先优势，是未来检测量测国产化替代最大的受益

47、者，具有高度确定性。图 25：检测设备跨越多个技术领域 数据来源：KLA 公告、东方证券研究所 公司公司已有产品放量空间大。已有产品放量空间大。目前上海精测在膜厚、电子束、OCD 设备方面均处于国内领先地位，公司膜厚产品、电子束量测设备已取得国内一线客户的批量订单；明场光学缺陷检测设备（主要用于图形晶圆检测）已取得突破性订单，OCD 设备（光学关键尺寸量测设备）获多家一线客户验2%2%10%13%18%32%0%5%10%15%20%25%30%35%020040060080007200212022E华海清科CMP业务收入-百万

48、元国内市占率 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。15 证通过，已取得部分订单，半导体硅片应力测量设备也取得客户订单。公司已有产品国内市场空间在百亿以上，去年该部分收入仅 1.4 亿元，未来放量空间广阔。图 26：国内主要检测与量测设备厂商晶圆制造环节产品布局及市场空间 国内厂商 主要产品类别 21 年营收（亿元）21 年国内市场空间（亿元）进展 精测电子 关键尺寸量测设备 1.4 23 多家一线客户验证通过，取得部分订单 电子束检测设备

49、 23 国内一线客户批量订单 薄膜膜厚测量设备 23 国内一线客户批量订单 图形晶圆缺陷检测设备 64 突破性订单 三维形貌量测设备 2 产品已交付客户 中科飞测 无图形晶圆缺陷检测设备 1.7 9 批量订单 图形晶圆缺陷检测设备 1.0 64 批量订单 三维形貌量测设备 0.7 2 批量订单 薄膜膜厚量测设备 未披露 23 验证通过 上海睿励 薄膜膜厚量测设备 0.4 23 批量订单 关键尺寸量测设备 23 未披露 图形晶圆缺陷检测设备 64 未披露 数据来源：中科飞测公告、精测电子公告、Semi、智研咨询、wind、东方证券研究所 未来新产品拓展带来增量空间。未来新产品拓展带来增量空间。目

50、前前道检测与量测设备领域细分来看，公司目前仅覆盖 5 个主要类别，随着公司持续推进新产品研发、认证，未来产品品类拓展能带来的增量空间广阔，将不断贡献新成长曲线。图 27：国内检测与量测设备头部厂商产品覆盖度相比 KLA 提升空间广阔 主要产品 KLA 科磊 应用 材料 创新 科技 新星 测量仪器 康特 科技 帕克 公司 上海 睿励 精测 电子 中科 飞测 检测 设备 掩膜版缺陷检测设备 -无图形晶圆缺陷检测设备 -图形晶圆缺陷检测设备 -纳米图形晶圆缺陷检测设备 -电子束缺陷检测设备 -电子束缺陷复查设备 -量测 设备 光学关键尺寸量测设备 -电子束关键尺寸量测设备-套刻精度量测设备 -晶圆介

51、质薄膜量测设备 -X 光量测设备-掩膜版关键尺寸量测设备 -三维形貌量测设备 -晶圆金属薄膜量测设备-精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。16 计数 11 4 6 2 1 1 3 5 4 注：代表具备验证通过、批量供货；代表验证中或未披露相关进展信息 数据来源：中科飞测公告、精测电子公告、东方证券研究所 检测检测与与量测设备长期盈利能力可观，国产厂商提升空间巨大。量测设备长期盈利能力可观，国产厂商提升空间巨大。检测与量测设备由于定制化程度

52、更高、且依赖于数据和算法，因此相比其他半导体设备环节具备更好的盈利能力，全球检测与量测设备龙头 KLA 最近财年的毛利率达到 60%，显著高于 AMAT、LAM 等厂商，此外净利率也达到30%。公司相比 KLA 仍有巨大提升空间，盈利能力有望随未来业务放量快速提升。图 28：国内外主要半导体设备厂商毛利率对比（2021）图 29：国内外主要半导体设备厂商净利率对比（2021）注：上图中精测电子毛利率取半导体业务毛利率 数据来源：wind、东方证券研究所 数据来源：wind、东方证券研究所 长期服务收入有望带来长期服务收入有望带来进一步进一步增量。增量。检测与量测设备使用寿命长，以 KLA 为例

53、，KLA 超过 50%设备使用寿命达 18 年，平均使用寿命为 12 年，服务类收入受益于长使用寿命将不断增加，且受行业周期波动影响小，服务收入随装机量扩大呈现快速增长态势，收入贡献占比超过 20%。我们认为，长期来看，随头部厂商装机量持续提升，服务收入亦将为检测与量测厂商业绩表现带来显著贡献。图 30：KLA 设备平均使用寿命达 12 年（装机量，台）图 31：KLA 服务收入呈指数级增长 注：Class 代表产品推出年份 数据来源：KLA 公告、东方证券研究所 数据来源：KLA 公告、东方证券研究所 60%47%47%53%46%37%49%0%10%20%30%40%50%60%70%K

54、LAAMATLAMASMLTEL精测电子 中科飞测KLAAMATLAMASMLTEL精测电子中科飞测30%26%27%32%22%6%15%0%5%10%15%20%25%30%35%KLAAMATLAMASMLTEL精测电子 中科飞测KLAAMATLAMASMLTEL精测电子中科飞测0000040000500006000095979901315171921Class-90Class-95Class-00Class-05Class-10Class-15Class-200400800020022003200420052006200

55、720082009200001920202021KLA服务收入（百万美元）精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。17 武汉精鸿布局武汉精鸿布局 Memory ATE 检测设备，实现存储检测领域重要突破。检测设备，实现存储检测领域重要突破。公司子公司武汉精鸿主要聚焦自动检测设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备），目前已实现关键核心产品技术转移、国产化研发、制造、核心零

56、部件国产化，老化（Burn-In）产品线在国内一线客户实现批量重复订单、CP（Chip Probe，晶片探测）/FT（FinalTest，最终测试，即出厂测试）产品线相关产品已取得量产订单，CP 产品已完成交付、FT 产品即将完成交付，目前批量订单正在积极争取中。未来随着国内存储项目上量，精测电子有望受益。根据泰瑞达，2022 年全球 memory 测试市场大约 10 亿美元，受海外厂商爱德万、泰瑞达主导，公司设备具有重要的国产替代意义。图 32：精测半导体存储器高低温高速老化测试设备 图 33：精测电子 JH5320 存储器测试系统 数据来源：公司官网、东方证券研究所 数据来源：公司官网、东

57、方证券研究所 3 锂电设备锂电设备绑定核心客户，未来空间广阔绑定核心客户，未来空间广阔 3.1 聚焦中后段设备环节，市场空间广阔 公司锂电设备主要面向锂电池产业链中后段工序。公司锂电设备主要面向锂电池产业链中后段工序。锂电池生产工艺复杂，技术更新快，生产流程可分为前段、中段、后段。前段工序为极片制片环节；中段为电芯装配环节，以卷绕机或叠片机为核心设备；后段为电芯检测和组装环节，以化成柜和分容机为核心设备。公司的锂电池检测和生产设备主要在锂电池生产的中后段中发挥重要作用，具体产品为锂电池化成分容系统、切叠一体机等。图 34：锂电池生产工艺流程 数据来源：精测电子可转债募集说明书，东方证券研究所

58、精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。18 动力电池领域和储能动力电池领域和储能领域有望快速增长领域有望快速增长。新能源汽车市场的井喷式发展带动了上游动力厂商的加速扩产，中国目前拥有最大的动力电池市场。GGII 数据显示，国内动力锂电池出货量 2022 年上半年出货量已超过 200GWh，同比增长 150%以上。经预测，2025 年全国动力电池市场出货量将达到 850 GWh，五年复合增速约为 60%。而储能电池市场同样发展迅速，根据 GG

59、II 数据，2020 年中国储能电池市场出货量为 16GWh，预计到 2025 年中国储能电池出货量将达到 58GWh，2020-2025 年复合增长率 29%。图 35：2015-2025E 年全球及中国动力电池出货量及预测 数据来源：高工产研锂电研究所（GGII），东方证券研究所 锂电锂电设备市场有望快速扩容设备市场有望快速扩容。GGII 统计显示，2021 年中国锂电设备市场规模为 588 亿元，同比增长 105%，其中前端设备市场占比 44%，中端、后端占比依次为 36%和 20%。GGII 预测，在新一轮锂电设备扩产周期中，锂电设备市场规模将快速上升，2025 年可以达到 1200

60、亿元，其中锂电前中后段市场规模将分别上升至 508 亿元、415 亿元以及 277 亿元。图 36：锂电设备市场规模有望快速增长（单位：亿元）数据来源：高工产研锂电研究所（GGII），东方证券研究所 3.2 绑定核心大客户中创新航，受益大客户大幅扩产 中创新航中创新航 2021 年年以来以来扩产项目总投资额超过扩产项目总投资额超过 600 亿元亿元。受益于新能源汽车产业的快速发展，中创新航、蜂巢能源等动力电池厂商纷纷加大投资扩产的节奏，2021年 11月，中创新航将2025年电池目标产能上调至 500GWh，并预计在 2030 年实现 1000GWh 的产能。自此，中创新航的产02004006

61、00800062002020212022E 2023E 2024E 2025E中国出货量（GWH）全球出货量（GWH）0%20%40%60%80%100%120%020040060080002002020212025E前端中端后端合计增幅（右轴）精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。19 能扩张步伐明显提速。2021 年以来分别在合

62、肥、武汉、江苏等地投建电池生产项目，总投资额668 亿元。表 4：中创新航 2021 年以来扩产项目（截至 2022 年底）扩产项目扩产项目名称名称 地点地点 总投资额总投资额 规划产能规划产能 2021 年年 中航锂电合肥基地项目 合肥市 248 亿元 50GWh 动力电池及储能电池武汉基地项目 武汉经开区 100 亿元 20GWh 中航锂电江苏四期项目 江苏 100 亿元 25GWh 2022 年年 动力电池及储能电池广州基地项目 广州市-50GWh 江门项目投资合作 江门市-50GWh 中创新航厦门三期项目 厦门市-40GWh（三期全部建成后将达 60 GWh）中创新航动力电池及储能系统

63、眉山基地项目 眉山市 100 亿元 20GWh 动力电池及储能电池武汉基地项目 武汉经开区 120 亿元 30GWh（累计已达 50 GWh）数据来源：电池网、索比储能网、东方证券研究所 可转债可转债项目扩产锂电装备产能，与中创开展深度合作持续受益。项目扩产锂电装备产能，与中创开展深度合作持续受益。公司通过发行可转债募投精测新能源智能装备生产项目，由常州精测设立于常州金坛，总投资 6.7 亿元，建设期 18 个月。项目的主要目标客户以中创新航等动力电池厂商为主，有关新能源产品的研发取得重要进展，化成分容测试系统和切叠一体机均已通过目标用户的认证，其中，化成分容自动测试系统核心组件化成及分容电源

64、柜已实现量产销售。2021-2022Q3，累计取得化成分容产品订单金额 4.28 亿元。公司与中创将在锂电设备展开深度合作，共同研发产品，包括定期进行技术交流会、中创提供技术支持等，为募投产品的研发和认证提供了良好的保障，公司成长空间有望不断打开。表 5：新能源项目募投产品的客户认证进展情况 募投项目产品募投项目产品 完全达产年营业完全达产年营业收入（万元）收入（万元）客户认证情况客户认证情况 主要目标客户主要目标客户 产品认证进展情况产品认证进展情况 化成分容测试系统 45000 中创新航、武汉中原电子 已通过认证并实现量产销售 切叠一体机 65000 中创新航 已获得认证通过 电芯装配线

65、30000 某头部锂电池厂商 产品预研完成，处于技术方案对接阶段，预计 2023 年上半年通过产品认证并实现量产 锂电池视觉检测系统 3500 中创新航、新海宜等 产品样机开发阶段，预计 2022 年底通过产品认证并实现量产 激光模切机 3000 中创新航等 产 品 预 研 阶 段，预 计 2023 年上半年通过产品认证并实现量产 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。20 数据来源：公司公告，东方证券研究所 4 平板显示技术持续升级，平板

66、显示技术持续升级，带动检测设备需求旺盛带动检测设备需求旺盛 平板显示检测是平板显示器件生产制程中不可或缺的一环，工作原理是在平板显示器件如 LCD、OLED 的生产过程中进行光学、信号、电气性能等各种功能检测，其发展主要受下游显示面板已有产业升级和新增产业投资的影响，与显示面板产业的发展息息相关。LCD 大陆大陆产能产能扩张扩张趋缓趋缓，但国内，但国内已有已有产线存量升级需求旺盛产线存量升级需求旺盛。显示面板市场由 LCD 和 OLED 面板市场构成，目前 LCD 市场已趋于饱和。根据 Frost&Sullivan 数据，2019 年以前，OLED 出货量占比不到 1%，2020 年出货量快速

67、增长到 120 万，2020-2025 年 CAGR 为 38%；LCD 显示面板 2020 年出货量约为 8990 万平方米，占据主导地位，产能增速趋缓，2016-2020 年 CAGR 为20%，2020-2025E的CAGR为5%。尽管未来产能增量趋缓，但已有产线存在存量升级需求，面板产线通常生命周期为 8 年，其中生产设备、检测设备技改需求约 4 年，带动 LCD 检测设备需求维持旺盛。图 37：2016-2025E 国内显示面板出货量（单位：百万平方米）数据来源：精测电子可转债募集说明书，Frost&Sullivan，东方证券研究所 新型显示新型显示行业发展迅速行业发展迅速。CINN

68、O Research 统计显示，2021 年，中国大陆新型显示行业设备市场规模达 1100 亿元，其中，AMOLED 设备市场规模约 600 亿元，占比约 55%，Mini/Micro LED 和TFT-LCD 市场规模各占比 24%和 21%。随着 2024 年新一轮建厂周期的出现，市场规模将迎来约866 亿元的峰值；作为新型显示行业新的发力点，2025 年 Mini/Micro LED 市场规模将达 270 亿元。在新型显示行业检测设备领域，中国大陆 2021 年市场规模约 59 亿元，其中 Cell/Module 光学检测设备约 21 亿元，占比 36%。随着 TFT-LCD 及 AMO

69、LED 多座工厂进入建设，2024 年市场规模有望突破 92 亿元，Cell/Module 制程光学检测设备将达到 26 亿元。43.556.171.183.589.998.1103.7108111.4115.10.10.10.30.81.22.12.945.26.0000202021E2022E2023E2024E2025ELCD显示面板OLED显示面板 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告

70、最后一页的免责申明。21 图 38：中国大陆新型显示设备市场规模（十亿元）图 39：中国大陆新型显示行业检测设备市场规模（十亿元）数据来源：CINNO Research，东方证券研究所 数据来源：CINNO Research，东方证券研究所 精测电子等精测电子等本土厂商强势占领本土厂商强势占领 AMOLED Cell/Module 检测设备市场检测设备市场，Array 检测未来拓展空间检测未来拓展空间大大。Cell/Module 制程中本土厂商表现不俗，以华兴源创、精测电子为代表的本土厂商竞争力较强，占据了一半以上的市场份额，其中精测电子以信号发射器为核心产品，在 AVI、API、De-Mur

71、a、OTP、老化设备均有布局，占据 23%的市场份额。Array 制程的大陆销售市场主要由国外和台湾地区的供应商占据，精测电子仅占 3%的份额，未来仍有广阔空间。图 40：2021年中国大陆 AMOLED行业 Array检测设备厂商销售额占比排名 图 41：2021 年中国大陆 AMOLED 行业 Cell/Module 检测设备厂商销售额占比排名 数据来源：CINNO Research，东方证券研究所 数据来源：CINNO Research，东方证券研究所 公司平板显示公司平板显示检测设备检测设备布局全面。布局全面。精测电子是行业内少数几家能够提供平板显示三大制程检测系统的企业，经过多年的发

72、展，目前已经有 OLED 自动老化测试设备、LCD TV 自动测试设备、自动 Mura 补偿设备等投放市场，涵盖 LCD、OLED、Mini/Micro-LED 等各类平板显示器件检测系统。公司公司建设新型显示检测产业基地建设新型显示检测产业基地，重点投向重点投向 OLED 和和 Mini/Micro-LED。武汉精立在武汉东湖高新区投资建设高端显示用电子检测系统生产基地，该项目建设期 3 年，总投资 6.8 亿元。为满足下游市场持续增长的需求，应对平板显示行业快速迭代发展，该项目主要集中于中大尺寸 OLED 和 Mini/Micro-LED 领域，属于在平板显示业务细分领域的进一步扩张，能够

73、进一步完善关键产品布局，更好地适配下游厂商生产工艺。通过建设新型显示生产研发基地，购买先进研发设备，将050100150AMOLED设备投资TFT-LCD设备投资Mini LED/Micro LED设备投资0510Cell/Module制程老化及其他检测设备Cell/Module制程光学检测设备Array制程电性及其它检测设备Array制程光学检测设备21%15%10%6%4%4%4%3%5%28%HB TechYang ElectronicDITOrbotechV-TechThermo FisherKeysight精测电子其他（境内）其他（境外）32%23%13%10%4%8%10%华兴源创

74、精测电子精智达凌云光ANI其他（境内）其他（境外）精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。22 助力公司提升新型显示领域高端电子检测系统的生产研发实力，进一步提升企业在该关键领域的核心竞争力。图 42：东湖高新区高端显示用电子检测系统研发及产业化项目 数据来源：精测电子官网、东方证券研究所 布局布局 AR/VR/MR 头显检测设备，增添成长动能。头显检测设备，增添成长动能。AR/VR/MR等头显设备配套检测的布局深入且已取得较大进展，其中 M

75、icro-OLED、光学显示模组（Eyecup）等配套检测均已收获国际知名头部客户订单。另外公司与国际头部客户 M 合作开发的 Micro-LED 配套屏幕检测设备项目进展顺利，目前已拿到客户的验证订单，将为公司后续顺利拿到 AR 领域的量产订单奠定良好的基础。盈利预测与投资建议盈利预测与投资建议 盈利预测 我们对公司 2022-2024 年盈利预测做如下假设：1)收入的大幅增长来自于半导体设备、新能源设备的快速放量，精测半导体量测设备布局领先，受益国产化率持续提升；新能源设备绑定大客户中创新航，受益大客户大规模扩产。我们预计 22-24 年公司收入分别为 28、34、44 亿元。2)公司22

76、-24年毛利率分别为 44.7%、45.7%、47.0%。毛利率的提升一方面受益于疫情后成本压力缓解，另一方面受益于半导体设备业务放量带来的盈利能力改善。3)公司 22-24 年销售费用率为 7.7%,7.4%和 7.2%，管理费用率为 8.8%,8.5%和 8.4%。销售、管理费用的下降主要考虑到销售收入的增长对费用有一定的摊薄影响。研发费用率预计 22-24 年为 19.0%、16.6%、15.1%，预计公司持续高研发投入进行产品升级、并拓展新产品、新客户。4)公司 22-24 年的所得税率维持 15.0%。盈利预测核心假设 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师

77、的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。23 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 平板显示设备平板显示设备 销售收入（百万元）1,894.5 2,187.6 2,298.3 2,362.9 2,434.1 增长率-0.1%15.5%5.1%2.8%3.0%毛利率 49.6%43.8%45.7%45.8%46.2%新能源设备新能源设备 销售收入（百万元）80.9 51.9 310.2 518.4 978.0 增长率 478.4%-35.9%498.3%67.1%88.7%毛利率 4.

78、7%30.5%32.0%35.0%35.0%半导体设备半导体设备 销售收入（百万元）64.7 136.2 200.0 495.3 990.7 增长率 1276.2%110.5%46.9%147.6%100.0%毛利率 38.2%37.0%50.0%55.0%60.0%其他业务其他业务 销售收入（百万元）36.5 33.3 36.6 40.3 44.3 增长率 2.3%-8.8%10.0%10.0%10.0%毛利率 45.5%60.8%60.8%60.8%60.8%合计 2,076.5 2,409.0 2,845.1 3,416.9 4,447.2 增长率 6.4%16.0%18.1%20.1%

79、30.2%综合毛利率 47.4%43.3%44.7%45.7%47.0%资料来源：公司数据，东方证券研究所预测 投资建议 我们预测公司 22-24 年每股收益分别为 0.99、1.40、1.96 元，选取平板显示设备供应商华兴源创、半导体设备供应商北方华创、芯源微、拓荆科技、中微公司、上游设备零部件供应商富创精密作为可比公司，根据可比公司23年平均57倍PE估值，给予79.80元目标价，首次给予买入评级。图 43：可比公司估值 数据来源：朝阳永续、东方证券研究所 风险提示风险提示 平板显示设备平板显示设备需求不及预期：需求不及预期：平板显示设备仍然是公司目前主要业务，若下游需求不及预期，将对公

80、司收入及利润产生负面影响。公司公司代码代码最新价格(元)最新价格(元)2023/2/222021A2022E2023E2024E2021A2022E2023E2024E华兴源创68800133.270.710.751.091.3346.6944.3630.5225.02北方华创002371240.912.044.205.747.72118.1957.3541.9331.21芯源微688037213.860.842.032.803.95256.09105.3576.3354.21拓荆科技-U688072278.640.542.853.635.45514.5797.7276.7051.10中微公司

81、688012108.491.641.862.292.9066.1058.4447.4737.36富创精密688409114.720.611.131.792.66189.59101.8264.2443.18最大值514.57105.3576.7054.21最小值46.6944.3630.5225.02平均数198.5477.5156.2040.34调整后平均157.4978.8357.5040.71每股收益（元）每股收益（元）市盈率市盈率 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅

82、读本证券研究报告最后一页的免责申明。24 检测量测设备检测量测设备国产化进度不及预期：国产化进度不及预期：检测量测设备国产化率较低，公司未来受益于国产化率的提升，若国产化进度不及预期，将对公司该部分业务的收入和整体估值产生负面影响。半导体半导体设备设备毛利率提升不及预期毛利率提升不及预期：目前公司半导体设备业务规模较小，未来随规模体量扩大毛利率有望提升，若毛利率提升不及预期，将对公司盈利产生负面影响。新能源设备核心大客户扩产不及预期：新能源设备核心大客户扩产不及预期：公司目前和中创新航建立了战略合作关系，新能源设备收入依赖于大客户扩产节奏，若大客户扩产不及预期，将对该部分收入产生负面影响。费用

83、率下降不及预期：费用率下降不及预期：目前公司多业务条线共同发展，持续储备新品并进行技术升级，需要大量研发费用，若未来费用率下降不及预期，将对公司盈利产生负面影响。半导体设备行业景气度不及预期：半导体设备行业景气度不及预期：若下游晶圆厂缩减资本开支，导致设备支出下行，将对公司收入及利润产生负面影响。零部件断供风险：零部件断供风险：设备类公司部分零部件供应仍依赖海外供应商，若零部件断供，将对公司设备交付及业绩产生负面影响。精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后

84、一页的免责申明。25 附表：财务报表预测与比率分析 资产负债表 利润表 单位单位:百万元百万元 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 单位单位:百万元百万元 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 货币资金 1,301 1,474 929 1,025 1,334 营业收入营业收入 2,077 2,409 2,845 3,417 4,447 应收票据、账款及款项融资 748 926 1,093 1,313 1,709 营业成本 1,092 1,365 1,572 1,856 2,358 预付账款 57 76 90 108 140 营业税金及附加 12 1

85、6 19 23 29 存货 875 943 1,086 1,282 1,629 销售费用 180 208 218 252 319 其他 339 391 441 505 622 管理费用及研发费用 493 655 790 857 1,044 流动资产合计流动资产合计 3,320 3,810 3,639 4,234 5,435 财务费用 71 48 40 57 83 长期股权投资 222 216 216 216 216 资产、信用减值损失 18 22 35 25 25 固定资产 636 662 1,148 1,663 2,076 公允价值变动收益(30)(15)(10)(10)(10)在建工程 3

86、03 764 962 1,055 898 投资净收益(9)19 0 0 0 无形资产 191 212 196 179 163 其他 81 78 130 120 120 其他 312 383 161 153 145 营业利润营业利润 250 176 291 458 698 非流动资产合计非流动资产合计 1,664 2,237 2,682 3,267 3,497 营业外收入 0 0 1 1 1 资产总计资产总计 4,984 6,047 6,321 7,501 8,932 营业外支出 1 4 6 6 6 短期借款 968 630 630 1,382 2,110 利润总额利润总额 250 172 28

87、6 453 693 应付票据及应付账款 853 665 766 905 1,150 所得税 34 33 43 68 104 其他 406 377 390 408 441 净利润净利润 216 140 243 385 589 流动负债合计流动负债合计 2,226 1,672 1,787 2,696 3,700 少数股东损益(28)(52)(32)(6)43 长期借款 285 229 229 229 229 归属于母公司净利润归属于母公司净利润 243 192 274 390 546 应付债券 270 281 281 281 281 每股收益（元）0.87 0.69 0.99 1.40 1.96

88、其他 345 322 322 322 322 非流动负债合计非流动负债合计 900 833 833 833 833 主要财务比率主要财务比率 负债合计负债合计 3,127 2,505 2,620 3,529 4,533 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 少数股东权益 106 228 196 190 234 成长能力成长能力 实收资本（或股本）247 278 278 278 278 营业收入 6.4%16.0%18.1%20.1%30.2%资本公积 477 1,898 1,898 1,898 1,898 营业利润-19.2%-29.6%64.9%57.5%52.6%留存

89、收益 967 1,075 1,266 1,542 1,926 归属于母公司净利润-9.8%-20.9%42.7%42.2%39.9%其他 62 63 63 63 63 获利能力获利能力 股东权益合计股东权益合计 1,857 3,542 3,702 3,972 4,399 毛利率 47.4%43.3%44.7%45.7%47.0%负债和股东权益总计负债和股东权益总计 4,984 6,047 6,321 7,501 8,932 净利率 11.7%8.0%9.6%11.4%12.3%ROE 15.2%7.6%8.0%10.7%13.7%现金流量表 ROIC 8.5%4.5%5.8%8.0%10.2%

90、单位单位:百万元百万元 2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 偿债能力偿债能力 净利润 216 140 243 385 589 资产负债率 62.7%41.4%41.4%47.0%50.8%折旧摊销 36 62 57 77 95 净负债率 12.6%0.0%8.2%24.2%31.4%财务费用 71 48 40 57 83 流动比率 1.49 2.28 2.04 1.57 1.47 投资损失 9(19)0 0 0 速动比率 1.10 1.71 1.43 1.09 1.03 营运资金变动 298(618)(260)(343)(616)营运能力营运能力 其它(183)205

91、224 11 11 应收账款周转率 2.6 2.9 2.8 2.9 3.0 经营活动现金流经营活动现金流 447(182)304 186 163 存货周转率 1.4 1.5 1.5 1.6 1.6 资本支出(446)(547)(716)(661)(326)总资产周转率 0.4 0.4 0.5 0.5 0.5 长期投资 18 4 0 0 0 每股指标（元）每股指标（元）其他 175(64)(10)(10)(10)每股收益 0.87 0.69 0.99 1.40 1.96 投资活动现金流投资活动现金流(252)(606)(726)(671)(336)每股经营现金流 1.81-0.65 1.09 0

92、.67 0.59 债权融资(120)37 0 0 0 每股净资产 6.30 11.92 12.60 13.60 14.97 股权融资 146 1,453 0 0 0 估值比率估值比率 其他(107)(457)(123)581 482 市盈率 72.9 92.3 64.7 45.5 32.5 筹资活动现金流筹资活动现金流(81)1,033(123)581 482 市净率 10.1 5.4 5.1 4.7 4.3 汇率变动影响(11)(6)-0-0-0 EV/EBITDA 52.1 65.0 48.0 31.5 21.2 现金净增加额现金净增加额 102 239(545)96 309 EV/EBI

93、T 57.9 83.0 56.3 36.2 23.8 资料来源：东方证券研究所 精测电子首次报告 半导体量测设备龙头，已进入放量前夜 有关分析师的申明，见本报告最后部分。其他重要信息披露见分析师申明之后部分，或请与您的投资代表联系。并请阅读本证券研究报告最后一页的免责申明。26 分析师申明 每位负责撰写本研究报告全部或部分内容的研究分析师在此作以下声明：每位负责撰写本研究报告全部或部分内容的研究分析师在此作以下声明：分析师在本报告中对所提及的证券或发行人发表的任何建议和观点均准确地反映了其个人对该证券或发行人的看法和判断；分析师薪酬的任何组成部分无论是在过去、现在及将来，均与其在本研究报告中所

94、表述的具体建议或观点无任何直接或间接的关系。投资评级和相关定义 报告发布日后的 12 个月内的公司的涨跌幅相对同期的上证指数/深证成指的涨跌幅为基准；公司投资评级的量化标准公司投资评级的量化标准 买入：相对强于市场基准指数收益率 15%以上；增持：相对强于市场基准指数收益率 5%15%；中性：相对于市场基准指数收益率在-5%+5%之间波动；减持：相对弱于市场基准指数收益率在-5%以下。未评级 由于在报告发出之时该股票不在本公司研究覆盖范围内，分析师基于当时对该股票的研究状况，未给予投资评级相关信息。暂停评级 根据监管制度及本公司相关规定，研究报告发布之时该投资对象可能与本公司存在潜在的利益冲突

95、情形；亦或是研究报告发布当时该股票的价值和价格分析存在重大不确定性，缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确投资评级；分析师在上述情况下暂停对该股票给予投资评级等信息，投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该股票的投资评级、盈利预测及目标价格等信息不再有效。行业投资评级的量化标准行业投资评级的量化标准：看好：相对强于市场基准指数收益率 5%以上；中性：相对于市场基准指数收益率在-5%+5%之间波动；看淡：相对于市场基准指数收益率在-5%以下。未评级：由于在报告发出之时该行业不在本公司研究覆盖范围内，分析师基于当时对该行业的研究状况，未给予投资评级等相关信息。暂停评级：由于研究报告发布当时该行业的投资

96、价值分析存在重大不确定性，缺乏足够的研究依据支持分析师给出明确行业投资评级；分析师在上述情况下暂停对该行业给予投资评级信息，投资者需要注意在此报告发布之前曾给予该行业的投资评级信息不再有效。东方证券股份有限公司经相关主管机关核准具备证券投资咨询业务资格，据此开展发布证券研究报告业务。东方证券股份有限公司及其关联机构在法律许可的范围内正在或将要与本研究报告所分析的企业发展业务关系。因此，投资者应当考虑到本公司可能存在对报告的客观性产生影响的利益冲突，不应视本证券研究报告为作出投资决策的唯一因素。免责声明 本证券研究报告（以下简称“本报告”）由东方证券股份有限公司（以下简称“本公司”）制作及发布。

97、本报告仅供本公司的客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为本公司的当然客户。本报告的全体接收人应当采取必要措施防止本报告被转发给他人。本报告是基于本公司认为可靠的且目前已公开的信息撰写，本公司力求但不保证该信息的准确性和完整性，客户也不应该认为该信息是准确和完整的。同时，本公司不保证文中观点或陈述不会发生任何变更，在不同时期，本公司可发出与本报告所载资料、意见及推测不一致的证券研究报告。本公司会适时更新我们的研究，但可能会因某些规定而无法做到。除了一些定期出版的证券研究报告之外，绝大多数证券研究报告是在分析师认为适当的时候不定期地发布。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见并不构成对

98、任何人的投资建议，也没有考虑到个别客户特殊的投资目标、财务状况或需求。客户应考虑本报告中的任何意见或建议是否符合其特定状况，若有必要应寻求专家意见。本报告所载的资料、工具、意见及推测只提供给客户作参考之用，并非作为或被视为出售或购买证券或其他投资标的的邀请或向人作出邀请。本报告中提及的投资价格和价值以及这些投资带来的收入可能会波动。过去的表现并不代表未来的表现，未来的回报也无法保证，投资者可能会损失本金。外汇汇率波动有可能对某些投资的价值或价格或来自这一投资的收入产生不良影响。那些涉及期货、期权及其它衍生工具的交易，因其包括重大的市场风险，因此并不适合所有投资者。在任何情况下，本公司不对任何人

99、因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任，投资者自主作出投资决策并自行承担投资风险，任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺均为无效。本报告主要以电子版形式分发，间或也会辅以印刷品形式分发，所有报告版权均归本公司所有。未经本公司事先书面协议授权，任何机构或个人不得以任何形式复制、转发或公开传播本报告的全部或部分内容。不得将报告内容作为诉讼、仲裁、传媒所引用之证明或依据，不得用于营利或用于未经允许的其它用途。经本公司事先书面协议授权刊载或转发的，被授权机构承担相关刊载或者转发责任。不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。提示客户及公众投资者慎重使用未经授权刊载或者转发的本公司证券研究报告，慎重使用公众媒体刊载的证券研究报告。HeadertTable_Address 东方证券研究所 地址：上海市中山南路 318 号东方国际金融广场 26 楼 电话： 传真： 网址：