1、 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 面板设备壁垒高、替代空间大,检测设备先行 面板设备专题报告 面板产业面板产业转移趋势明显，转移趋势明显，OLEDOLED 前景广阔前景广阔，日韩企，日韩企 业逐步退出格局改善业逐步退出格局改善。 1）近年中国面板厂商不断崛起， 而日韩部分大厂陆续宣布退出面板行业，如三星、 Panasonic、三菱电机、LG 等等，据韩国半导体显示器学会的 预测，到 2023 年，在全球面板市场上，中国企业的市场占有 率将达 58%，其中 LCD 面板市场将进入“中国时代”。2）OLED 被认为是下一代显示技术，近年面板出货量中 OLED 稳步增 长，随着智能手机、平板电

2、脑等对高分辨率、低功耗的新型显 示产品的需求不断增长，OLED 从而成为合适选择，预计未来随 着 OLED 面板良品率的逐步提升，OLED 的出货量占比将不断提 高。3）近年随着液晶面板价格下滑，日韩部分大厂陆续宣布 退出面板行业，如三星、Panasonic、三菱电机、LG 等等，此 前受疫情影响，液晶面板价格从 3 月份开始走低、在 6 月有所 反弹，据奥维睿沃公布的面板价格数据显示，6-9 月面板价格 维持上升趋势，部分尺寸面板价格上涨超过 30%。 面板设备中检测设备是国产化突破口面板设备中检测设备是国产化突破口，M Miniini/M/Microicro L Leded 对设备提出更多

3、新的要求。对设备提出更多新的要求。1）面板生产包含阵列 （Array）-成盒（Cell）-模组（Module）三大制程，检测设备 主要在 LCD、OLED 等平板显示器件生产过程中进行显示、触控、 光学、信号电性能等各种功能检测，从而保证各段生产制程的可 靠性和稳定，可以说检测是平板显示器件生产中保证良率的关键 环节，根据我们测算，Array/Cell/Module 段检测设备占各自段 总设备投资额的 20%/13%/17%。2）Mini/Micro LED、具有更高的 发光亮度、分辨率与色彩饱和度以及更快的显示响应速度、低能 耗等优点，我们判断未来将在显示领域掀起新的波澜，从而对面 板设备提

4、出了新的要求，体现在如“巨量转移”等在多维度上。 投资建议：投资建议：随着近年面板产能不断向大陆转移，给国内 面板设备企业带来巨大机遇，同时叠加 OLED、Mini/Micro LED 等技术日益成熟，设备更新换代在加快。国内面板设备企业在 检测领域已取得非常大的突破，不仅能供货国内面板厂、更能 进入三星 LG 等企业，重点推荐面板检测领域隐形冠军华兴源重点推荐面板检测领域隐形冠军华兴源 创创，其他受益企业包括精测电子（面板检测设备） 、奥莱德 （蒸镀源设备） 、新益昌（LED 封装固晶设备）等。 风险提示风险提示：面板设备行业波动；技术研发风险等。 评级及分析师信息 行业评级： 推荐 行业走

5、势图 分析师：刘菁分析师：刘菁 邮箱： SAC NO：S01 分析师：俞能飞分析师：俞能飞 邮箱： SAC NO：S02 联系人：田仁秀联系人：田仁秀 邮箱： 盈利预测与估值盈利预测与估值 重点公司 股票股票 股票股票 收盘价收盘价 投资投资 E EPS(PS(元元) ) P P/E/E 代码代码 名称名称 （元）（元） 评级评级 202019A19A 20202020E E 20202121E E 20202 22 2E E 20201 19 9A A 20202 20 0E E 20202 21 1E E 20202 22 2E E 688001

6、 华兴源创 41.36 暂未评 级 0.41 0.58 0.73 0.91 100.87 71.31 56.66 45.45 资料来源：资料来源：WindWind，华西证券研究所，华西证券研究所 -10% 0% 10% 19% 29% 38% 2019/092019/122020/032020/062020/09 专用设备沪深300 证券研究报告|行业深度研究报告 仅供机构投资者使用 Table_Date 2020 年 09 月 23 日 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 2 正文目录 1. 面板产业转移趋势明显，大陆面板产能待释放 . 4 1.1. 产业转

7、移趋势明显，OLED 前景广阔 . 4 1.2. 日韩企业退出改善行业格局，面板价格开始筑底回升. 5 2. 面板设备产业链检测设备是面板设备国产化最佳载体. 6 2.1. 检测设备：面板设备国产化的最佳载体 . 7 2.2. Array/Cell/Module 段检测设备占各自段总设备投资额的 20%/13%/17% . 9 3. Mini/Micro LED 对设备提出更多新的要求 . 13 3.1. Mini/Micro LED 将掀起波澜 . 13 3.2. Mini/Mirco LED 是什么 . 14 3.3. Mini/Micro led 对设备的要求体现在多维度 . 18 3.

8、4. 新技术、新设备、新机遇 . 19 4. 国内面板设备主要企业 . 22 4.1. 华兴源创：面板检测领域的“隐形冠军” . 22 4.2. 精测电子：覆盖面板三大制程 . 24 4.3. 奥莱德：深耕 OLED 有机发光源设备材料与蒸发源设备 . 25 4.4. 新益昌：抢先 Mini LED 封装 . 26 5.风险提示 . 27 图目录 图 1 中国面板制造商数量不断增加（家） . 4 图 2 AMOLED 出货量稳步增长（百万片） . 4 图 4 2016 年 LCD 面板市占率 . 6 图 5 2019 年 LCD 面板市占率 . 6 图 3 面板价格走势（美元/片） . 6 图

9、 6 LCD 与 OLED 制程中多出需要检测环节 . 7 图 7 设备及供应商概况：模组段检测设备国产化率较高，阵列和成盒段依然主要被外资所占据 . 8 图 8 Array 工序及设备拆解 . 9 图 9 Cell 工序及设备拆解 . 11 图 10 Module 工序及设备拆解. 12 图 11 Micro LED 与 TFT-LCD、OLED 比较 . 16 图 12 Micro LED 简易工艺制程. 17 图 13 Micro LED 产业链 . 18 图 14 2019 年 Micro LED 专利申请情况:京东方拔得头筹 . 21 图 15 京东方巨量转移技术专利 . 21 图

10、19 华兴源创面板产品 . 23 图 20 华兴源创收入水平 . 23 图 21 华兴源创归母净利润水平 . 23 图 22 华兴源创毛利率、净利率有所波动 . 24 图 16 精测电子收入逐年攀升 . 25 图 17 精测电子归母净利润水平 . 25 图 18 精测电子毛利率近几年维持在 50%上下 . 25 图 23 奥莱德收入水平 . 26 图 24 奥莱德归母净利润水平 . 26 图 25 奥莱德毛利率、净利率水平 . 26 图 26 新益昌收入水平 . 27 图 27 新益昌归母净利润水平 . 27 图 28 新益昌毛利率稳步上升 . 27 nMrOoRmQsMnRrNqNmOrPt

11、MbR9R7NnPmMnPqQfQqQyRkPoMmRbRqQuNNZrQnQxNnMrM 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 3 表目录 表 1 近三年主要 OLED 产线统计，预计未来随着良品率提升，OLED 的出货量占比将不断提高 . 5 表 2 面板生产中涉及多环节检测，需要多种检测设备 . 8 表 3 Array 段设备中检测设备投资额占比总设备投资额 20% . 10 表 4 Array 段设备来源以海外厂商为主 . 10 表 5 Cell 段设备中检测设备投资额占比总设备投资额 13% . 11 表 6 CELL 段设备来源多为海外厂商 . 12

12、 表 7 Module 段使用设备情况 . 13 表 8 Module 段设备来源多为大陆厂商 . 13 表 9 小间距 LED、Mini LED、Micro LED 比较 . 15 表 10 Micro LED 量产进度表 . 20 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 4 1.1.面板产业转移趋势明显，面板产业转移趋势明显，大陆面板产能待释放大陆面板产能待释放 1.1.1.1.产业转移趋势明显，产业转移趋势明显，OLEDOLED 前景广阔前景广阔 中国面板厂商不断崛起，2010 年后日本面板制造商数量大幅下降，至 2018 年只 剩下两家，中国台湾面板制造厂

13、商数量 2018 年稍有增长至 7 家，韩国面板制造商数 量近几年增长较快，从 2016 年的 2 家增长至 2018 年的 9 家。相较而言，中国面板制 造商数量增长最快，2018 年已有 18 家。从产能角度看，趋势同样十分明显，2019 年 1 季度中国大陆面板厂的面板出货面积首次超过全球市场份额的一半至 50.1%。 OLED 被认为是下一代显示技术，近年面板出货量中，LCD 出货量稍有下降，但 AMOLED 稳步增长。随着智能手机、平板电脑市场需求的持续扩大，对高分辨率、低 功耗的新型显示产品的需求不断增长，OLED 从而成为合适选择，但受工艺成熟度较 差、良品率较低、设备购置成本较

14、高等因素影响，目前新建 OLED 生产线投资成本高 于新建同世代 TFT-LCD 生产线，预计未来随着 OLED 面板良品率的逐步提升，OLED 的 出货量占比将不断提高。 图 1 中国面板制造商数量不断增加（家） 图 2 AMOLED 出货量稳步增长（百万片） 资料来源：Wind，华西证券研究所 资料来源：Wind，华西证券研究所 根据赛迪顾问数据，近三年投产投产在建的 OLED 产线以 6 代 AMOLED（柔性）线 为主，韩国企业在 OLED 方面优势仍然明显，目前已经成功实现 8 代线、8.5 代线的 量产，OLED 向更高世代发展是必然发展趋势，同时国内产能也在不断释放。 0 5 1

15、0 15 20 5200172018 中国大陆中国台湾日本韩国 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 200022 TFT-LCDAMOLED其他 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 5 表 1 近三年主要 OLED 产线统计，预计未来随着良品率提升，OLED 的出货量占比将不断提高 资料来源：赛迪顾问、奥莱德招股说明书，华西证券研究所 1.2.1.2.日韩企业退出改善行业格局日韩企业退出改善行业格局，面板价格开始筑底回升，面板价格开始筑底回升 近年

16、随着液晶面板价格下滑，日韩部分大厂陆续宣布退出面板行业，如三星、 Panasonic、三菱电机、LG 等等。 日本方面，2019 年 11 月，Panasonic 宣布负责液晶面板业务的子公司 PLD （Panasonic Liquid Crystal Display）将在 2021 年结束液晶面板的生产业务；近 日根据 Money DJ 报道，6 月 15 日三菱电机宣布子公司 MDTI 将于 2022 年 6 月结束 TFT 液晶模组生产、退出液晶事业，后者主要生产与销售产业用/车用中小尺寸液晶 面板。在三菱电机退出面板行业后，日本主要的液晶面板厂商还剩下夏普、Japan JDI 和京瓷

17、3 家。 韩国方面，今年 1 月 LG Display 表示由于 LCD 价格下跌、全球供应过剩，LG Display 将于今年年底停止韩国国内 LCD 电视面板的生产；3 月底三星电子旗下的面 板厂 Samsung Display 决定韩国和中国的 LCD 面板生产将在年底全面告终，对客户已 经下单的 LCD 供应到今年底为止。 根据 Omdia 的数据，2019 年京东方以 18.9%的市占率首次超过 LG Display 成为 全球第一大 LCD 面板供应商，其他国内企业如华星、中电熊猫等市占率同样显著提高， 而三星 Display 和 LG Display 的市占率则下滑明显。而根据

18、HIS 数据，2020 年 1 月 中国大陆面板厂商的大尺寸面板出货面积占比达到 52.9%，其中京东方和华星光电占 比分别为 21.3%、14.5%，而韩国和中国台湾市占率分别为 24.8%、21.9%。 企业企业地点地点世代世代月产能 （万片）月产能 （万片）种类种类投产时间投产时间状态状态 三星三星韩国66柔性18年Q3爬坡 韩国61.5柔性17年Q3量产 韩国83.4柔性17年Q3量产 韩国61.5柔性18年Q3爬坡 韩国63柔性21年Q1在建 广州8.56刚性/ 柔性20年Q1爬坡 JOLEDJOLED日本5.52柔性19年Q4量产 夏普夏普日本4.52.2柔性17年Q4量产 友达友

19、达台湾3.50.8刚性17年Q3量产 成都64.8柔性17年Q4量产 绵阳64.8柔性19年Q4爬坡 重庆64.8柔性20年Q4在建 福清64.8柔性待定计划 武汉华星武汉华星武汉64.5柔性20年Q1爬坡 武汉63.75刚性/ 柔性17年Q2量产 厦门64.5柔性22年Q2计划 昆山5.51.5刚性18年Q1量产 固安63刚性/ 柔性18年Q2量产 合肥维信诺合肥维信诺合肥63柔性20年Q4在建 和辉光电和辉光电上海63刚性/ 柔性19年Q1爬坡 柔宇柔宇深圳5.51.5柔性18年Q2爬坡 LGLG 京东方集团京东方集团 天马集团天马集团 维信诺集团维信诺集团 证券研究报告|行业深度研究报告

20、 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 6 图 3 2016 年 LCD 面板市占率 图 4 2019 年 LCD 面板市占率 资料来源：中国产业信息网，华西证券研究所 资料来源：Omdia,华西证券研究所 据韩国半导体显示器学会的预测，到 2023 年，在全球面板市场上，中国企业的 市场占有率将达 58%，其中 LCD 面板市场将进入“中国时代”。韩国半导体显示器学 会预测 2022 年前中国还将设立 19 家 8-10.5 代线的大型面板厂，而中国创办一家 8.5-10.5 代线的面板厂后，产品的生产成本仅为韩系工厂的 1/3-1/5。 此前受到疫情影响，液晶面板价格从 3 月份开始走低，

21、而在 6 月有所反弹，据群 智咨询近日发布的数据显示，三季度的供需将进一步趋紧，据奥维睿沃公布的面板价 格数据显示，6-9 月面板价格维持上升趋势，其中中小尺寸 32 寸、43 寸和 50 寸面板 价格上升幅度超过 30%，零售第一尺寸 55 寸面板价格上升 27.4%，大尺寸 65 寸和 75 寸面板价格上升幅度相对较小，为 10%左右。 图 5 面板价格走势（美元/片） 资料来源：Wind,华西证券研究所 2.2.面板设备产业链面板设备产业链检测设备是面板设备国产化最佳载体检测设备是面板设备国产化最佳载体 LGD三星群创光电友达光电 京东方华星光电其它 LGD三星群创光电友达光电 京东方华

22、星光电其它 0 50 100 150 200 250 201906 201907 201908 201909 201910 201911 201912 202001 202002 202003 202004 202005 202006 32英寸43英寸50英寸55英寸65英寸 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 7 2.1.2.1.检测设备：面板设备国产化的最佳载体检测设备：面板设备国产化的最佳载体 面板生产包含阵列（Array）-成盒（Cell）-模组（Module）三大制程，检测设 备主要在 LCD、OLED 等平板显示器件生产过程中进行显示、触控、光学、

23、信号电性能 等各种功能检测，从而保证各段生产制程的可靠性和稳定，达到分辨各环节器件良品 与否，提升产线整体良率的目的，可以说检测是平板显示器件生产中保证良率的关键 环节。各制程技术原理存在较大差异，不同制程对应检测设备也大不相同，从模组段 检测设备国产化程度高，但阵列和成盒段依然主要被外资所占据。 图 6 LCD 与 OLED 制程中多出需要检测环节 资料来源：华兴源创招股说明书，华西证券研究所整理 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 8 表 2 面板生产中涉及多环节检测，需要多种检测设备 检测项目检测项目 工序环节工序环节 所用设备所用设备 检测内容检测内容

24、 COG 偏移量 IC pre-bond 以 Panel 的视窗中心为基准，量测视窗中心到 chip IC 对位 mark 中心的距离 压痕 IC/FPC bond 后 邦定压痕检查机 检查 BUMP 压着位置处，导电粒子渗入端子之凹凸痕 状态，若压痕明显，为良品 镜检 IC/FPC bond 后 显微镜 检查压着后 IC Bump 内导电粒子破裂状态及对位状 态 Gamma 校正 与 IC 有关 Gamma 校正机 Gamma 校正对人眼的感知与输入电信号之间的非线性 关系进行补偿，以改善手机的灰度级和色彩 电性测试 邦定后 电测测架、主板、单片 机 在邦定后产品上电测试，察看其显示效果，将

25、合格 品与不合格品分开 气泡检查 偏光片/TP 贴合后 气泡检查机另一方面,也有望与 OLED 高端机型相 抗衡。Mini LED 现处中期阶段，在视频会议、会展广告、虚拟现实、监控调度等领 域得到快速应用，但仍需要外延片、晶片、封装、基板、TFT 背板、驱动 IC 与设备 厂商等共同努力。据 LED inside 估计， 2022、2023 年整体产值将分别达到 6.89、 10 亿美元，其中 LED 显示荧幕、大尺寸电视等，将成为其应用的主流。 (2) Micro LED 受益于像素单元低至微米量级，Micro LED 具有更高的发光亮度、分辨率与色 彩饱和度以及更快的显示响应速度、低能耗

26、等优点,功率消耗量仅为 LCD 的 10%、 OLE 的 50%,亮度可达 OLED 的 10 倍, 小尺寸更易化了高分辨率的实现，分辨率可 达 OLED 的 5 倍，但同时也有着成本可观、大面积应用不足的劣势。预期能够应用 于对亮度要求较高的增强现实(AR)微型投影装置、车用平视显示器(HUD)投影应用、 超大型显示广告牌等特殊显示应用产品,并有望扩展到可穿戴/可植入器件、虚拟现实、 光通信/光互联、医疗探测、智能车灯、空间成像等多个领域。 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 16 图 11 Micro LED 与 TFT-LCD、OLED 比较 资料来源：

27、公开资料整理，华西证券研究所 我们就 LCD、OLED、Micro LED 原理进行下比较。 三者之中，LCD 显示屏结构最为复杂，在两片平行的玻璃基板当中放置液晶盒， 下基板玻璃上设置 TFT(薄膜晶体管)，上基板玻璃上设置彩色滤光片，通过 TFT 上的 信号与电压改变来控制液晶分子的转动方向，从而达到控制每个像素点偏振光出射与 否而达到显示目的。 相较 LCD 而言，OLED、Micro LED 都是采用自发光的形式，每个红、绿、蓝的亚 像素都能自己产生光源，而不像 LCD 那样需要专门的背光组件。OLED(有机发光二极 板)面板结构较之 LCD 更简单，由一薄而透明具半导体铟锡氧化物(I

28、TO),与电力之正 吸相连,加上另一个金属阴极,包成如三明治的结构,结构层内含空穴传输层（HTL） 、 发光层（EL）与电子传输层(ETL)。从阴、阳两极分别注入电子和空穴，被注入的电 子和空穴在有机层内传输，并在发光层内复合，从而激发发光层分子产生单态激子， 单态激子辐射衰减而发光，产生红、绿和蓝 RGB 三基色,构成基本色彩。OLED 面板的 发光材料为有机材料，相比于无机材料，有机材料在寿命方面有天生的短板。 Micro LED 将 LED（发光二极管）背光源进行薄膜化、微小化, TFT 面板为每个 像素提供能量， 与 OLED 一样能够实现每个像素单独寻址，单独驱动发光（自发光） 。

29、底层用正常的 CMOS 集成电路制造工艺制成 LED 显示驱动电路，然后再用 MOCVD 机在 集成电路上制作 LED 阵列。与 OLED 使用有机材料不同，Micro LED 使用无机氮化镓 材料，降低对极化和封装层的要求，能让显示面板更薄，因此 Micro-LED 的组件做到 薄型化。 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 17 图 12 Micro LED 简易工艺制程 资料来源：公开资料整理，华西证券研究所 从工艺制成上看，Micro LED 前段制程与面板、IC 电路相似，同样需要外延片、 RGB 三色晶粒与组装，但巨量转移制程是一个特别环节，而目前

30、Micro LED 量产最 大难关就是在此环节上。 3.2.2.3.2.2.难点在于“巨量转移”等技术问题难点在于“巨量转移”等技术问题 （1）Mini LED Mini LED 供应链可以分为背光供应链、直显供应链。背光供应链包含 LED 芯片 端、Mini 封装端、背板驱动端、终端产品。LED 芯片端已经基本成熟；封装端还在期 待更高效、更高良率、更低成本的技术；背板驱动端有玻璃基板和 PCB 基板之争；直 显供应链则包含 LED 芯片端、Mini 封装端、屏幕产品。其中在 LED 芯片端还存在着 研磨切劈、点测分选、特殊工艺等难题。 （2）Micro LED a.量产技术存在困难 首先是

31、芯片端问题首先是芯片端问题。1）目前现有的 LED 芯片尚需剔除坏点,Micro LED 显示器 件包含数百万颗微米级 LED 芯片, 现有技术中，在检测到坏点之后，一般采用坏点 剔除与定点单个放置的修复方法对坏点进行修复，修复效率极低，这为量产造成了巨 大的障碍。2）另外 Micro LED 最大的难点就是俗称的“巨量转移巨量转移” 。若要达到商用 化程度，Micro LED 巨量转移良率必须达到 99.9999%。如果只以 99.99%良率计算， 一台 4K 显示器上的不合格晶片将高达 2488.32 颗。3）微小化工艺微小化工艺问题，这需要 晶圆级的工艺水平，应用到小尺寸屏幕上理论上极为

32、困难，这也是三星的第一款 Micro LED 电视选择 146 英寸的原因。4）Micro LED 还存在着全彩化，发光波长一全彩化，发光波长一 致性致性等问题。 b.生产成本高 Micro LED 的成本大多落在巨量转移及修复两大项目上,至少约为液晶显示屏的 10 倍或 OLED 显示屏的 8 倍。为缓解这一问题，不少厂商已开发短期替代方案，当 前方案主要包括：在转移前先进行切割筛选、降低转移后的修复成本、以单色 Micro LED 搭配量子点色转换材料、使用自主开发的氮化镓磊晶设备搭配奈米材料技术实现 全彩化、开发 RGB 三色 Micro LED 实现全彩化、采用备援机制避免坏点逐颗修复

33、 植回、蚀刻 LED 阵列与 IC 连接等。 c.产业链分散 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 18 Micro LED 产业供应链长且结构复杂。实现 Micro LED 大规模制造需要结合 LED 制造、背板制造和微芯片大规模转移和装配三个子供应链。目前尚无企业占据 整条生产供应链。 图 13 Micro LED 产业链 资料来源：赛迪智库集成电路研究所，华西证券研究所 3.3.3.3.M Miniini/M/Microicro ledled 对设备的要求体现在多维度对设备的要求体现在多维度 （1）Mini LED Mini LED 对设备要求主要体现在对

34、精细程度、可靠性、稳定性、一致性、速度 性等方面。 Mini LED 对 COB 封装技术的光学一致性和 PCB 板墨色一致性，以及像素间的混 光一致性和表面一致性等提出了精细程度的要求。伴随芯片尺寸的缩小，LED 芯片工 艺方面需要更好的一致性、更少的颗粒和更优的膜层质量。 Mini LED 对封测设备的振动盘供料系统提出了高要求，目前封测设备的振动盘 供料系统由于成本和货期的问题，大部分都是采用国产产品，然而因起步较晚，国产 振动盘在控制精度、表面处理和稳定性等方面与进口振动盘仍有一定的差距，因此对 对机械零部件的整体精度要求也特别高，在实际操作中，虽然单个零件的精度可以达 到要求，但所有

35、零件组装成整体之后则难以达到要求。 基于 Mini LED 本身特性以及使用特性，分光分色测试仪和检测外观的影像系统 等检测系统的准确性、可靠性、稳定性以及测试精度都必须满足更高的要求。 此外，在焊接、返修及自动化作业等生产速度上，Mini LED 也提出了要求。需 要在生产速度和良率上进行均衡。 （2）Micro LED 证券研究报告|行业深度研究报告 请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明 19 Micro LED 对设备要求较高，中小厂商常出现需重新购买部分设备并精准调试以 保证产品的高性能及高稳定性，巨量转移、检测以及修复堪称 Micro LED 的三大难题， 这使得 Micro LED

36、 对巨量转移、检验、修复等设备提出一致性、稳定性等要求。 Micro 芯片的小尺寸导致了波长分选困难和高成本，因此对整片晶圆的波长一致 性有更高的要求，这就产生了外观检验设备（可推测 LED 芯片的波长、用荧光检测 LED 芯片的外观和发光强度）的需求。 对巨量转移设备则提出了精准性、效率的要求。提高效率则可降低生产成本。东 丽工程株式会社生产出倒装焊接机，一次性可以转移一万个芯片，并进行封装，大大 提高了巨量转移的效率。 为了提升并确保 Micro LED 显示器的良率，检测与修复是制程中不可或缺的关键 步骤。LED 测试包括光致发光测试(PL)及电致发光测试(EL)，前者能在不接触且不损

37、坏 LED 芯片的情况下，对 LED 芯片进行测试，但检测效果跟 EL 测试相比略为逊色， 无法确实发现所有瑕疵，可能降低后续的生产良率。相反，EL 测试透过通电 LED 芯 片来进行测试，能够找出更多缺陷，却可能因接触而造成芯片损伤。而 Micro LED 由 于芯片体积过小，难以适用传统测试设备，以 EL 检测的难度相当高，但 PL 测试又可 能出现遗漏，造成检测效率不佳。对致力于生产 Micro LED 显示器的厂商来说，检测 并修复巨量而细小的 Micro LED 芯片，依然是一项艰巨挑战。 3.4.3.4.新技术、新设备、新机遇新技术、新设备、新机遇 2020 年在疫情影响下，京东方、利亚德、国星光电等国内公司仍积极布局 Mini/Micro LED 产品，但目前相关技术和设备尚未完全成熟，未成熟的技术意味着 新的挑战和机遇。 （1）模组检测设备 模组段检测设备国产化程度高，但阵列和成盒段依然主要被外资所占据。近年来, 国内有多家上市企业如华兴源创、精测电子等在激光、检测设备和组装设备领域逐步 形成技术优势,2017 到 2019 年的模组检