电子行业半导体设备深度专题：从晶圆厂招标数据看半导体设备国产化进展-211117（46页）.pdf

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1、华虹无锡：主要采购科天、日立高新，国产厂商包括吉姆西半导体科技、无锡卓海。其中，吉姆西半导体科技 6 台中标设备为膜厚测量仪，无锡卓海 1 台中标设备为套刻精度检测机。从两家公司官网我们了解到，吉姆西半导体科技主要业务为半导体再制造设备和研磨液供应系统，再制造设备品牌涵盖应用材料、泛林、日新、东京电子、 Nanometrics、Mattson 等;无锡卓海科技专注半导体前道检测与量测设备领域的研发、制造、修理、技术服务，再制造设备品牌涵盖科天、日立高新、Ruldoph、Quantox、尼康等。总结：过程控制设备方面，中科飞测、精测半导体、睿励科学仪器属于国内布局领先企业，其中中科飞测主要产品为

2、光学表面三维形貌量测设备等光学检测设备，精测半导体、睿励科学仪器主要产品均为膜厚量测设备。从三座晶圆厂累计招标情况统计，国产设备中标总数 16 台，晶圆厂招标设备总数 680 台，由此计算国产化率约 2.4%，国产厂商设备仅覆盖膜厚量测、光学形貌量测等类型，品类尚不齐全，存在较大市场空间尚待开拓。4、氧化扩散/热处理设备：国产化率29%，北方华创优势较为明显长江存储：北方华创中标仅次于东京电子，屹唐股份、成都莱普科技亦获得采购。其中北方华创共计中标 94 台，中标产品涵盖氧化、退火、合金等设备。屹唐股份中标 6台，主要为退火设备;成都莱普科技于 2021 年 9 月中标 2 台，为退火设备。华力集成：东京电子、应用材料等企业领先，北方华创、屹唐股份、盛美上海亦获得采购。其中北方华创共计中标 4 台，中标产品涵盖退火、合金、氧化炉设备;屹唐股份(Mattson)中标 2 台，为快速热退火/快速热氧化设备;盛美上海中标 1 台，为低压高温氧化炉设备。

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