1、 半导体设备半导体设备 | 证券研究报告证券研究报告 新股解读新股解读 2022 年年 5 月月 23 日日 强大于市强大于市 本报告要点本报告要点 专注金属材料零部件精密制造专注金属材料零部件精密制造，引领半导体，引领半导体零部件国产化进程零部件国产化进程 相关研究报告相关研究报告 半导体新股系列半导体新股系列 12：安路科技：安路科技20211111 半导体新股系列半导体新股系列 11：华卓精科：华卓精科20211014 半导体新股系列半导体新股系列 10：天岳先进：天岳先进20211014 半导体新股系列半导体新股系列 9：普冉股份：普冉股份20210819 半导体新股系列半导体新股系列

2、 8：格科微：格科微20210811 半导体新股系列半导体新股系列 7：概伦电子：概伦电子20210809 半导体新股系列半导体新股系列 6：艾为电子：艾为电子20210809 半导体新股系列半导体新股系列 5：华大九天：华大九天20210803 半导体新股系列半导体新股系列 4：拓荆科技：拓荆科技20210726 半导体新股系列半导体新股系列 3：复旦微电：复旦微电20210719 半导体新股系列半导体新股系列 2：屹唐股份：屹唐股份20210714 半导体新股系列半导体新股系列 1：华海清科：华海清科20210709 中银国际证券股份有限公司中银国际证券股份有限公司 具备证券投资咨询业务资

3、格具备证券投资咨询业务资格 机械机械 : 半导体半导体设备设备 证券分析师：证券分析师：杨绍辉杨绍辉 (8621)20328569 证券投资咨询业务证书编号：S01 半导体新股系列半导体新股系列 13: 富创精密富创精密 专注金属材料零部件精密制造，引领半导体设备零部件国产化进程 5 月月 5 日，富创精密日，富创精密 IPO 申请顺利过会，公司申请顺利过会，公司是半导体设备精密零部件是半导体设备精密零部件企企业业，客户包括，客户包括 TEL、北方华创、屹唐、中微、拓荆等国内、北方华创、屹唐、中微、拓荆等国内外设备龙头。外设备龙头。 要点要点 管理团队：管理团队：富创精密

4、拥有经验丰富、管理专业以及技术优秀的团队。富创精密拥有经验丰富、管理专业以及技术优秀的团队。团队核心人物具有 20 年以上的行业经验与中国半导体设备零部件行业一同成长。公司精密机械制造方向、表面处理方向、焊接方向有数个专家，团队履历丰富。 主营业务主营业务：过去三年复合过去三年复合增速达到增速达到 56%，保持高速成长，保持高速成长。公司掌握可满足严苛标准的精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺，主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备等领域。2018-2021 年，公司主营业务收入从 2.18 亿元增至 8.29 亿

5、元，年均复合增速 56%。2021 年，工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路销售收入占比依次是 21.5%、42.4%、19.4%、16.6%。 市场地位：市场地位：公司公司相比国际龙头有很大发展潜力，相比国内同业处于行业龙相比国际龙头有很大发展潜力，相比国内同业处于行业龙头地位头地位。从全球角度，目前公司是全球为数不多的能够为 7 nm工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商，直接与国际厂商竞争。且公司于 2011 年和 2014 年两次牵头承担国家“02 重大专项”中半导体设备精密零部件相应项目并顺利通过验收，与老牌半导体设备企业共成长。 研发实力：研发实力：研研发投入占营业收入的

6、比例在发投入占营业收入的比例在 2021 年年达达 8.80%。公司共有研发人员 225 名，占公司全部员工比例为 20.68%。公司结合多年的技术研发与项目实践经验所积累的科研成果，在精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接等半导体设备精密零部件关键环节具备领先的技术能力。 财财务表现：务表现：盈利能力快速提升，在手盈利能力快速提升，在手订单充裕订单充裕。2021 年公司收入 8.43 亿元，同比增长 75.2%。2019-2021 年公司扣非净利率依次是-23.75%、6.57%、8.88%，呈逐年上升趋势。2022年 1月底在手订单 4.22亿元，较一年前增长155%。 成成长逻辑：长逻辑：

7、公司属于国内半导体零部件细分龙头带领国产化进程公司属于国内半导体零部件细分龙头带领国产化进程。随着国内半导体晶圆厂的大幅扩产和半导体设备国产化的进程加快，国内半导体设备精密零部件的国产化率将不断提升。目前，公司是国内少有的能够提供满足甚至超过国际主流客户标准的精密零部件产品的供应商，相应产品主要同大陆以外地区厂商竞争。 投资建议投资建议 半导体零部件国产化是半导体产业链国产化重要的一个环节，也是当前高度依赖于美系、日系供应商的卡脖子环节。经历过去数年的技术沉淀、产品验证，预计 2022年开始半导体零部件环节迎来可持续的高速成长。 半导体设备推荐组合：拓荆科技、盛美上海、中微公司、精测电子、北方

8、华创、芯源微、华峰测控、万业企业、长川科技、晶盛机电 半导体零部件推荐组合：神工股份、江丰电子、新莱应材、万业企业 评级面临的主要风险评级面临的主要风险 半导体设备行业周期性风险；公司对第一大客户客户 A 存在较大依赖的风险与其他供应商替代的风险；国际贸易摩擦的风险。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 2 目录目录 发展历程：承接发展历程：承接 02 专项项目，技专项项目，技术不断升级术不断升级 . 5 董事长及员工持股平台合计持股董事长及员工持股平台合计持股 32.86% . 6 四大主营产品：可覆盖四大主营产品：可覆盖大部分制程设备大部分制程设备 . 8 公司专注

9、于金属材料零部件精密制造技术 . 8 收入结构：结构零部件占比较大 . 13 客户结构：国内外一流半导体设备客户为主 . 13 半导体设备零部件：小而美的细分半导体设备零部件：小而美的细分市场、国产化率低市场、国产化率低 . 14 半导体设备零部件市场规模约 300 亿美元 . 14 半导体零部件国产化率低 . 15 行业地位：相比国际龙头有发展行业地位：相比国际龙头有发展潜力，相比国内同业处于龙头地位潜力，相比国内同业处于龙头地位 . 17 公司机械类零部件产品能用于 7 纳米工艺制程设备 . 17 科研优势：与顶尖客户合作、技术路线全面且清晰科研优势：与顶尖客户合作、技术路线全面且清晰 .

10、 19 公司是少数承担 02 专项项目的零部件企业 . 19 公司与客户紧密合作，产品更新迅速 . 19 财务能力：公司收入增长迅速、订单每年大幅增长财务能力：公司收入增长迅速、订单每年大幅增长 . 25 公司收入增长快、盈利能力强 . 25 2022 年 1 月底在手订单 4.22 亿元，较一年前增长 155% . 25 存货以及合同负债大幅增长印证订单饱满 . 26 募投项目：拟发行不低于募投项目：拟发行不低于 25%股份（股份（IPO 后）后） . 28 风险因素风险因素 . 29 kV9WrPmPqNqNmNoQmPbRdN9PmOrRsQsQlOmMtOfQmOqN9PnMpPxNr

11、RoOxNqNrO 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 3 图表图表目录目录 图表图表 1. 公司公司具备具备 14 年发展历史年发展历史 . 5 图表图表 2. 公司公司三大发展阶段技术持续升级三大发展阶段技术持续升级 . 5 图表图表 3. 富创精密核心管理、技术团队富创精密核心管理、技术团队 . 6 图表图表 4.管理及核心技术团队持股管理及核心技术团队持股 30.76% . 7 图表图表 5. 公司三大员工持股平台合计持有公司三大员工持股平台合计持有 5.09% . 7 图表图表 6. 公司四大产品在刻蚀设备的应用公司四大产品在刻蚀设备的应用 . 8 图表图表

12、7. 公司工艺零部件的具体产品公司工艺零部件的具体产品 . 9 图表图表 8. 公司结构零部件的具体产品公司结构零部件的具体产品 . 10 图表图表 9. 公司模组的具体产品公司模组的具体产品 . 10 续续 图表图表 9. 公司模组的具体产品公司模组的具体产品 . 11 图表图表 10. 主营产品的技术水平对比主营产品的技术水平对比 . 12 图表图表 11. 产品可应用大部分制程设备产品可应用大部分制程设备 . 12 图表图表 12. 富创精密富创精密 2021年产品结构年产品结构 . 13 图表图表 13. 富创精密的客户结构富创精密的客户结构 . 13 图表图表 14. 半导体设备中零

13、部件占大部分营业成本半导体设备中零部件占大部分营业成本 . 14 图表图表 15. 半导体零部件分类及应用半导体零部件分类及应用 . 15 图表图表 16. 半导体设备零部件：美日垄断，国产化率底半导体设备零部件：美日垄断，国产化率底 . 15 图表图表 17. 全球半导体零部件：美占全球半导体零部件：美占 44%，日占，日占 33%，欧洲占，欧洲占 21% . 16 图表图表 18. 公司与国际同行的经营规模还有很大差距公司与国际同行的经营规模还有很大差距 . 17 图表图表 19. 富创收入规模仅为富创收入规模仅为 Ferrotec的的 1/7 . 17 图表图表 20. 富创经营规模处于

14、国内龙头地位富创经营规模处于国内龙头地位 . 18 图表图表 21. 国内半导体设备零部件供应商统计国内半导体设备零部件供应商统计 . 18 图表图表 22. 承担承担 02专项项目的零部件企业专项项目的零部件企业 . 19 图表图表 23. 公司公司与顶尖客户合作与顶尖客户合作 . 20 图表图表 24. 反应腔的技术路线反应腔的技术路线 . 20 图表图表 25. 匀气盘的技术路线匀气盘的技术路线 . 21 图表图表 26. 内衬的技术发展路线内衬的技术发展路线 . 21 图表图表 27. 结构零部件的技术发展路线结构零部件的技术发展路线 . 22 图表图表 28. 气路的技术路线气路的技

15、术路线 . 22 图表图表 29. 核心指标：高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压核心指标：高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压 . 23 图表图表 30. 底层核心技术体系的平台化底层核心技术体系的平台化 . 23 图表图表 31. 富创的富创的在研项目在研项目 . 24 图表图表 32. 盈利能力：扣非净利率持续上升至盈利能力：扣非净利率持续上升至 9% . 25 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 4 图表图表 33. 在手订单在手订单 4.22 亿元较一年前大幅增长亿元较一年前大幅增长 . 26 图表图表 34. 7nm以下制程的设备零部件占以下制程的设备零部件

16、占 5% . 26 图表图表 35. 存货以及合同负债大幅增长印证后续订单饱满存货以及合同负债大幅增长印证后续订单饱满 . 27 图表图表 36. 募投项目：拟投入募投项目：拟投入 16 亿元亿元 . 28 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 5 发展历程：承接发展历程：承接 02 专项项目专项项目，技术不断升级，技术不断升级 富创精密成立于 2008 年，专注于金属材料零部件精密制造技术，掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、高洁净度表面处理、焊接、组装、检测等一站式制造工艺，通过向国内外半导体设备龙头企业批量供货，建立了一系列制造标准流程和质量管理体系，产品的高精密、

17、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能达到国际水平。 图表图表 1. 公司公司具备具备 14 年发展历史年发展历史 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 公司于 2011 年、2014 年相继承担国家“02 重大专项”之“IC 设备关键零部件集成制造技术与加工平台”项目、“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”项目，并顺利通过验收。 图表图表 2. 公司公司三大发展阶段技术持续升级三大发展阶段技术持续升级 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 6 董事长及员工持股董事长及员工持股平台平台合计合计持股持股 32.86% 富创精密

18、拥有经验丰富、管理专业以及技术优秀的团队。团队核心人物具有 20 年以上的行业经验与中国半导体设备零部件行业一同成长。公司精密机械制造方向、表面处理方向、焊接方向有数个专家，团队履历丰富。通过自研和承接专项，公司实现半导体设备部分精密零部件国产化的自主可控，攻克零部件精密制造的特种工艺，形成了国产半导体设备的保障能力。 图表图表 3. 富创精密核心管理、技术团队富创精密核心管理、技术团队 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 公司董监高及核心技术人员合计持股 30.76%。公司前三大股东分别为沈阳先进制造技术产业有限公司、宁波祥浦创业投资合伙企业、国投（上海）科技成果转化创业投资基金，前三大

19、股东攻占 63%左右的股份。其中董事长郑广文直接或间接持有沈阳先进制造产业有限公司股权比例 94.86%，叠加自身持有富创精密股权比例 6.38%，郑广文合计持有公司约 30.15%股权，其他公司董监高及核心技术人员合计持股 0.61%。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 7 图表图表 4.管理及核心管理及核心技术团队技术团队持股持股 30.76% 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 公司股权激励方案有利于管理团队和人才队伍稳定。公司股权激励方案有利于管理团队和人才队伍稳定。2017 年 12 月，富创有限股东会同意实施员工股权激励方案；2018 年 1 月，三家

20、员工持股平台宁波芯富、宁波芯芯、宁波良芯成立；2018 年 12 月，三家员工持股平台增资入股富创有限，至今合计持股 5.09%。公司的员工持股平台均由实际控制人郑广文作为唯一执行事务合伙人，增强了其对公司的实际控制。 图表图表 5. 公司三大员工持股平台合计持有公司三大员工持股平台合计持有 5.09% 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 8 四大四大主营主营产品产品：可可覆盖覆盖大部分制程设备大部分制程设备 公司专注于金属材料零部件精密制造技术公司专注于金属材料零部件精密制造技术 公司掌握了可满足严苛标准的精密机械制造、表面处理

21、特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺，主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备及其他领域。 图表图表 6. 公司四大产品在刻蚀设备的应用公司四大产品在刻蚀设备的应用 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 工艺零部件：主要是半导体设备中晶圆制备工艺的关键零部件，少量应用于泛半导体设备及其他领域。该类产品一般需要经过高精密机械制造和复杂的表面处理特种工艺过程，具备高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特点。工艺零部件一般用于刻蚀设备、薄膜沉积设备、离子注入设备和化学机械抛光设备等。公司代表性工艺零部件包括腔体（按使用功能分为过渡腔、传

22、输腔和反应腔）、内衬和匀气盘。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 9 图表图表 7. 公司公司工艺零部件的具体产品工艺零部件的具体产品 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 结构零部件：应用于半导体设备、面板及光伏等泛半导体设备和其他领域中， 一般起连接、支撑和冷却等作用，对平面度和平行度有较高的要求，部分结构零 部件同样需要具备高洁净、强耐腐蚀能力和耐击穿电压等性能。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 10 图表图表 8. 公司公司结构零部件的具体产品结构零部件的具体产品 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 模组产品：工艺零部件、结构

23、零部件等自制零部件与外购的电子标准件和机械标准件等 经过组装、测试等环节，可以制成具有特定功能的模组产品，主要应用于半导体设备。 图表图表 9. 公司公司模组模组的具体产品的具体产品 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 11 续续 图表图表 9. 公司公司模组的具体产品模组的具体产品 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 气体管路产品：主要应用于半导体设备中的特殊工艺气体传送，是连接气源到反应腔的传输管道。由于晶圆加工过程中的气体具有纯度高、腐蚀性强、易燃易爆及毒性的特点，因此对管路的密封性、洁净度及耐腐蚀能力有较高要求。 20

24、22年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 12 图表图表 10. 主营产品主营产品的技术水平对比的技术水平对比 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 公司主要产品应用于半导体设备领域，覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节设备，部分产品已应用于 7纳米制程的前道设备中。 图表图表 11. 产品可应用大部分制程设备产品可应用大部分制程设备 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 13 收入结构：收入结构：结构零部件占比较大结构零部件占比较大 公司有四个主要产品类别分别是工艺零部

25、件、结构零部件、气体管路、模组产品。其中结构零部件占比较多，2019 年到 2021 年，结构零部件占富创精密收入达 47.46%、41.61%、42.44%，基本处于43%左右。 （1）技术要求最高的工艺零部件主营业务收入占比较低，主要因为工艺零部件工艺制程复杂、技术要求高、客户验证周期长，客户选择或替代其他供应商更为谨慎。 （2）结构零部件工艺制程相对简单，技术要求低于工艺零部件，且公司与客户的合作往往从结构零部件开始，然后向性能更高的工艺零部件延伸，从而结构零部件放量更快。 （3）模组产品和气体管路属于公司报告期内新开拓产品类，公司选择的产品型号标准化程度较高，一旦通过验证容易批量化生产

26、，能够更快拉动公司收入和利润规模。 图表图表 12. 富创精密富创精密 2021年年产品产品结构结构 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 客户结构客户结构：国内外一流半导体设国内外一流半导体设备客户为主备客户为主 公司产品主要销往国际半导体设备厂商在美国、新加坡、中国台湾地区、日本等地的工厂。2021 年前五大客户收入占比 86%；某国际客户 A 稳居公司第一大客户，2021 年收入占比 56%；北方华创2019-2021年贡献收入依次是 5.5%、10.5%、19.1%，呈显著上升趋势。客户 A 2019-2021年贡献收入依次是 69.01%、66.23%、55.97%，公司对客户 A

27、依赖呈现下降趋势。 图表图表 13. 富创精密富创精密的客户结构的客户结构 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 14 半导体设备零部件：小而美的细分市场半导体设备零部件：小而美的细分市场、国产化率低、国产化率低 半导体设备零部件市场半导体设备零部件市场规模规模约约 300 亿美元亿美元 半导体设备包括光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备、离子注入设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等。 行业规模推算行业规模推算方法一：营业成本推导，推测全球半导体零部件的市场规模估计方法一：营业成本推导，推测全球半导体零部件的市场规模估

28、计会超过会超过 300 亿美亿美元元。参考半导体设备上市公司的财务数据，半导体设备零部件及原材料的采购成本占半导体设备企业营业成本的 80%-90%，且半导体设备企业的毛利率普遍在 40%-60%之间，即营业成本占营业收入的比重平均在 50%左右，因此半导体设备零部件及其他原材料市场规模相当于全球半导体设备市场规模的 40%-45%范围内，其中半导体零部件占据大部分（8 成以上）。根据 SEMI年初预测，全球 2022 年半导体设备市场规模将达到 1140 亿美元，由此推测全球半导体零部件的市场规模估计超过 300亿美元。 图表图表 14. 半导体设备中零部件占大部分营业成本半导体设备中零部件

29、占大部分营业成本 直接材料90%直接人工2%制造费用等8%主营业成本构成主营业成本构成机械类25%电气类24%机电一体类16%气体输送系统8%真空系统7%附属设备7%仪器仪表6%二次配设施3%工艺材料2%气动系统1%其他1%零部件采购零部件采购 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 行业规模推算行业规模推算方法方法二：通过核心零部件企业的收入加总推导，二：通过核心零部件企业的收入加总推导，估计全球半导体设备零部件及附估计全球半导体设备零部件及附属设备的市场规模属设备的市场规模接近接近 300亿美元亿美元 非光刻零部件：参考全球主要半导体零部件的收入规模，估计 2022 年 MKS、UCT、I

30、CHOR、AE、Edwards等主要半导体零部件公司的收入总计约 200亿美元； 光刻零部件：ASML 光刻机相关的零部件市场规模估计超过 80 亿美元，主要参考 ASML 2021 年光刻机及量测整机总收入达到 136.53 亿欧元，毛利率 52.52%，营业成本中零部件占了大部分。ASML预计 2022年整体收入仍将维持快速增长。 附属设备：根据 IC World会议资料，半导体附属设备年均市场规模超过 20亿美元。 备件备品：Fab 厂运营过程中，需更换的备品备件市场需求。参考应用材料、ASML、泛林半导体、TEL 等的收入结构，备品备件及售后服务在整个收入结构中占比平均为 26%，相当

31、于备品备件及售后服务相当于整机销售收入的 36%，但估计包括了部分人工增值服务收入。根据 SEMI 预计，2022 年全球晶圆厂资本开支将达到 1070 亿美元增长 18%，那么 Fab厂运营中更换的备品备件应该具备一定的市场规模。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 15 图表图表 15. 半导体零部件分类及应用半导体零部件分类及应用 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 半导体零部件半导体零部件国产化率低国产化率低 半导体设备零部件市场规模约 300 亿美元，但主要掌握在美国、日本等国家或地区。其中，2021 年MKS收入 29亿美元，ichor、UCT、AE等收

32、入体量 10-20亿美元。 我国半导体设备零部件以进口为主，是半导体产业链被卡脖子的核心环节。半导体零部件的国产化，目前主要在腔体、机架等机械类实现国产化，而电器类、气体输送系统、真空系统、传感器、仪器仪表、气动系统等零部件以进口为主。 图表图表 16. 半导体设备零部件：美日垄断，国产化率底半导体设备零部件：美日垄断，国产化率底 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 16 图表图表 17. 全球半导体零部件：美占全球半导体零部件：美占 44%，日占，日占 33%，欧洲占，欧洲占 21% 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 20

33、22年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 17 行业地位行业地位：相比国际龙头有相比国际龙头有发展潜力，相比国内同业处于发展潜力，相比国内同业处于龙龙头地位头地位 公司公司机械类零部件机械类零部件产品产品能能用于用于 7 纳米工艺制程纳米工艺制程设备设备 从全球角度，目前公司是全球为数不多的能够为 7 纳米工艺制程半导体设备批量提供精密零部件的厂商直接与国际厂商竞争。富创精密 2021 年收入超 1 亿美元，但相比 MKS 的 29.5 亿美元，差距很大；相比业务性质类似的 ICHOR、Ferrotec约 10亿美元的规模，也有 7-8倍的差距。 图表图表 18. 公司与公司与国

34、际同行国际同行的经营规模还有很大差距的经营规模还有很大差距 资料来源：各公司公告，中银证券 图表图表 19. 富创收入规模仅为富创收入规模仅为 Ferrotec的的 1/7 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 随着国内半导体晶圆厂的大幅扩产和半导体设备国产化的进程加快，国内半导体设备精密零部件的国产化率将不断提升。目前，公司是国内少有的能够提供满足甚至超过国际主流客户标准的精密零部件产品的供应商，相应产品主要同大陆以外地区厂商竞争。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 18 图表图表 20. 富创经营规模处于国内龙头地位富创经营规模处于国内龙头地位 资料来源：富创精

35、密招股说明书，各公司公告，中银证券 图表图表 21. 国内半导体设备零部件供应商统计国内半导体设备零部件供应商统计 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 19 科研优势科研优势：与顶尖客户合作、技术路线全面且清晰与顶尖客户合作、技术路线全面且清晰 公司是少数承担公司是少数承担 02 专项项目的零部件企业专项项目的零部件企业 公司于 2011 年和 2014 年两次牵头承担国家“02 重大专项”中半导体设备精密零部件相应项目，并顺利通过验收，与老牌半导体设备企业共成长。 图表图表 22. 承担承担 02专项项目的零部件企业专项项目的零

36、部件企业 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 公司与客户紧密合作，产品更新迅速公司与客户紧密合作，产品更新迅速 半导体设备是半导体工艺制程演进的关键，精密零部件是半导体设备的基础，因此半导体设备要发展，精密零部件的研发需要先行。公司在研发方面十分注重，研发投入占营业收入的比例在 2021达 8.80%。公司共有研发人员 225 名，占公司全部员工比例为 20.68%。随着半导体设备不断更新迭代，对精密零部件的精度、效率、质量的要求愈来愈高，为确保零部件下 一代工艺的突破，新的工艺需要达到更高的精密度、洁净度、超强耐腐蚀性及耐 击穿电压等性能要求。 公司结合多年的技术研发与项目实践经验所积累

37、的科研成果，在精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接等半导体设备精密零部件关键环节具备了领先的技术能力。 精密机械制造领域：公司通过高端数控机床的设备选型、加工流程设计、精密加工程序的自主二次开发，以及加工刀具、夹具、辅助切削液的自主设计和调配，可实现产品极高的工艺水平。 表面处理特种工艺领域：公司拥有较为齐备的表面处理特种工艺，具备自主的专利技术和 Know-How，能够实现包括化学清洗、阳极氧化、电解抛光、电镀镍、化学镀镍和陶瓷喷涂等多种高洁净、超强耐腐蚀、耐击穿电压的工艺技术及检测能力。 焊接领域：公司具备电子束焊接、激光焊接、自动高洁净管路焊接等多种焊接技术，可针对铝合金、不锈钢、高温合

38、金、哈氏合金、铼合金等多种金属材料进行焊接，并针对客户零部件产品特点选取适合的焊接方式，为客户提供有效的焊接方案。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 20 图表图表 23. 公司公司与顶尖客户合作与顶尖客户合作 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 图表图表 24. 反应腔的技术路线反应腔的技术路线 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 21 图表图表 25. 匀气盘的技术路线匀气盘的技术路线 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 图表图表 26. 内衬的技术发展路线内衬的技术发展路线 资料来源：富创精

39、密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 22 图表图表 27. 结构零部件的技术发展路线结构零部件的技术发展路线 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 图表图表 28. 气路的技术路线气路的技术路线 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 公司的工艺零部件、结构零部件和气体管路产品均需经过精密机械制造、表面处理特种工艺或焊接工序，公司核心技术充分应用于前述三种类别产品。对于模组产品，首先模组产品均包含公司自制的精密零部件产品，相应自制件已与外购机械标准件和电子标准件充分结合，构成模组产品中核心功能的实现部分；其次，公司可自主设计或参与设计部分模组产

40、品，如应用于先进制程的 IC 气柜模组，充分体现了公司对于半导体设备的深刻理解和工艺集成能力。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 23 图表图表 29. 核心指标：高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压核心指标：高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 图表图表 30. 底层核心技术体系的平台化底层核心技术体系的平台化 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 24 图表图表 31. 富创的富创的在研项目在研项目 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日

41、 半导体新股系列 13: 富创精密 25 财务能力：公司收入财务能力：公司收入增长迅速增长迅速、订单每年订单每年大幅增长大幅增长 公司公司收入增长快、盈利能力强收入增长快、盈利能力强 2019-2021 年公司营业收入为 2.53、4.81、8.43 亿元，同比增长 13%、90%、75%。2019-2021 年公司主营业务毛利率分别为 16.16%、30.99%和 30.99%。2019 年公司主营业务毛利率下滑明显的主要原因是2019 年度受到行业景气度波动且当年预投产能转大幅增加折旧与摊销。2019-2021年公司扣非净利率分别为 -23.75%、6.57%和 8.88%。 图表图表 3

42、2. 盈利能力：扣非净利率持续上升至盈利能力：扣非净利率持续上升至 9% 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022 年年 1 月底月底在手订单在手订单 4.22 亿元，较一年前增长亿元，较一年前增长 155% 模组的在手订单增加 1.20亿元，增长 393% 气路的在手订单增加 0.72亿元，增长 538% 工艺零部件在手订单增加 0.47亿元，增长 101% 结构零部件在手订单增加 0.17亿元，增长 23% 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 26 图表图表 33. 在手订单在手订单 4.22 亿元亿元较一年前较一年前大幅大幅增长增长 资料来源：富创精密招股

43、说明书，中银证券 在手订单：在手订单：7nm 以下制程的设备零部件占以下制程的设备零部件占 5% 7nm 是公司高尖端产品，从 7 纳米工艺制程开始，半导体设备对精密零部件洁净度要求更为苛刻。如果无法达到相应要求将影响半导体设备制造良率，所以相应产品需要使用新的特种工艺且通过客户验证更加严苛。复杂的工艺与严苛的客户验证使公司目前 7nm 以下产品占比较小，但在产品不断通过客户验证的情况下，公司相应 7nm以下产品成长空间广阔。 图表图表 34. 7nm以下制程的设备零部件占以下制程的设备零部件占 5% 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 存货以及合同负债大幅增长存货以及合同负债大幅增长印证

44、订单饱满印证订单饱满 2019-2021 年公司存货为 0.99、1.35、2.56 亿元，同比增长 34%、35%、90%；公司合同负债为 87、6.5、1903万元。存货以及合同负债的大幅增长也印证公司后续订单保持充足。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 27 图表图表 35. 存货以及合同负债大幅增长印证后续订单饱满存货以及合同负债大幅增长印证后续订单饱满 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 28 募投项目：募投项目：拟发行不低于拟发行不低于 25%股份（股份（IPO 后）后） 富创精密本次拟公开发

45、行股票数量为不超过 5,226.3334 万股，且不低于发行后公司总股本的 25%。公司拟募集资金 16 亿元，其中 10 亿元拟用于集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地，6 亿元拟用于补充流动资金。 图表图表 36. 募投项目：拟投入募投项目：拟投入 16 亿元亿元 序号序号 项目名称项目名称 投资金额投资金额 使用募集资金使用募集资金 金额金额 1 集成电路装备零部件 全工艺智能制造生产基地 10亿元 10亿元 2 补充流动资金 6亿元 6亿元 合计合计 16亿元亿元 16亿元亿元 资料来源：富创精密招股说明书，中银证券 2021 年末，公司沈阳新厂房建设完成，但产能无法满足长远需求。

46、根据规划，公司启动南通和北京两地异地扩产进一步提升半导体设备精密零部件产能，其中南通厂房为本次上市募投项目。同时，公司持续采购配套机器设备，确保产能如期投产。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 29 风险因素风险因素 半导体设备行业周期性风险半导体设备行业周期性风险 半导体设备行业经历了 2019 年二季度以来的复苏后，已经持续 2 年高增长，2022 年全球 WFE 市场规模将超越 1000亿美元，ASM预计 2022-2025年 WFE将稳定在 1000亿美元上下。半导体设备行业当前的高景气度能否持续还需密切跟踪晶圆厂产能利用率以及终端需求的动态变化。 公司对第一

47、大客户客户公司对第一大客户客户 A 存在较大依赖的风险与其他供应商替代的风险存在较大依赖的风险与其他供应商替代的风险 报告期内，公司第一大客户“客户 A”总部注册在美国，公司对其直接销售额占营业收入的比例分别为 69.01%、66.23%和 55.97%。基于公司部分直接客户的最终客户也为客户 A，公司对客户 A 直接和间接销售额占各期营业收入的比例分别为 75.24%、74.54%和 58.26%，呈现下降趋势。 公司第一大客户销售占比较高可能导致公司在商业谈判中处于不利地位，且公司经营业绩与客户 A 采购需求密切相关。若客户 A 需求变化或寻找替代供应商，或美国政府对客户 A 的采购设臵特

48、定贸易壁垒，将对公司生产经营产生不利影响。 实现对公司第一大客户客户 A 量产供货，首先需要通过客户 A 的质量体系 认证和特种工艺认证，上述两项认证的周期均为一年左右，通过以上两轮认证方 能获得特定首件试制资格；其次，特定首件样品交付并通过客户 A 验收后才具 备该产品的批量生产资格。首件试制及验收周期差异较大，一般在半年左右。 目前客户 A 中供应公司同类产品的供应商包括京鼎精密、超科林等国际厂商，尚 无其他内资供应商。 若未来公司产品质量、研发水平无法满足客户 A 要求，或由于国际贸易摩 擦加剧，或由于内资供应商工艺水平提升，公司可能存在部分产品被客户 A 现 有供应商或新进入内资供应商

49、替代的风险。 国际贸易摩擦的风险国际贸易摩擦的风险 报告期内，公司产品主要销往国际半导体设备厂商在美国、新加坡、中国台湾地区、日本等地的工厂。公司的外销业务受前述国家或地区的政治经济环境影响较大。若该等国家或地区提高关税、设臵进口限制条件或其他贸易壁垒，将对公司产品出口产生不利影响。 2022年 5月 23日 半导体新股系列 13: 富创精密 30 披露声明披露声明 本报告准确表述了证券分析师的个人观点。该证券分析师声明，本人未在公司内、外部机构兼任有损本人独立性与客观性的其他职务，没有担任本报告评论的上市公司的董事、监事或高级管理人员；也不拥有与该上市公司有关的任何财务权益；本报告评论的上市

50、公司或其它第三方都没有或没有承诺向本人提供与本报告有关的任何补偿或其它利益。 中银国际证券股份有限公司同时声明，将通过公司网站披露本公司授权公众媒体及其他机构刊载或者转发证券研究报告有关情况。如有投资者于未经授权的公众媒体看到或从其他机构获得本研究报告的，请慎重使用所获得的研究报告，以防止被误导，中银国际证券股份有限公司不对其报告理解和使用承担任何责任。 评级体系说明评级体系说明 以报告发布日后公司股价/行业指数涨跌幅相对同期相关市场指数的涨跌幅的表现为基准： 公司投资评级：公司投资评级： 买 入：预计该公司股价在未来 6-12个月内超越基准指数 20%以上； 增 持：预计该公司股价在未来 6