半导体半导体薄膜薄膜沉积沉积设备设备国产龙头国产龙头扬帆起航扬帆起航a 投资要点投资要点 拓荆聚焦薄膜沉积设备,突破海外垄断拓荆聚焦薄膜沉积设备,突破海外垄断。拓荆科技主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备和次常压化学气相沉积(SACVD)设备三个产品系列
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