1、2022 年深度行业分析研究报告 hVhUqV9X8ZdYuZsUqV7NdNaQoMmMoMmOjMnNpQkPrQsPaQpOoONZqRnPMYmRsN3/3目录/CONTENTS工业气体品类繁多，电子特气成长性最强01突破两大壁垒+服务优势凸显，2025年国产化率有望提升至25%02供气品类+供气区域双拓展，国产企业加速腾飞034/401工业气体品类繁多，电子特气成长性最强5产业链：电子特气等特种气体主要应用于半导体等新兴产业01数据来源：亿渡数据、华特气体公告、硅烷气体公告、国泰君安证券研究6请参阅附注免责声明中游：外包供气占有望提升至2025年的70%-75%，推动供气市场稳步增长

2、01气体专业社会化外包占比较海外仍有差距，有望从2021年的65%提升至2025年的70%-75%：工业气体的制气模式有自建设备制气和外包供气，我国外包供气市场份额从2017年的55%增至2021年的65%，但与发达国家80%的外包率仍有差距，预计2025年我国外包供气占比有望提升至70%-75%，专业的外包气体供应商将持续受益。数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究图1：外包供气市场份额稳步增长55%57%59%62%65%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%200202021外包供气自建设备制气 7请参阅附注免责声明中游：以电子特气为主的特

3、种气体，需求占比有望提升至2025年的25%01新兴产业带动特种气体占比有望从2021年的19%提升至2025年的25%：2021年特种气体需求占比仅19%，电子特气占据特种气体市场的主要份额，随着下游新兴产业加速发展，预计以电子特气为主的特种气体占比有望提升至2025年的25%。数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究图2：2021年电子特气为特种气体的主要品类大宗气体81%电子特气63%其他特种气体37%特种气体19%8请参阅附注免责声明中游：工业气体需求稳定弱周期性，未来三年CAGR有望保持在10%01工业气体市场增速约为工业增加值增速的1.5-2倍，未来三年我国工业气体市场CAGR有望保持

4、10%左右：工业气体市场规模与工业发展水平密切相关，工业气体市场增速约为工业增加值增速的1.5-2倍；中国工业发展迅速，工业气体市场增速高于全球水平。预计未来三年，我国工业气体市场CAGR有望保持在10%左右。数据来源：Wind、亿渡数据、国泰君安证券研究图4：中国工业气体市场CAGR为10.69%数据来源：Wind、亿渡数据、国泰君安证券研究图3：全球工业气体市场CAGR为6.72%712.84%3.63%3.50%1.95%-2.48%5.73%5.32%4.97%9.47%8.20%-4%-2%0%2%4%6%8%10%12%020040060

5、08000720021E全球工业气体规模全球工业增加值YOY全球工业气体YOY（亿美元）2811.92%10.82%9.39%10.76%10.58%5.70%6.20%6.10%4.80%2.40%9.60%0%2%4%6%8%10%12%14%050002001920202021E中国工业气体规模中国工业气体YOY中国工业增加值YOY（亿元）9请参阅附注免责声明中游：大宗气体CAGR有望保持在8%，特种气体CAGR有望保持在15%01传统

6、产业推动中国大宗气体市场稳步增长，未来三年CAGR有望保持在10%：钢铁、石油化工等传统行业的稳定需求支撑大宗气体市场稳步增长，2017-2021年CAGR达8.89%，预计未来三年市场CAGR有望保持在8%左右。新兴产业推动我国特种气体快速增长，未来三年CAGR有望保持在15%：2016-2021年，中国特种气体市场CAGR约17%，在基数逐年增加及新兴产业的推动下，预计未来三年市场CAGR有望保持在15%左右。数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究图6：2016-2021年国内特种气体市场CAGR约17.00%数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究图5：2017-2021年国内大宗气体CAGR

7、达8.89%8134414569.85%7.91%9.45%8.33%0%2%4%6%8%10%12%020040060080008201920202021E中国大宗气体市场规模YOY（亿元）（亿元）234212.18%16.57%17.65%17.50%21.28%0%5%10%15%20%25%0500300350400200202021E中国特种气体市场规模YOY（亿元）10请参阅附注免责声明中游：电子特气附加值高成长性强，未来三年CAGR有望保持15%-2

8、0%01半导体等下游推动电子特气高速成长，未来三年CAGR有望保持15%-20%：电子特气具有高技术、高附加值的特点，是半导体、液晶显示面板、光伏、LED等电子工业生产中必不可少的基础和支撑性原材料，随着国内半导体、面板等新兴产业的投资加速和国产化替代深入推进，叠加解决“卡脖子”问题等政策的定向支持，预计未来三年CAGR有望保持15%-20%。数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究图7：2016-2021年国内电子特气市场CAGR达15.96%317521610.68%10.53%13.49%22.38%23.43%0%5%10%15%20%25%0501001502002

9、502001920202021E中国电子特气市场规模YOY（亿元）11请参阅附注免责声明下游：需求集中于半导体、光伏等，半导体需求占比有望提升至55%01半导体、显示面板、光伏等为电子特气主要下游，我国半导体行业需求占比有望从2021年的43%提升至2025年的55%：电子特气为半导体、显示面板、光伏、LED等下游领域制造环节的重要耗材，半导体在我国电子特气需求中占比低于全球水平，随着半导体产业加速向我国转移，预计未来三年我国半导体行业占电子特气需求比例有望从2021年的43%提升至2025年的55%。数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究图9：2021年半导体占国内电子特

10、气需求的43%数据来源：Linx Consulting、国泰君安证券研究图8：2018年半导体占全球电子特气需求的70%半导体,70%显示面板,20%光伏,4%LED及其他,6%半导体,43%显示面板,21%LED,13%光伏,6%其他,17%12请参阅附注免责声明下游：电子特气为晶圆制造第二大材料，被誉为半导体的“血液”01电子特气在晶圆制造材料中占比13.1%仅次于硅片，是第二大耗材：电子特气主要应用于晶圆制造的光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等核心工艺环节，其纯度和洁净度直接影响到半导体器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，2021年在晶圆制造材料需求中占比约13.1%，仅次于硅片，是晶圆

11、制造材料中的第二大耗材。数据来源：SEMI、国泰君安证券研究图10：2021年电子特气在晶圆制造材料需求中占比约13.1%33.3%31.0%36.6%36.8%36.3%36.4%14.4%14.0%12.9%13.1%13.1%13.1%13.2%14.0%12.2%12.5%12.7%12.6%0%25%50%75%100%200192020E2021E硅片电子特气掩膜版光刻胶配套试剂光刻胶超净高纯试剂靶材抛光材料其他材料 13请参阅附注免责声明下游：未来三年半导体CAGR有望超15%，带动电子特气市场高速增长01半导体在我国电子特气下游需求中占比43%：电子特气主

12、要用于集成电路的氧化、光刻、沉积、掺杂、离子注入等环节。未来三年国内半导体市场规模CAGR仍有望保持在15%以上：2016-2021年半导体市场规模不断增长，2021年全球半导体市场同比增长25.6%，国内半导体市场同比增长27.06；2022年以来虽然晶圆产能利用率下滑，但长期来看半导体产业仍加速向国内转移，预计未来三年国内半导体市场规模CAGR仍有望保持在15%以上。数据来源：华经产业研究院、国泰君安证券研究图12：2016-2021我国半导体市场CAGR为12.36%数据来源：WSTS、国泰君安证券研究图11：2016-2021年全球半导体市场CAGR为10.29%33894122468

13、8421.63%13.73%-12.05%6.82%25.57%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%004000500060002001920202021全球半导体市场规模YOY（亿美元）9522.33%20.08%-8.74%5.14%27.06%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%0500025002001920202021中国半导体市场规模YOY（亿美元）14请参阅附注免责声明下游：未来三

14、年我国面板CAGR有望10%-15%，刺激电子特气需求增长01显示面板在我国电子特气下游需求中占比21%：电子特气主要用于显示面板制造过程中前段阵列工序的成膜和刻蚀阶段。未来三年国内面板出货量CAGR有望恢复至10%-15%：2016-2020年，全球显示面板出货量CAGR为6.53%，中国大陆显示面板出货量CAGR为15.88%，中国大陆显示面板出货量增速远高于全球水平；2020年以来受疫情影响面板出货量下滑，随着疫情逐步稳定，未来三年国内面板出货量CAGR有望恢复至10%-15%。数据来源：华经产业研究院、国泰君安证券研究图14:2016-2020中国面板出货量CAGR为15.88%数据来

15、源：华经产业研究院、国泰君安证券研究图13：2016-2020年全球面板出货量CAGR为6.53%188.2 200.8 221.4 233.1 242.4 6.70%10.26%5.28%3.99%0%2%4%6%8%10%12%0.050.0100.0150.0200.0250.0300.0200192020全球显示面板出货量YOY（百万平方米）43.656.271.484.391.128.90%27.05%18.07%8.07%0%5%10%15%20%25%30%35%00708090201820192020中国大陆显示

16、面板出货量YOY（百万平方米）15请参阅附注免责声明下游：未来三年我国光伏装机CAGR有望30%，推动电子特气市场空间扩容01光伏在我国电子特气下游需求中占比6%：电子特气在太阳能晶体硅电池片和薄膜太阳能电池片的扩散、刻蚀、沉积等工序中发挥着重要作用。未来三年我国光伏装机容量CAGR有望保持30%以上：2016-2020年，全球光伏装机量CAGR为25.85%，中国光伏市场发展速度高于全球水平，同期CAGR高达34.46%；随着光伏产业需求持续旺盛，未来三年我国光伏装机容量CAGR有望保持30%以上。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图16:2016-2020年我国光伏装机容量CAGR为34

17、.46%数据来源：Wind、国泰君安证券研究图15：2016-2020年全球光伏装机容量CAGR为25.85%30340250562776032.67%25.62%24.16%21.21%0%5%10%15%20%25%30%35%00500600700800200192020全球光伏装机容量YOY（GW）77.4369.25%34.35%16.48%23.41%0%10%20%30%40%50%60%70%80%0500300200192020中国光伏装机容量YOY（GW）16请参阅

18、附注免责声明下游：未来三年我国LED市场CAGR有望10%，对电子特气需求稳定增长01LED在我国电子特气下游需求中占比13%：电子特气在LED中被主要应用于上游的外延片制造和芯片制作环节。未来三年我国LED市场CAGR有望10%：受疫情影响，我国LED市场规模在2020年有所下降，但在2021年行业整体回暖；2016-2021年，我国LED市场规模CAGR为8.31%，预计未来三年CAGR有望保持在10%左右。数据来源：CSA、国泰君安证券研究图17:2016-2021年我国LED市场CAGR为8.31%525487013777325.35%12.79%2.36%-7.

19、09%10.84%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%004000500060007000800090002001920202021中国LED市场规模YOY（亿元）17/17请参阅附注免责声明02突破两大壁垒+服务优势凸显，2025年国产化率有望提升至25%18请参阅附注免责声明电子特气市场由海外主导，2025年国产化率有望提升至25%02四大跨国巨头垄断全球电子特气91%市场：21世纪以来，全球气体行业形成了美国空气集团、法国液空集团、德国林德集团、日本太阳日酸四家巨头公司垄断的行业格局；2018年，四家气体巨头占据了全球电子特气市

20、场约91%的市场份额。2025年我国电子特气国产化率有望提升至25%：由于我国电子特气行业起步晚，过去国内气体企业与国外巨头存在较大技术代差，2020年我国电子特气国产化率仅14%。我们预计未来三年国内气体企业所占份额有望提升至25%。数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究图19:2020年我国电子特气市场国产化率约14%数据来源：前瞻产业研究院、国泰君安证券研究图18：2018年全球电子特气市场巨头市占率91%美国空气化工,25%欧洲林德集团,25%法国液化空气,23%日本大阳日酸,18%其他,9%美国空气化工,24.8%欧洲林德集团,22.6%法国液化空气,22.3%日本大阳日酸,16.1%

21、其他,14.2%19请参阅附注免责声明俄乌冲突引发稀有气体供应紧缺，催化电子特气国产替代加速02俄乌冲突引发氖气等稀有气体紧缺，氖气价格上涨800%：集邦资讯数据显示，乌克兰供应了全球70%的氖气、40%的氪气和30%的氙气。俄乌冲突爆发后，氖气等稀有气体紧缺，截至2022年7月14日，氖气、氪气、氙气价格较年初分别上涨了800%、126%、108%。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图21:2022年初至今氙价格上涨108%数据来源：Wind、国泰君安证券研究图20：2022年初至今氖、氪价格上涨800%、126%00300000400000500000600000氙

22、气（99.99%）（元/m）25300052500000000400005000060000氖气（99.99%）氪气（99.99%）（元/m）0005200020请参阅附注免责声明俄乌冲突引发稀有气体供应紧缺，催化电子特气国产替代加速02稀有气体紧缺时间或超市场预期：俄乌冲突爆发后，供应全球约一半的半导体级氖气的两家供应商，马里乌波尔的Ingas 与敖德萨的 Cryoin，均在 3 月上旬停止运营，6月俄罗斯为了回应欧美制裁也限制对氖气等稀有气体出口；考虑到俄乌冲突仍在持续，且冲突结束后重启气体生产线需要一定时间，我们预计氖气等稀有气体紧缺时长或超市

23、场预期。马里乌波尔敖德萨图22:2022年5月俄乌冲突局势图数据来源：地球知识局、国泰君安证券研究供应链安全受重视，审核认证加快替代加速：国内下游厂商对于电子特气供应链安全愈加重视，预计对国产电子特气的审核认证方面将更加快速，电子特气的国产替代进度将进一步加快。21请参阅附注免责声明突破技术壁垒：自主掌握气体纯化、混配、处理、检测等工艺02特种气体技术壁垒高：特气的生产涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺，同时客户对气体的纯度、精度等方面有复杂要求，由此形成较高技术壁垒。国内企业在多个环节实现突破：国内企业在气体纯化环节能将部分电子特气实现9N级别的纯度，在气体混配环

24、节可使配气误差达到2%以内，在气瓶处理环节可使粗糙度达到0.2m以下，在气体分析检测环节对多种气体的检测精度可达0.1ppb。主要技术技术内容重要性国内突破及优势气体纯化通过精馏、吸附等方式将粗产品精制成更高纯度的产品决定下游产品的良率和性能国产企业已能将部分气体纯度做到9N（99.9999999%）级别气体混配将两种或两种以上有效组分气体按照特定比例混合，得到多组分均匀分布的混合气体配比精度是混合气的核心参数国产企业配气误差达到了2%以内，高于行业一般的5%误差水平气瓶处理根据载气性质及需求的不同，对气瓶内部、内壁表面及外观进行处理，以保证气体存储、运输过程中产品的稳定是保证气体存储、运输、

25、使用过程中不会被二次污染的关键国产企业可使光洁度达到 0.10.5m，高于行业一般的0.5m；钝化方面，公司能使腐蚀性气体 1 年内量值变化不超过 1%，高于行业一般的 5%分析检测对气体的成分进行分析、检测的过程贯穿气体合成、纯化、混配的全过程国产企业对多种气体的检测精度可达 0.1ppb（0.1*10-9），高于行业一般的检测水平（检测精度为 1-10ppb）数据来源：金宏气体公告、华特气体公告、国泰君安证券研究表1：国产企业已在气体纯化、混配、处理、检测等核心工艺实现突破 22请参阅附注免责声明突破客户壁垒：国产企业成功打入主流客户供应链02电子特气长认证周期与强客户粘性特征明显，客户壁

26、垒深筑：下游客户对气体供应商的选择均需经过 2 轮严格审核，其中集成电路领域认证周期长达2-3年，显示面板领域认证周期通常1-2年，光伏领域认证周期0.5-1年。国内企业成功打入主流客户供应链，突破客户认证壁垒：例如华特气体率先通过了 ASML 和 GIGAPHOTON 的认证，进入了英特尔、中芯国际、台积电等厂商供应链，一旦气体企业某一产品通过认证，后续其他品类的认证时间可节省约一半。企业主力产品下游主要客户华特气体高纯氟代烷烃、光刻气、高纯氨、高纯氢等英特尔、美光科技、德州仪器、SK海力士、中芯国际、华虹宏力、台积电（中国）等金宏气体超纯氨、高纯氨、高纯一氧化二氮等联芯集成、华润微电子、京

27、东方、三星电子、三安光电、亨通光电、通威太阳能等和远气体氦气、氢气等兴发集团、烽火通信、格力电器、美的集团、晶科能源等凯美特气食品级液体二氧化碳、稀有气体中国石化、巨力能源、可口可乐、百事可乐、中烟集团、中车集团、三一重工等南大光电砷烷、磷烷、三氟化氮、六氟化硫等Osram、晶圆光电、LG、广镓光电、三安光电、乾照光电、士兰微电子等雅克科技六氟化硫、四氟化碳SK海力士、美光、三星电子、英特尔、LG、友达光电、中芯国际、长江存储等昊华科技三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨等中国石化等杭氧股份氧、氮、氩、氖、高纯氧、高纯氮等玉昆钢铁、裕龙石化、晋控煤业、神华宁煤等数据来源：各公司公告、国泰君安

28、证券研究表2：国产气体企业已成功通过主流客户认证23请参阅附注免责声明本土服务优势凸显：区位优势显著，积极向气体综合服务拓展02电子特气对物流配送要求与一站式服务需求较高：电子特气供气模式以零售气体模式为主，需要供应商在保证服务高效、及时的同时能合理控制成本；同时客户希望气体企业能满足其一站式的用气需求，对综合服务能力有较高要求。在零售气体模式上具有本土区位优势，在现场制气模式上积极向气体综合服务拓展：在零售气体模式上，相较于从海外运输气体，国产企业具有明显的本土区位优势；在现场制气模式上，国产企业逐步向气体综合服务模式迈进，为客户提供整套气体服务。海外气体企业国产企业零售气体模式海外气体企业

29、将产品运至国内，存在进口周期长、容器周转困难、运输成本高、售后服务不及时等问题具有明显区位优势，且通过并购拓展全国销售网络、自建物流供应链、采用智能物流运营平台等方式，实现快速响应与稳定供应的物流配送体系现场制气模式海外企业进入国内市场较早，已垄断国内电子大宗气体等现场制气业务通过向TGCM模式拓展，为半导体制造商提供一整套气体及化学品综合服务，例如金宏气体已中标北方集成、芯粤能的电子大宗气体制气项目表3：国产企业突破特气服务壁垒数据来源：国泰君安证券研究 24请参阅附注免责声明国产企业加大资本开支，扩充产能迎接需求释放02国产气体企业平均资本开支占比处于相对高位，产能持续扩张：2017年，金

30、宏气体、凯美特气、华特气体、和远气体、南大光电、昊华科技、雅克科技、杭氧股份八家中国大陆气体企业的平均资本开支占总营收比例为10.2%，此后呈现稳定增长态势，2021年平均资本开支占比达24.3%，超过四大巨头数据来源：Wind、国泰君安证券研究图22：2017-2021年国产气体企业资本开支逐步增长21.7%10.2%14.0%22.9%23.5%24.3%0%5%10%15%20%25%30%2001920202021中国大陆八家美国空气化工法国液化空气德国林德集团日本大阳日酸 25请参阅附注免责声明国产企业产能扩张以电子特气为主，积极迎接国产替代需求增长02国产气体

31、企业平均资本开支占比处于相对高位，产能持续扩张：以金宏气体、华特气体、和远气体、凯美特气为例，均将电子特气作为重要的扩产项目，项目达产后有望更好满足国产替代趋势下不断提升的特气产品需求。产能扩张项目开始时间 预计建设周期投资总额（亿元）预期收入（亿元/年）主要扩产产品及扩建产能华特气体江西半导体材料项目2022.0824个月4.66/高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、六氟丙烷、溴化氢、三氯化硼、超高纯氢气、超纯氪、超纯氖、超纯氦等西南总部项目2021.1224个月6.587高纯六氟乙烷、三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、氘气、三氟化氯、高纯氨、高纯二氧化碳气体中心建设及仓储2018.0448个月3.48

32、3.32高纯锗烷、硒化氢、磷烷、年充装混配气体、仓储经营销售砷烷、乙硼烷、氯气、三氟化硼以及乙硅烷电子气体生产纯化及工业气体充装2018.0448个月2.161.73硫化氢，纯化锗化氢、四氟化硅、六氟乙烷、八氟乙烷、一氟甲烷等金宏气体张家港超大规模集成电路用高纯气体项目/18个月0.39/提纯高纯氢气年充装392.2万瓶工业气体项目/18个月0.691.75氧气、氮气、氩气、二氧化碳、丙烷、混合气年充装125万瓶工业气体项目/12个月0.540.58氧气、氮气、氩气、二氧化碳、混合气眉山金宏高端电子专用材料项目2022.0520个月5/氢气、食品级二氧化碳、超纯氨、高纯一氧化二氮、高纯二氧化碳

33、、干冰和电子气及电子混配气发展与科技储备资金-新生产基地2019/3.78/电子级氯化氢、电子级液氯、电子级氧化亚氮、电子级正硅酸乙酯、电子级溴化氢、羰基硫和远气体宜昌电子特气及功能性材料产业园2022.0342个月5060六氟丁二烯、三氟化氮、六氟化钨、光伏级三氯氢硅、半导体级三氯氢硅、半导体级二氯二氢硅等潜江电子特气项目（一期）2020.0517个月3.91/纯氨，其中包含电子级高纯氨、电子级高纯氢气潜江电子特气项目（二期）2021.1036个月3.7/食品级二氧化碳、高纯甲烷、高纯一氧化碳、羰基硫、高纯羰基硫、高纯氯气、高纯氯化氢等凯美特气岳阳电子特种稀有气体项目2020.0736个月1

34、.971.30二氧化碳、氢、氮、氦、氩、氖、一氧化碳、氟基激光混配气、氪、氯化氢基激光混配气、动态混配气等宜章电子特种稀有气体项目2022.0424个月7.26.5电子级氯化氢、电子级溴化氢、电子级碘化氢、氟基混配气、电子级三氟化氯、电子级碳酰氟等福建过氧化氢项目2022.0336个月5.23.3电子级、食品级、工业级稀品和工业级浓品双氧水表4：国产气体企业产能扩张意愿强烈数据来源：各公司公告、国泰君安证券研究 26/26请参阅附注免责声明03供气品类+供气区域双拓展，国产企业加速腾飞 27请参阅附注免责声明拓品类：电子特气品类需求多样，但单一产品用量较小03电子特气在集成电路制造环节应用超5

35、0种，品类需求较为多样：据不完全统计，现有单元特种气体达 260 余种，客户在生产过程中存在多样化需求，例如集成电路制造需经过硅片制造、氧化、光刻等环节，需使用纯气超过50种，混合气体种类更多。下游需求的电子特气产品种类虽多，但单一产品用量较小：以某集成电路制造为例，生产环节需30余种电子特气，以存储电路为例，每平方米存储电路所用气体中，用量从0.5克至7220克不等，在200克以下的占86%。类别应用领域工序所需气体电子特种气体集成电路硅片制造HCl（氯化氢）、H2（氢气）、Ar（氩气）氧化Cl2（氯气）、HCl（氯化氢）、TCA（三氯乙烷）、DCE（二氯乙烯）光刻F2（氟气）、Ar（氩气）

36、、Ne（氖气）、Kr（氪气）气相沉积WF6（六氟化钨）、TEOS（四乙氧基硅烷）、N2O（一氧化二氮）、C2F6（六氟乙烷）、NH3（氨气）、NF3（三氟化氮）、PH3（磷化氢）、SiH4（硅烷）、SiH2Cl2（二氯氢硅）刻蚀C4F8（八氟环丁烷）、HBr（氢溴酸）、BCl3（三氯化硼）、CF4（四氟化碳）、Cl2（氯气）、CHF3（三氟甲烷）掺杂含硼、磷、砷等三族及五族原子的气体，如B2H6（乙硼烷）、AsH3（砷化氢）离子注入SiF4（四氟化硅）、SF6（六氟化硫）显示面板成膜Ar（氩气）、SiH4（硅烷）、NH3（氨气）、PH3（磷化氢）、N2O（一氧化二氮）、NF3（三氟化氮）刻蚀C

37、F4（四氟化碳）、O2（氧气）、Cl2（氯气）光伏-晶体硅电池片扩散POCl3（三氯氧磷）、O2（氧气）刻蚀CF4（四氟化碳）减反PECVDSiF4（四氟化硅）、NH3（氨气）光伏-薄膜电池片LPCVD沉积DEZn（二乙基锌）、B2H6（乙硼烷）PECVD沉积SiF4（四氟化硅）、NH3（氨气）、H2（氢气）、CH4（甲烷）、NF3（三氟化氮）LED外延片制造H2（氢气）、N2（氮气）、NH3（氨气）、PH3（磷化氢）、AsH3（砷化氢）芯片制造BCl3（三氯化硼）、Cl2（氯气）电子大宗气体环境气、保护气、载气N2（氮气）、O2（氧气）、Ar（氩气）、CO2（二氧化碳）等数据来源：金宏气体、

38、新材料在线、国泰君安证券研究表5：电子特气应用领域需求多样化 28请参阅附注免责声明拓品类：多品类需求下，国产气体企业加大研发投入丰富气体品类03电子特气行业竞争逐步趋向于综合服务能力的竞争：电子特气下游客户具有多样化需求，出于成本控制、仓储管理、供应稳定等多方面考虑，客户更希望能在一家供应商完成多种产品的采购，对气体公司所覆盖的产品种类提出了更全面的要求。国产气体厂商加大研发投入以丰富气体品类：金宏气体、华特气体、凯美特气等国产气体企业研发支出金额逐年增长，研发支出占比逐年提升，其中凯美特气研发支出占比持续保持在高位。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图24:2016-2021年国产企业研

39、发支出占比逐年提升数据来源：Wind、国泰君安证券研究图23：2016-2021年国产气体研发支出金额增长0.160.190.220.250.300.470.20.230.310.400.460.700.120.170.180.180.190.220.160.220.240.300.330.430.000.100.200.300.400.500.600.700.802001920202021华特气体金宏气体和远气体凯美特气（亿元）2.44%2.41%2.69%2.96%3.00%3.49%3.06%2.58%2.90%3.45%3.70%4.02%2.96%2.96%2.

40、88%2.70%2.31%2.22%5.93%5.14%4.75%5.83%6.36%6.44%1%2%3%4%5%6%7%2001920202021华特气体金宏气体和远气体凯美特气 29请参阅附注免责声明拓品类：国产气体企业在研项目充足，新品开发步伐加快03国产气体在研项目充足，未来三年有望在集成电路常用的气体上实现全面替代：以金宏气体、凯美特气、华特气体、和远气体为例，均拥有多项在研电子特气项目；随着国产气体企业加快扩充气体品类，我们预计未来三年有望在集成电路常用的超50种气体上实现全面替代。企业技术水平项目名称华特气体（18项）进口替代（12项）羰基硫研发、高纯二氧

41、化硫生产研发、半导体用六氟丁二烯纯化研制、高纯乙烯研发、六氟丙烯生产研发、半导体级四氟化硅研发、八氟丙烷合成与纯化研制、稀混光刻气的研制、锗烷纯化及锗烷混合气分析技术研发、超高纯气体的研发攻关、高纯一氧化碳项目、高纯二氟甲烷研发攻关填补全球空白某氢化物合成研发填补国内空白（2项）锗烷的纯化项目、TSA的合成纯化研制国内领先（3项）气体纯化过程的吸附工艺研发、高纯氨气的充装制取技术的研发、高纯四氟化碳纯化的研发金宏气体（21项）国内领先（12项）正硅酸乙酯纯化项目的研发、超高纯氩气回收及纯化、高纯一氧化氮研发、高纯硒化氢的研发、高纯四氟化硅研发、高纯三氟化硼研发、高纯氟化氢研发、半导体电子混合气

42、体的研发、溴化氢合成工艺及装置的研发、羰基硫纯化方法及系统的研发、高纯乙烯的研发国际先进/领先（9项）5N电子级溴化氢的纯化、超高纯羰基硫研发、高纯六氟丁二烯研发、高纯三氟化氯研发、高纯一氟甲烷研发、一种八氟环丁烷用新型吸附剂的研发、电子级六氟丁二烯的提纯处理工艺的研发、电子级氧化亚氮的研发、硅基前驱体材料的研发和远气体（2项）-煤化工合成氨尾气净化分离提纯电子气体关键技术研究、空分装置氮气产品节能供应技术研究凯美特气（5项）-空分装置贫氪氙液氧提取项目、一种新材料“高纯度氘代甲醇”生产工艺方法研究、电子级氯化氢气体纯化技术、一种氦氮氩混合气混配技术开发与研究、一种氟氮混合气混配技术开发与研究

43、数据来源：各公司公告、国泰君安证券研究表6：国内气体企业在研电子特气项目充足，多项技术可实现进口替代 30请参阅附注免责声明拓区域：电子特气多采用瓶装供气模式，高附加值无区域限制03电子特气多采用瓶装供气模式，无区域限制：电子特气需求具有多品类、小批量、高频次的特点，多采用瓶装供气模式，附加值高运输成本占比低，无区域限制，核心在于领先的研发技术，销售网络可覆盖至全国及海外；电子大宗气体以现场制气为主，对气体企业的运维服务能力等要求较高；大宗气体区域性较强，气体企业通过在各地新建生产基地等方式拓展市场；供气模式状态适用客户运输半径主要适用品种合同期特点采用该模式公司零售供气瓶装供气 气态 单一需

44、求量小大宗气体50km左右；特种气体不受限电子特种气体、大宗气体1-3年大宗气体具有区域限制，特种气体无区域限制；运输成本高华特气体、金宏气体、和远气体、凯美特气、昊华科技、雅克科技、南大光电、杭氧股份、硅烷科技储槽供气 液态用气量中等200km左右大宗气体3-5年区域性强；运输成本较瓶装供气低现场制气气态用气量较大-大宗气体、电子大宗气体10-20年资本投入大；无区域限制华特气体、金宏气体、和远气体、凯美特气、杭氧股份数据来源：和远气体招股说明书、亿渡数据、国泰君安证券研究表7：电子特气的供气模式以零售供气为主 31请参阅附注免责声明拓区域：电子特气加速销售区域扩张，协同效应助力成长为综合气

45、体商03目前各大气体企业覆盖的销售范围相对有限：从营收分地区来看，以金宏气体、凯美特气、华特气体、和远气体为例，目前各大气体企业主要营收地区均围绕自身气体生产基地，覆盖的销售范围仍相对有限。有望借助电子特气业务将销售网络拓展至全国：随着各大企业发力电子特气业务，逐步将销售网络拓展至全国，大宗气体有望借助协同效应开发全国范围的潜在客户，后续可采取在当地建设充气站或并购气体企业的形式，将大宗气体销售至全国。企业公司所在地气体主要生产基地分布情况华特气体广东佛山特种气体江西、四川自贡、湖南郴州、广东华南（35.76%）、华东（18.51%）、华中（11.56%）、华北（3.02%）、西南（1.65%

46、）、西北（1.32%）、东北（0.20%）、海外（26.85%）大宗气体广东、江西、江苏、广西、四川、浙江、陕西、湖北、湖南金宏气体江苏苏州特种气体河南平顶山、四川眉山、江苏张家港、上海华东（74.94%）、华中（4.24%）、海外（2.41%）、华南（2.26%）、华北（1.00%）大宗气体四川、重庆、上海、江苏和远气体湖北宜昌特种气体湖北宜昌湖北省内（84.29%）、湖北省外（15.71%）大宗气体湖北、湖南、安徽、江西、河南凯美特气湖南岳阳特种气体湖南岳阳、湖南宜章广东（22.66%）、安徽（19.78%）、湖南（17.22%）、海南（14.98%）、福建（12.41%）、湖北（2.71

47、%）大宗气体湖南岳阳、广东惠州、安徽安庆、海南洋浦、福建泉州、湖南长岭数据来源：各公司公告、国泰君安证券研究表8：国内气体企业加速拓展地域布局 32/32请参阅附注免责声明04推荐标的 33请参阅附注免责声明国产气体企业错位竞争，产品及业务模式各不相同04企业主要生产气体2021年气体业务营收（亿元）2021年总营收（亿元）2021年归母净利润（亿元）2021营收拆分华特气体特种气体氟碳类、氢化物、光刻及其他混合气等7.9713.471.29特种气体（59.14%）、普通工业气体（19.75%）、设备及工程（19.97%）普通大宗气体氧、氮、氩、氨等2.66金宏气体特种气体高纯氨、高纯氢、高纯

48、氧化亚氮等6.5917.411.67大宗气体（40.13%）、特种气体（37.83%）、天然气（13.36%）普通大宗气体氮、氩、二氧化碳等6.99和远气体特种气体高纯氢、高纯氨0.629.920.90普通气体（66.98%）、清洁能源（17.20%）、特种气体（6.28%）、工业化学品及新型材料（3.60%）普通大宗气体氧、氮、氩、二氧化碳等6.64凯美特气特种气体氪、氖、氙、混合气等6.686.681.39液 体二 氧化碳（42.69%）、氢气（23.49%）、液化 气（12.57%）、燃料气加工费（4.82%）、戊烷（4.05%）、氪氖氙等电子特气（2.75%）、其他（14.45%）普通

49、大宗气体二氧化碳、氧、氮、氢、戊烷、液化气等南大光电特种气体三氟化氮、六氟化硫、磷烷、砷烷7.319.841.36特气产品（74.27%）、MO源产品（16.90%）、其他（8.83%）雅克科技特种气体六氟化硫、四氟化碳3.9137.823.35光刻胶及配套试剂（32.12%）、半导体化学材料（22.33%）、阻燃剂（12.12%）、LNG保温复合材料（10.42%）、电子特种气体（10.35%）、其他（12.66%）昊华科技特种气体三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫5.1974.248.91航空化工材料（39.78%）、高端氟材料（25.30%）、工程技术服务（13.81%）、电子化学品（6.99

50、%）、贸易及其他（7.64%）硅烷科技特种气体高纯氢、电子级硅烷气1.717.210.76氢气（66.21%）、电子级硅烷气（22.69%）、其他业务收入（10.08%）、四氯化硅（0.72%）、高纯氢气（0.30%）普通大宗气体氢4.78杭氧股份特种气体高纯氧、高纯氨66.16118.7811.94气体销售（55.70%）、空分设备（36.33%）、乙烯冷箱产品（4.32%）、其他（1.87%）、工程总包（1.79%）普通大宗气体氧、氮、氟等数据来源：各公司公告、国泰君安证券研究表9：国内气体公司综合气体服务为主，气体品类各有不同 34请参阅附注免责声明大宗商品波动影响国产企业毛利率，未来盈

51、利能力有望提升04凯美特气毛利率持续领先，金宏气体、华特气体、和远气体盈利能力有望提升：2020-2021年，受大宗商品波动影响的传导，金宏气体、华特气体、和远气体原材料价格上涨，毛利率下滑；凯美特气原材料自给程度高，2021年毛利率回升，且食品级二氧化碳广受下游厂商认可，毛利率相对较高。未来随着原材料价格回稳，国产气体企业盈利能力有望提升。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图26:2021年国产企业净利率变动出现分化数据来源：Wind、国泰君安证券研究图25：2021年国产企业毛利率变动出现分化32.80%33.27%32.91%35.38%25.98%24.19%39.08%39.44%

52、44.39%48.59%36.47%29.96%40.87%38.91%43.51%43.94%35.45%28.72%43.28%44.09%46.87%46.79%37.44%41.95%20%25%30%35%40%45%50%55%2001920202021华特气体金宏气体和远气体凯美特气5.84%6.17%8.30%8.60%10.65%9.59%1.99%9.04%12.86%15.78%16.26%9.57%10.10%7.82%12.06%12.70%10.57%9.10%7.80%12.64%19.22%17.94%13.94%20.74%0%5%10%

53、15%20%25%2001920202021华特气体金宏气体和远气体凯美特气 35请参阅附注免责声明华特气体：特气品类较为丰富，技术、客户优势明显04特种气体国产化先行者，技术认证行业领先：华特气体成立于1999年，最初主要面对普通工业气体零售市场，2005年进军特种气体行业；公司实现进口替代产品累计20余种，部分气体通过ASML与Gigaphoton认证。电子特气新品加速导入，2021年营业收入快速提升：2021年华特气体营收和归母净利润同比增速亮眼，主要受益于国内半导体市场需求增长，电子特气新品加速导入下游客户，新拓展的半导体客户增加。数据来源：Wind、国泰君安证券

54、研究图36:2021年华特气体归母净利润同比增长21.70%数据来源：Wind、国泰君安证券研究图35：2021年华特气体营收同比增长34.70%6.577.878.188.4410.0013.47-4.43%19.71%3.94%3.18%18.48%34.70%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%40%024686200202021营业收入YOY（亿元）0.380.490.680.731.061.29-24.60%26.42%38.78%7.35%45.21%21.70%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%5

55、0%00.20.40.60.811.21.42001920202021归母净利润YOY（亿元）36请参阅附注免责声明华特气体：特气品类较为丰富，技术、客户优势明显04特种气体业务占比持续提升，延伸产业链推动毛利率回升：特种气体营收占比由2017年的47.18%提升至2022年Q1的72.58%；随着公司将气体产业链从纯化延伸到合成环节，在海外设立销售子公司等方式，综合毛利率水平将有望回升至30%35%。特种气体产品品类较多，优质客户品类扩充带来高速增长：公司可生产销售的特种气体高达230余种，可提供的电子特气产品约为50-60种，实现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超80

56、%客户覆盖率，存量客户新品类扩充将为公司带来巨大营收贡献。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图38：2016-2021年华特气体的特种气体毛利率较高数据来源：Wind、国泰君安证券研究图37：2016-2021年华特气体特种气体占比提升53.08%47.18%48.10%53.09%54.86%59.14%32.71%33.36%30.90%25.90%21.37%19.75%13.28%19.46%21.01%20.07%22.69%19.97%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%2001920202021特种气体普通工业气体设备及工程4

57、0.56%41.76%39.94%40.00%30.97%29.37%23.09%24.62%28.79%31.13%15.44%11.21%22.30%26.28%20.63%26.77%22.62%18.87%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%2001920202021特种气体普通工业气体设备及工程 37请参阅附注免责声明金宏气体：国内超纯氨龙头，电子大宗特气带来新增长04起始于大宗气体业务，逐步成长为综合气体供应商：金宏气体于1999年成立，2000年开始立足于大宗业务，2010年金宏气体突破高端特气领域，7N电子级超纯氨正式运营，逐步成为超纯

58、氨生产龙头企业；2020年以来逐步向氢能、电子大宗气体发力。2021年并购8家气体公司，营业收入同比增长40.06%：2021年，公司在浙江、江苏等地并购8家气体公司，并购公司贡献营收占比10.62%。2021年公司总营收同比增长40.06%，其中特种气体营收同比增长46.90%，大宗气体营收同比增长44.97%。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图28:2021年金宏气体归母净利润同比下降15.23%数据来源：Wind、国泰君安证券研究图27：2021年金宏气体营收同比增长40.06%6.548.9310.7011.6112.4317.4117.99%36.51%19.82%8.50%7.

59、06%40.06%0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%0246802001920202021营业收入YOY（亿元）（亿元）0.120.791.391.771.971.67-76.73%542.73%75.95%27.34%11.30%-15.23%-200%-100%0%100%200%300%400%500%600%00.511.522.52001920202021归母净利润YOY（亿元）38请参阅附注免责声明金宏气体：国内超纯氨龙头，电子大宗特气带来新增长04大宗气体、特种气体均衡发展，原材料价格回落毛利

60、率有望逐步回升：大宗气体与特种气体为公司主要收入来源，未来将均衡同步发展。2021年综合毛利率下降主要原因在于大宗商品涨价压力传导，未来预计毛利率水平将随大宗商品价格下降逐步回升。传统业务产能释放+发力电子大宗气体，增长空间可观：公司正硅酸乙酯、超纯氨、高纯二氧化碳等在建产能将于2022-2023年投产；同时公司于2021年发力电子大宗气体业务，已与北方集成、广东芯粤能等签订合同，有望为公司带来新增长。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图30:2016-2021年特种气体维持高毛利水平数据来源：Wind、国泰君安证券研究图29：2021年金宏气体大宗、特种气体占比相近大宗气体,40.13%特

61、种气体,37.83%清洁能源,13.36%其他业务,8.68%36.31%37.21%42.69%46.82%38.12%27.21%46.06%50.05%53.21%54.78%38.18%35.46%21.33%19.87%26.42%27.41%18.55%10.73%0%10%20%30%40%50%60%2001920202021大宗气体特种气体天然气 39请参阅附注免责声明和远气体：大力发展电子特气，产能释放带来跨越式提升04自湖北区域市场向全国拓展，积极发力电子特气：和远气体成立于2003年，终端销售网络已覆盖湖北全省并逐步向全国拓展，目前主要产品为氧气、

62、氮气、氩气为主的普通气体与液化天然气，同时公司积极向电子特气业务进军，新增两个电子特气项目。2021年营收同比增长20.35%，电子特气产能释放将带来新增长：2021年公司扩展液态产品市场，同时全面恢复瓶装气体业务，推动营收增长。未来随着电子特气及功能性材料的新增产能逐步释放，公司业绩有望加速增长。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图40:2021年和远气体归母净利润同比增长3.60%数据来源：Wind、国泰君安证券研究图39：2021年和远气体营收同比增长20.34%4.065.756.256.668.249.9233.76%41.68%8.59%6.57%23.82%20.34%0%5%

63、10%15%20%25%30%35%40%45%02468720021营业收入YOY（亿元）（亿元）0.410.450.750.850.870.90104.64%9.68%67.60%12.17%3.04%3.60%0%20%40%60%80%100%120%00.10.20.30.40.50.60.70.80.9021归母净利润YOY（亿元）（亿元）40请参阅附注免责声明和远气体：大力发展电子特气，产能释放带来跨越式提升04高毛利的特种气体占比有望大幅提升，产品结构优化将推动毛利率回升：2021年特种气体

64、业务营收占比仅6.28%，未来随着电子特气产能释放，高毛利的特种气体的营收占比有望大幅提升，公司综合毛利率有望随之增长。加速电子特气及功能性材料布局，有望大幅释放产能：潜江项目有望释放约10亿元产能，宜章项目有望释放约60亿元产能，随着公司产能大幅释放，公司业绩有望迎来飞跃发展。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图42:2016-2021年和远气体的特种气体毛利率较高数据来源：Wind、国泰君安证券研究图41：2021年和远气体的主要营收为普通气体普通气体,66.98%清洁能源,17.20%特种气体,6.28%工业化学品及新型材料,3.60%45.35%40.80%40.07%50.75%4

65、1.47%26.43%16.14%10.69%9.52%5.58%2.91%39.99%45.67%50.36%46.00%43.93%39.04%0%10%20%30%40%50%60%2001920202021特种气体清洁能源普通气体 41请参阅附注免责声明凯美特气：国产二氧化碳龙头，加速发力电子特气04二氧化碳为传统优势业务，2018年切入电子特气市场：凯美特气成立于1991年，其食品级二氧化碳在国内市占率最高。2018年公司开始布局电子特气业务，电子特气产品已通过法国液化空气、美国相干公司认证。2021年归母净利同比增长93.06%，电子特气带来增长新动力：202

66、1年公司实现营业收入6.68元，同比增长28.71%，归母净利润1.39亿元，同比大幅增长至93.06%。未来公司将主攻电子特气业务，电子特气有望成为凯美特气未来利润增长的主要驱动力。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图32:2021年凯美特气归母净利同比增长93.06%数据来源：Wind、国泰君安证券研究图31：2021年凯美特气营收同比增长28.71%2.70 4.285.055.155.196.6877.85%58.60%17.99%1.98%0.78%28.71%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%0620020202

67、1营业收入YOY（亿元）0.210.520.940.890.721.39146.34%146.01%80.77%-5.32%-19.10%93.06%-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%140%160%00.20.40.60.811.21.41.62001920202021归母净利润YOY（亿元）（亿元）42请参阅附注免责声明凯美特气：国产二氧化碳龙头，加速发力电子特气04目前液态二氧化碳是主要收入来源，未来随着产能释放电子特气占比将持续提升：2021年液态二氧化碳产品营收占比42.59%，电子特气营收占比2.75%，预计2022年Q1电子特气营收

68、占比已提升至约20%，宜章电子特气产能释放将持续提升特气占比。逐步通过原料自给控制成本，电子特气毛利率有望超50%：公司正推进与上游巴陵石化合作，有望实现氖氪氙稀有气体原料自供，同时宜章电子特气项目将为氟基特气生产提供原料优势，电子特气业务有望保持在50%以上的毛利率水平。数据来源：Wind、国泰君安证券研究图34：2021年二氧化碳、电子特气毛利率较高数据来源：Wind、国泰君安证券研究图33：2021年液态二氧化碳占比最高56.23%40.30%37.37%41.68%45.24%42.69%15.25%20.97%22.22%23.75%29.34%23.49%14.20%15.50%1

69、3.51%11.32%7.40%12.57%83.79%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%2001920202021二氧化碳氢气液化气电子特气液体二氧化碳,42.69%氢气,23.49%液化气,12.57%戊烷,4.05%电子特气（氪、氖、氙、混合气）,2.75%其他,14.45%43推荐标的04投资建议：推荐标的为华特气体（688268.SH）、金宏气体（688106.SH）、和远气体（002971.SZ）、凯美特气（002549.SZ）。公司代码代码收盘价盈利预测（EPS）PE评级目标价（2022/07/14）2022E2023E2024E20

70、22E2023E2024E华特气体688268.SH69.24 1.41 1.97 2.65 49.25 35.08 26.10 增持82.91金宏气体688106.SH18.07 0.57 0.84 1.07 31.48 21.63 16.85 增持23.39和远气体002971.SZ23.34 0.79 1.03 1.33 29.66 22.71 17.51 增持27.75凯美特气002549.SZ15.12 0.38 0.59 0.81 39.81 25.45 18.62 增持20.79南大光电300346.SZ31.47 0.39 0.44-80.69 71.52-增持58.50雅克科技002409.SZ48.50 1.64 2.24-29.57 21.65-增持82.00均值42.24 32.59 17.66-表11：主要公司盈利预测与估值表数据来源：Wind、国泰君安证券研究注：公司EPS均来自国泰君安证券预测值，南大光电、雅克科技由国泰君安证券研究所电子组覆盖，暂无2024年EPS预测。