1、 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 。 国产化需求提升，电子特气行业迎来发展机遇 特种气体行业专题报告（一） 证 券 研 究 报 告 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 行业评级 超配 前次评级 超配 评级变动 维持 近一年行业走势近一年行业走势 相对表现相对表现 1 1 个月个月 3 3 个月个月 1212 个月个月 化工 11.92 18.44 22.32 沪深 300 17.96 25.87 25.86 分析师分析师 杨晖杨晖 S0800520010003

2、S0800520010003 杨靖杨靖 S0800519110002S0800519110002 联系人联系人 相关研究相关研究 化工： 迎接周期行情回暖， 建议积极布局化工行业 周报（20） 2020-07-05 化工： 草铵膦价格续创近期新高； 推荐关注轮胎行业 复苏化工行业周报（20） 2020-06-29 化工：预计全年农化需求稳中有升，VA/VE 现上涨 预期化工行业周报（20） 2020-06-14 -7% -2% 3% 8% 13% 18% 23% 2019-0720

3、19-112020-03 化工沪深300 核心结论核心结论 国内国内工业气体市场规模增速较快，工业气体市场规模增速较快，人均工业气体消费量人均工业气体消费量提升空间提升空间较大较大。工业 气体产品可分为大宗气体和特种气体两大类，2018 年全球工业气体市场规 模约为 1220 亿美元，我国市场规模为 1350 亿元，2010-2018 年年均复 合增长率达到 16.05%，在高增长的同时 2018 年我国的人均工业气体消费 只有美国的 1/26，未来提升空间较大。 国内半导体国内半导体、液晶面板、光伏、液晶面板、光伏等行业快速发展带动特种气体等行业快速发展带动特种气体需求增速需求增速保持保持较

4、较 高高水平。水平。2018年全球电子特种气体市场规模45.12亿美元，我国电子特种气 体的市场规模为121.56亿元，同比增速11%。伴随国内半导体、液晶面板、 光伏等行业需求提升，预计国内电子特气需求将继续保持高增速，预计到 2024年国内电子特气市场规模将达到230亿元。 电子特气行业进入壁垒较高，电子特气行业进入壁垒较高，下游客户下游客户对生产企业的对生产企业的技术开发能力和产品稳技术开发能力和产品稳 定性提出较高要求定性提出较高要求。因下游集成电路等行业技术迭代速度较快，且集成电路 单一客户需要的特种气体种类就超过 50 种， 客户对生产企业的配套产品开发 能力要求较高；同时电子气体

5、对半导体器件的性能影响巨大，因此对特种气 体纯度和精度的要求较高。 客户一般会对气体产品进行长时间的试用和认证， 一旦建立合作关系后不会轻易更换气体供应商，因此电子特气行业进入壁垒 较高，与客户合作后也会产生较大粘性，综合实力较强的公司才能脱颖而出。 国产替代空间较大，国产替代空间较大，需求强烈需求强烈。据卓创资讯统计2017年我国电子特种气体市 场中空气化工、液化空气、大阳日酸、普莱克斯、林德集团等国外气体公司 的合计市场占比为88%，国内气体公司市场份额合计仅占12%，集成电路生 产用的特种气体我国仅能生产约20%的品种。伴随外部环境不确定性提升， 下游客户对供应链国产化需求显著加强。 国

6、产化进程加速，建议国产化进程加速，建议关注国内优秀气体公司关注国内优秀气体公司。电子气体在电子产品制程工 艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，目前我国国内企 业所能批量生产的特种气体主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺 环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体有待突破。近年来国内气体公司已陆 续实现 IC 用高纯二氧化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、超纯氨等多个产品的进 口替代，未来两年国产替代进程有望加快，建议关注国内优秀气体公司，如 大力发展 TGCM 业务的金宏气体（688106.SH） 、半导体特气领先企业华特 气体（688268.SH） 、半导体材料领军企业南大光电（300

7、346.SZ） 、优秀 含氟特气供应商昊华科技（600378.SH） 、积极打造战略新兴材料平台型公 司的雅克科技（002409.SZ）等。 风险提示：下游客户认证进度不及预期、国内半导体、液晶面板等行业需求 增速放缓、公司新项目投产进度不及预期 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 索引 内容目录 一、工业气体是现代工业的基础原材料 . 4 1.1 国内工业气体市场规模增速较快 . 4 1.2 现场制气市场国内外大型企业竞争激烈 . 5 二、国内半导体、液晶面板、光伏等新兴行业快速发展带动特种气体需求高增长 . 7 2.1 近几

8、年国内特气市场规模平均增速超过 15% . 7 2.2 半导体、液晶面板、光伏等行业快速发展提升特气需求量 . 8 2.3 国内电子特气市场保持较快增速、国产化需求日益提升 . 9 三、国内气体公司迎来市场机遇 . 11 3.1 金宏气体：民营气体龙头企业，打造气体行业民族品牌 . 12 3.2 华特气体：半导体特气领先企业 . 14 3.3 南大光电：半导体材料多点开花，收购飞源气体打开特气业务成长空间 . 15 3.4 昊华科技：含氟特气及高端氟材料带动公司快速发展 . 16 3.5 雅克科技：积极打造战略新兴材料平台，电子特气业务积极扩产 . 17 3.6 和远气体：立足湖北市场，巩固地

9、域优势 . 18 3.7 凯美特气：国内食品级液体二氧化碳龙头企业 . 19 四、风险提示 . 20 图表目录 图 1：工业气体是现代工业的基础原材料 . 4 图 2：2018 年全球工业气体市场规模约为 1220 亿美元 . 5 图 3： 2018 年中国工业气体市场规模约为 1350 亿元 . 5 图 4：现场供气市场以大型企业竞争为主，国内大型气体公司与空分设备商参与竞争 . 6 图 5：工业气体行业的经营模式根据客户及业务特点可以分为零售供气和现场供气 . 6 图 6：中国特种气体市场 2022 年市场规模将达 411 亿元 . 8 图 7：特种气体主要应用于电子半导体、化工领域 .

10、8 图 8：半导体客户对气体产品的要求较为严格 . 8 图 9：2019 年全球半导体市场销售额 4183 亿美元 . 9 图 10：2018 年中国集成电路市场规模增速超过 20% . 9 图 11：2018-2020 年全球大尺寸液晶面板产能增速较高 . 9 图 12：2019 年我国光伏发电新增装机容量为 30.11GW . 9 图 13：2018 年我国电子特种气体行业市场规模 121.56 亿元 . 10 图 14：2016 年电子气体占半导体材料市场占比达 14% . 10 图 15：四大气体公司占全球电子特种气体 91%的市场份额 . 11 oPsNmMsNqPmOyQqPnRt

11、MpM7NcM7NpNrRpNpPlOmMqPfQsQnN9PnNxOuOnQmOwMmPsQ 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 图 16：在国内市场，海外几大气体巨头控制了 88%的份额 . 11 图 17：2019 年营业收入 11.6 亿元，同比增长 8.49% . 13 图 18：2019 年归母净利润 1.77 亿元，同比增长 27.43% . 13 图 19：2019 年金宏气体电子特气营收占主营比为 37% . 13 图 20：2019 年公司电子特气主要应用于光伏、光纤等领域 . 13 图 21：2019 年公

12、司营业收入 8.44 亿元， 同比增长 3.23% . 14 图 22：2019 年归母净利润 0.73 亿元，同比增长 7% . 14 图 23：2019 年特种气体营收占比 53% . 15 图 24：2018 年公司特种气体半导体应用领域占比 59.97% . 15 图 25：2019 年公司特气业务营收占比约 51% . 16 图 26：2019 年公司电子特气业务毛利率有所下滑 . 16 图 27：2019 年昊华科技特气业务营收占比约 9% . 17 图 28：近几年公司特气业务毛利率有所下降 . 17 图 29：2019 年雅克科技电子特气产品营收占比为 22% . 18 图 3

13、0：2019 年公司营收以电子材料为主 . 18 图 31：和远气体营收中普通气体占比较大 . 18 图 32：2019 年公司和远气体特种气体产品主要为氢气、氦气 . 18 图 33：2019 年液体二氧化碳营收占比为 42% . 19 图 34：2019 年公司凯美特气液体二氧化碳毛利率较高 . 19 表 1：2018 年全球工业气体市场规模约为 1220 亿美元 . 4 表 2：零售供气和现场供气的业务模式有所不同 . 7 表 3：电子特气种类较多 . 11 表 4：国内特种气体企业及主要产品 . 12 表 5：公司投募项目预计将贡献新增利润总额 1.26 亿元 . 13 表 6：公司投

14、募项目投产后预计新增收入 5.04 亿元 . 15 表 7：公司含氟气体业务不断加码 . 17 表 8：公司投募项目投产后预计新增产值 3.5 亿元 . 19 表 9：公司投募项目拟使用募集资金 3.1 亿元 . 20 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 一、一、工业气体是现代工业的基础原材料工业气体是现代工业的基础原材料 1.1 国内国内工业气体工业气体市场规模增速较快市场规模增速较快 工业中把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品，工业气体行业原材料是空气、工业废 气、基础化学原料等，其上游行业是气体分离及纯化设备制造业、

15、基础化学原料行业、压力容 器设备制造业等。下游领域包括集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节 能环保、新材料、新能源、高端装备制造等新兴行业以及冶金、化工、机械制造等传统行业。 全球工业气体市场近年来呈现稳步增长的态势， 2018 年全球工业气体市场规模约为 1220 亿美 元，我国我国工业气体市场规模工业气体市场规模为为 1350 亿元，亿元，2010-2018 年年均复合增长率达到年年均复合增长率达到 16.05%。与发 达国家相比，我国人均工业气体消费量还处在较低水平，根据 2018 年的人均工业气体消费量 统计，我国的人均工业气体消费只有美国的 1/26，不足西欧与澳

16、洲的 1/20，与南美和东欧国 家也有较大差距，未来仍有很大的发展潜力。 根据制备方式和应用领域的不同，工业气体产品可以分为两大类：大宗气体和特种气体。大宗大宗 气体气体主要包括氧、氮、氩等空分气体及乙炔、二氧化碳等合成气体，特种气体特种气体品种较多，主要 包括电子特种气体、高纯气体和标准气体等。 图 1：工业气体是现代工业的基础原材料 资料来源：西部证券研发中心 表 1：2018 年全球工业气体市场规模约为 1220 亿美元 分类 时间 全球市场规模 国内市场规模 国内占比 国内市场规模增速 工业气体 2018 1220 亿美元 1350 亿元 16% 12.5% 特种气体 2017 241

17、 亿美元 178 亿元 10.50% 15.5% 电子特气 2018 45 亿美元 121.56 亿元 38.00% 11.2% 资料来源：华特气体、金宏会气体招股说明书, 西部证券研发中心，注：工业气体和电子特气为 2018 年同比增速，特种气体为 2010-2017 年平均增速 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 图 2：2018 年全球工业气体市场规模约为 1220 亿美元 图 3： 2018 年中国工业气体市场规模约为 1350 亿元 资料来源：金宏气体招股说明书, 西部证券研发中心 资料来源：金宏气体招股说明书, 西部

18、证券研发中心 1.2 现场制气市场现场制气市场国内外大型企业竞争激烈国内外大型企业竞争激烈 工业气体行业的经营模式根据客户及业务特点可以分为零售供气和现场供气。 现场供气市场以大型企业竞争为主。现场供气市场以大型企业竞争为主。现场制气主要服务于钢铁、化工等大型化工企业，其项目 投资额大， 供气量大且稳定， 对企业的资金实力、 运营能力等均要求较高。 20 世纪 80 年代起， 以液化空气、林德集团液化空气、林德集团为代表的外资气体供应商开始进入中国市场，并依靠雄厚的资金实力和 丰富的项目运作经验迅速占领了国内现场制气市场。随着国内技术进步和产业转型升级，以盈盈 德气体、宝钢气体德气体、宝钢气体

19、为代表的中国本土气体公司也加入了大规模现场制气的竞争，凭借着成本以 及本土化优势，在国内市场上占据了一定的市场份额。由于工业气体行业较空分设备行业具有 市场容量大、现金流稳定、行业周期性波动小等诸多优势，近年来国内大型的空分设备生产企 业如杭氧股份、四川空分集团杭氧股份、四川空分集团也开始由单纯的设备制造商向大型现场制气供应商转型，并在国 内市场上占据了一定的市场份额。 近年来随着大型煤制油、煤制气项目的实施，在大型现场供气领域，本土气体公司与国际气体 公司的竞争日趋激烈，但其市场竞争力也逐渐提升。目前国内空分气体现场制气市场形成了外 资巨头、国内专业气体供应商、空分设备制造商共同竞争的局面，

20、竞争较为激烈。 零售零售供供气市场参与企业较多。气市场参与企业较多。近年来随着国内集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、 医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造、食品等产业的快速发展，新兴分散用 气市场不断发展壮大，这一市场的特点是客户对单一气体需求量相对较小，但对气体品种需求 较多，供气方式以零售为主。由于外资企业在国内的发展战略主要定位于大型现场制气市场， 因此零售气市场是内资企业争夺的焦点。部分气体零售企业已在各自区域内建立了先发优势， 并不断通过兼并收购的方式将销售网络扩展到其他区域， 因而零售气市场的竞争具有较强的区 域分散性。 0% 5% 10% 15% 20% 2

21、5% 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 200172019E 全球工业气体市场规模（亿美元） 增速（%，右轴） 0% 2% 4% 6% 8% 10% 12% 14% 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 20001620172018 中国工业气体市场规模（亿元） 增速（%，右轴） 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 图 4：现场供气市场以大型企业竞争为主，国内大型气体公司与空分设备商参与竞争 资

22、料来源：金宏气体招股说明书, 西部证券研发中心 图 5：工业气体行业的经营模式根据客户及业务特点可以分为零售供气和现场供气 资料来源：金宏会气体招股说明书, 西部证券研发中心 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 表 2：零售供气和现场供气的业务模式有所不同 业务模式 盈利模式 规模 半径 合同期 特点 客户群 零零 售售 供供 气气 瓶装气 根据需要随时送达客户端 限于小批量气 体用户 特种气体不受运输 半径限制； 大宗气体覆盖充气 站半径 50km 左右 1-3 年 客户分布广泛； 高度网络密集型； 看重配送和交付能力 行业不

23、限 储槽气 通过低温槽车送达客户端， 将低温液体产品储存在客 户现场的储槽中， 供客户规 模要求自行气化使用 满足中等规模 200km 左右 3-5 年 要求客户关系和配送能力， 易受市场影响 电子半导体、 化 工、机械制造、 食品、 医疗健康 现场制气现场制气 在客户端建造现场制气装 置通过管网供应气体 满足大规模用 气需要 - 10-20 年 资本密集，服务要求高； 技术和客户关系稳定； 盈利能力持续性强，现金流稳定 化工、炼油、电 子半导体、 金属 冶炼加工 资料来源：金宏气体招股说明书, 西部证券研发中心 二、国内半导体、液晶二、国内半导体、液晶面板面板、光伏等新兴行业快速发展带、光伏

24、等新兴行业快速发展带 动动特种气体特种气体需求高增长需求高增长 2.1 近几年国内特气近几年国内特气市场市场规模规模平均增速平均增速超过超过15% 特种气体主要包括电子电子特种气体、高纯气体特种气体、高纯气体和标准气体标准气体。近年来随着下游应用领域及新工艺路 线的逐步扩展，特种气体的品种也与日俱增，已成为高科技应用领域不可缺少的核心原材料。 随着气体分离与提纯技术和混配技术的不断发展，更多的特种气体产品将逐步走向市场，特种 气体品种也将得到进一步的丰富。 根据卓创资讯统计， 2017年全球特种气体市场规模达241亿美元， 较2016年同比增长11.55%。 2017 年国内特种气体市场规模约

25、 178 亿元，2010-2017 年市场平均增速达 15.48%， 2022 年市场规模将达 411 亿元。 特种气体主要应用于电子半导体、化工、医疗环保、显示面板、光伏等行业，在特种气体的各在特种气体的各 个应用领域中， 半导体客户对气体产品的要求较为严格， 既需满足纯度要求又要确保质量稳定个应用领域中， 半导体客户对气体产品的要求较为严格， 既需满足纯度要求又要确保质量稳定 性性。作为集成电路制造的关键材料，伴随着下游产业技术的快速迭代，特种气体对纯度和精度 的要求持续提高，集成电路单一客户需要的特种气体种类就超过 50 种。在纯度方面，普通工 业气体要求在 99.99%左右， 但是在先

26、进制程的集成电路制造过程中， 气体纯度要求通常在 6N （99.9999%）以上。出于成本控制、仓储管理、供应稳定等多方面考虑，客户更希望能在一 家供应商完成多种产品的采购，因此全球知名的集成电路制造厂商及面板厂商多釆用全球知名的集成电路制造厂商及面板厂商多釆用 TGCM 的模式，把生产工厂内的气体和化学品的管理配送等工作分包给专业的气体公司。的模式，把生产工厂内的气体和化学品的管理配送等工作分包给专业的气体公司。 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 图 6：中国特种气体市场 2022 年市场规模将达 411 亿元 图 7：特种

27、气体主要应用于电子半导体、化工领域 资料来源：前瞻产业研究院, 西部证券研发中心 资料来源：前瞻产业研究院，西部证券研发中心 图 8：半导体客户对气体产品的要求较为严格 资料来源：金宏气体招股说明书, 西部证券研发中心 2.2 半导体、液晶面板、光伏等行业快速发展提升特气需求量半导体、液晶面板、光伏等行业快速发展提升特气需求量 近年来集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、高端装备制造、医疗健康等行业的快速 发展，带动国内特气需求增速保持较高水平。 半导体产业链向国内转移，国内半导体市场规模增速较高半导体产业链向国内转移，国内半导体市场规模增速较高。2019 年全球半导体销售额达 4183

28、 亿美元，近五年复合增速为 4.21%，随着国内制造业快速发展，以及巨大的终端消费市场和劳 动力人口优势， 半导体产业链将加快向国内转移， 近几年国内集成电路市场销售额均保持 20% 以上的高增速，预计将带动集成电路电子用气市场规模保持高速增长。 全球大尺寸面板及光伏装机量增速较高全球大尺寸面板及光伏装机量增速较高。近年来全球大尺寸液晶面板产能不断提升，2018 年 全球产能增速约为 9%，国内面板厂商也纷纷加快高世代液晶面板生产线的建设，预计液晶面 板特气用量将持续保持高增速。与此同时，2010 年以来我国光伏产业迅速崛起，成为全球光 伏产业发展的主要动力之一，2020 年 5 月全国新能源

29、消纳监测预警中心发布 2020 年全国光 伏发电合计新增消纳能力 48.45GW，预计近两年国内光伏行业仍将保持较快增长。 7.0% 7.2% 7.4% 7.6% 7.8% 8.0% 8.2% 8.4% 8.6% 8.8% 0 100 200 300 400 500 600 2019E2020E2021E2022E2023E2024E 中国特气市场规模（亿元） 同比增长（%，右轴） 41% 39% 10% 10% 电子半导体 化工 医疗环保 其他 65.03 73.99 84.97 98 109.33121.56 135 150 167 186 207 230 0% 2% 4% 6% 8% 1

30、0% 12% 14% 16% 18% 0 50 100 150 200 250 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019E2020E2021E2022E2023E2024E 电子特种气体市场规模（亿元）同比增长（%） 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 图 9：2019 年全球半导体市场销售额 4183 亿美元 图 10：2018 年中国集成电路市场规模增速超过 20% 资料来源：前瞻产业研究院，西部证券研发中心 资料来源：前瞻产业研究院，西部证券研发中心 图 11：2018-2020 年全球大尺寸液

31、晶面板产能增速较高 图 12：2019 年我国光伏发电新增装机容量为 30.11GW 资料来源：前瞻产业研究院，西部证券研发中心 资料来源：前瞻产业研究院，西部证券研发中心 2.3 国内电子特气国内电子特气市场市场保持较快增速保持较快增速、国产化需求日益提升、国产化需求日益提升 近年来随着电子工业的快速发展，电子气体在半导体行业中的地位日益凸显。广义的“电子气 体”指可用于电子工业生产中使用的气体，狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生 产的特种气体。电子气体可以分为电子特种气体电子特种气体和电子大宗气体电子大宗气体。 2018 年全球电子特种气体市场规模 45.12 亿美元，同比增长

32、15.93%。根据中国半导体行业协 会统计的数据，2018 年我国电子特种气体的市场规模为 121.56 亿元。预计伴随下游集成电路 行业的快速发展，国内电子特气需求将保持较高增速，预计到预计到 2024 年国内电子特气市场规模年国内电子特气市场规模 将达到将达到 230 亿元。亿元。 电子气体是仅次于大硅片的第二大市场需求半导体材料，电子气体在半导体材料市场占比达 14%。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺， 被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源” 。 国产化需求迫切。国产化需求迫切。据卓创资讯统计，2017 年我国电子特种气

33、体市场中空气化工、液化空气、 大阳日酸、普莱克斯、林德集团等国外气体公司的合计市场占比为 88%，国内气体公司市场 -15% -10% -5% 0% 5% 10% 15% 20% 25% 0 1000 2000 3000 4000 5000 6000 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 全球半导体销售额（亿美元） 同比增速（%，右轴） 0% 5% 10% 15% 20% 25% 30% 0 1000 2000 3000 4000 5000 6000 7000 200018 集成电路销售收入（亿元） 同比增速

34、（%，右轴） 0.0% 1.0% 2.0% 3.0% 4.0% 5.0% 6.0% 7.0% 8.0% 9.0% 10.0% 0 50 100 150 200 250 300 350 200182019E2020E 产能（百万平方米）同比增长（%，右轴） -60.0% -40.0% -20.0% 0.0% 20.0% 40.0% 60.0% 80.0% 100.0% 120.0% 140.0% 0 10 20 30 40 50 60 200019 新增光伏装机容量（GW) 同比增长（%，右轴） 行业专题报告 | 化工 西部证券西

35、部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 份额合计仅占 12%。根据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的特种气体，我 国仅能生产约 20%的品种，其余均依赖进口。目前我国国内企业所能批量生产的特种气体仍 主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少 部分品种取得突破，伴随外部环境不确定性提升，下游客户对供应链国产化需求显著加强。 。 图 13：2018 年我国电子特种气体行业市场规模 121.56 亿元 资料来源：前瞻产业研究院，西部证券研发中心 图 14：2016 年电子气体占半导体材料市场占比达 14% 资料来源：S

36、EMI, 西部证券研发中心 0% 2% 4% 6% 8% 10% 12% 14% 16% 18% 0 50 100 150 200 250 200019E 2020E 2021E 2022E 2023E 2024E 电子特种气体市场规模（亿元）同比增长（%，右轴） 33% 14% 13% 6% 7% 4% 3% 7% 13% 大硅片 电子气体 光掩模 光刻胶 光刻胶配套试剂 湿化学品 溅射靶材 抛光液和抛光垫 其他材料 行业专题报告 | 化工 西部证券西部证券 20202020 年年 0707 月月 1 16 6 日日 图 15：四大气体公司占全球电

37、子特种气体 91%的市场份额 图 16：在国内市场，海外几大气体巨头控制了 88%的份额 资料来源：华特气体、金宏气体招股说明书, 西部证券研发中心 资料来源：华特气体、金宏气体招股说明书, 西部证券研发中心 表 3：电子特气种类较多 类别 用途 主要气体产品 电子特种气体 化学气相沉积（CVD） 氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS（正硅酸乙酯） 、TEB（硼酸三乙酯） 、TEPO（磷酸三乙酯） 、磷化氢、三氟化氯、 二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等 离子注入 氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等 光刻胶印刷 氟气、氦气、氪气、氖气等

38、 扩散 氢气、三氯氧磷等 刻蚀 氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、六氟化硫、一氧 化碳等 掺杂 含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氢、砷化氢等 电子大宗气体 环境气、 保护气、 载体 氮气、氧气、氩气、二氧化碳等 资料来源: 金宏气体招股说明书, 西部证券研发中心 三、国内气体公司迎来市场机遇三、国内气体公司迎来市场机遇 如前文所述 2017 年我国电子特种气体市场中国内气体公司市场份额合计仅占 12%， 集成电路 生产用的特种气体我国仅能生产约 20%的品种，伴随外部环境不确定性提升，下游客户对供 应链国产化需求显著加强。目前国内主要的特种气体厂商主要有金宏气体、华特气体、雅克科 技、昊华科技、南大光电等公司，近年来国内气体公司已陆续实现 IC 用高纯二氧化碳、高纯 六氟乙烷、光刻气、超纯氨等多个产品的进口替代，伴随国内下游半导体等行业快速发展，未 来两年特气行业国产替代进程有望加快。 25% 25% 23% 18% 9% 空气化工 林德集团 液化空气 太阳日酸 其他 12% 25% 23% 23% 17% 国内气体公司 空气化工 林德集团 液化空