1、 证券研究报告 请务必阅读正文之后的免责条款 下游市场向国内转移，国产靶材下游市场向国内转移，国产靶材厂商厂商正在崛起正在崛起 新材料行业半导体材料系列之六2020.4.20 中信证券研究部中信证券研究部 核心观点核心观点 袁健聪袁健聪 首席新材料分析师 S05 李超李超 有色首席分析师 S01 徐涛徐涛 首席电子分析师 S03 敖翀敖翀 首席周期产业 分析师 S01 靶靶材主要应用在半导体、显示面板材主要应用在半导体、显示面板、记录媒体、光伏等领域、记录媒体、光伏等领域，受其下游主要应用领域，受其下游主要

2、应用领域 需求的拉升， 预计需求的拉升， 预计 2020 年年国内国内靶材需求靶材需求有望有望达达到到 459 亿元。亿元。 目前目前靶材市场份额靶材市场份额仍被仍被美、美、 日日垄断垄断，受益，受益下游需求逐步向国内转移下游需求逐步向国内转移，我国的靶材龙头企业正在乘势而上，在各自，我国的靶材龙头企业正在乘势而上，在各自 的细分领域进行技术突破和产能提升的细分领域进行技术突破和产能提升。半导体靶材领域重点推荐有研新材，建议关注。半导体靶材领域重点推荐有研新材，建议关注 江丰电子；显示面板领域重点推荐隆华科技，建议关注阿石创。江丰电子；显示面板领域重点推荐隆华科技，建议关注阿石创。 靶材靶材主

3、要应用在半导体、显示主要应用在半导体、显示面板、记录媒体、光伏等领域面板、记录媒体、光伏等领域。靶材的核心功能是 作为沉积薄膜的溅射源，按材质可分为金属靶、陶瓷靶与合金靶。靶材的主要应 用领域集中在显示面板（33.8%）、记录媒体（28.6%）、光伏电池（18.5%）与 半导体（11.4%），各领域使用靶材种类不同对靶材性能具有不同的要求。 半导体、显示面板、光伏电池、记录媒体是驱动靶材行业发展的四驾马车。半导体、显示面板、光伏电池、记录媒体是驱动靶材行业发展的四驾马车。半导半导 体体领域领域：晶圆产能向国内转移，预计 2023 年全球半导体用靶材的需求上升至 86 亿元，中国大陆需求为 21

4、 亿元（占全球 24%）。显示面板领域：显示面板领域：基于显示基板 尺寸不断扩大的趋势与国内面板产能不断扩张的现实，预计 2023 年国内显示面 板靶材市场可达 246 亿元（占全球 46%）。光伏电池领域：光伏电池领域：光伏靶材的主要需求 来自薄膜光伏电池和 HIT 电池市场规模的扩张，预计 2023 年全球光伏电池用溅 射靶材市场达 575 亿元。记录媒体领域：记录媒体领域：大数据发展推动存储设备的需求不断提 高，机械硬盘 HDD 为磁性靶材市场最主要的下游应用领域，短期其存储优势地 位难以被取代，预计 2023 年国内磁记录靶材市场可达 107 亿元。 靶材市场份额现阶段仍以国外为主靶材

5、市场份额现阶段仍以国外为主，国内企业正逐渐实现国产替代。国内企业正逐渐实现国产替代。美国和日本 公司几乎垄断全球靶材市场份额，日矿金属、霍尼韦尔、东曹和普莱克斯合计占 据全球靶材市场 80%的市场份额。现阶段国内靶材行业龙头包括有研新材、隆华 科技、江丰电子以及阿石创等。半导体靶材领域有研新材作为国内超高纯金属靶 材龙头，铜钴靶材技术优势明显，同时具备上游金属原材料提纯能力；江丰电子 实行产业链纵向拓展，多品类横向扩张策略占据半导体靶材市场份额；显示面板 靶材领域，隆华科技拥有子公司四丰电子、晶联光电和丰联科，具备国内唯一钼 靶材量产和国产替代能力、 国内唯一供货 TFT 用 ITO 靶材能力

6、， 并且实现了靶材 生产到绑定自主可控；阿石创为国内 PVD 镀膜材料细分领域领先供应商。 风险因素：风险因素：靶材下游行业景气度不及预期；半导体国产替代进程不及预期；靶材 厂商产能释放不及预期。 投资策略投资策略：目前靶材市场份额仍被美、日垄断，受益下游需求逐步向国内转移， 我国的靶材龙头企业正在乘势而上， 在各自的细分领域进行技术突破和产能提升。 半导体领域靶材领域重点推荐有研新材、江丰电子；显示面板领域重点推荐隆华 科技，建议关注阿石创。 靶材靶材行业行业 评级评级 强于大市强于大市（首次首次） 重点公司盈利预测、估值及投资评级重点公司盈利预测、估值及投资评级 简称简称 收盘价收盘价 （

7、元）（元） EPS（元）（元） PE 评级评级 2018 2019E 2020E 2018 2019E 2020E 隆华科技 7.49 0.15 0.20 0.26 50 37 29 买入 有研新材 12.37 0.09 0.12 0.22 137 103 56 买入 江丰电子 50.70 0.27 0.17 0.27 188 122 188 买入 阿石创 29.29 0.20 0.10 0.28 146 293 105 - 资料来源：Wind，中信证券研究部预测 注：股价为2020 年4 月15 日收盘价，阿石创为wind 一致预期 新材料行业半导体材料新材料行业半导体材料系列系列之六之六2

8、020.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 目录目录 靶材主要用于靶材主要用于平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域 . 1 靶材是用溅射法沉积薄膜的原材料 . 1 靶材生产工艺 . 2 靶材主要应用在平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域 . 3 “四驾马车四驾马车”驱动靶材需求驱动靶材需求 . 5 半导体靶材：半导体产能转向国内，靶材需求有望受益 . 5 显示面板靶材：靶材下游最大的应用领域 . 10 光伏电池靶材：HIT 和薄膜光伏电池市场未来可期 . 13 记录媒体靶材：需求稳定增长 . 16 靶材行业格局与国内相关上市公

9、司概况靶材行业格局与国内相关上市公司概况 . 19 靶材行业格局 . 19 风险因素风险因素 . 20 投资建议与重点公司推荐投资建议与重点公司推荐 . 20 有研新材：国内超高纯金属靶材龙头，铜钴靶材技术优势明显 . 21 隆华科技：钼靶材和 ITO 靶材国内领军 . 24 江丰电子：国内半导体用靶材龙头产业链纵向拓展，多品类横向扩张 . 27 阿石创：国内 PVD 镀膜材料领先厂商 . 29 先导稀材：国内光伏靶材与显示靶材的生产领导者 . 31 nMrOqQsOsPpRtRqRzRmNpM7N8QaQoMrRsQnNfQqQsOiNmOmNaQoOuMuOqMnNwMqMtR 新材料行业

10、半导体材料新材料行业半导体材料系列系列之六之六2020.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 插图目录插图目录 图 1：靶材产品 . 1 图 2：溅射靶材原理示意图 . 1 图 3：靶材的基本分类（按材质） . 1 图 4：靶材的基本制备工艺 . 2 图 5：国内外核心靶材技术差距 . 3 图 6：靶材设计面临的工艺问题 . 3 图 7：2018 年全球溅射靶材应用结构 . 4 图 8：不同应用领域的金属纯度要求 . 5 图 9：上游管控制约我国靶材市场发展 . 5 图 10：集成电路对靶材的高性能要求 . 6 图 11：2010-2018 年全球半导体销售额（单位：亿美元） . 6 图

11、 12：2015-2018 年中国半导体销售额（单位：亿美元） . 6 图 13：全球半导体材料销售额（单位：亿美元） . 7 图 14：国内半导体材料销售额（单位：亿美元） . 7 图 15：2010-2020 年全球 12 英寸晶圆厂数量（单位：座） . 8 图 16：2017-2020 年全球拟投产晶圆厂数量地区分布 . 8 图 17：2018 年全球晶圆产能市场份额 . 8 图 18：2016-2018 年全球晶圆产能增速排名 . 8 图 19：2018-2025 全球、中国大陆半导体用靶材市场规模（单位：亿元） . 9 图 20：全球晶圆代工厂各制程市场规模（单位：十亿美元） . 9

12、 图 21：钴、铜、钨、铝靶材的物理特性 . 10 图 22：LCD 和触控屏幕结构 . 10 图 23：靶材在面板制程中的使用部位 . 11 图 24：各时代玻璃基板尺寸（单位：mm） . 11 图 25：智能手机屏幕尺寸演变（单位：mm） . 11 图 26：全球显示面板供需平衡（单位：百万平方米） . 12 图 27：全球面板需求分类 . 12 图 28：全球显示面板产能格局（单位：百万平方米） . 12 图 29：显示面板用靶材市场规模测算（单位：亿元） . 13 图 30：光伏电池主要发展历史. 13 图 31：全球和国内新增光伏装机容量（单位：GW） . 14 图 32：全球能源结

13、构预测（单位：GW） . 14 图 33：光伏薄膜电池结构 . 14 图 34：国内薄膜光伏电池产量（单位：MW） . 15 图 35：全球薄膜光伏电池产量（单位：MW） . 15 图 36：HIT 电池结构. 15 图 37：HIT 电池提效路径 . 16 图 38：磁记录设备的结构 . 17 图 39：存储器产品分类 . 17 图 40：2018-2020 年国内信息记录材料市场预测（单位：亿元） . 18 图 41：2018-2020 年国内磁记录靶材市场预测（单位：亿元） . 18 图 42：靶材行业全球格局分布. 19 新材料行业半导体材料新材料行业半导体材料系列系列之六之六2020

14、.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 图 43：国内四家代表性靶材龙头企业概况 . 20 图 44：子公司有研亿金铜钴靶材相关专利 . 21 图 45：有研亿金部分超纯铜、钴靶材的获奖情况 . 21 图 46：公司高端铜/钴靶材产能扩张情况 . 22 图 47：公司高纯靶材制备工艺和毛利率预测 . 22 图 48：有研亿金主要下游客户. 23 图 49：两家公司主要下游客户及营收预测 . 24 图 50：公司靶材领域主要产品布局 . 24 图 51：长条靶材拼接用作大屏，宽幅靶材切割用在小屏 . 24 图 52：公司研制靶材所获奖项. 24 图 53：晶联光电 ITO 研制发展历程 .

15、 25 图 54：晶联光电 ITO 靶材国内使用情况. 25 图 55：晶联光电制粉新技术和残靶回收专有技术 . 26 图 56：靶材绑定技术示意图 . 26 图 57：绑定环节是靶材生产到交货的重要环节 . 26 图 58：丰联科绑定技术 . 27 图 59：向产业链上游延伸，实现高纯铝、钛的内部生产 . 28 图 60：湖南江丰项目在湖南益阳举行开工仪式 . 28 图 61：公司靶材产品在不同技术节点的应用 . 28 图 62：公司从集成电路用靶材向显示面板用靶材拓展 . 28 图 63：阿石创设立以来产品演变历程 . 30 图 64：阿石创核心技术 . 30 图 65：先导稀材公司发展沿

16、革. 31 图 66：先导稀材公司研发技术实力 . 32 图 67：先导稀材公司产能布局. 32 图 68：先导稀材公司客户 . 33 表格目录表格目录 表 1：各应用领域靶材分类及性能要求 . 4 表 2：2018 年全球和国内半导体用靶材市场规模推算表 . 7 表 3：国内近期在建显示面板产线梳理 . 11 表 4：全球光伏靶材市场规模（单位：亿元） . 16 表 5：SSD 和 HDD 性能比较 . 18 表 6：有研新材盈利预测与估值 . 23 表 7：隆华科技盈利预测与估值 . 27 表 8：公司靶材募投项目情况说明（单位：万元） . 29 表 9：江丰电子盈利预测与估值 . 29

17、表 10：公司募投项目及进度情况（单位：万元） . 31 新材料行业半导体材料新材料行业半导体材料系列系列之六之六2020.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 1 靶材靶材主要用于主要用于平板显示器、半导体、光伏电池、记录平板显示器、半导体、光伏电池、记录 媒体等领域媒体等领域 靶材靶材是用溅射法沉积薄膜的原材料是用溅射法沉积薄膜的原材料 溅射靶材是用溅射法沉积薄膜的原材料。溅射靶材是用溅射法沉积薄膜的原材料。靶材主要由靶胚和背板组成。其中靶胚是靶 材工作的核心功能部分，其进行溅射形膜的主要原理是靶胚作为溅射源受高速荷能粒子轰 击发生溅射，溅射产物沉积在基片上形成薄膜。同时由于靶材的整

18、体工作环境要求一定的 机械强度，所以靶胚需要与背板材料进行焊接，背板起固定靶胚的作用。 图 1：靶材产品 资料来源：天助网 图 2：溅射靶材原理示意图 资料来源：阿石创招股书，中信证券研究部 靶材按照材质来分类可分为金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材。靶材按照材质来分类可分为金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材。金属靶材中应用较为广 泛的有铝、钛、铜、钼靶；陶瓷靶材中主要有 ITO（氧化铟锡）靶、AZO（氧化铝锌）靶、 氧化镁靶、氧化锌靶；合金靶材中主要有铁钴靶、铝硅靶、钨钛靶、钛硅靶。 图 3：靶材的基本分类（按材质） 资料来源：半导体风向标，中信证券研究部 新材料行业半导体材料新材料行业半导体材料系列系

19、列之六之六2020.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 2 靶材生产工艺靶材生产工艺 溅射靶材的制备工艺主要分熔融铸造法和粉末冶金法两种。溅射靶材的制备工艺主要分熔融铸造法和粉末冶金法两种。熔融铸造法的优点是靶材 杂质含量(特别是气体杂质含量) 低, 密度高, 可大型化，缺点是需要后续加工和热处理工 艺降低其孔隙率，难以做到成分均匀化。粉末冶金法优点是靶材成分均匀，节约原材料， 生产效率高；缺点是密度低, 杂质含量高。 图 4：靶材的基本制备工艺 资料来源：中国报告网，中信证券研究部 半导体用金属靶材方面，国内外相关企业的差距在于超高纯金属控制与提纯技术。半导体用金属靶材方面，国内外相

20、关企业的差距在于超高纯金属控制与提纯技术。先 进半导体等高端制造行业所需金属纯度在 6N 及其以上，一般的金属提纯技术无法满足。 目前超高纯铜、超高纯铝等核心技术多掌握在霍尼韦尔、日矿、东曹等美、日企业手中， 他们占据了 80%以上超高纯领域的市场份额，并且持有专有技术。 显示与光伏用显示与光伏用 ITO 靶材方面，国内外相关企业的差距靶材方面，国内外相关企业的差距在于大尺寸靶材技术。在于大尺寸靶材技术。国内目前 ITO 靶材生产的，大多还采用高成本的热等静压工艺，该技术生产的靶材产品规格一旦超 过 200mm200mm，就会出现断裂、密度低等问题，而且在使用过程中经常出现靶材中 毒的现象。同

21、时大型烧结炉的制备技术还没有完全国产化，对于很多中小企业来说，进口 设备依旧非常昂贵。 新材料行业半导体材料新材料行业半导体材料系列系列之六之六2020.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 3 图 5：国内外核心靶材技术差距 资料来源：江丰电子、隆华科技公司公告，中信证券研究部 靶材设计主要面临金属纯化、微粒飞溅、结晶取向控制、利用率靶材设计主要面临金属纯化、微粒飞溅、结晶取向控制、利用率低等问题。低等问题。解决该类 问题是靶材行业的核心技术壁垒。靶材制造环节首先需要根据下游应用领域的性能、需求 进行特有的工艺设计，然后再进行反复的塑性变形、热处理等，过程中需要精确地控制晶 粒、晶向等

22、关键指标，再经过焊接、机械加工、清洗干燥、真空包装等工序。溅射靶材制 造所涉及的工序精细且繁多，工序流程管理及制造工艺水平将直接影响到溅射靶材的质量 和良品率。 图 6：靶材设计面临的工艺问题 资料来源：溅射靶材的种类、应用、制备及发展趋势（陈建军），中信证券研究部 靶材靶材主要主要应用在应用在平板显示器、半导体、平板显示器、半导体、光伏光伏电池、记录媒体等领域电池、记录媒体等领域 溅射靶材的下游应用主要包括平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域。溅射靶材的下游应用主要包括平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域。根 据 WSTS 2018 年数据， 面板市场占比最大， 达 33.8

23、%； 其次是记录媒体， 占比达到 28.6%； 光伏电池占 18.5%；半导体规模目前仅有 11.4%，具有较大的增长空间。 新材料行业半导体材料新材料行业半导体材料系列系列之六之六2020.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 4 图 7：2018 年全球溅射靶材应用结构 资料来源：全球半导体贸易统计协会，中信证券研究部 各应用领域使用的靶材种各应用领域使用的靶材种类不同，对性能也有不同要求。类不同，对性能也有不同要求。集成电路使用铝、铜、钛、 钽、铊靶材，要求纯度高、尺寸大、集成度高、结晶取向控制准确；显示面板使用铝、铜、 硅、钼、ITO 靶，要求尺寸大、均匀性好、纯度高；光伏薄膜电

24、池使用铝、铜、钼、铬、 ITO 靶，要求大的应用范围；记录媒体使用钴、镍、铬、铁合金，要求高储存密度、高寿 命、高传输速度。 表 1：各应用领域靶材分类及性能要求 应用领域 应用产品细化应用产品细化 主要靶材类型主要靶材类型 性能要求性能要求 半导体 晶圆制造（介质层、导体层和保护层） 铝、铜、钛、钽、铊靶 纯度高、尺寸大、集成度高、结晶取向 显示器 电视、笔记本显示器膜层 铝、铜、硅、钼、ITO 靶 尺寸大、纯度高、均匀性好 光伏电池 光伏薄膜电池背电极 铝、铜、钼、铬、ITO 靶 技术要求高、应用范围大 信息存储 光驱、光盘磁头 钴、镍、铬、铁合金 高储存密度、高寿命、高传输速度 资料来源

25、：江丰电子招股说明书，中信证券研究部 不同应用领域对靶材纯度要求也不同不同应用领域对靶材纯度要求也不同。在金属纯度方面，应用领域不同对应考核指标 要求也不尽相同，半导体靶材纯度要求通常达 99.9995%（5N5）甚至 99.9999%（6N） 以上；而显示靶材纯度要求 99.999%（5N） ，磁记录和薄膜光伏电池纯度通常是 99.99% （4N） 。 新材料行业半导体材料新材料行业半导体材料系列系列之六之六2020.4.20 请务必阅读正文之后的免责条款部分 5 图 8：不同应用领域的金属纯度要求 资料来源：蒂姆新材料，中信证券研究部 产业链上游附加值高，产业链上游附加值高，靶材行业靶材行

26、业垄断趋势明显。垄断趋势明显。靶材产业链中主要环节为“金属提纯- 靶材制造-溅射镀膜-终端应用”。其中，产业链上游的金属或者陶瓷原料提纯占据靶材产业 链的高附加值地位。长期以来，国内厂商主要通过从国外进口获得高纯金属供给，美、日 等国家的高纯金属生产商依托先进的提纯技术对下游具有较强的议价能力，提高了靶材的 生产成本。 图 9：上游管控制约我国靶材市场发展 资料来源：有研新材官网，中信证券研究部 “四驾马车”驱动靶材需求“四驾马车”驱动靶材需求 半导体靶材：半导体靶材：半导体产能转向国内，半导体产能转向国内，靶材需求有望受益靶材需求有望受益 半导体行业对靶材的纯度、晶粒尺寸、晶向都有半导体行业对靶材的纯度、晶粒尺寸、晶向都有更更高要求高要求。由于集成