公司募资扩产项目(单位:万元) 原图定位 公司计划募资 10 亿元,主要用于光伏、半导体等领域 ALD 设备扩产升级。公司 IPO 拟募资 10 亿元,其中 2.5 亿元用于基于ALD技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目,5亿元用于基于ALD技术的半导体配套设备扩产升级项目,1 亿元用于 IC 高端装备产业化项目,其余 1.5 亿元用于补充流动资金。光伏及柔性电子设备扩产项目计划新增年产120 台 ALD 设备,建设期拟定为 2 年;半导体设备扩产项目计划新增年产 40 套 ALD 设备,建设期拟定为 3 年;IC高端设备产业化项目同样基于 ALD 技术,建设期拟定为 2 年。