全球半导体行业干式真空泵市场空间测算 原图定位 3) 根据中科仪招股说明书,假设存量干式真空泵每年更换 20%(晶圆制造企业对干式真2.光伏:下游需求旺盛,电池技术迭代打开增量需求 干式真空泵可用于光伏产业链的硅片、电池片和组件生产环节。光伏电池组件的制作流程与半导体芯片制程类似,但真空度要求低于半导体行业,国产真空泵渗透率相对较高。干式真空泵在硅棒的拉晶和电池片的薄膜沉积环节主要是抽取粉尘,而在组件的层压环节主要是抽取液体物质。